【課題】測定した抵抗値に基づいて測定対象体の検査を行う際の検査効率を向上させる。
【解決手段】測定用の電圧Ｖを出力する電源部１１と、出力された電圧Ｖの電圧値および電圧Ｖの供給に伴って流れる電流Ｉ１の電流値に基づいて抵抗値Ｒｍを測定する測定部１２と、正極および負極を有する測定対象体における正極に接続される第１プローブ２０ａと、負極に接続される第２プローブ２０ｂと、基準電位に接続される第３プローブ２０ｃと、第１プローブ２０ａおよび第２プローブ２０ｂの相互間の電気的接断を行う接断器１３とを備え、接断器１３は、制御信号Ｓ１（測定指示）に従って第１プローブ２０ａおよび第２プローブ２０ｂを相互に接続させ、測定部１２は、電圧Ｖの電圧値、並びにプローブ２０ａ，２０ｂと第３プローブ２０ｃとの間に流れる電流Ｉ１の電流値に基づいて正極および負極と基準電位との間の抵抗値Ｒｍを測定する。 （もっと読む）

【課題】基板における抵抗の測定を効率的に行い得る測定装置を提供する。
【解決手段】プローブ４１ａが電圧供給回路２１に接続され、かつ、プローブ４１ｂが電流検出回路２２に接続される第１接続態様で計測部１３に接続されているときにケーブル５ａのシールド２０３を芯線２０１と同電位に接続するスイッチ１５Ａａ、プローブ４１ｂが回路２１に接続され、かつ、プローブ４１ａが回路２２に接続される第２接続態様で計測部１３に接続されているときにケーブル５ｂのシールド２０３を芯線２０１と同電位に接続するスイッチ１５Ｂａ、プローブ４１ａ，４１ｂが第１接続態様で計測部１３に接続されているときにケーブル５ｂのシールド２０３をグランド電位に接続するスイッチ１５Ｂｂ、およびプローブ４１ａ，４１ｂが第２接続態様で計測部１３に接続されているときにケーブル５ａのシールド２０３をグランド電位に接続するスイッチ１５Ａｂを備えている。 （もっと読む）

【課題】微小抵抗変化の測定に対して、構造が簡単で誤差の小さい高精度のブリッジ回路型検出器の提供を目的とする。
【解決手段】四辺形の少なくとも一辺に測定センサー部に対応して変位する抵抗変位部Ｒ_Ｓを有するブリッジ回路を用いた検出器であって、ブリッジ回路の対向するＡ点及びＢ点間に有する電源部と、他の対向するＣ点及びＤ点間に出力される電圧を検出する出力電圧測定部を有し、さらに前記Ａ点及びＢ点間の電圧を測定する正味ブリッジ電圧測定部を有し、前記出力電圧測定部にて測定した出力電圧値と前記正味ブリッジ電圧測定部にて測定した正味ブリッジ電圧値にて抵抗変位部Ｒ_Ｓの微小抵抗変化を算出するものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】この発明は、簡易な構成および操作でありながら、試料の電気的特性測定電極と測定対象物との間の接触抵抗を測定でき、検査の信頼性を向上できる接触抵抗測定機能を持った半導体特性測定装置を提供する。
【解決手段】この発明の接触抵抗測定機能は、測定電極と測定対象物Xとの接触点に非直流を供給する非直流電圧供給器と、測定電極と被測定対象物Xとの接触点における電圧を測定する非直流電圧測定器を有し、リアクタンス型電気結合器で非直流回路を構成し、直流回路はインダクターで非直流を遮断し、非直流による接触抵抗測定回路と、直流による半導体特性測定回路で相互に影響を及ぼさないで半導体特性測定と、探触子と試料との接触抵抗とを同時に測定可能にする。 （もっと読む）

【課題】 高周波測定装置によって検出された電圧と電流を高い精度で校正する方法を提供する。
【解決手段】 第１の３つの基準負荷の高周波測定装置による測定インピーダンスと真値とに基づいて、校正パラメータＸを算出し(Ｓ１，２)、校正パラメータＸを用いて校正した電圧信号と電流信号とに基づいて、プラズマ処理装置のインピーダンスを算出し(Ｓ３)、スミスチャート上で、Ｓ３で算出されたインピーダンスを含み、第１の３つの基準負荷のインピーダンスによって囲まれる範囲より狭い範囲を囲むことになる３つのインピーダンスを決定し(Ｓ４)、当該３つのインピーダンスをそれぞれ有する第２の３つの基準負荷の高周波測定装置による測定インピーダンスと真値とに基づいて、校正パラメータＸ’を算出し(Ｓ５，６)、検出された電圧信号と電流信号とを校正パラメータＸ、Ｘ’を用いて校正する(Ｓ７)。 （もっと読む）

