【課題】骨材とそれ以外の異物の、それぞれの可視光域と近赤外光域の輝度を算出し、それぞれの輝度増加率または輝度差を比較することによって骨材以外の異物を検出除去する異物除去装置を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも、搬送される被選別材料を照明する照明手段と、照明された被選別材料を撮影する撮影手段と、撮影された画像を基に被選別材料中の骨材と異物のそれぞれの可視光域輝度と近赤外光域輝度との輝度増加率または輝度差を計算する画像処理手段と、該輝度増加率または輝度差が基準値以上になった場合に異物の除去信号を出す検出手段と、該除去信号に従って輝度増加率または輝度差が基準値以上となった異物を除去する除去手段とから構成されることを特徴とする異物除去装置である。 （もっと読む）

【課題】混載ウェハ（システムＬＳＩなど）などに対して欠陥を高感度に検出し、しかも欠陥種を幅広く検出して、欠陥捕捉率を向上させた欠陥検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、色収差のない反射対物レンズを採用することにより、多波長照明（複数の波長帯域を有する照射光による照明）による明るさ変動を抑制すると共に波長選択検出によって欠陥を顕在化して感度向上を図り、しかも試料上の同一空間像を異なる複数種の光学像で取得できるように構成した欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】検査対象の様相が品質に与える影響の大きさの度合いを示す値を導入することにより検査対象の品質のランク付けを可能とするとともに品質検査処理の高速化を実現する。
【解決手段】検査対象領域を撮影して得られた撮影データＤ１０に基づいて所定の品質検査処理を施すことにより検査対象領域の品質を検査する品質検査方法であって、前記品質検査処理に対応した外観検査処理用データＤ２０を用いて撮影データＤ１０の各位置における外観検査処理結果を算出するステップＳ３２と、前記各位置における外観検査処理結果に基づいて品質に与える影響の大きさの度合いを示す致命度を取得し、検査対象領域を写像するデータマッピング領域の前記撮影データの各位置に対応する位置を特定し、前記データマッピング領域の前記撮影データの各位置に対応する位置へ前記致命度をマッピングして致命度マッピングデータＤ５０を生成するステップＳ３３，Ｓ３４とを有する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置において、複数の角度方向に出射される基板からの光を用いて、効率的に検査を行うことができるようにする。
【解決手段】基板２１を載置して照明領域Ｌの長手方向と直交する方向に相対移動させる移動ステージ１３と、照明領域Ｌに照明光を照射する第１照明部１０、第２照明部１１、第３照明部１２と、照明領域Ｌからの光を結像する結像光学系２５と、基板２１の像を取得する１次元撮像部２７と、各照明部からの照明光の入射角度を互いに異なる角度に設定する角度設定部とを備え、各照明部は、照明光として互いに異なる波長の光を照射し、１次元撮像部２７は、互いに異なる波長の光をそれぞれ選択するダイクロイックミラー３０、３１と、選択された波長の光をそれぞれ受光する第１受光部２０１、第２受光部２０２、第３受光部２０３とから構成される。 （もっと読む）

【課題】形状検出感度と形状検出精度が高く、電磁波照射方向の形状寸法を検出できる方法及び装置を提供すること。
【解決手段】検査対象部材を透過する波長のテラヘルツパルス光を検査対象部材の少なくとも二つの異なる部位に照射する照射工程と、照射工程で照射され検査対象部材の複数の異なる部位を透過したテラヘルツパルス光の電場振幅時間分解波形をそれぞれ部位毎に検出する検出工程と、を有し、検出工程で検出された電場振幅時間分解波形の位相情報から検査対象部材の形状を検査することを特徴とする形状検査方法。 （もっと読む）

