顕微鏡対物レンズ視野内の振動対象物表面部分上へ目的波面を指向し、視野内表面部分から反射された変調目的波面を光屈折性材料中へ指向するようにそれぞれ配置された目的波面供給源及び光学顕微鏡対物レンズと、基準波面を位相変調器中へ指向し、及び位相変調器からの変調基準波面を光屈折性材料中へ指向して変調目的波面との干渉を起こすようにそれぞれ配置された基準波面供給源及び少なくとも１台の位相変調器とを備える撮像システム。光屈折性材料は、変調目的波面と変調基準波面との干渉が光屈折性材料中で起こり、顕微鏡対物レンズ視野内表面部分の全視野リアルタイム画像信号を生成するような組成を有し且つ位置にある。
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【課題】管体の非破壊評価をより正確に行い得る非破壊評価装置及び非破壊評価方法を提供する。
【解決手段】本発明の管体の非破壊評価装置は、管体としてのパイプ１に超音波を入射する発信センサ２ａ、２ｂと、パイプ１を伝播する超音波に基づくガイド波を受信する受信センサ６と、ガイド波を円周方向分布が異なるモードに分離し、各モードに理論的に求められる分散曲線データを加えることにより任意時刻の空間波を算出した後、空間波によりパイプ１の評価画像を得るパソコン５とを備えている。 （もっと読む）

本発明は、エッチング終了後のウエハ基板に照射面積０．００００１ｃｍ^２〜１ｃｍ^２の強度またはエネルギーが時間的に変調された電子線を照射する手段と、該電子線照射によるウエハ基板に励起する基板電流強度または音波強度の該電子線とウエハ基板面の相対角度依存性を検出する手段、その検出手段によりエッチング結果、特にコンタクトホール形成の開口性および形状の良否を判定し、後続するウエハに対するエッチング処理の停止指示、エッチング処理条件の修正指示あるいは処理条件の自動修正を行う手段とを有することを特徴とするエッチング装置を提供するものである。
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【課題】
従来の方法では不可能であったマイクロビーム照射による照射像の二次元的な形状を、長寿命な素子で、高分解能（時問・空間）に計測することにある。
【解決手段】
長寿命な素子で、高分解能（時間・空間）に計測する手段として、表面弾性波を効率的に誘起・伝播する特性を持ち、放射線に対して耐性をもつ物質にマイクロビームの形状を持つ放射線を照射することにより励起される表面弾性波を検出することにより、マイクロビーム照射による照射像の二次元的な形状を、計測する。 （もっと読む）

【課題】 非検査体の表面の傷やひび割れは、検査に手間がかかり、又、非検査体の内部の傷やひび割れの検査も作業に手間がかかるという点である。
【解決手段】 非検査体１は支持部材２で支持され、この支持部材２にランジュバン型の超音波振動子３のホーン４が固着され、又、この超音波振動子３は金属ブロック５、６で圧電体振動子７が挟持され、金属ブロック５にホーン４が一体に構成され、又、圧電体振動子６に発振器８が接続されている。 （もっと読む）

【解決すべき課題】 汚損され粗な表面の振動の非接触検出に適し、小型で取り扱いが簡
便で、かつ安価な振動検出手段を提供して、構造物を効率よく検査できる方法、および装
置を実現すること。
【解決手段】 音波を発生して検査対象表面に照射し、対象表面の近傍で音響インテンシ
ティーを測定して、測定された音響インテンシティーに基づいて検査対象の状態を推定す
ることからなる音響式検査方法、そのために用いられる装置。 （もっと読む）

【課題】下水管路や農水管路等を構築している埋設管や陶管などの埋設管の劣化度合を高精度で検査する。
【解決手段】供試管に外部から加える力とそれによって発生する供試管の変形との関係を示す力−変形関係（例えば荷重−変位曲線）から得られるパラメータと、供試管に衝撃弾性波試験を行うことにより得られる衝撃弾性波試験データ（例えばスペクトル分布の低周波面積比）との相関関係を予め求めておき、検査対象管に対して衝撃弾性波試験を行って検査対象管の衝撃弾性波測定データを採取し、その実測の衝撃弾性波測定データを、前記前記力−変形関係から得られるパラメータと衝撃弾性波試験データとの相関関係を基に評価することにより検査対象管の劣化度合を定量的に把握する。 （もっと読む）

