【課題】インピーダンス素子の両側に２つのコンデンサがデルタ型又はπ型に接続されてなり、基板に内蔵されるコンデンサ回路内の各コンデンサの容量を、コンデンサを回路に接続したままの状態で、簡易な装置構成により、正確かつ容易に測定できるコンデンサ容量測定方法を提供する。
【解決手段】第１の測定段階では、両コンデンサＣ１，Ｃ２を並列接続したときの両コンデンサＣ１，Ｃ２の合成容量を測定する。第２の測定段階では、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量比を測定する。算出段階では、第１の測定段階で測定された合成容量と、第２の測定段階で測定された容量比とに基づいて、両コンデンサＣ１，Ｃ２の容量をそれぞれ算出する。 （もっと読む）

【課題】デルタ回路を構成する第１ないし第３のインピーダンス要素のうちの第１のインピーダンス要素のインピーダンス測定において、第２のインピーダンス要素と第３のインピーダンス要素の間に流れる電流をゼロに抑え、第１のインピーダンス要素のインピーダンスを正確に測定できるインピーダンス測定装置を提供する。
【解決手段】このインピーダンス測定装置では、第２の導電路Ｌ２と電気接続された出力端子及び反転入力端子と、所定の基準電位（例えば、グランド電位）に電気接続された非反転入力端子とを有するオペアンプ３４が備えられる。そして、第１のインピーダンス要素Ｚ１と第２のインピーダンス要素Ｚ２の間の第１の導電路Ｌ１の電位、及び第２のインピーダンス要素Ｚ２と第３のインピーダンス要素Ｚ３の間の第２の導電路Ｌ２の電位を基準電位に誘導しつつ、第１のインピーダンス要素Ｚ１のインピーダンスが測定される。 （もっと読む）

【課題】低周波数における容量性の高インピーダンスを効果的に測定する。
【解決手段】ＳＭＵ１２から、１ｋＨｚ未満のゼロでない周波数の交流成分を含む電圧信号Ｖ₁をＤＵＴ３０に供給する。供給した電圧信号Ｖ₁は、バッファ増幅器２０を介して制御及び測定部２２で測定する。一方、ＤＵＴ３０を流れる電流信号は、バッファ増幅器２４を介して制御及び測定部２２で測定する。制御及び測定部２２は、電圧信号及び電流信号の測定値を同期させてデジタル化し、デジタル化した電圧信号及び電流信号からインピーダンスを計算する。 （もっと読む）

【課題】高周波測定装置の測定値の精度を可及的に高くするように校正するために使用される模擬負荷装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置のチャンバー内に配置されたときに、正電極板７０およびグランド電極板６０をプラズマ処理装置の２つの電極にそれぞれ押し付けるコイルばね４０を、模擬負荷装置１に設けた。したがって、正電極板７０をプラズマ処理装置の正電極に接続し、グランド電極板６０をグランド電極に接続するようにして、模擬負荷装置１をプラズマ処理装置の正電極とグランド電極との間に配置することができる。これにより、高周波測定装置による検出値をプラズマ処理装置の電極間における値に校正する校正パラメータを算出することができる。当該校正パラメータを用いることで、高周波測定装置の測定値の精度を高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】２端子インピーダンス部品について、補正の対象となる測定系が実測時と同じ状態のままで校正作業を行うことができる、電子部品の高周波特性誤差補正方法を提供する。
【解決手段】高周波特性の異なる少なくとも３つの補正データ取得用試料を、基準測定系と実測測定系で測定し、実測測定系で測定した測定値と基準測定系で測定した測定値とを、伝送路の誤差補正係数を用いて関連付ける数式を決定する。任意の電子部品２を実測測定系で測定し、決定した数式を用いて、電子部品を基準測定系で測定したならば得られるであろう電子部品の高周波特性の推定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】２端子インピーダンス部品について、補正の対象となる測定系が実測時と同じ状態のままで校正作業を行うことができる、電子部品の高周波特性誤差補正方法を提供する。
【解決手段】高周波特性の異なる少なくとも３つの補正データ取得用試料を、基準測定系と実測測定系で測定し、実測測定系で測定した測定値と基準測定系で測定した測定値とを、伝送路の誤差補正係数を用いて関連付ける数式を決定する。任意の電子部品２を実測測定系で測定し、決定した数式を用いて、電子部品を基準測定系で測定したならば得られるであろう電子部品の高周波特性の推定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】２端子インピーダンス部品について、補正の対象となる測定系が実測時と同じ状態のままで校正作業を行うことができる、電子部品の高周波特性誤差補正方法を提供する。
【解決手段】高周波特性の異なる少なくとも３つの補正データ取得用試料を、基準測定系と実測測定系で測定し、実測測定系で測定した測定値と基準測定系で測定した測定値とを、伝送路の誤差補正係数を用いて関連付ける数式を決定する。任意の電子部品２を実測測定系で測定し、決定した数式を用いて、電子部品を基準測定系で測定したならば得られるであろう電子部品の高周波特性の推定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】インダクタンス成分等が純抵抗成分に接続されている測定対象の純抵抗値を誤測定する事態を回避する。
【解決手段】測定対象８に交流定電流Ｉを供給し同期信号Ｓｔを出力する電流供給部２と、測定対象８の両端間に発生する交流信号Ｓ１を検出して出力する電圧検出部３と、同期信号Ｓｔの半周期毎に交流信号Ｓ１を反転させて出力することによって同期整流信号Ｓｒｅを生成しこれを平滑して同期整流電圧Ｖｒを出力する同期整流部４と、同期整流電圧Ｖｒを電圧データＤｖに変換するＡ／Ｄ変換部５と、電圧データＤｖで表される交流信号Ｓ１の電圧値と交流定電流Ｉの電流値とに基づいて測定対象８の純抵抗の抵抗値Ｒｘを算出する処理部６とを備え、同期整流部４は、同期整流信号Ｓｒｅの波形のうちの同期信号Ｓｔの後半の半周期における波形についての負極性側の振幅をこの負極性側の交流信号Ｓ１の最大振幅よりも小さい規定値Ｖｄ１以下に制限する。 （もっと読む）

