【課題】電子部品の電極の導電性積層膜の膜厚を安価な装置で高速に測定する。
【解決手段】絶縁膜１上に上下に積層された導電層２，３（積層膜、例えばＮｉ層およびその上のＡｕ層）からなる半導体基板の電極に対して、段差を触針で測る場合やレーザ光を用いる場合など公知の方法で導電層２，３の厚さ（電極高さ）を測定するステップと、４端針法により電極の表面抵抗を測定するステップとを有し、二つのステップから得られた積層膜の膜厚（電極高さ）と表面抵抗値から、上下に積層した導電層２，３からなる電極の上部皮膜である導電層３の膜厚を計算式から算出する。 （もっと読む）

【課題】保守作業の効率化を図ることができる４探針抵抗率測定装置を提供すること。
【解決手段】少なくともプローブユニット６及び測定ユニット７を含む複数のユニットにより構成される４探針抵抗率測定装置であって、ユニット毎に複数の不揮発性メモリを搭載し、パーソナルコンピュータ１により、この不揮発性メモリに当該ユニットに関する保守情報を定期的に書き込み、上記保守情報を不揮発性メモリから読み出すものである。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームの離間距離をより広げられるようにする。
【解決手段】４端子対法による計測を行うため、電流プローブＰ１，Ｐ２および電圧プローブＰ３，Ｐ４の測定部２０に至る電気配線に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を用い、同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の外部導体Ｓ同士を導通手段７０を介して相互に接続し、可動アーム３１，３２のＸ−Ｙ方向の動きに追従して伸縮するパンタグラフ構造の伸縮手段６０を介して可動アーム３１，３２の間のほぼ中間位置に支持される同軸ケーブル保持手段５０により同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を束ねた状態で保持し、同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４の各内部導体ＩＬをそれぞれ変形可能な例えば板バネ８１からなる電気的中継手段８０を介して対応するプローブＰ１〜Ｐ４に接続する。 （もっと読む）

【課題】検査精度を向上させつつ検査効率を向上させる。
【解決手段】検査対象の抵抗器１００に交流定電流Ｉｍを供給して抵抗器１００の抵抗値Ｒｍを測定する測定処理を実行する測定部１４と、上下限値Ｒａ，Ｒｂと抵抗値Ｒｍとを比較して抵抗器１００に対する良否検査を実行する制御部１９とを備え、制御部１９は、測定部１４によって測定処理が実行される測定レンジの上限値が規定値Ｒｒ３以下のときには、良品サンプル１００ａが回路基板に搭載されている状態において測定されるべき第１抵抗値Ｒｒ１と測定部１４によって測定された良品サンプル１００ａの第２抵抗値Ｒｒ２との差分値を補正値Ｒｃとして求め、抵抗器１００の抵抗値Ｒｍを補正値Ｒｃで補正する補正処理を実行し、補正後の抵抗値Ｒｍを用いて良否検査を実行する。 （もっと読む）