【課題】アクティブ型表示パネルの画素に含まれる発光素子の容量を正確に測定することができる検査方法を提供する。
【解決手段】表示パネル３０が、発光素子３６と駆動ＴＦＴ３５のうち、駆動ＴＦＴ３５だけが実装された状態であるときに、駆動ＴＦＴ３５をＯＮにした状態で、当該駆動ＴＦＴ３５のゲート周りの容量を測定するＯＮ状態容量測定ステップ（Ｓ１１）と、表示パネル３０が、発光素子３６と駆動ＴＦＴ３５の両方が実装された状態であるときに、駆動ＴＦＴ３５をＯＦＦにした状態で、駆動ＴＦＴ３５と発光素子３６とを含む画素３１の容量を測定する画素容量測定ステップ（Ｓ１２）と、ＯＮ状態容量測定ステップ（Ｓ１１）で得られた容量と画素容量測定ステップ（Ｓ１２）で得られた容量とから、発光素子３６の容量を算出する算出ステップ（Ｓ１３）とを含む。 （もっと読む）

【課題】パネル基板に搭載されたＩＣへのデータ入力ラインに関係する抵抗の抵抗値を、簡便かつより正確に測定する。
【解決手段】ＩＣには、抵抗測定モードに切り替わる旨の制御電圧が入力されると、ロジック処理を行う処理ブロックへの全てのデータ入力回路３３−１〜３３−ｎを基準電圧ＶＳＳに接続させるスイッチ回路５１−１〜５１−ｎと、アナログ処理を停止させる制御回路５４とが設けられている。また、ＩＣの複数の基準電圧接続用端子に対して１つの基準電圧接続用配線１３１ｂを接続し、前記基準電圧接続用配線１３１ｂは、ＩＣに設けられているデータ入力用端子に接続されるデータ配線よりも配線幅が太くなるように形成されている。スイッチ回路により、ＩＣ内で、測定対象とされたデータ入力ラインを構成するデータ配線が接続されるデータ入力用端子が、複数の基準電圧接続用端子の少なくともいずれかと電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物が発熱して溶解するという不具合がなく、精度良く接触抵抗を測定する。
【解決手段】 コンデンサ２２に充電した電荷により放電回路２０に通電し、電圧検出用アナログ積分回路６１により測定対象抵抗Ａの両端電圧Ｖin１を時間積分し、電流検出用アナログ積分回路６２により標準抵抗２１の両端電圧Ｖin２を時間積分する。アナログ除算回路７０は、両端電圧Ｖin１の積分値を両端電圧Ｖin２の積分値で除算した値に相当する電圧Ｖdivをホールド回路８０に出力する。ホールド回路８０の出力電圧Ｖholdは、測定対象抵抗Ａの抵抗値Ｒｘと相関関係を有する電圧となるため、この電圧を測定して抵抗値Ｒｘを求める。 （もっと読む）

【課題】薄膜磁気抵抗効果膜等の薄膜について、その膜面に垂直方向の抵抗を高精度に計測することを可能にする薄膜の抵抗測定方法及びこれを用いた磁気抵抗効果膜の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１上にアモルファス層２５と、第１の導体層１３と、抵抗を測定する対象である薄膜３２と、第２の導体層２０とをこの順に積層して形成した抵抗測定用のサンプルを形成する工程と、前記サンプルの、前記基板１１上の最上層２１の表面に、抵抗測定用のプローブ１０ａ〜１０ｄを接触させ、前記薄膜の膜面に垂直方向の抵抗を測定する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】燃料電池の電流経路を流れる電流値を精度よく検出可能にする。
【解決手段】燃料電池の電流経路に、抵抗体を有する電流測定板１００を配置し、抵抗体の両端の電位差および記憶回路５０ａから取得した抵抗体の抵抗値に基づいて燃料電池の電流経路を流れる電流値を検出する電流測定装置の製造工程において用いられ、電流測定装置が燃料電池に組み付けられる前に抵抗体の抵抗値を測定する抵抗値測定装置であって、恒温槽２５０にて抵抗体の温度を所定の温度に設定し、定電流電源２３０および電流供給板２１０、２２０により抵抗体に定電流を供給し、検査用電圧センサ２６０にて抵抗体の電位差を測定する。そして、検査用信号処理回路２７０は、測定した測定電位差と供給される電流値とに基づいて抵抗体の抵抗値を算出するとともに、算出した抵抗体の抵抗値の情報および恒温槽にて設定された温度の情報を記憶回路５０ａに出力する。 （もっと読む）

