【課題】受光部による被検査物の穴欠陥の過剰検出を確実に防止して、穴欠陥の有無、及び穴欠陥があった場合のその位置の検出を精度良く行うことができる穴欠陥検出装置及び穴欠陥検出方法を得る。
【解決手段】投光部２と受光部３との間に被検査物を該受光部３の配列方向と直行する方向に進入させて、投光部２から照射されて該被検査物の穴欠陥１ａを透過した光を上記受光部２によって順次検出する構成の穴欠陥検出装置において、投光部２と被検査物との間の空間及び受光部３と被検査物との間の空間４のうち少なくともいずれか一方の空間に、投光部２及び／又は受光部３から被検査物の方向に立ちあがって該空間を縦に仕切る複数の遮光板５を並設する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、製造時にフィルムに生じた欠陥を精度良く検出できるフィルム検査装置を提供することにある。
【解決手段】検査装置１０は、フィルム１２に光Ｌ１、Ｌ２を照射して正反射光を形成させる光照射装置１６と、欠陥を検出するためのセンサ１８とを備える。フィルム１２には光の帯２２が生じ、センサ１８はその間の暗部２４を検出領域とする。通常、センサ１８の受光量は低いが、欠陥によって散乱光が生じると受光量が高くなり、欠陥を検出できる。 （もっと読む）

【課題】鋼板穴検出装置の穴検出精度検査の頻度を確保して、鋼板穴検出装置の穴検出精度を確保することが可能な鋼板穴検出装置の穴検出精度検査方法を提供する。
【解決手段】先に通板される鋼板１と後に通板される鋼板１の溶接部１０に形成された、鋼板トラッキング用の穴１１が検出されるか否かを判定し、当該溶接部１０に形成された穴１１が検出される場合に鋼板穴検出装置の穴検出精度良好と判定することとしたため、予め穴１１の開設されたダミーコイル１２を用いることなく穴検出精度の検査を行うことができ、鋼板穴検出装置の穴検出精度検査の頻度を確保して、鋼板穴検出装置の穴検出精度を確保することができると共に、穴検出精度のために新たに穴を開設する必要がなく、その分だけ、穴検出精度検査が容易になると共に穴検出精度検査の頻度を増加することも可能となる。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成により、光源の光量変動や輝度ムラによる影響を取り除いて、検出された測定対象を透過する光の透過率を高精度に求める。
【解決手段】 シート材９の幅方向に沿って、シート材９の一方の端縁から他方の端縁に至るまでの範囲に光を照射する面光源部３と、シート材９を介して面光源部３からの出射光を受光できる位置に設置されて、シート材９を透過する光を検出する検出用撮像部１と、シート材９を介さずに面光源部３からの出射光を受光できる位置に設置され、面光源部３の出射面４の光量を測定する補正用撮像部２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 撮像手段として一般的に使用されるエリアセンサカメラでは、撮像範囲全体を単位領域に分割して撮像を行うために、検査時間が長くなり検査工程の高速化に対応することができないという問題がある。また、赤外光光源を用いて検査対象の低抵抗ウエーハを照明した場合、ウエーハの比抵抗を考慮して赤外光照明を選択する必要があり、その設定に時間を要するという問題がある。
【解決手段】 赤外光に感度を有するラインセンサアレイを撮像素子として用いることにより、ウエーハ全体を同一の検査条件で行うことを可能にするとともに検査工程の高速化に対応可能なウエーハ検査装置を実現する。また、ウエーハの比抵抗の値を取得する手段を設けることにより、取得した比抵抗の値に応じた照明手段の照度に設定することにより欠陥の撮像に適切な照明を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ピンホール検査の検査精度を維持するために行う画像検査装置の校正に用いる校正用サンプルウエーハにおいて、表面にハードレーザーマークを施すことで、効率的に校正を行うことができる校正用サンプルウエーハを提供する。
【解決手段】シリコンウエーハのピンホール欠陥を画像処理により検査する画像検査装置の校正に用いる校正用サンプルウエーハであって、校正用サンプルウエーハの表面にハードレーザーマークが施されたものであることを特徴とする画像検査装置の校正用サンプルウエーハである。 （もっと読む）

【課題】樹脂シート間での厚みのばらつき、樹脂材料検査装置間での撮影装置の特性のばらつき、撮影装置の特性の経時変化等によらず、一定の検査基準で検査を行うことができる樹脂材料検査装置を提供する。
【解決手段】樹脂材料検査装置は、ペレット状態の樹脂材料を加熱加圧成形することによって作製された検査用の樹脂シートの透過光像を撮影して画像データを得るエリアカメラ１４と、画像データを解析して樹脂シートの欠陥を検出することによって樹脂材料の欠陥を検出する濃度・面積計測部３９と、画像データの少なくとも一部の領域内における画素の平均輝度値と予め設定された基準輝度値とを比較する比較部３３と、比較部３３における比較の結果に基づいてエリアカメラ１４の露光時間を変更する撮影装置制御部３４とを備え、濃度・面積計測部３９が、露光時間が変更された後のエリアカメラ１４によって得られた画像データを解析する。 （もっと読む）

