【課題】
分光器に個体差があったり測定環境が変動したりして分光器の特性が変化したとしても、被検出光源から出力される被検出光の波長を誤差なく精度よく検出できるようにする。
【解決手段】
基準光源で発光される基準光の波長に基づいて、被検出光源から出力される被検出光の波長を検出する波長検出装置において、前記被検出光がアルゴンフッ素エキシマレーザ発光線の場合に、前記アルゴンフッ素エキシマレーザ発光線の波長に最も近似した波長を有し、かつ光強度が一定以上の白金Ｐtの三つの発光線のうち、一つ以上の発光線を前記基準光として用いるようにする。 （もっと読む）

【課題】 揺動や温度変化の大きい環境でも、また、測定対象物の種類によらず、測定が可能であり、測定周波数領域が広く、かつ測定精度が高い光学特性測定装置および方法を提供する。
【解決手段】 光学特性測定装置１０は、光子対Ａ・Ｂを生成して光子Ａを光学素子４に射出する非線形光学結晶２と、光子Ａと光子Ｂとの光路差を変化させる光学遅延回路６と、光子Ａ・Ｂを透過および反射し、光子Ａの反射成分と光子Ｂの透過成分とを混合して光子検出器７Ａに導き、光子Ａの透過成分と光子Ｂの反射成分とを混合して光子検出器７Ｂに導くビームスプリッタ５と、光子検出器７Ａ・７Ｂによって同時に光子が検出される頻度を同時計数率として計測する同時計数装置８と、計測された同時計数率から光路差の変化に対する同時計数率の変化を求め、該同時計数率の変化におけるディップ部分の値に基づき光学素子４の光学特性値の波長依存性を算出する分析装置９とを備える。 （もっと読む）

【課題】キャビティリングダウン分光計を用いた標的分析物の吸収スペクトル測定法。
【解決手段】ｉ）レーザから分光計の光キャビティに送られる光が、標的分析物のスペクトル特性の吸収波長及び光キャビティの自由なスペクトル範囲の両方を含む波長区間に亘って変化するように、分光計のレーザを調整するステップ、各リングダウンイベントについて、減衰時定数及びキャビティへの光を遮断するトリガー時間を記録するステップ、減衰時定数、光波長及びトリガー時間をトリガー時間の関数として体系付けるステップ、各ビンの組の平均波長を計算するステップ、各減衰時間ビンについて平均減衰時間を計算し、この減衰時間の平均と並行波長ビンの平均波長とを用いることにより前記平均波長における標的分析物の光損失を計算するステップを含む方法。 （もっと読む）

【課題】 高い波長精度を維持しながら、被測定光に対する連続測定が可能で、広い波長範囲を高速に測定できるようにする。
【解決手段】 被測定光Ｘとともに光強度が極大または極小となる波長が既知の基準光Ｒを可変波長フィルタ２５に入射させ、被測定光Ｘに対する可変波長フィルタ２５の出射光Ｘｃを第１の受光器５０で受け、基準光Ｒに対する可変波長フィルタ２５の出射光Ｒｃを第２の受光器５１で受け、第１の受光器５０の出力信号Ｐａと第２の受光器５１の出力信号Ｐｂとを、可変波長フィルタ２５の選択波長の情報に対応づけてメモリ５３、５４にそれぞれ記憶する。そして、波長情報補正手段５６により、被測定光Ｘのスペクトラムデータの波長情報を、基準光Ｒのスペクトラムデータと既知波長とに基づいて補正処理する。 （もっと読む）

【課題】ウエハ上の焦点ずれ検出を改善するための方法および装置。
【解決手段】ハイパースペクトル画像化を用いることで、局所的な焦点ずれ欠陥に対する感度を増大させ、フーリエ空間解析を用いることで、広域の焦点ずれ欠陥に対する感度を増大させる。これらを組み合わせることにより、局所的および広域の焦点ずれ欠陥に対する全体的な感度が改善される。 （もっと読む）

【課題】 光信号が伝搬する光路を９０°折り曲げ、この光路と平行な基板表面に実装した面型光学素子に入射させる９０°光路変換光学系を利用する光学モジュールにおいて、光学系の機械精度を緩和し、組立工程を容易にした光学モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明の光学モジュールは、透過型回折格子１０を用いて特定波長５０の入射光の光軸を略９０°折り曲げる光学系を実現する。この透過型回折格子の基板１２を入射光の設計入射角αに対して±５°の範囲の角度で取り付ける。この光学系は光合分波モジュールに適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 分光器における受光部のスペックルを軽減し、スペクトルＥ９５の高精度な計測を行うこと。
【解決手段】 計測光（レーザ光）をレンズ１１で集光し、光ファイバ１２を通して取り込む。光ファイバ１２の出射側には、ファイバ揺動／移動機構１３が設けられており、計測の間、常時、揺動もしくは移動させる。 光ファイバ１２から出射される光は、コリメータレンズ１４により適当な角度に集光され、エタロン１５に入射する。エタロン１５から出た光は、集光レンズ１６で集光され、ＣＣＤセンサなどのセンサ１７上にフリンジ像が結像する。センサ１７により取得したデータは積算処理され、波長スケール変換された後、デコンボリューション処理され、Ｅ９５が計測される。 （もっと読む）