【課題】紫外線観察装置において、複数の材質で構成された基板の画像情報を効率よく観察することができるようにする。
【解決手段】複数の波長を有する紫外光を発生する光源２ａと、光源２ａで発生された紫外光で半導体ウエハ８に照射する照明レンズ２ｂと、照明光により半導体ウエハ８の像を取得する観察光学系と、半導体ウエハ８の像を光電変換して輝度データを取得する撮像部Ｃ_１、…、Ｃ_ｎと、波長分離部３ａと、波長分離部３ａにより分離された紫外光によって撮像部Ｃ_１、…、Ｃ_ｎで取得された複数の波長ごとの輝度データに対して、それぞれ異なる可視色の色度を割り付けて複数の単色画像に変換する彩色処理部と、彩色処理部で生成された複数の単色画像を合成して可視色画像を形成する画像合成部と、画像合成部で形成された可視色画像を表示する画像表示部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象のプラスチック製印刷物の近赤外波長域での分光特性に応じて、吸収となる波長の画像を限定的に取得することにより、透明部分と穴や欠損部分を確実に分離して正確な欠損検査が可能となるプラスチック製印刷物検査装置を提供する。
【解決手段】プラスチック製印刷物の一方の面に対し投光部により近赤外波長域の光を照射し、当該プラスチック製印刷物の他方の面に対し上記投光部と相対向して配設された近赤外波長域に感度を有する画像取得部により当該プラスチック製印刷物からの透過光を電気信号に変換することにより近赤外波長域の透過画像を取得し、この取得された透過画像に基づき当該プラスチック製印刷物の外形を求め、この求められた外形範囲内の透過画像により当該プラスチック製印刷物の欠損量を求め、この求められた欠損量とあらかじめ設定される基準値とを比較することにより当該プラスチック製印刷物の最終的な欠損判定を行なう。 （もっと読む）

【課題】遮蔽部分の形状を変更することが可能な空間フィルタ、又は阻止波長を変更することが可能な波長フィルタとして利用できる光学フィルタを提供する。
【解決手段】光学フィルタ６０を、その入射光ＬＩの光軸に対して反射面を４５°傾けて配向され入射光を反射面で反射する第１の光Ｌ１及び反射面を透過する第２の光Ｌ２に分光する半透鏡６１と、第１の光Ｌ１を反対向きに反射して半透鏡６１に再び入射させる第１の反射鏡６２ａと、第２の光Ｌ２を反対向きに反射して半透鏡６１に再び入射させる第２の反射鏡６２ｂと、により構成し、第１及び第２の反射鏡６１、６２の少なくとも一方をその反射面の法線方向の位置をそれぞれ制御可能な複数のミラー素子で構成されたマイクロミラーアレイとした。 （もっと読む）

