【課題】 低廉な装置構成により移動物品の欠陥部等を精度よく確実に検出し、しかも検出処理を短時間で行うことのできる移動物品の画像処理用データの前処理方法、画像処理プログラム並びにデータ処理装置を提供する。
【解決手段】
検出手段により連続して入力される移動中の物品からの物理データを所要の読み取り間隔で読み取って単位時間当たりの複数の読み取りデータを記憶手段により順次記憶させる。記憶された物品からの物理データを画素データとして順次分割されたフレームに読み出し、物品の移動速度と読み取り時間間隔とに相関する物品の移動量に対応した抽出幅で各フレームのデータから抽出して各フレームデータからそれぞれ抽出画素データを生成し、抽出された画素データを基礎にこれらを処理して欠陥部等の検出を行う。検出時間短縮と高精度の検出を実現する。 （もっと読む）

【課題】試料の耐擦傷性を測定する。
【解決手段】 試料１１の一部に擦傷領域を形成する。試料１１をステージ１２にセットする。ステージ１２をステージ移動機構１４で移動させ、試料１１の擦傷領域，非擦傷領域を測定位置に選択的に位置させる。投光器１５は、平行光を検査光として入射角θ１で試料１１に照射する。正反射光を受光する測定位置を中心に所定の角度範囲で受光器１６を回動させて試料１１の擦傷領域と非擦傷領域をそれぞれ測定し、それらの測定結果から耐擦傷性を示す値を求める。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における外観不良検査に際し、撮像領域の各部分を適切な光量で一度に撮像可能であり、しかも、撮像処理が比較的簡単な外観検査装置、及び、ＰＴＰシートの製造装置を提供する。
【解決手段】カメラ２３は、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）２３Ｍ及び撮像素子２３Ｓを有し、ＤＭＤ２３Ｍを介して、撮像素子２３Ｓによる撮像を行う。ＣＰＵ及び入出力インターフェース４７は、画像メモリ４１に記憶された画像データに基づいて調整対象領域毎に露光条件を設定し、露光条件データを作成して、露光条件メモリ４２に記憶する。そして、露光条件メモリ４２に記憶した露光条件データに基づいてＤＭＤ２３Ｍを駆動制御し、調整対象領域毎に撮像素子２３Ｓの露光時間を調整する。 （もっと読む）

【課題】円筒体等の被検査物の外周面の異常箇所を検査する外観検査機構において、被検査物がもともと有している窪みと、被検査物の製造後に円周方向に形成されたキズとを分離検出する機構を提供すること。
【解決手段】円筒状又は円柱状の被検査物を回転させてその全周面のキズを検査する外観検査機構において、前記被検査物の長手方向中心上の所定の高さに撮像手段を有しており、前記撮像手段のシャッター速度を通常のシャッター速度より遅くすることによって上記課題を解決する。 （もっと読む）