【課題】ペア線等の組導線の抵抗測定を高精度に行うことができる組導線の抵抗測定装置および抵抗測定方法を提供すること。
【解決手段】抵抗測定装置１００は，４端子法による抵抗測定装置であって，可撓性を有する電圧測定系のプローブ２と，同じく可撓性を有する電流測定系のプローブ３とを備え，両プローブを互いに逆方向から被検体であるコイルのリード１２ａに巻き掛けている。その状態でプローブ２とプローブ３とが互いに引っ張り合うように，プローブ２およびプローブ３を互いに逆向きに移動させる。そして，プローブ２とプローブ３とがリード１２ａを引っ張り合った状態で，電圧値および電流値を測定する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ端部付近の測定位置に依存する測定値変動を正しく補正し、正確な値を求めることができる半導体ウェーハ抵抗率測定装置を提供する。
【解決手段】４探針抵抗率測定器を用いて半導体ウェーハ１２の抵抗率を測定する半導体ウェーハ抵抗率測定装置において、半導体ウェーハ１２の端部の抵抗率を測定する際、予めウェーハ端部１２ａから半径方向の直線上におけるＰ_ｎ、Ｐ_ｎ＋５、Ｐ_ｎ＋１５の位置の測定値に対し、各測定位置からウェーハ端部１２ａまでの距離Ｒと半導体ウェーハ上に生成される薄膜３１の端部３１ａまでの距離Ｒ’との差による誤差を考慮し、それぞれ異なる誤差の補正係数を乗じて各誤差に対応した補正値を求めると共に該補正値の標準偏差を求め、前記標準偏差が最小となる誤差を実際の誤差として決定する。 （もっと読む）