【課題】コスト上昇を最小限に抑えつつ、端子の測定対象体との接触状態を検出する。
【解決手段】電圧測定部５は、非反転入力端子が電圧検出端子Ｈｐに接続されかつ抵抗２１ｂを介して基準電位に接続されて、電圧検出端子Ｈｐの電圧を増幅し電圧信号Ｖ４として出力する演算増幅器２１ａと、非反転入力端子が電圧検出端子Ｌｐに接続されかつ抵抗２２ｂを介して基準電位に接続されて、電圧検出端子Ｌｐの電圧を増幅し電圧信号Ｖ５として出力する演算増幅器２２ａと、各信号Ｖ４，Ｖ５の差分電圧を電圧信号Ｖ６として出力する電圧検出回路２３とを有し、各抵抗２１ｂ、２２ｂは演算増幅器２１ａ，２２ａの入力バイアス電流が流れた際に各信号Ｖ４，Ｖ５を飽和させる抵抗値に規定されている。処理部６は、電流測定部４で測定される検査電流Ｉ１の電流値および電圧信号Ｖ６の電圧値に基づいて各端子Ｈｃ，Ｌｃ，Ｈｐ，Ｌｐの測定対象体２との接触状態を判別する。 （もっと読む）

【課題】測定対象体に発生する直流電圧の装置側への印加を回避しつつ、応答速度の低下および測定精度の低下を回避する。
【解決手段】電流供給用プローブ６ａ，６ｂおよび第１コンデンサ４を介して交流定電流Ｉｍを測定対象体２に供給した状態で、第２コンデンサ８および電圧検出用プローブ７ａ，７ｂを介して入力した測定対象体２の両端電圧Ｖｍに基づいて測定対象体２のインピーダンスＺを測定するインピーダンス測定装置１であって、第１コンデンサ４に対して直列に接続されて、交流定電流Ｉｍの周波数において第１コンデンサ４のリアクタンスと相殺するインダクタンス値Ｌ１の第１コイル５と、第２コンデンサ８に対して直列に接続されて、交流定電流Ｉｍの周波数において第２コンデンサ８のリアクタンスと相殺するインダクタンス値Ｌ２の第２コイル９を備えている。 （もっと読む）

