【課題】それらの間にスリットを画成する２枚のブレードを具え、それぞれのブレードが他方に対して独立に移動可能である光スリット装置を提供する。
【解決手段】光スリットを分光システムにおける光ビームの中心に位置合わせする本発明による光スリットの位置合わせ方法は、光ビームを検出器に向け、光スリットの少なくとも一方の端縁を光路を横切って移動させ、検出器における伝播光の強度を光スリットの少なくとも１つの端縁の複数の位置に対して検出し、スリット位置を調整する信号をフィードバックすることを具えている。 （もっと読む）

【課題】ラマンライダーシステムの計測精度の向上を図ること。
【解決手段】本発明に係る分光ユニットは、対象光に基づいて回折光を生じさせる回折格子(32)と、相互間に間隙を設け、当該間隙を前記回折光の光路上に配置される２つのウェッジミラー(35,36)と、前記２つのウェッジミラーの前記間隙を通る通過光の光路上に配置される第１の干渉フィルタ(44,45)と、前記２つのウェッジミラーの少なくとも一方によって生じる反射光の光路上に配置される第２の干渉フィルタ(38,39)と、を備える。 （もっと読む）

光学材料を特定するための光学特定システムが開示されている。当該システムは、通常回折エレメント（１０４）、検出器（１０６）、及び光学エレメント（１０２）を備える。光学エレメント（１０２）は、材料の照射レスポンスである照射ビームを受光するために適用される。当該光学エレメント（１０２）は、通常照射ビームを屈折により平行化して回折エレメント（１０４）に入射させるための屈折表面と、回折された照射ビームを反射して検出器（１０６）に入射させるための反射表面とを備える。光学エレメント（１０２）は、さらに照射ビームを受光するための受光サイドと反対側の、上記光学エレメント（１０２）の同じサイドに配置された回折エレメント（１０４）及び検出器（１０６）と協同するために適用される。
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【課題】それぞれ異なる波長にピークを有する複数のスペクトル要素を含む光の品位を評価する。
【解決手段】露光装置は、計測器６によって計測されたスペクトルに基づいて露光光の中心波長を導出する処理部２１と、露光光の中心波長に基づいて露光光の品位を評価する主制御系（評価部）２１とを備える。処理部２１は、計測器６によって計測されたスペクトルに含まれる複数のスペクトル要素のそれぞれの中心波長に基づいて露光光の中心波長を導出する。 （もっと読む）

【課題】フォトキャパシタンス測定技術、テラヘルツ光発生技術および計測技術などを組み合わせて、テラヘルツ光の微弱光計測、高速イメージング計測、広帯域・高分解能計測などを可能にする、特に、強い低温がなくても長波長が測れるという長所をもつセンシング手段を提供する。
【解決手段】所定の波長と強度をもつテラヘルツ光を受光すると、所定のエネルギー準位がイオン化するフォトダイオードと、該イオン化により変化する該フォトダイオードのフォトキャパシタンスを計測する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置全体をコンパクトに構成できる分光器およびこれを用いた共焦点光学系、走査型光学顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】分光器を、複数の波長を含んだ発散光を実質的に点光源として出射する出射端と、該出射端から出射された発散光を略平行光にする第１の光学系と、該第１の光学系により略平行光になった光束を分光する分光素子と、該分光素子により分光された光束を焦点面近傍に集光する第２の光学系とを備え、前記第１の光学系が負の焦点距離をもつ第１のレンズ群と正の焦点距離をもつ第２のレンズ群とから構成する。 （もっと読む）

【課題】従来の偏光感受光画像計測装置では、異なった偏光状態毎にそれぞれ断層画像を計測し、複数枚の断層画像を入手しなければならないという問題を解決することを目的とし、入射ビーム光の偏光状態を、ＥＯ変調器（偏光変調器）を用いて連続的に変調し、１回のＢスキャンによって、試料１７の偏光情報（複屈折分布）を計測する。
【解決手段】
光源２からの光を偏光子３で直線偏光し、この偏光をＥＯ変調器４によって、Ｂスキャンと同期して連続的に変調し、この連続変調ビームをガルバノ鏡１６で試料１７（被検体）のＢスキャンを行い、参照光と試料アーム７からの物体光の重畳したビームを分光器８の回折格子１９で分光し、そのスペクトル干渉成分のうち、垂直偏光成分と水平偏光成分を２つのラインＣＣＤカメラ２２、２３で同時に検出し、試料１７の偏光特性を表すジョーンズベクトルを得る。 （もっと読む）