【課題】シート体の欠陥の高精度の検出が可能で、特にカラーフィルター、絶縁用セパレータ、グリーンシート等の光透過性を有するシート体の検査に好適なシート体の検査装置及び方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明のシート体の検査装置は、レーザー光線を出射する光源と、光源から出射されるレーザー光線の焦点を検査対象であるシート体表面近傍に合わせるレンズ光学系と、シート体裏面からの透過光を受光する光検出器とを備え、光検出器で得られた直接光成分以外の成分強度情報に基づいて欠陥を検出するシート体の検査装置である。シート体表面に略垂直にレーザー光線を照射するとよい。光検出器とシート体裏面との間にシート体裏面からの直接光成分を遮蔽するマスクを備えるとよい。シート体を設置するテーブルと、シート体表面に照射されるレーザー光線の位置を相対的に移動させる走査手段とを備えるとよい。 （もっと読む）

【課題】サインパネルの位置、サイズ、エッジ部欠け、ピンホールについて適切な検査が可能で、誤検出を防止できるサインパネル検査装置および方法が求められていた。
【解決手段】カードに貼着されたサインパネルの印刷欠陥の有無を検査する検査装置であって、規則的な繰り返しパターンを有するサインパネルを有するカード表面を照明を移動しながら順次カメラにより画像信号を入力する画像入力部と、画像入力部からの画像信号を基準信号と閾値を用いて比較処理して良否の判定を行う画像信号処理部と、処理内容の表示を行うモニターとからなることを特長とするサインパネル検査装置において、画像信号処理部が、画像入力部からの画像信号を２値化反転した基準信号と閾値を用いて比較処理するものであることを特徴とするサインパネル検査装置およびその方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】位相差膜を有するカラーフィルタ基板の、位相差中の欠陥、位相差上の異物を検出する検査装置および方法を提供する。
【解決手段】位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差中の欠陥、位相差上の異物を検出する検査装置であって、前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第１の偏光フィルタおよび第２の偏光フィルタと、
前記第１の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源と、前記第２の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段と、前記撮像手段が取得した画像データに対して画像処理部で所定の画像処理を行い、欠陥を検出する画像処理手段と、を有することを特徴とする位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査装置。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの欠陥が、どの色の着色画素かを検査の段階で特定し、色毎に異なる規格を適用した欠陥検査を行うカラーフィルタの外観検査方法。
【解決手段】Ａ）欠陥の欠陥検査画素ＫＤの座標から周囲に輪郭検査画素ＫＲを設定し、そのＲ、Ｇ、Ｂ信号の各明るさの数値を求め、Ｂ）判定閾値と対比し、すべてが判定閾値以下の場合、それはブラックマトリックス２１と第１判定し、Ｃ）判定閾値以下でない輪郭検査画素のＲ、Ｇ、Ｂ信号間で各数値を対比して、最大の数値の色を選び、それはその色の着色画素と第２判定し、Ｄ）第１判定した画素の数、第２判定した着色画素毎の数を集計し、最大に欠陥Ｄ３と第３判定し、Ｅ）欠陥のサイズを当該色の許容と比し可否を判定する。 （もっと読む）

【課題】紡糸口金に穿設された複数個の吐出孔を同時に検査して孔中に残留する異物の有無を一孔ごとに検出するのではなく、多数の吐出孔に対して一度に孔内異物が検出でき、これによって、多大な時間を要することなく短時間かつ確実に孔内異物を検査できる装置と方法を提供する。
【解決手段】スキャンカメラを用いて、紡糸口金を走査することにより、高解像度の複数の画像データ群を取得し、これら画像データ群を合成して作成した合成画像データから紡糸口金に穿設された多数の吐出孔群のそれぞれに対して孔内異物の存在の有無を画像処理を用いて一度に検出する紡糸口金の孔内異物の検査装置及び検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】連続した帯状体の全幅を自動検出の対象とし、疵種や有害度も識別可能な穴・割れ欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】走行する帯状体のエッジ割れ及び穴空きを全幅に渡って検出する欠陥検出装置であり、帯状体１０の全幅に光を投射する投光手段１１と、投光手段１１と帯状体１０を挟んで対向して配置され帯状体１０の全幅を捕捉可能な受光手段１２と、この受光手段で捕捉される画像データを画像処理する画像処理部１３とを有し、画像処理部１３は走査方向の全エッジ部の画像データを演算処理して位置データに変換し統計的に処理される位置データに基づいてエッジ位置を特定し割れ欠陥を検出する割れ欠陥検出用処理部１４と、連続した帯状体全幅の画像データを取得して欠陥候補の穴部を検出し基準楕円と前記欠陥候補の形状マッチングに基づいて穴欠陥を検出する穴欠陥検出用処理部１５とからなる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、フィルムが走行する際に発生するばたつきなどの影響を回避しながら微少なピンホールを検査するフィルム検査装置を提供することにある。
【解決手段】検査装置１０は、コーティング層１６を上にしながらフィルム１２を密着させ、フィルム１２の移動速度に同期しながら回転する検査ローラ２０と、検査ローラ２０に密着されたフィルム１２に光Ｌ１を照射し、フィルム１２の幅方向に正反射光の帯を形成するライン状の光源２２と、フィルム１２からの正反射光Ｌ２を受光するセンサ２４とを備える。センサ２４の受光した光量に応じてディジタルデータに変換され、コンピュータ４０で演算処理される。 （もっと読む）