【課題】発光波長帯が違う複数の光源を用いて試料照明用の照明光を生じさせ、かつこれら複数の光源から各々生じる各照明光の光路を、試料に至るまでの間に１つの光路に重ねる顕微鏡装置において、照明光の光路を重ねるために生じる光量ロスを低減する。
【解決手段】顕微鏡装置１を、発光波長帯が異なる複数の光源１４ａ〜１４ｃと、複数の光源１４ａ〜１４ｃ毎に設けられこれら光源１４ａ〜１４ｃが生じる光のうち対応する光源が生じた光のみを反射する波長選択反射素子１８ａ〜１８ｃと、を備えて構成し、これら波長選択反射素子１８ａ〜１８ｃを、対応する光源の光をそれぞれが反射した反射光の各光路が相互に重なるように位置決めし、波長選択反射素子１８ａ〜１８ｃで反射する光源１４ａ〜１４ｃの反射光で、試料２を照明する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置において、基板の表面および裏面の欠陥検査の検査効率を向上することができるようにする。
【解決手段】基板検査装置１００において、ウエハ４のウエハ表面４ａおよびウエハ裏面４ｂに向けて一方向から複数波長の照明光Ｌ１をライン状領域Ｐに照射する光源１および集光レンズ３と、ウエハ４から放射される光から、表面反射光Ｌ２と裏面反射光Ｌ３と波長成分により選択するダイクロイックミラー１５と、表面反射光Ｌ２によりウエハ表面４ａの画像を撮像するライン撮像部１１と、裏面反射光Ｌ３によりウエハ裏面４ｂを撮像するライン撮像部８と、ウエハ４をライン状領域Ｐに直交する方向に相対移動するステージ１６と、ライン撮像部１１、８で同時に取得した画像を画像処理して、欠陥抽出用画像を取得する画像処理部を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】異なる波長域の光で像を形成した複数の光学像に基づく外観検査を同時に行うことが可能な外観検査装置及び外観検査方法を実現する。
【解決手段】外観検査装置１を、試料４の表面の光学像を生成する対物光学系２３と、
対物光学系２３が投影する投影光を複数の波長の光に分光する分光部２８ａ、２８ｂ、２８ｃと、分光部によって分けられた投影光による光学像をそれぞれ撮像する撮像部２４ａ、２４ｂ、２４ｃと、各波長毎に画像信号の対応する２箇所の画素同士の差分を検出する差分検出部３２ａ、３２ｂ、３２ｃと、を備えて構成し、各波長毎に検出した差分のいずれか又はこれら差分同士の演算値と、所定の検出閾値と、を比較して欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】光源から紫外線を照射し、接着剤又は撥油剤の可視発光をＣＣＤカメラで検出して、接着剤又は撥油剤の被検査対象物への塗布状態を検査する場合に、母材が光沢のある金属や樹脂からなる被検査対象物のときでも、その表面に塗布された接着剤や撥油剤の状態を精度よく検査できるようにする。
【解決手段】紫外線を透過し可視光を遮断する第１フィルタ７を光源２に取り付け、且つ紫外線を遮断し可視光を透過する第２フィルタ８をカメラ４に取り付ける。ここで検査精度を一層向上させる観点から、被検査対象物１の被検査面に対して略垂直方向に離隔した位置にカメラ４を配置し、被検査対象物１とカメラ４との間に、可視光を透過し紫外線を反射するダイクロイックミラー３ａを配置して、被検査対象物１への紫外線照射方向とカメラ４の光軸が同軸となるようにするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液浸顕微鏡の対物レンズ鏡筒のレンズ部と試料との間を液体で満たして使用される液浸顕微鏡装置に関し、試料面に供給された液体あるいは試料面に付着した液体の有無を確実に検出することを目的とする。
【解決手段】
液浸顕微鏡の対物レンズ鏡筒の先端レンズ部と、試料との間に液体を供給する液体供給手段と、前記先端レンズ部と前記試料との間の前記液体を吸引する液体吸引手段と、前記液体吸引手段の作動後に、前記試料上の残留する前記液体を検出し、前記液体の残留情報を取得する液体検出手段と、前記液体吸引手段で検出された前記液体の残留情報が所定条件を上回ると、前記試料に悪影響を及ぼす量の前記液体が残留していると判別する液体残留判別手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】短時間で高精度の測定が可能な光強度計測方法及び光強度計測装置並びに偏光解析装置およびこれを用いた製造管理装置を提供する。
【解決手段】被測定物１０にレーザ光２を照射する多モード半導体レーザからなる少なくとも１個の光源１と、被測定物を透過または反射したレーザ光を受光する複数の受光素子からなる検出手段１３と、光源より発光されたレーザ光を被測定物に導き、また被測定物を透過または反射したレーザ光を検出手段へ導く光学系と、検出手段が検出した受光量情報から被測定物の光学特性を演算する制御手段１４とから構成したもので、同時に複数のデータが取得できるため、計測時間の大幅な削減が図れると共に、データを取得する際に発生する電気的ノイズの低減が図れるため、高精度の計測が可能になる。 （もっと読む）

