【課題】高感度に分解ガスを検出できるＣＮＴガスセンサを、ＧＩＳの設備診断におけるオフライン検査に利用する。
【解決手段】絶縁ガスが封入された密閉容器３１と、絶縁ガスを通気する通気口３２と、通気口３２に接続し絶縁ガスを導通する導管３３と、導管３３の中途部に配設され絶縁ガスの導通を調節するバルブ３４とを備えるガス絶縁開閉装置３０の設備診断を行う分解ガス検出装置であって、導管３３端部の開口部から供給される絶縁ガスが、真空又は負圧状態で導入される気密性容器２０と、気密性容器２０内に配設され、不平等電界を発生する縁部が設けられた一対のマイクロ電極と不平等電界にしたがったカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の架橋構造とを有し、ＣＮＴが絶縁ガスの分解により発生する分解ガスを吸着し、吸着により生じるマイクロ電極間の電気的特性の変化に基づいて分解ガスを検出するＣＮＴガスセンサ１とを備える。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】有機化合物を簡易に検出する技術を提供する。
【解決手段】ガスセンサ用材料は、有機化合物を取り込むと膨張する粘土鉱物と、導電性粒子とが混合されている。粘土鉱物は、ケイ酸塩鉱物であってもよい。ケイ酸塩鉱物は、スメクタイト、バーミキュライト、カオリナイトおよびアロフェンからなる群から選ばれる少なくとも一種以上の物質を含んでもよい。また、ケイ酸塩鉱物は、モンモリロナイトおよびハロサイトの少なくともいずれかであってもよい。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの化学化合物を検出するためのデバイスであって、このデバイスが、いくつかのグラフェン層を有する少なくとも１つのカーボンナノチューブを含み、そこに化学化合物と反応できる基Ｇ_１またはこうした基Ｇ_１の前駆体を保持する少なくとも１つの分子がグラフトされている、デバイスに関する。本発明はまた、こうしたデバイスの使用およびこうしたデバイスの調製方法に関する。 （もっと読む）

【課題】燃焼ガス排出物のような混合物の２種以上の成分を同時に分析して、たとえば、混合物中のガスのいずれをも分離する必要もなくガスをセンサーに直接接触させることにより生成させたデータだけから濃度を算出する。
【解決手段】化学的センサーおよび化学的センサーアレイを用いて多成分ガス系内のＮＯ_ｘ、炭化水素、一酸化炭素、酸素などの種々のガスの濃度を分析、感知、および測定する方法および装置である。センサーおよびセンサーアレイは、化学的／電気的活性物質を用いてガスの存在を分析および検出する。 （もっと読む）

【課題】ガスライターの内炎ガス中に含まれるＣＯとＨ₂ を点検ガスとして使用して、雑ガスによる誤動作を生じることなく点検を行える複合型ガス警報装置を提供する。
【解決手段】第１の点検手段１０ａ−１は、点検期間中に不完全燃焼を示す警報信号を出力して不完全燃焼を検出警報する機能を点検する。第２の点検手段１０ａ−２は、点検期間中に過渡部と低温部で出力を検出し、過渡部での出力が点検レベルに達したときガス漏れを示す警報信号を出力してガス漏を検出警報する機能を点検する。第２の点検手段１０ａ−２が有するＨ₂ 点検レベル設定手段１０ａ−２１は、第１の点検手段が低温部で検出した出力が予め定めた設定変更判定レベルに達するまで、Ｈ₂ 点検レベルを、過渡部で検出される出力が到達しない高レベルに設定し、設定変更判定レベルに達した後、Ｈ₂ 点検レベルを、過渡部で検出される出力が到達する低レベルに設定する。 （もっと読む）

新規なガス分析システム、およびガス試料中の検体を同定する方法を提供する。このシステムは、複数のガス分析テクノロジを用い、ガス試料を分析するために複数のガス分析テクノロジから得られる組み合わせた定性的かつ定量的なデータを使用する。
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【課題】分解ガスの蓄積量の測定が可能な被検ガス蓄積型ガスセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】被検ガス蓄積型ガスセンサ１０は、固体電解質１１、固体電解質１１の一方の側に設置された検出電極１２、固体電解質１１の他方の側に設置されて検出電極１２と対向する対向電極１３、電源１４、電流検出器１５、接続電線１６、および筐体１７から構成されており、検出電極１２は、導電性金属と吸着剤とを含む多孔性の材料から形成されていて、そのために電極としての導電性と被検ガスを吸着して経時的に蓄積保持する機能をなし、対向電極３との間の電気抵抗の経時変化を測定することにより、検出対象物の所定期間における発生量を時間に関して積分した値、即ち、蓄積量を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】吸着剤の交換などのメンテナンスを不要した有機溶媒に起因する誤警報を低減したジクロロエチレンを対象とするガス警報装置を提供すること。
【解決手段】ジクロロエチレンを検出するのに適したガスセンサ１、要監視環境の大気を吸引してガスセンサ１に給送するサンプリングポンプ２、及びガスセンサ１からの信号に基づいてジクロロエチレンが規定の濃度に到達した時点で発音体などの警報手段を作動させる警報回路３を備えたガス警報装置において、ガスセンサ１よりも上流側の流路５−１、５−２に平均細孔径６ｎｍ以上のシリカゲル粒子を吸着剤としたフィルタ６が接続されている。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも高感度で水素ガス、酸ガス等を検出することが可能な、プロトン受容型ガスセンサーの駆動方法、ガス検出方法、及びプロトン受容型ガスセンサー装置を提供すること。
【解決手段】
プロトン受容型ガスセンサーを駆動する方法であって、プロトン受容型ガスセンサーは、窒素原子を含む複素環を導入した有機化合物を含有するガス感応部、及び当該ガス感応部に接する一対の電極を有し、電極間に、極性が交互に反転する電圧を印加することを特徴とするプロトン受容型ガスセンサーの駆動方法。 （もっと読む）