【課題】鋼板等の不透明な板材に発生するピンホールを検出するためのピンホール検出器として、板材幅端部からの漏洩光が受光部に入り込むのを単純な構造で的確に防止して、ピンホールを精度良く検出することができるピンホール検出器を提供する。
【解決手段】エッジマスク１４が、鋼板１６の幅端部を幅方向に所定の長さδだけ取り囲むように位置させる切欠き部２１を備え、その切欠き部２１の断面形状は開口部２１ｋを一辺とした平行四辺形であり、切欠き部２１の上内表面２１ａおよび下内表面２１ｂはそれぞれ光の反射面になっているとともに、切欠き部２１の後方に位置する部分１４ｓは光の透過性が高い部材で形成されている。 （もっと読む）

【課題】フィルムと、その上に樹脂溶液を塗布して形成した塗膜からなる樹脂塗布フィルムの塗膜の欠陥を精度良く検査する方法を提供する。
【解決手段】本発明の樹脂塗布フィルムの検査方法は、フィルムと、その上に樹脂溶液を塗布して形成した塗膜からなる樹脂塗布フィルムの塗膜の欠陥を検査する方法において、発光強度のピーク波長が３８５〜４１５ｎｍの範囲にある検査光を塗膜に照射し、その反射光を検出して行うことを特徴とし、樹脂塗布フィルムの塗膜の欠陥を精度良く検査することができる。 （もっと読む）

【課題】検査ラインの稼働中に装置の不具合を直ちに検出することができる新規な穴検出装置の提供。
【解決手段】検査ラインを走行する被検査材Ｓの片側に位置する照明部と、当該被検査材を挟んで前記照明部１０の反対側に位置する受光部２０と、この受光部２０からの出力信号に基づいて前記被検査材Ｓの穴を検出する穴検出部３０とを有する穴検出装置１００であって、前記被検査材Ｓの走行中に前記受光部２０または穴検出部３０の動作および性能を検査する検査手段５０を備える。これによって、検査ラインの稼働中にこれら各部の不具合を直ちに検出することが可能となるため、被検査材Ｓの再検査を回避あるいは殆ど皆無にすることができる。 （もっと読む）

【課題】複雑な立体形状の羽根車の外観を検査する際に、誤検出が少なく検査精度が高く、形状が異なる多品種の羽根車の検査に短時間で対応することが可能である、外観検査方法及び外観検査装置を提供する。
【解決手段】基準となる羽根車の画像に所定の画像処理を施すことで、照明の不均一となり易い部分を非検査領域として不透明化し検査領域を透明化したマスク画像Ｂを作成し、該マスク画像Ｂを基準となる羽根車の画像に重ねたテンプレート画像を作成しておいて、羽根車１に照明光を照射して撮像した原画像Ａに前記マスク画像Ｂを重ねた合成画像Ｃ（検査用画像）と前記テンプレート画像を画像処理することで、羽根車の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】大きな点検用基板を用いることなく、外観検査装置の機種による制約のない、欠陥を検出する機能の点検作業を簡便・容易な作業とするカラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具７０を提供する。
【解決手段】基板載置部３１に載置された点検用基板２５の検査開始位置ｈを外観検査装置の検査ラインＹ₁ に移動させる位置出し機構３０と、該位置出し機構を外観検査装置のパスラインＸ₁ と平行に移動し点検用基板を点検作業に供する搬送機構５０とで構成される。 （もっと読む）

【課題】イオン伝導性電解質膜の検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる検査方法を実施する検査装置は、調光薄膜と水素極を両面に接合した水素イオン伝導性電解質膜を検査対象として、水素極側の空間を形成する容器と、調光薄膜と水素極との間にスイッチを介して電気的に接続される電気回路とを有している。該検査装置は、スイッチがオフの状態で水素極側の空間に水素ガスを供給し、電解質膜の欠陥部を通じて漏洩する水素ガスで調光薄膜を水素化して、水素化で生じる調光薄膜の光学的反射率の変化で欠陥部の有無を検査し、またスイッチがオンの状態で水素極側の空間に水素ガスを供給し、イオン化で生じた水素イオンを水素極から電解質膜を透過させて調光薄膜を水素化し、水素化で生じる調光薄膜の光学的反射率の変化の均一性によって、電解質膜の水素イオン伝導性の均一性を検査する。 （もっと読む）