【課題】欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかの判定を効率的に且つ正確に行うことができる光学式検査装置を提供することにある。
【解決手段】光源から検査対象面を経由し撮像素子までの光路上の任意の位置に波長フィルタを配置する。撮像素子によって、欠陥を含む検査対象面の線状領域の輝度分布を求め、それを参照値と比較することによって、欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造や磁気ヘッド製造において、被加工対象物（例えば、半導体基板上の絶縁膜）に対してＣＭＰなどの研磨または研削加工を施した際、その表面に生じる様々な形状を有するスクラッチと付着する異物とを弁別して検査することができるようにした欠陥検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明は、研磨または研削された絶縁膜の表面に発生したスクラッチや異物に対してほぼ同じ光束で落射照明と斜方照明とを行い、該落射照明時と斜方照明時との間において浅いスクラッチと異物とから発生する散乱光強度の比率等の相関関係に基いて浅いスクラッチと異物とを弁別しすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】例えば食品や化粧品、薬品等の検査対象物に毛髪等の異物が含まれる場合の異物混入検査を確実に行う異物混入検査方法及びこれに用いる異物混入検査装置を提供する。
【解決手段】光照射時の異物と検査対象物との反射スペクトルが相似形をなさない場合の検査対象物内の異物混入検査方法であって、異物の輝度値と検査対象物の輝度値との相対関係が互いに異なる第１の波長帯域の光と第２の波長帯域の光を検査対象物に照射し、第１の波長帯域の光を照射することによって得られた輝度値と第２の波長帯域の光を照射することによって得られた輝度値を演算し、この演算結果に基づいて検査対象物に含まれる異物を検査対象物と識別可能な異物抽出画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ上に存在する多種多様な検査対象において、半導体素子の歩留りに影響しない擬似欠陥の検出を抑制し、しかも半導体素子の歩留りに影響する微小な検出欠陥を高コントラストで検出できるようにして、高感度で、且つ高速の微小な欠陥検査を実現した光学式検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】検査対象となる欠陥種に対応して、多様な光学機能を備えており、各光学機能別に検出したい検出欠陥及び検出したくない擬似欠陥の濃淡差などを蓄積し、高感度、低擬似率検査に有利な条件を効率的に選択する。光学系としては、波長帯域や照明方式並びにフィルタ条件の選択が可能である。 （もっと読む）

【課題】 酸化膜などの透明膜が存在する被検査対象に対して、回路パターンに起因するノイズを低減させることで、実害になる異物又は欠陥を高感度に検出可能とする。
【解決手段】 基板試料を載置してＸ-Ｙ-Ｚ-θの各方向へ任意に移動可能なステージ部と、回路パターンを斜方から照射する照明系と、照明された検査領域を上方および斜方から検出器上に結像する結像光学系とを有し、該照明系の照射により前記回路パターン上に発生する散乱光および回折光を集光する。更に、回路パターンの直線部分からの回折光を遮光するためにフーリエ変換面上に設けた空間フィルタを有する。更に、上記検出器で受光された上記照射された試料上からの散乱反射光を電気信号に変換し、該変換された電気信号を繰り返すチップ間で比較して不一致により試料上の異物として検査する。 （もっと読む）

【課題】カラー情報と高い解像度構造情報を廉価に得ることができるウェハー検査のための装置と方法を開発する。
【解決手段】ウェハーの表面を照射するための照射手段と、結像範囲を備えた少なくとも一台のカメラを有しウェハーの表面を光学的に像形成するための結像手段と、結像範囲とウェハー表面の間の相対移動のための移動手段と、ウェハーを評価するための評価手段とを備えて構成される、ウェハーを検査するための装置で、結像手段が同じ結像範囲に焦点合わせされた二台のカメラを備えて構成される。またそのような装置を用いて、ウェハー表面を照射し、第一カメラでウェハーの結像範囲を像形成し、異なる解像度を有する第二カメラでウェハーの同じ結像範囲を像形成し、結像範囲によってカバーされたウェハーの表面を変更し、カメラ像を評価する。 （もっと読む）