【課題】抵抗検出体の面直方向の抵抗を正確に検出する抵抗測定装置および抵抗測定方法を提供する。
【解決手段】抵抗測定装置１は、抵抗検出体２の面直方向の抵抗を測定する第１部位に第１電流を印加する第１電流印加手段５と、第１部位よりも外周側であり、第１部位を取り囲むように設けた第２部位に、抵抗検出体２の面内方向における第１部位と第２部位との電位差が略ゼロとなる第２電流を印加する第２電流印加手段６と、第１電流と第２電流とが印加された時の第１部位間の第１電圧を検出する第１電圧検出手段７とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームの離間距離をより広げられるようにする。
【解決手段】電流プローブＰ１，Ｐ２および電圧プローブＰ３，Ｐ４の測定部２０に至る電気配線に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を用い、一方の可動アーム３２のプローブ支持部３２ａに第１電流プローブＰ１と第１電圧プローブＰ３とを、また、他方の可動アーム３１のプローブ支持部３１ａに第２電流プローブＰ２と第２電圧プローブＰ４とを支持させ、例えば可動アーム３２側にプローブ支持部３１ａ，３２ａの上方に配置されるケーブル支持基板３３を設け、各同軸ケーブルＣの一端側を、それらの外部導体Ｓを所定の導通手段により接続してケーブル支持基板３３に固定するとともに、各同軸ケーブルＣの内部導体ＩＬを、変形可能な電気的中継手段５０を介して対応するプローブＰに接続する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームを自由に動き得るようにする。
【解決手段】４端子対法による計測を行うため、電流プローブＰ１，Ｐ２および電圧プローブＰ３，Ｐ４の測定部に至る電気配線に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４を用いるとともに、所定の導体１００に接触して互いに導通する第５，第６のプローブＰ５，Ｐ６をさらに備え、第１可動アーム３２側に第１電流プローブＰ１，第１電圧プローブＰ３および第５プローブＰ５を設けて、これらの各プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５をリード線５を介して接続し、第２可動アーム３１側に第２電流プローブＰ２，第２電圧プローブＰ４および第６プローブＰ６を設けて、これらの各プローブＰ２，Ｐ４，Ｐ６をリード線５を介して接続する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置で４端子対法による測定を行うにあたって、各可動アームの離間距離をより広げられるようにする。
【解決手段】４端子対法による計測を行うため、電流プローブＰ１，Ｐ２および電圧プローブＰ３，Ｐ４の測定部２０に至る電気配線に同軸ケーブルＣ１〜Ｃ４が用いられ、一方の可動アーム３２側に、第１の電流プローブＰ１と第１の電圧プローブＰ３とを、それらの各同軸ケーブルＣ１，Ｃ３の外部導体Ｓ間をリード線５により電気的に接続した状態で取り付けるとともに、他方の可動アーム３１側に、第２の電流プローブＰ２と第２の電圧プローブＰ４とを、それらの各同軸ケーブルＣ２，Ｃ４の外部導体Ｓ間をリード線５により電気的に接続した状態で取り付け、同軸ケーブルＣ３の外部導体Ｓと同軸ケーブルＣ４の外部導体Ｓとを金属製のコイルバネ５ａを介して互いに電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】複数個のネットの直列接続回路内のスイッチのオン抵抗値をキャンセルし、真の抵抗値に基づいて高精度な導通検査を行う。
【解決手段】電圧検出手段１２の両端に、複数個のスイッチを介して複数個のネットを直列に接続し、電流源１１からネットの直列接続回路に流れる電流を電流検出手段１３により検出すると共に電圧検出手段１２により前記直列接続回路の両端電圧を検出し、演算手段が、電流・電圧検出値から前記直列接続回路の合成抵抗値を算出してその大きさにより前記直列接続回路の導通状態を検査する導通検査方法において、演算手段は、前記直列接続回路内に存在する複数個のスイッチＳ_１，Ｓ_２，４１，４２によるオン抵抗合計値を演算し、これを前記合成抵抗値から減算した値を真の抵抗値として前記直列接続回路の導通状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】電気的パラメータを短時間で正確に測定する。
【解決手段】測定部２が、測定対象体１００についての電気的パラメータを四端子法に従って測定する際には、短絡スイッチ４，５の双方が切断された状態において測定処理を実行して、プローブ１１〜１４を利用して電気的パラメータを測定し、測定対象体１００についての電気的パラメータを二端子法に従って測定する際には、短絡スイッチ４，５の双方が接続された状態において測定処理を実行して、プローブ１１，１３の少なくとも一方と、プローブ１２，１４の少なくとも一方とを利用して電気的パラメータを測定する。 （もっと読む）

【課題】高い周波数の測定電流で被測定回路基板を検査する際の発生磁束による測定誤差を低減する。
【解決手段】少なくとも２つの可動アームと、可動アームに支持され測定時に被測定回路基板Ｐに対する測定電流供給経路内に対として含まれる２つの電流用プローブ３，４と、各電流用プローブ３，４がそれぞれ電気配線８ａ，８ｂを介して接続される測定部６とを含み、各電流用プローブ３，４を被測定回路基板Ｐの被測定部位に接触させた状態で、測定部６より各電流用プローブ３，４を介して被測定回路基板Ｐに測定電流を供給して被測定部位間の電気的パラメータを測定するにあたって、各電流用プローブ３，４を一つの可動アーム３ａに支持させるとともに、測定部６から各電流用プローブ３，４に至る各電気配線８ａ，８ｂを同じ配線経路に沿って配線することにより、電流用プローブ３，４間に形成される測定ループを小さなものとする。 （もっと読む）