【課題】高分散で高い回折効率を有し、しかも単純な構成で製作が容易な回折格子装置を提供する。
【解決手段】光軸周りに回動自在な状態で配設され、直角を形成するとともに頂角を形成する第１の面を備えた第１の直角プリズムと、直角を形成するとともに頂角を形成する第２の面と、上記第１の直角プリズムの上記第１の面とが、略平行して対面するようにして、上記光軸周りに回動自在な状態で配設され、上記第１の直角プリズムが上記光軸周りの所定の方向に所定の角度だけ回転するときに、上記光軸周りの上記所定の方向とは反対の方向に上記所定の角度だけ回転する第２の直角プリズムと、上記第１の直角プリズムと上記第２の直角プリズムとの間に配設され、上記第１の直角プリズムの上記第１の面と略平行して対面する面と、上記第２の直角プリズムの上記第２の面と略平行して対面する面とを有する回折格子とを有する。 （もっと読む）

【課題】 メーカサイドの工場やサービス拠点等でしか事実上行えなかった分光輝度計の波長及び感度の校正を、ユーザサイドでも行うことができるようにする。
【解決手段】 校正用基準光源１は、積分球１１、制御処理部１２、モニターセンサ１４、複数の単波長基準光を発生する半導体レーザを備えるレーザユニット２等を備えて構成されている。制御処理部１２は、前記複数の半導体レーザを順次点灯させ、積分球１１によって多重反射された上で出力開口１１ａから放射される単波長基準光の強度を、モニターセンサ１４によってモニターさせる動作を制御する。前記出力開口１１ａに、校正対象とされる分光輝度計４の受光部が配向され、制御用ＰＣ５により、校正用基準光源１及び分光輝度計４の動作が制御される。 （もっと読む）

【課題】波長特性測定を実施するにあたって、広い波長範囲にわたって高速かつ高い波長確度で波長トラッキングを行える波長特性測定装置を実現する。
【解決手段】波長特性測定装置は、信号光を出力する波長可変光源１０１と、信号光を被測定物１１４に入射して得られる被測定光のスペクトル分布を計測する光スペクトラムアナライザ１００とを備える。波長可変光源１０１からの信号光の信号光波長が分光器１０４の持つ平坦な波長透過特性となっている所定波長範囲内に収束するように、分光器１０４および分光素子１１９の角度をそれぞれ可変させるモータ１０６，１２０の回転速度を予め決めておき、これらのモータ回転速度に従ってモータ１０６，１２０を等速度回転させながら、抽出波長及び信号光波長を掃引波長範囲にわたって掃引する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、時間分解スペクトルを得ることのできる顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】 試料２２の測定エリアよりの光２６を採取する顕微手段１２と、複数の素子を持ち該顕微手段１２により採取された光を検出する多素子検出器１４と、を備えた顕微鏡１０において、該多素子検出器１４は該各素子が該測定エリアの各微小測定部位に対し一対一で対応し、また分光手段としてのフーリエ変換分光光度計１６と、該フーリエ変換分光光度計１６よりのタイミングで該多素子検出器１４の各素子からの強度データを同時に及び各素子ごとに集録するサンプリング手段１８と、該各微小測定部位ごとに該サンプリング手段１８により得られた時間変化干渉光データに基づいて時間分解スペクトルデータを得るためのデータ処理手段２０と、を備えたことを特徴とする顕微鏡１０。 （もっと読む）

【課題】分光装置における補正の煩雑さを軽減する。
【解決手段】 顕微鏡２２０および共焦点ユニット２１０により蛍光を分光ユニットに入射させて得られた分光特性データに基づいて測定対象の分光特性を求める情報処理装置２５０を備える。情報処理装置２５０は、外部記憶装置２５４により、複数個の光学要素のそれぞれについての分光特性を、それぞれの要素対応に記憶する記憶手段を構成する。ＣＰＵ２５２により、使用する光学系に含まれる光学要素についての特定を受け付ける手段と、受け付けた光学要素を特定する情報に基づいて、記憶手段により記憶される、使用する光学要素についての分光特性情報を読み出して、当該使用する光学系が有する分光特性情報を求め、この分光特性情報と、分光ユニットから出力される分光特性データとを用いて、対象の分光特性を求める手段とを実現する。 （もっと読む）