【課題】温度変化による抵抗変化を含まずに半田バンプ接続部の微小な抵抗変化を高い分解能により正確に検出可能とする。
【解決手段】マザーボード１０に実装されたＢＧＡパッケージ１２について、変形応力によるダメージを受け易い監視バンプ２０−１１と、変形応力によるダメージを受けにくい基準バンプ２０−１２を選択し、監視バンプ２０−１１に第１定電流源３０から一定電流を流すと共に、基準バンプ２０−１２に第２定電流源３２から同じ値の一定電流を流す。半田バンプ抵抗測定装置２８は、第１定電流源３０からの一定電流により監視バンプ２０−１１に発生する第１電圧から第２定電流源３２からの一定電流により基準バンプ２０−１２に発生する第２電圧を差し引いた差電圧を、監視バンプ２０−１１の抵抗変化を表す抵抗変動電圧として直流電圧計３４に表示する。
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【課題】太いプローブを使用することができる抵抗測定方法を提供する。
【解決手段】各々が被測定素子３と被測定素子３に電気的に接続された一対のパッド４とを有する複数組の被測定素子３に、４端子抵抗測定機能を有する測定装置１０を利用して被測定素子３の抵抗値を算出する抵抗測定方法において、前記複数組の被測定素子３を直列接続する試験用の電気接続パターン５を形成し、前記一対のパッド４に一対の電圧測定用プローブ１５を接触させ、前記一対のパッド４の各々と前記電気接続パターンで電気接続された一対のパッド４に一対の電流印加用プローブ１５を接触させることを特徴とする抵抗測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】消費電流を低減しつつ、微小な容量変化をより高速かつ高精度で検出することが可能な容量差検出回路を提供する。
【解決手段】容量差検出回路１００のタイミングジェネレータ１４は、電流切換スイッチ回路６の切換動作を制御する電流切換パルス信号を出力し、第１、第２の可変容量キャパシタ２、３に第１、第２の充電電圧が充電されている期間中にこの第１、２の充電電圧を検出するように、チョッパ型アンプ７を制御するゲートパルス信号を出力し、第１の充電電圧を検出する期間中にチョッパ型アンプ７の出力信号をサンプルホールドするように、第１のサンプルホールド回路８を制御する第１のサンプルパルス信号を出力し、第２の充電電圧を検出する期間中にチョッパ型アンプ７の出力信号をサンプルホールドするように、第２のサンプルホールド回路９を制御する第２のサンプルパルス信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】 ＣＯＧ部における接続抵抗を的確に把握することが可能な集積回路素子実装モジュールを提供する。
【解決手段】 アレイ基板ＡＲ上に形成された配線の接続端子に対して端子電極を電気的に接続することで集積回路素子であるＩＣチップ６が実装されている。ＩＣチップ６内部で電気的に接続される同一の電位を有する一対の端子電極６Ａ，６Ｂに対応して、アレイ基板ＡＲ上の配線の接続端子１１Ａ，１１Ｂが設けられ、これら接続端子１１Ａ，１１Ｂと接続されてＩＣチップ６の端子電極６Ａ，６Ｂ間の接続抵抗を検出するための実効抵抗検出端子１３Ａ，１３Ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】従来の方法では、配線の抵抗率を高精度で求めることができない。
【解決手段】配線評価装置１は、計算部２０、および推定部３０を備えている。計算部２０は、残留抵抗率比を求める計算手段である。残留抵抗率比は、被評価配線の残留抵抗率と基準配線の残留抵抗率との比として定義される。推定部３０は、残留抵抗率比と、基準配線について既知である配線パラメータとの関係に基づいて、被評価配線についての配線パラメータを推定する推定手段である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な設備構成により、プローブのコンタクトチェックと静電気対策部品の絶縁抵抗測定を同時に実施できる静電気対策部品の絶縁抵抗測定方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の静電気対策部品の絶縁抵抗測定方法は、第１のプローブ２６と第２のプローブ２７を静電気対策部品２５の上面に形成された第１の電極２２に接触させ、かつ第３のプローブ２８と第４のプローブ２９を前記静電気対策部品２５の上面に形成された第２の電極２３に接触させ、さらに前記静電気対策部品２５と並列接続関係にある外部抵抗３１は抵抗値が前記第２および／または第４のプローブ２７，２９のコンタクトミス時の絶縁抵抗測定値の５分の１以下のものを用いて前記静電気対策部品２５の絶縁抵抗を測定するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】高精度な測定および高効率な測定の双方を行い得る測定装置を提供する。
【解決手段】制御部１６が、回路基板１００の素子に接触している一対のプローブにおける接触端子３１ａと導線１３ａ，１３ｂとを接続させ、接触端子３１ｂと導線１３ｃ，１３ｄとを接続させ、電圧検出部１２と導線１３ｃ，１３ｄとを接続させる第１接続処理、およびプローブ２１ｆ，２１ｇの接触端子３１ｂと導線１３ｃとを接続させることによって素子１０１ｃ，１０１ｄを直列接続させ、プローブ２１ｅ，２１ｈの接触端子３１ａと導線１３ａ，１３ｂとを接続させ、電圧検出部１２と導線１３ａ，１３ｂとを接続させる第２接続処理を実行すると共に、第１接続処理後に１つの素子についての電気的パラメータを４端子法によって測定し、第２接続処理後に素子１０１ｃ，１０１ｄについての電気的パラメータを２端子法によって測定する。 （もっと読む）

【課題】二端子測定法よりも精度よく抵抗を測定できるとともに四端子測定法よりも簡単かつ低コストに抵抗を測定できる、抵抗測定装置およびそれを備える基板検査装置ならびに抵抗測定方法およびそれを備える基板検査方法を提供する。
【解決手段】基板検査装置１０は、定電流源２０の＋端を基板１００のランド１０４ａに接続するプローブ２４、電圧計２２の＋端を基板１００のランド１０４ｂに接続するプローブ２６、ならびにリード線３２，３４，３８ａおよびスイッチ３６ａ，３６ｃによって電気的に接続される定電流源２０の−端と電圧計２２の−端とを基板１００のランド１０６ａに接続するプローブ４０ａを含む。定電流源２０からの定電流はランド１０４ａと１０６ａとの間に供給され、これに伴って生じる電圧が電圧計２２によって測定される。ＣＰＵ４４は定電流と電圧計２２が測定した電圧とに基づいて抵抗を算出する。 （もっと読む）