【課題】光ファイバから漏れた紫外光による不所望なガスの発生を抑制し、これにより、光学系の汚損を低減させるための技術を提供する。
【解決手段】本発明による光ファイバケーブル１０は、波長が１５５ｎｍ以上４００ｎｍ以下の光を伝送可能に形成された複数の光ファイバ１の束と、複数の光ファイバ１の端が挿入されている挿入孔４、７を有するキャピラリ２、３とを具備する。キャピラリ２、３は金属で形成されている。キャピラリ２、３の挿入孔４、７には、その内側方向に突出する突出部６、９が形成されている。この突出部６、９は、複数の光ファイバ１の束の側面に沿った曲面形状を挿入孔４、７に与えるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】光線の波長よりも短い周期の格子定数のプレナー回折格子を含む合波干渉型光学装置および光エンコーダを提供すること。
【解決手段】本発明の合波干渉型光学装置は、コヒーレント光を照射する光源３０と、光源３０からのコヒーレント光を回折し、光学キャビティを形成する第１の凹凸部を備えた分波器３２と、当該コヒーレント光の波長よりも短い周期で形成された光学キャビティを形成する第２の凹凸部を備えたメインスケール３４と、第３の凹凸部を備えた合波干渉器３６と、合波干渉器３６から出力されたコヒーレント光を受光する検出器３８とを備えており、メインスケール３４から回折される＋１次と−１次の２つの回折光を合波干渉させて正弦波信号として検出する。また、本発明は、メインスケールの相対的変位を検出する合波干渉型の光エンコーダを提供する。 （もっと読む）

マイクロミラーアレイ（ＭＭＡ）および２つの別個の光チャンネルおよび検出器等の適応的光学素子を利用するように設計された分光器。この機器は、信号のリアルタイムおよび準リアルタイムスケーリングおよび標準化を提供できる。

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【課題】偏光をより早くて効果的に測定できる楕円分光器、偏光測定装置および偏光状態測定方法を提供する。
【解決手段】偏光測定装置は、光の偏光状態が分かるように入射される光を回折させる円形回折格子１４０と、円形回折格子１４０で回折された光を受光して、光の偏光状態を表示する検出器１５０と、を備える。円形回折格子１４０は、一定した溝を掘って形成された格子を有し、格子の間隔と溝の深さとを調節して光の偏光方向による透過率を調節する。円形回折格子１４０は、入射光をすべての方向に回折させる。検出器１５０は、回折された光を受光して、二次元的に検出する。検出器１５０の検出された二次元画面では、入射光の偏光程度を測定するデータが直接抽出可能である。 （もっと読む）

ラマン散乱分析のために使用される分光器デバイスを較正するために、方法が提供される。分光器デバイスの回折格子またはスペクトログラフに対する所定の分散曲線が、較正光源からの検出された分散光と関連付けられるスペクトルデータに基づいて修正されることにより、修正された分散曲線を生成する。光検出デバイスにおける、ラマン光源の波長が、決定される。分光器デバイスに対する較正データが、第１の化学物質に対するラマン線のピーク位置と、検出デバイスにおける、ラマン光源の波長と、修正された分散曲線とから計算される。
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【課題】精度の高いスペクトル測定を短時間で行うことができる光学顕微鏡を提供すること。
【解決手段】本発明の第１の態様にかかる光学顕微鏡１００は、レーザ光源１０と、光ビームをＹ方向に走査するＹ走査装置１３と、対物レンズ２１と、光ビームをＸ方向に走査するＸ走査装置１３と、Ｙ走査装置１３から試料２２までの光路中に配置され、試料２２に入射された光ビームのうち、異なる波長となって試料２２から対物レンズ２１側に出射する出射光とレーザ光源１０から試料２２に入射する光ビームとを分離するビームスプリッタ１７と、Ｙ方向に対応する方向に沿って配置された入射スリット３０を有し、入射スリット３０を通過した出射光を波長に応じて空間的に分散させる分光器３１と、分光器３１で分散させた出射光を検出する検出器３２とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】同一のアレイを構成する複数個のセル間での不均質性による検知結果の相違を補償する。
【解決手段】その部位毎に光子放出量が異なる経路からの光子検知を、行１０２内にある基準セル及び行１０４内にあるサブレンジセル１０６からなりそれら基準セル及びその近傍のサブレンジセル１０６との対を１個又は複数個含むフォトセンサアレイ１００を備える集積回路（ＩＣ）６８により、経路を構成する複数個のセグメントにて個別に行う。基準セルは適用対象光子エネルギレンジのほぼ全体（λｍｉｎ〜λｍａｘ）を通し入射光子を受け取り、サブレンジセル１０６は当該適用対象光子エネルギレンジのサブレンジのうち対応するサブレンジ（λｐ）内の入射光子をその上方の透過構造を介して受け取る。周辺回路１１０にて前者に基づき後者を調整して出力する。 （もっと読む）