【課題】局所的な液体の存在量を高精度の空間分布で計測するとともに、液体が薄い液膜の場合でも適切に高精度に計測することができるインピーダンス計測センサを提供する。
【解決手段】一方の電極である励起電極２１及び他方の電極である計測電極２２からなる電極対２５の複数個と、励起電極２１の基準電位と同じ電位に保持したグランド領域２３と、励起電極２１、計測電極２２及びグランド領域２３間を電気的に絶縁する絶縁部２４とを有するインピーダンス計測センサであって、絶縁部２４は、周囲をグランド領域２３に囲まれてそれぞれ独立した絶縁領域を形成しており、各電極対２５のうち同一電極対における励起電極２１と計測電極２２との間には絶縁領域のみが形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造時に発生する不具合を減少しつつ、回路面積を縮小可能なチップレイアウトを設計する。
【解決手段】本発明による半導体装置は、電流源接続用の第１パッド１と、一端が、第１パッド１に接続され、他端が、基板２０と同じ導電型の拡散層２１を介して基板２０に接続されたヴィアチェーンと、電圧測定用の第２パッド２及び第３パッド３とを具備する。ヴィアチェーンは、第１パッド１及び第２パッド２が接続される第１配線４と、一端が第１配線４に接続され、他端が第３パッド３に接続された、抵抗測定対象となるヴィア又はコンタクト６とを備える。 （もっと読む）

【課題】オフセット電圧の変動の影響を軽減して検査対象回路部品を精度よく検査する。
【解決手段】ガード電圧印加部１４は、抵抗４１に対する検査時において抵抗４１の一端Ａに現れる端子電圧Ｖｔを入力すると共に端子電圧Ｖｔに対して設定された補償電圧Ｖｃを加算して加算電圧Ｖａｄとして出力する電圧補償部２１、および加算電圧Ｖａｄを入力してガード電圧Ｖｇとして出力する差動増幅器２２を備えてこのガード電圧Ｖｇを抵抗４１に並列に接続された直列回路における中間接続点Ｃに印加するように構成され、処理部８は、抵抗４１に対する非検査時において、端子電圧Ｖｔに代えて基準電圧Ｖｒｅｆを電圧補償部２１に入力させると共に基準電圧Ｖｒｅｆとガード電圧Ｖｇとの差電圧（Ｖｒｅｆ−Ｖｇ）を検出して、検出した差電圧（Ｖｒｅｆ−Ｖｇ）を電圧補償部２１に対して補償電圧Ｖｃとして設定する電圧設定処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】探針バイアス方法を用いても高抵抗の半導体薄膜の抵抗率をより正確に測定することができる薄膜抵抗測定装置を提供する。
【解決手段】薄膜の抵抗率を測定するための薄膜抵抗測定装置１００であって、所定の間隔で離間され、薄膜に接触させて薄膜に所定の定電流を供給するための第１端子１及び第２端子２と、薄膜に接触させて薄膜に所定のバイアス電圧を印加するための第３端子３と、第１端子１及び第２端子２に接続された定電流源１３と、第１端子１及び第２端子２と、第３端子３とに所定のバイアス電圧を供給するためのバイアス電圧印加部１４とを備え、第１端子１は第２端子２に対して高電位であり、第３端子３は、第１端子１を囲むように、ループ状に構成されている、又は、当該第３端子３と第２端子２とによって平面を構成するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】位相に不連続を生じさせずに信号を生成する。
【解決手段】処理部６は、一の通過帯域の周波数の第１信号Ｓ１を第１ＤＤＳ３２で生成し、フィルタ３５を介して出力信号Ｓｏとして出力させている状態において、出力信号Ｓｏの周波数を一の通過帯域に隣接する他の通過帯域（フィルタ３６の通過帯域）の他の周波数に変更する際に、第１切替部３４に対する切替制御を実行して第２ＤＤＳ３３をフィルタ３６に接続すると共に、周波数設定制御を実行することによって各ＤＤＳ３２，３３から出力される各信号Ｓ１，Ｓ２の周波数を一の通過帯域と他の通過帯域との重複する帯域の共通周波数に設定し、次いで、第２ＤＤＳ３３に対する位相設定制御を実行して第２信号Ｓ２の位相をフィルタ３５から出力されている第１信号Ｓ１の位相に一致させた後に、第２切替部３９に対する切替制御を実行して、出力信号Ｓｏを第１信号Ｓ１から第２信号Ｓ２に切り替える 。 （もっと読む）