【課題】ノイズ環境下でも測定対象体のインピーダンスを正確に測定可能とする。
【解決手段】交流電圧Ｖａｃの印加時に測定対象体１１に流れる電流信号Ｉを電圧信号Ｖ１に変換する電流電圧変換部３と、電圧信号Ｖ１を分圧比ｋで電圧信号Ｖ２に分圧する降圧部４と、電圧信号Ｖ１をデジタルデータＤ１に変換するＡ／Ｄ変換部５と、電圧信号Ｖ２をデジタルデータＤ２に変換するＡ／Ｄ変換部６と、電圧検出部７によって検出された測定対象体１１の両端電圧Ｖ３をデジタルデータＤ３に変換するＡ／Ｄ変換部８と、デジタルデータＤ１に基づいてＡ／Ｄ変換部５の飽和状態を検出すると共に、飽和状態の検出時に飽和状態の期間におけるデジタルデータＤ２に分圧比ｋの逆数を乗算して得られるデータでこの期間のデジタルデータＤ１を置き換えることによってデジタルデータＤ１を再生してインピーダンスＺを算出する処理部９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検査中に発生した接触状態の悪化についての検出確度を向上させる。
【解決手段】第１検出部８は、測定処理前の接触検査処理において定電流Ｉｃ１を供給するために電流供給プローブ３ａおよび電圧検出プローブ４ａ間に電圧を所定電圧値Ｖｃ１を上限として印加可能で、かつ測定処理後の接触検査処理において定電流Ｉｃ２を供給するために両プローブ３ａ，４ａ間に電圧を所定電圧値Ｖｃ１よりも低電圧の所定電圧値Ｖｃ２を上限として印加可能に構成され、第２検出部９は、測定処理前の接触検査処理において定電流Ｉｃ３を供給するために電流供給プローブ３ｂおよび電圧検出プローブ４ｂ間に電圧を所定電圧値Ｖｃ３を上限として印加可能で、かつ測定処理後の接触検査処理において定電流Ｉｃ４を供給するために両プローブ３ｂ，４ｂ間に電圧を所定電圧値Ｖｃ３よりも低電圧の所定電圧値Ｖｃ４を上限として印加可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】安価且つ簡易に燃料電池の内部インピーダンスの周波数特性を高精度に測定すること。
【解決手段】測定対象の燃料電池に対して接続する測定抵抗の抵抗値を第１の抵抗値Ｒｍ_ｏｎと第２の抵抗値Ｒｍ_ｏｆｆとで切り替え、上記第１の抵抗値Ｒｍ_ｏｎの時の当該測定抵抗の両端電圧の電圧値ｖｍと、上記第２の抵抗値Ｒｍ_ｏｆｆの時の当該測定抵抗の両端電圧の電圧値ｖｍ’と、を検出し、それら検出した２つの電圧値ｖｍ，ｖｍ’と上記第１及び第２の抵抗値Ｒｍ_ｏｎ，Ｒｍ_ｏｆｆとに基づいて上記燃料電池の内部インピーダンスを演算し、上記測定抵抗の抵抗値の切り替え周期をスイープすることで、上記燃料電池の内部インピーダンスの周波数特性を取得する。 （もっと読む）

【課題】近接する一対の端子間に金属の異物が挟まることに起因した測定誤差の発生を確実に回避可能とする。
【解決手段】測定対象体１４の電極１４ａに接触させる電流供給端子２および電圧検出端子３と、測定対象体１４の電極１４ｂに接触させる電流供給端子４および電圧検出端子５とを備え、各電流供給端子２，４を介して測定対象体１４に第１電流Ｉ１を供給した際に測定対象体１４の各電極１４ａ，１４ｂ間に生じる第１電圧Ｖ１の電圧値Ｖ１ｖと第１電流Ｉ１の電流値とに基づいて測定対象体１４のインピーダンスＺを測定するインピーダンス測定装置１であって、電極１４ａと非接触な状態における電流供給端子２および電圧検出端子３間の接触状態を検出する第１接触検出部９と、電流供給端子４および電圧検出端子５間の接触状態を検出する第２接触検出部１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】工数を増加させることなく、内蔵素子の不良品の判別が可能な基板内蔵受動素子のコンデンサ検査方法及びインダクタ検査方法を提供する。
【解決手段】下部電極と２つのコンデンサ電極を高誘電率材料からなる絶縁層に対向して設けられた基板がコンデンサを２つ有し、かつ、前記２つのコンデンサ電極は前記基板の同じ面側に設けられ、前記２つのコンデンサ電極の面積が同じであり、前記下部電極と前記コンデンサ電極との間でビア接続がされていない基板のコンデンサ検査方法であって、前記コンデンサ電極の一方の電極に信号線とグランド線の２つの端子を有する測定用プローブの信号線の端子を接触させ、前記他方のコンデンサ電極にグランド線の端子を接触させて、インピーダンスを測定する、コンデンサ検査方法。 （もっと読む）