【課題】 工場内等の空気中に含まれる有害ガスの濃度をその成分に依らずに連続的に監視し、そのときの最新の状態を管理者等に分かり易く報知する。
【解決手段】 ｎ種の基準ガスをｍ個のセンサ素子で測定した結果に基づき、そのｍ個のセンサによる検出出力により形成されるｍ次元空間内にｎ本の基準ガス濃度曲線を作成しておく（Ｓ１、Ｓ２）。所定の測定時間間隔毎に採取した大気を測定した結果をｍ次元空間内に位置付け、その測定点と基準ガス濃度曲線との関係から各基準ガス相当の濃度を求め、各基準ガス毎の嗅覚閾値から臭気指数を求める（Ｓ３〜Ｓ５）。そして、各基準ガス相当の臭気指数から全基準ガスを考慮した総臭気指数を求めた後、その値と既知の許容限度臭気指数とから、１日及び１週の作業時間を考慮した許容限度に対する％表示でその時点での有害ガスの許容度を算出して表示する（Ｓ６〜Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】測定ガスに対して、高感度で高速に応答し、安価で、製造が容易なカーボンナノチューブセンサとその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のカーボンナノチューブセンサは、半導体カーボンナノチューブ材料２と金属電極１ａ，１ｂ間にショットキー接合部６が形成されていることを主要な特徴とする。また、その製造方法は、半導体カーボンナノチューブ材料２と金属の仕事関数を測定ガス雰囲気下でそれぞれ測定し、ｐ型又はｎ型に応じて金属の仕事関数と比較して仕事関数の大きな又は小さな半導体カーボンナノチューブ材料２を選び、この金属電極間に架橋することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基体上に形成した厚膜状のガス検知層と基体との間に導電性を有する密着層を形成し、ガス検知層の密着性を維持することができるガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 発熱抵抗体５に対応する位置の保護層３４上に、酸化物半導体からなる多孔質性のガス検知層４が形成される。また、ガス検知層４と保護層３４との間には、ガス検知層４の主成分を主成分とした導電性の密着層７が薄膜形成される。厚膜形成されるガス検知層４は保護層３４への密着性に劣るが、密着層７がガス検知層４の表面上の凹凸を埋めるように接触面全体に広がるため、両者の密着性は高められる。さらに密着層７とガス検知層４とは主成分が同じであり、互いの構成成分が混合されて混合層７１を形成するため、密着性がより向上する。 （もっと読む）

本発明の課題は、イオン移動度分光計ＩＭＳの欠点を排除または最小化した上述の障害物質を検出する方法およびシステムを開発することである。ここで本発明によれば、試験ガス流がＩＭＳ（２）のほか複数の検出器へ達する前に試験ガスと基準ガスとを混合して供給する。次に調量前の測定ガス路（８）のガス流と基準ガスのガス流との比に関して得られた測定信号を用いて測定ガス中の元の障害物質濃度を計算する。さらにあらかじめ定義および記憶された測定値との信号レベルの簡単な比較またはパターン識別を行ってアラームをトリガする。また基準ガスおよび必要な付加的な洗浄ガスを供給することにより測定装置の洗浄も行われる。こうした方法およびシステムは周囲空気中の障害物質の識別に使用される。
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たとえば、ＨＦ、ＮＦ_３等を用いたエッチング洗浄を受けている半導体処理ツールの排出物など、フッ素を含むガスにおけるフッ素含有種を検出するためのガス検出器およびプロセス。好ましい構造配置における検出器は、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）ベースのデバイス構造、および／または、検知成分として、かつ任意に、高温検知が要求されるときには熱源として機能する独立金属要素を用いる。独立金属要素は、標準チップキャリア／デバイスパッケージに直接製造して、パッケージが検出器のプラットフォームとなるようにすることができる。
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【課題】 流体中のアナライトを検出するためのセンサアレイの提供。
【解決手段】 電気的測定装置に電気的に接続された少なくとも第１の化学的感受性レジスタと第２の化学的感受性レジスタとからなり、流体中のアナライトを検出するためのセンサアレイであって、それらの化学的感受性レジスタのそれぞれが非導電性有機ポリマー及びその非導電性有機ポリマーと組成的に異なる導電性物質の混合物を含み；それぞれのレジスタが非導電性有機ポリマー及び導電性物質の前記混合物を通る電気経路、第１の濃度で第１の化学アナライトを含む第１の流体と接触したときに第１の電気抵抗、及び第２の相異なる濃度で該化学アナライトを含む第２の流体と接触したときに第２の電気抵抗を与え；第１の化学的感受性レジスタの第１の電気抵抗と第２の電気抵抗との差が、第２の化学的感受性レジスタの第１の電気抵抗と第２の電気抵抗との差と相異なる；ことを特徴とするセンサアレイ。
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フッ素を含有するガス内のフッ素含有化学種などの対象ガス種、例えば、ＨＦ、ＮＦ_３等によるエッチ洗浄を受ける半導体処理ツールの排出物を検出するためのガス検出器及び方法。一の態様のガス検出器は、フッ素含有化学種に対し感受性のニッケル含有フィラメントを使用し、このフィラメントは、高温の検知が必要なとき、検知構成要素及び熱源の両方として機能できる。一の態様のガス検出器は、支持構造に垂直に装着されることができる細長いガスセンサ要素を使用する。このような細長いガスセンサ要素を支持構造に垂直に装着することにより、信号強度が相当高められ、応答時間が低減され、ガス検出器のフットプリントが最小にされ、またこのようなガスセンサ要素の熱膨張／収縮を受け入れるための構造的な柔軟性が提供される。

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