【課題】 被検体の良否に関する判定誤差が少なく、微小な欠陥も検知・判定することができる良否判定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 上記目的を達成するための装置は、被検体を流体の噴流によって加振する加振手段と、前記加振手段によって加振された被検体の振動波形を検出する振動センサと、前記振動センサによって検出された振動波形からサンプル波形を切り出す波形切り出し手段と、前記波形切り出し手段によって切り出されたサンプル波形を基に被検体の振動に対する特徴量を算出する特徴量算出手段と、前記特徴量算出手段によって算出された特徴量を被検体の良品サンプルの特徴量を入力して構築した境界学習型ニューラルネットワークに入力して前記被検体の特徴量と良品サンプルの特徴量との差異を求め、当該差異が閾値の範囲内であるかを判定する判定手段と、前記判定手段による判定結果を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】下水管路や農水管路等を構築している埋設管や陶管などの埋設管の劣化現象の区別を高精度で検査する。
【解決手段】埋設管の劣化状態を管内部から検査する方法において、衝撃弾性波試験を行って検査対象管の伝播波を測定し、この伝播波について周波数スペクトルを解析し、その周波数スペクトルの少なくとも第１周波数区間（例えば０．５〜４ｋＨｚ）のスペクトル面積値と第２周波数区間（例えば０．５〜１０ｋＨｚ）のスペクトル面積値を評価して埋設管の劣化状態の区別を判定する。 （もっと読む）

本発明は、音響光学成分の周波数に等しい周波数のポンプ波（ＰＭＰ）と信号波（ＳＩＧ）の音響光学成分の干渉から生じる複素屈折率格子をダイナミックホログラフィック材料（９）に刻む段階を有する音響光学イメージング方法に関する。
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【課題】 鉄筋コンクリート構造物の鉄筋の位置を非破壊で測定する音響診断・測定装置、及び、その方法を提供する。
【解決手段】 鉄筋１１ａを覆うコンクリート１１ｂの表面にコイル１２を配置し、コイル１２に電流パルスを印加して磁場パルスを発生させ、磁場パルスによって鉄筋１１ａに渦電流を誘起させ、渦電流と磁場パルスとの相互作用力により鉄筋１１ａを励振させて音響を発生させ、コンクリート１１ｂの表面に配置した複数の音響変換器１４ａ、１４ｂ、１４ｃによりそれぞれ、上記音響の伝搬遅延時間を測定し、これらの伝搬遅延時間から鉄筋１１ａの位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、エスカレーターのハンドレールの診断に係わり、特に、層状の複合物質で構成され、内部に抗張体を有するハンドレールの内部の層間剥離状況をエスカレーターの稼働状態で診断することを目的とする。
【解決手段】エスカレーター２のハンドレール３劣化診断方法において、ハンドレール３内の構成物質間層間剥離を原因とする空隙３２による異常音響の発生箇所が打撃手段５による打撃を開始してから何回目であるかで場所を特定し、その異常打撃音の継続状態から、劣化箇所進行状況を推定することを特徴とする。前記機能を実現するハンドレール診断装置１として、打撃手段５、音響検出手段６、信号処理部７、記憶部８、演算部９、画像表示部１０で構成する。 （もっと読む）

【課題】埋設管路の相互に接続された各管体に対し衝撃弾性波試験を順次に行い、各試験における受振波の周波数スペクトルを解析・判定して劣化診断を行う場合、管内水量が在っても、その水量に見合った周波数スペクトルの補正によって統一基準で劣化診断を行い得るようにし、水抜き作業の省略による作業の容易化を可能にすることにある。
【解決手段】管内に水量が存在する状態の埋設管の所定の内面箇所にハンマーＡで弾性波を入力し、その入力箇所から所定の間隔を隔てた管内面箇所で振動センサーＢにより伝播弾性波を受振すると共に水位計５で管内水位を測定し、この受振波の周波数スペクトルの強度値を予め求めた管内水位に対する補正係数で補正してその受振波の基準水位に対する周波数スペクトルを求め、この周波数スペクトルを解析して埋設管の劣化診断を行う。 （もっと読む）

産業プロセスで用いられる診断装置（１００）は、産業プロセス内の状態あるいは他の出来事を分析または識別するように形成された監視電子機器あるいは診断回路を含む。システムは、流量計などのプロセス装置内、および１つの例である音響式流量計内で実施される。変換器も使用され、共振周波数などの周波数レスポンスが観察される。
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