【課題】筒体内でのコイル状の導電体の偏心状態を正確で、しかも低コストで測定し得る測定装置を提供する。
【解決手段】直線状の金属チューブ２内にその筒長方向に沿って配設されたコイル状の発熱コイル３を備えたグロープラグ１における発熱コイル３の金属チューブ２の軸線Ｌに対する偏心状態を測定する測定装置Ｍであって、グロープラグ１に対して軸線Ｌを中心とした複数のラジアル方向から一定の磁界Ｆを印加する磁界印加部１２と、発熱コイル３のインピーダンスＺを測定するインピーダンス測定部１３と、磁界印加部１２によるグロープラグ１に対する磁界Ｆの印加状態においてインピーダンス測定部１３によって測定されたラジアル方向毎のインピーダンスＺに基づいて偏心状態を測定する処理部１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】比較的簡便な測定で高精度にインピーダンスを測定し得るインピーダンス測定装置を提供すること。
【解決手段】標準インピーダンス素子と比較して被測定インピーダンス素子のインピーダンスを測定する装置において、並列接続された被測定インピーダンス素子Ｚｘおよび標準インピーダンス素子Ｚｓならびに電源ＰＳを有し、これら両インピーダンス素子に電流を流す測定用通電回路と、前記被測定インピーダンス素子に流れる被測定電流および前記標準インピーダンス素子に流れる標準電流を検出し、被測定信号および標準信号を形成する信号形成回路と、前記被測定電流と前記標準電流との差を取り出し、偏差信号を形成する偏差検出回路と、前記標準信号および偏差信号に基き、前記被測定インピーダンス素子のインピーダンスを算出する処理回路ＤＰとをそなえたことを特徴とするインピーダンス測定装置、ならびに電流を電圧に換えた形でのインピーダンス測定装置。 （もっと読む）

【課題】測定時間の短縮および装置コストの低減を実現する。
【解決手段】演算制御部９は、測定対象体１１のインピーダンスＺｍの算出に先立ち、処理系回路６に電圧信号Ｓ４を入力してデータＤ１への変換処理を実行させ、処理系回路７に電圧信号Ｓ４，Ｓ６を入力してデータＤ３，Ｄ２への変換処理を実行させ、処理系回路６から出力されるデータＤ１と処理系回路７から出力されるデータＤ２とに基づいて第１のインピーダンスを算出し、処理系回路７から出力されるデータＤ３，Ｄ２に基づいて第２のインピーダンスを算出し、処理系回路６，７から出力されるデータＤ１，Ｄ２に基づいて測定対象体１１のインピーダンスＺｍを算出した際に処理系回路６，７間の利得差および位相差に起因してインピーダンスＺｍに発生する誤差の補正用の絶対値用補正値Ｚｅおよび位相角用補正値θｅを第１および第２のインピーダンスに基づいて算出する。 （もっと読む）

【課題】ベクトル比を検出するためにアナログ・ディジタル変換器を備えるインピーダンス測定装置において、従来よりも高い精度で測定する。
【解決手段】被測定物への印加電圧を表す信号および被測定物を流れる電流を表す信号をディジタル変換するためのアナログ・ディジタル変換器（４３０）を備えるインピーダンス測定装置（１０）において、補正係数Ｇを格納する記憶手段（５２０）と、記憶手段に格納された補正係数Ｇを用いてアナログ・ディジタル変換器の出力データを補正する手段（５１０）を備える。補正係数Ｇは、インピーダンス測定装置（１０）を用いて、測定の事前に取得される。 （もっと読む）

【課題】測定対象における交流信号の振幅を簡単かつ迅速に取得できる、振幅算出装置およびそれを備えるインピーダンス測定装置、ならびに振幅算出方法およびそれを備えるインピーダンス測定方法を提供する。
【解決手段】インピーダンス測定装置１０は、測定部１４を備える。測定部１４は、電圧計１６、電流計１８、およびＣＰＵ２２を有するコントローラ２０を含む。ＣＰＵ２２は電圧計１６によって測定対象１００から時間ｔ₁，ｔ₂の出力Ｙ₁，Ｙ₂を検出する。ＣＰＵ２２は、出力Ｙ₁，Ｙ₂の位相差を用いて振幅Ａを算出する。 （もっと読む）