【課題】少ないフォトダイオードで、光信号の測定を行なうことができるＷＤＭ信号モニタを実現することにある。
【解決手段】波長分割多重された光信号の測定を行なうＷＤＭ信号モニタに改良を加えたものである。本装置は、フォトダイオードが所定の方向に複数個配置され、光信号を所定の方向に波長分散して、各光信号あたり２素子のフォトダイオードで受光する分光器と、分光器からの出力される２素子を組とした測定データから、光信号の波長または光パワーの少なくとも一方を演算する演算部とを設けたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】低解像度と高解像度の両方で分光分析を行うことが可能な、各種用途の要求に柔軟に対応できる分光分析のためのシステムと技術を提供する。
【解決手段】分光分析用のシステムにおいて、モノクロメータシステムのための機械的及び／または光学的ズームメカニズムを用いて検出器と分散要素の相対位置を変えられるようにする。例えば、可動検出器システムが、検出器を分散要素に対して動かして、第１の解像度を得るための第１の位置に配置させ、次に、検出器を、第２の解像度を得るための第２の位置に配置させる。別の態様では、あるサンプルの領域の分光分析を複数の励起波長を用いて行う。この場合、複数の励起波長のそれぞれに関連する光を受光する位置に対応する検出器を複数配置して各励起波長の光を同時に検出可能とし得る。 （もっと読む）

【課題】波長モニタにおける多重干渉ノイズを低減し、波長測定精度の向上を図ると共に、装置の小型化や低コスト化を実現することを目的とする。
【解決手段】第１の分岐光を伝送する第１の光路と、第２の分岐光を伝送する第２の光路と、第１の出射端と、第２の出射端とを有する光分岐手段と、第１の分岐光及び第２の分岐光を各々平行光に変換して出射する第１のレンズと、各平行光を直交方向に選択的に集光して出射する第２のレンズと、各平行光を受光すると共に、２つの平行光の干渉によって生じる干渉縞の一周期分を４等分して受光するように各々配置された少なくとも４つの受光素子を備える光電変換手段と、受光素子から出力される電気信号に所定の信号処理を行うことで被測定光の波長を算出する信号処理手段とを備え、前記光電変換手段は各受光素子の受光面が直交方向に対して所定の傾きを有するように配置される。 （もっと読む）

【課題】コンパクトでなお且つ移動鏡の傾きによる誤差や大きな摩擦力を生じることのない干渉計を提供する。
【解決手段】干渉計の移動鏡駆動機構として、長尺状のガイドレール４０と、ガイドレール４０に嵌着され、該ガイドレール４０上を摺動するスライダ３０と、前記スライダ３０に固定された移動鏡１６と、該スライダを駆動する複数のボイスコイルモータ５０とを備えた移動鏡駆動機構を用いる。ここで、駆動源である複数のボイスコイル５１を、前記スライダ３０の移動方向に垂直な面内においてスライダ３０の移動中心に対して対称な位置に配置する。これにより、左右のコイル５１に加わる電磁力を合成した力の作用点をスライダ３０の移動中心と一致させ、移動鏡の移動時における回転モーメントの発生を防止することができる。 （もっと読む）

マルチウェーハ構造体を有する光学分光計（１０、２０、３０、４０、５０）を提供する。構造体は、ＭＥＭＳ技術を用いて製造可能である。分光計は、流体アナライザー（１１０）と統合可能である。発光点（１７）及び検出器（１９）と共にローランド円（１５）の円周上に位置する回折格子やホログラフィー格子のような反射型格子（１４）は、分光計の構成体である。いくつかの構成体は、円上の発光点（１７）に光を光学的に搬送しうる場合、外部光源を使用可能である。流体アナライザーにおける光（４８）とチャネル中のサンプル又は相互作用フィルム（４９）との相互作用が分光計の発光点である場合、ラマン構成体が利用可能である。分光計のいくつかの構成体では、格子（１４、５５）及び／又はフィルムは、反射型又は透過型である。
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【課題】時間分解分光器に対して改善された検出器の配置を提供する。
【解決手段】時間分解分光器は任意の原因のために時間と共に変化するスペクトルを分析するものである。スペクトルの時間変化は、例えば、（ｉ）（放射減衰のためなど）時間と共に所定のサンプルスペースからのスペクトルの変化、（ｉｉ）（レーザ走査分光器など）サンプルスペースの連続部分がサンプリングされるときのスペクトルの変化のためである。ＣＣＤデバイスは、時間変化するスペクトルを検出し、スペクトルを表す信号電荷を生成するように配置されるフォトサイトのアレイと、信号電荷を受信し、電荷増倍を提供するように配置される１又は複数のＣＣＤ増倍レジスタとを備えている。速度及び感度の強化は、１又は複数の増倍レジスタに直列に電荷を提供するために、フォトサイトのアレイから並列に信号電荷を受信する記憶領域によって与えられる。 （もっと読む）