【課題】３次元計測に基づく欠陥検出の高精度化および高速化を図る。
【解決手段】欠陥検出処理部１００は、観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点との間の距離に基づいて、観測点群データ１０１１を非欠陥点群データ１０１２と欠陥点群データ１０１３とに分類し、欠陥点群データ１０１３が除去された観測点群データ１０１１を使用することで参照点群データ１０１４との位置合わせを行い、その観測点群データ１０１１を参照点群データ１０１４と比較することにより、その観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点を判別し、観測点群データ１０１１の各観測点における参照点群データ１０１４の対応点との間の距離に基づいて、観測点群データ１０１１から欠陥点群データ１０１３を検出する。 （もっと読む）

【課題】 低廉な装置構成により移動物品の欠陥部等を精度よく確実に検出し、しかも検出処理を短時間で行うことのできる移動物品の画像処理用データの前処理方法、画像処理プログラム並びにデータ処理装置を提供する。
【解決手段】
検出手段により連続して入力される移動中の物品からの物理データを所要の読み取り間隔で読み取って単位時間当たりの複数の読み取りデータを記憶手段により順次記憶させる。記憶された物品からの物理データを画素データとして順次分割されたフレームに読み出し、物品の移動速度と読み取り時間間隔とに相関する物品の移動量に対応した抽出幅で各フレームのデータから抽出して各フレームデータからそれぞれ抽出画素データを生成し、抽出された画素データを基礎にこれらを処理して欠陥部等の検出を行う。検出時間短縮と高精度の検出を実現する。 （もっと読む）

【課題】撮像倍率の自在性を失わずに済むと共に、変位センサの電線ケーブルの存在によるレボルバーの動作制約を受けない自動外観検査装置を提供する。
【解決手段】対象ワークＫの外観検査のための撮像に先立ち自動合焦を行うように構成された自動外観検査装置１であって、複数の対物レンズ１１を保持するとともに、いずれかの対物レンズを検査用に選択するレボルバー５３と、選択された対物レンズを通して得られた像を撮像する撮像手段５１と、選択された対物レンズと対象ワークとの間に変位センサ１２を進退させる変位センサ進退手段１３と、対象ワーク上の基準位置ＰＢでの対物レンズの最適合焦変位を基準変位ＬＢとして予め記憶した記憶手段８１と、変位センサで測定した対象ワークまでの変位ＬＳと、記憶手段に記憶した基準変位とに基づいて、対物レンズが最適合焦変位となるようにレボルバーを上下方向に駆動する上下方向駆動手段６とを備える。 （もっと読む）

【課題】異物の混入箇所、種類等を迅速に認知することができ、吸引ノズルにおける吸引力を低下させることなく、異物の混入を安定して検出することができる異物検知採集機を提供すること。
【解決手段】異物検知採集機１は、主吸引機３と副吸引機４との２つの吸引機を用いる。異物検知採集機１は、主吸引機３の吸引力により、吸引ノズル２２によってワーク８の清掃面８１を吸引する吸引力を発生させると共に、副吸引機４の吸引力により、サイクロン容器２１内に吸引された異物Ｐをさらに吸引し、異物検出センサ４５を通過させた後、異物採集フィルタ６へ付着させる。異物検知採集機１は、異物検出センサ４５によって異物Ｐの検出を行ったことを表示手段５によって表示する。 （もっと読む）

【課題】
空封筒に被送付物を入れて封筒の封緘用フラップを糊付けするインサータに連接して用いることができ、かつエアを用いることなくフラップの封緘検査を行うことができる封筒フラップ封緘検査装置を提供する。
【解決手段】
封緘済み封筒８をエンドレスベル１により搬送する途中で、押さえローラ５、５間の封筒８の封筒本体８ｂを、押し込みローラ６により下方に押し込んで封筒面８ｂにストレスを与えて変形させ、フラップ８ａに未封緘の部分がある場合に、前記ストレスの作用によって封筒本体８ｂから捲り上がるフラップ８ａの部分を発光部１０と受光部１１間に通るセンサ用光線の遮断により検出し、フラップ８ａの封緘の良否を判定する構成とした。 （もっと読む）