【課題】同時に多チャンネルで高分解能のスペクトル検出し、かつスペクトル検出器と情報処理装置との間につなぐ信号線の数をスペクトル検出器のＡ/Ｄ変換器の数より少なくした装置を提供する。
【解決手段】スペクトル検出器１０２に、光を導入する光入力部と、光入力部からの光を分光する分光素子１４と、分光素子１４により分光された光をスペクトル毎に検出しアナログ電気信号に変換する複数の受光素子と、サンプリング回路１６とを設ける。サンプリング回路１６は、複数の受光素子毎に接続され、接続されている受光素子からのアナログ電気信号をデジタル電気信号に変換する複数のＡ/Ｄ変換器と、複数のＡ/Ｄ変換器の各々が出力する複数のデジタル電気信号の入力を受付け、受付けた複数のデジタル電気信号を順次選択しＡ/Ｄ変換器の数より少ない出力端子を介して情報処理装置１０３に出力する信号処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】 回折格子の偏光依存性による不具合を回避しつつ、大型化及びコスト増加を抑える。
【解決手段】 入力ファイバ１からの光を第１光路Ｃ１及び第２光路Ｃ２の2つの光路に分け、且つ各光路Ｃ１，Ｃ２の光を互いに異なる方向に偏光させる偏光ビームスプリッタ板３と、第１光路Ｃ１中の光を第２光路Ｃ２中の光の偏光方向に揃えるフレネルロム1/2波長板５と、第１光路Ｃ１を進んだ光が回折格子６に入射する入射領域に対して、第２光路２Ｃを進んだ光が回折格子６に入射する入射領域が重なり合うように、第２光路Ｃ２を折り曲げる平面鏡４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 光学系のスペクトル強度補正を校正用の光源を用いて行えるようにする分光システムを提供。
【解決手段】 顕微鏡２２０と、共焦点ユニット２３０と、分光装置２４０とを備える分光システムであり、顕微鏡２２０内に、顕微鏡２２０の対物レンズ２２１と同軸の光学系上に配置され、波長校正用光束を対物レンズ２２１に入射させる波長校正用光源部２２５を有する。波長校正用光源部２２５では、光源駆動回路２２５５により、波長校正用光源２２５１に、一定電圧を印加して点灯させる。 （もっと読む）

【課題】分光装置における補正の煩雑さを軽減する。
【解決手段】 光ファイバ２１８と、光ファイバ２１８からの信号光を平行光とするコリメート光学系２３１と、コリメート光学系２３１により平行光に変換された信号光を分光する分光素子２３６と、分光素子２３６により分光された信号光を受光する、少なくとも波長分散方向に複数の受光素子２３７ａが並んだ受光器２３７と、分光素子２３７からの信号光を受光器２３７の受光面に結像させる集光光学系２３６と、を有する。集光光学系２３６は、信号光を、受光器２３７の受光面に結像される信号光のスポット径が、受光素子２３７の配置ピッチより小さくすること、および、コリメート光学系２３１の開口数が光ファイバ２１８の開口数より大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】 広い波長領域の光量データと共に、一部の領域に関して分解能の高い光量データを得る。
【解決手段】 低分解能回折格子及び高分解能回折格子のそれぞれによる各波長域毎の光量データを検出器から受け付け、低分解能データと高分解能データのそれぞれに対して、回折格子の相違による光量の相違を校正し、校正された低分解能データと高分解能データとを合成する。 （もっと読む）

【課題】波長測定精度を向上したＭＥＭＳ光スペクトラムアナライザを提供する。
【解決手段】回折格子１と、ＭＥＭＳスキャナ６０と、受光素子２と、既知波長の第１の基準光を出射する波長基準光源３と、第１の基準光の波長と異なる既知波長の第２の基準光を出射する波長基準光源４と、被測定光、第１及び第２の基準光を受けて合波して回折格子１に出射する光合波手段５と、上記電気信号をディジタル値に変換するＡ／Ｄ変換器６と、このディジタル値を受けて順次所定のアドレスに記憶するメモリ７と、メモリ７の上記所定のアドレスに記憶されているディジタル値を読み出して、第１及び第２の基準光がそれぞれ記憶されている第１及び第２のアドレスを検出し、検出したこの第１及び第２のアドレス並びに第１及び第２の基準光のそれぞれの既知波長から所定の関数を導き、この関数を用いて被測定光が記憶されているアドレスを波長に変換する処理手段８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 信頼性が高く、短時間で波長校正を行なうことができる波長測定装置および波長測定装置の校正方法を実現することにある。
【解決手段】 本発明は、基準光源からの基準光で自装置の波長校正を行い、被測定光の波長測定を行う波長測定装置に改良を加えたものである。本装置は、基準光源からの基準光と被測定光を合波する光合波器と、この光合波器に入力側が接続され、複数の測定レンジを有し、波長校正時には被測定光を測定する測定レンジとは異なる測定レンジで波長測定を行う波長測定部とを設けたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】傾くことなく正確に直線移動させることが可能な可動ミラーで、且つ許容誤差を満たしつつ簡単に取り付けることが可能なミラーを提供すること。
【解決手段】モノリシック変換器支持部材に取り付けられるモノリシックミラー支持部材を有するミラー変位アセンブリであって、これらの２つの部材は互いに離間した薄厚部を有し、これらの薄厚部は変換器支持部材に取り付けられる変換器によって変形可能であり、そして２つの支持部材はほぼ同じ形を有することが好ましい。このように、ミラー支持部材上に位置するミラーは不要に傾くことなく変位させることができ、同時にアセンブリ内の高応力領域はこれらの２つのモノリシック部材の間の接合から理想的に離間する。 （もっと読む）