【課題】 従来の日本工業規格Ｋ７１９４に基づくシート抵抗用測定端子を用いた測定では、測定後に抵抗率補正係数を掛けて測定値を補正する必要があり、装置コストや手間、誤認といった問題があった
【解決手段】４端子法を用いて、薄膜の抵抗測定を測定するために用いる測定用端子において、測定した電圧値を電流値で除したものと薄膜のシート抵抗値とが等しくなるように４本の測定用端子位置を固定した。このことにより、測定の読み取り値がそのままシート抵抗値を示すこととなり、演算のための装置が不要となり、測定時における誤認が防げるようになった。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェーハ上の高濃度にドープされたエピタキシャル層の抵抗率であっても、従来に比べて正確且つ容易に測定することができるエピタキシャル層の抵抗率の測定方法を提供する。
【解決手段】シリコン単結晶ウェーハ上に形成されたエピタキシャル層の抵抗率を測定する方法であって、少なくとも、エピタキシャル成長装置に、モニターウェーハとしてＳＯＩウェーハを投入し、該ＳＯＩウェーハのＳＯＩ層上に、前記シリコン単結晶ウェーハの主表面に成長させるエピタキシャル層の成長条件と同一条件でモニターエピタキシャル層を成長させ、その後、前記モニターエピタキシャル層の膜厚及び抵抗値を測定して前記モニターエピタキシャル層の抵抗率を算出し、該算出された抵抗率を、前記シリコン単結晶ウェーハの主表面に成長させる前記エピタキシャル層の抵抗率とすることを特徴とするエピタキシャル層の抵抗率測定方法。 （もっと読む）

【課題】薄膜の保護層（絶縁層）を被覆した面抵抗体でも、面抵抗を簡単かつ短時間に測定でき、局所的な電極部分の面抵抗から大きな面積の導電膜の面抵抗、さらに抵抗分布といった電極の面抵抗測定ができる座標入力パネル用評価装置を提供する。
【解決手段】座標入力パネル１の絶縁層上に測定用電極６を対向して設置し、測定用電極６に接続された信号発生回路７から生成されたＡＣ信号が測定用電極６に印加され、面抵抗体の間で容量結合しＡＣ信号が面抵抗体に流すようにして、抵抗性周囲電極２を介して引き出し線接続用端子部２ａ〜２ｄに接続された信号測定回路８で測定した各々のＡＣ信号値を演算装置９において合計値とし面抵抗体の面抵抗値を算出し、各々の４頂点から測定された信号値の比率から面抵抗分布の均一性を判断する手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】測定対象のコンクリートの体積抵抗率を、このコンクリートを破壊せず、且つ容易な方法で測定し、この測定結果より、コンクリートの塩害による劣化のしやすさの診断を行うことができるコンクリートの体積抵抗率の測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】測定対象のコンクリート１０に対して、交流電流を流す２つの電流電極２Ａと、前記電流電極２Ａの間で交流電位差を測定する２つの電位差電極２Ｂを、直線状に且つ等間隔に設置し、前記コンクリート１０の体積抵抗率を測定する測定方法において、電流電極２Ａ及び電位差電極２Ｂの端部を、コンクリート１０に接触する接触ステップと、端部に設置した、導電性を有し且つ多孔質性を有する電極材料３に、電解質の溶液を供給する電解質溶液供給ステップと、電流電極２Ａに電流を流し、電位差電極２Ｂで交流電位差を測定する測定ステップを有する。 （もっと読む）