【課題】目視観察状態に近い状態で撮像された欠陥の画像を表示することができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】被検査基板２は、被検査基板２を揺動可能に支持する揺動ステージ３上に載置されている。デジタルカメラ７は、実体顕微鏡５に固着された状態では、被検査基板２上の微小な結果を撮像して実体顕微鏡画像を生成し、実体顕微鏡５から取り外された状態では、検査者の目視位置で被検査基板２上の欠陥を撮像してマクロ画像を生成する。実体顕微鏡画像およびマクロ画像は検査制御装置１に取り込まれ、欠陥情報と関連付けて表示される。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの欠陥を容易にかつ高精度で弁別する。
【解決手段】標準粒子が付着したウェーハのレーザ散乱測定を行い、標準粒子から測定される散乱光強度を用いて参照弁別線を設定した後、異物が付着したウェーハのレーザ散乱測定を行い、その欠陥（異物およびＣＯＰ）から測定される散乱光強度の近似線を設定する。その欠陥のうち、参照弁別線と近似線とに挟まれた領域の散乱光強度を示す一部の欠陥を選択し、レビューＳＥＭを用いて、その一部の欠陥が異物であるかＣＯＰであるかを判定する。その判定結果を基に、異物とＣＯＰの散乱光強度の境界値に弁別線を設定する。製品ウェーハ等で検出された欠陥の散乱強度を、その弁別線と比較することにより、容易にかつ精度良く、その製品ウェーハ等の欠陥を異物とＣＯＰとに弁別することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】可視光程度の粗度を有する被検査体の表面に生じた凹凸欠陥等を適切に発見することができ、鋼板の製造ライン上において好適に適用すること。
【解決手段】被検査体表面の凹凸を検査する表面検査方法において、レーザ光源１１０から赤外レーザ光を出射し、投射光学系１２０により、赤外レーザ光を平行光又は発散光に変換し、被検査体表面１０の粗度σに応じて鏡面反射が得られる入射角度θ１で平行光又は発散光を被検査体表面１０に投射し、集束光学系１３０により、被検査体表面１０における平行光又は発散光の反射光を集束光に変換し、反射光の光路上において集束光学系の焦点ｂより後方に配置された撮像手段により、反射光を撮像する。 （もっと読む）

【課題】カーペットなどの測定対象の汚染状態をより適切に表す汚染度を求めることが可能な汚染度測定装置を提供する。
【解決手段】プローブ３は、被測定面の色である被測定色を検出する。本体装置５は汚染度測定部であり、非汚染状態の前記測定対象に相当する基準面の色である基準色を用いて、被測定色から被測定面の汚染度を求める。本体装置５は、単位汚染度当たりの色差を表す汚染度変換パラメータに基づいて基準色と被測定色の色差に対応する汚染度を求める。汚染度変換パラメータが均等色空間における基準色の位置に応じて変更される。汚染度変換パラメータを変更することにより、カーペット等の色の違いによる測定結果の差を低減し、汚れの色が同じであれば同様の測定結果が得られる。 （もっと読む）

【課題】半導体用研磨スラリー中に含有される不純物粒子等の異物の検査を行い、その異物に関する情報をより精度よく取得することができるスラリー中の異物の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】半導体用研磨スラリーを採取するサンプリング工程と、サンプリング工程で採取された半導体用研磨スラリーを、半導体用研磨スラリーから抽出した分散液を用いて希釈する希釈工程と、希釈工程で希釈された半導体用研磨スラリー中に含まれる砥粒は通過させ、砥粒よりも大きな異物は捕捉することが可能である、孔径が０．１ｎｍ〜１００μｍのろ過膜に、希釈された半導体用研磨スラリーを通液し、ろ過するろ過工程と、ろ過工程で得られた、希釈された半導体用研磨スラリーを通液したろ過膜の表面にろ別された異物を検査する異物検査工程とを有することを特徴とするスラリー中の異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】 軸受等に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子および受光素子を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。この測定用ギャップ部７の近傍に、前記潤滑剤の測定用ギャップ部７に対する相対的な移動に対して抵抗を与える抵抗体１６を設ける。 （もっと読む）

【課題】軸受に簡単に搭載できて軸受内部の潤滑剤劣化状態を精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】この潤滑剤劣化検出装置１では、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子２および受光素子３を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。前記光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部は、固定具を用いて軸方向に位置調整自在に光ファイバ支持部材１１に支持固定する。 （もっと読む）

【課題】 軸受に簡単かつコンパクトに搭載できて、軸受内部の潤滑剤劣化状態を安定的にかつ精度良く検出できる潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１では、円弧状の光ファイバ４の両端にそれぞれ発光素子２および受光素子３を対向して設け、この円弧状の光ファイバ４の一部に潤滑剤５を介在させる測定用ギャップ部７を設ける。光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を除く部分を覆う円弧状のカバー１２を設け、前記光ファイバ４の前記測定用ギャップ部７の近傍部を、前記カバー１２から突出させる。 （もっと読む）

【課題】光学的な測定装置のための光学的なファイバゾンデであって、光学的なファイバ（２０）が内部を通されている機械的な受容体（１０）と該機械的な受容体（１０）から突出しかつ測定光線を測定対象に導くために構成されたファイバエンドピース（２２）とを有する形式のものを改良して、できるだけ操作が簡単で、高い測定精度で、直径の小さい、深さの大きい中空空間の探査を可能にする光学的なファイバゾンデを提供すること。
【解決手段】光学的なファイバ（２０）が、ファイバエンドピース（２２）の領域及び／又は機械的な受容体（１０）の領域にて、少なくとも領域的に、光学的なファイバ（２０）を機械的に安定化するコーティング（３０）を備えていること。 （もっと読む）

【課題】検査途中で停止させた装置を速やかに復旧できるようにする。
【解決手段】外観検査装置のマクロ検査部には、ウェハＷの表面を目視観察するように支持する表面検査装置３１と、ウェハＷの裏面を目視観察するように支持する裏面検査装置３２とを有し、下降位置確認センサ６１と上昇位置確認センサ６５とが設けられている。下降位置確認センサ６１は、ウェハＷの有無を検出する光学式のセンサである。上昇位置確認センサ６５は、水平姿勢のウェハＷは検出しないが、ウェハＷを傾斜させるとウェハＷの有無を検出する光学式のセンサである。 （もっと読む）

【課題】基板を圧縮空気で安定的に浮上させたままの状態で検査を行うことができる基板検査装置を提供すること。
【解決手段】基板２の表面を検査する顕微鏡ヘッド（検査部）３と、圧縮空気を噴出して基板２を浮上させる第一浮上部６と、第一浮上部６の顕微鏡ヘッド３側に隣接して顕微鏡ヘッド３近傍に配されて基板２を浮上させる第二浮上部７と、第一浮上部８及び第二浮上部７に対して、基板２を非接触状態で搬送する吸着搬送ステージ（搬送部）８と、顕微鏡ヘッド３近傍に配されて、基板２の上方から基板２に向かって圧縮空気を噴き出すエアー吐出ユニット（吐出部）１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置において、たわみや振動が発生しやすい薄板状の基板を被検体としても、コンパクトな構成で高精度な観察を行うことができるようにする。
【解決手段】被検体である基板３の周縁部を保持する基板保持機構５０と、基板保持機構５０に保持された基板３に対向する位置で基板保持機構５０に対して可動に保持され、基板３の基板表面３ａに沿って移動して一定の観察範囲ごとに基板３を観察できるようにした基板検査部６と、基板検査部６の移動先に合わせて移動し、観察範囲の外側の近傍領域に、基板３の厚さ方向の位置を規制する位置規制力を作用させ、観察範囲における基板３の厚さ方向の移動を規制する移動規制部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ゴースト粒子に対する感度が鈍感な粒子検出システムを提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射のビームを条件付ける照明システムを有している。パターニングサポートによって、放射のビームの断面にパターンを付与するように機能するパターニングデバイスが支持される。基板サポートによって基板が保持される。投影システムによって、パターン化された放射のビームが基板のターゲット部分に投射される。粒子検出システムによって、対象の表面の粒子が検出される。粒子検出システムは、放射の照明ビームを生成する放射源を有している。放射の照明ビームは、第１の光路に沿って対象の表面の検出領域へ導かれる。放射ディテクタは、検出領域からの第２の光路に沿った放射の検出ビームを受け取る。第１の光路の長さと第２の光路の長さは、実質的に同じ長さになっている。 （もっと読む）

【課題】 対向配置される導光部材の先端間の微小ギャップの断面積を小さくできて、安定した正確な検出が可能な潤滑剤劣化検出装置、およびその潤滑剤劣化検出装置を備えた検出装置付き軸受を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化検出装置１は、発光素子２に接続された投光側の導光部材４と、受光素子３に接続された受光側の導光部材５とを有する。両導光部材４，５の先端は、潤滑剤６の配置空間となる微小ギャップ１０を介して対向配置する。投光側の導光部材４の断面積と受光側の導光部材５の断面積とは互いに異ならせる。 （もっと読む）

【課題】 潤滑剤の厚さ、および発光部と受光部の距離を一定に保つことができ、現場でサンプリングした潤滑剤の劣化検出が容易な潤滑剤劣化測定器具を提供する。
【解決手段】 この潤滑剤劣化測定器具１は、基端側部６ａが把手となる一対の支持部材６，６を互いに開閉自在に連結してなり、閉じ状態で先端間の距離が一定となる鋏状器具本体２を備える。この鋏状器具本体２の前記一対の支持部材６，６の先端６ｂ，６ｂには、互いに対向して互いの間に潤滑剤９を介在させる発光部３および受光部４がそれぞれ設けられる。また、前記鋏状器具本体２には、前記受光部４の出力から潤滑剤９の光透過率を求めて潤滑剤９に混入している異物の量を検出する判定手段５が設けられる。 （もっと読む）