光電子増倍管（ＰＭＴ）検出器の測定検出範囲の制限要因として陽極飽和に対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路、方法が提供される。検査システムの測定検出範囲の制限要因として増幅器及びアナログ・デジタル回路の飽和レベルに対処することによって欠陥検出を強化するための検査システム、回路及び方法も提供される。加えて、表面検査の走査の間に試料に供給される入射レーザ・ビームパワー・レベルを動的に変更することによって大きな粒子に対する熱破損を削減することにより欠陥検出を強化するための検査システムや回路、方法が提供される。
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【課題】目視検査におけるカメラが３６０°を超えて回転することが可能で検査を迅速に確実に行うことができる目視検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物体１の外観状態を観察する目視検査装置において、非検査物体を固定し、ＸＹ方向のいずれか１方向にのみに移動可能なテーブル３と、テーブル３上に配置され被検査物体を撮像するカメラ５と、カメラ５を搭載してテーブル３上で所望の角度に当該カメラ５を回転可能に制御するカメラ部７と、テーブル３の移動方向とは異なる他の１方向に移動可能でカメラ部７を接続するカメラ移動固定部９と、被検査物体１の不良箇所の不良状態を示すデータをデータ処理するとともにカメラ移動固定部９とカメラ部７を制御する管理コンピュータ２１と、を備え、被検査物体１の不良状態に基づいて、カメラ部７を制御してカメラ移動固定部９の回りを回転するカメラ５の回転駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】 連続搬送される長尺光学フィルムを連続的に精度よく検査することができるフィルム検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】 光学フィルム検査装置は、光学的入力手段2を移動させる駆動手段10と、フィルム被検査箇所Tの検査用基準位置からの変位量を計測する変位量計測手段4と、変位量計測手段4の出力に応じて光学的入力手段2の駆動量を決定する駆動量決定手段11とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ＴＤＩセンサを用いて被検査物を撮像する際、センサの画素方向に被検査物が変動した場合であっても、画像ぼけや画像歪みを防止できる検査装置を提供すること。
【解決手段】照射光をフォトマスクＭに照射する照明光学系６２と、フォトマスクＭを蓄積方向に沿って移動させるステージ６４と、フォトマスクＭの透過像を電気信号に変換するＴＤＩセンサ６７と、ＴＤＩセンサ６７を画素方向に移動させるＴＤＩセンサステージ７２と、ステージ６４の画素方向変動量を検出する変動量検出センサ７０と、変動量検出センサ７０によって検出された画素方向変動量に基づいてＴＤＩセンサステージ７２の画素方向への駆動量を制御する検出器コントローラ７１と、画像データＤ１と参照データＤ２とを比較し、フォトマスクＭの欠陥を検出する比較回路４０部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】押し込み深さの浅い疵の欠陥検出を、安価に確実に行える金属帯の表面欠陥検出方法および装置を提供することを目的とする。
【解決手段】走行中の金属帯１の表面に、投光器２により光を照射して、その金属帯表面からの反射光のうち、正反射する正反射光を正反射光受光器３で、乱反射する乱反射光を乱反射光受光器４で、それぞれ受光する。所定の非定常速度となるタイミングを捕えて、乱反射光受光器４を可動させるようにして、正反射光受光器３および乱反射光受光器４からの画像信号を用いて、画像処理部７で疵の検出および疵種判定を行い、その結果を表示部８に表示する。 （もっと読む）

時分割および積分（ＴＤＩ）センサを通して電荷を伝播するための方法および装置が提供されている。この方法および装置は、ＴＤＩセンサとともに試験片の検査に使用でき、ＴＤＩセンサは、ＴＤＩセンサのゲート間において蓄積された電荷を前進させるべく動作する。この設計は、ゲート間において蓄積された電荷を前進する波形のための、複合、正弦曲線、またはそのほかの成形された波形等の実質的に非方形波形の電圧波形の形状をコントロールすることを包含する。電圧波形の形状をコントロールすることは、実質的に些細な正味の電圧変動を提供するべく隣接ゲート内において異なる電圧位相で作用する。
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【課題】 被検査体について装置を大型化することなく精度の良い欠陥検査を行うことができるようにする。
【解決手段】 撮像光学系により被検査体の二次元画像を取り込んで結像した被検査体像を装置筐体内に支持されている撮像素子５により電気信号に変換し、この電気信号から被検査体の画像データを得る画像入力装置であって、画像データから被検査体像に対する撮像素子５の回転ずれを検出する回転角検出手段と、回転角検出手段により検出された回転ずれに基づいて撮像素子５を光軸周りに回転させる回転手段１１，１２を備える構成とする。例えば、一実施の形態として、回転角検出手段により検出された回転ずれの情報を表示する表示部と、上記回転手段として、撮像素子５を回転可能に支持する回転部材１１と、この回転部材１１と一体に取り付けられ回転部材１１を回転させる回転操作部１２を設ける。 （もっと読む）

本発明の側面は、マイクロ電子フィーチャのアレイの対称性／非対称性を測定するための方法及び機構を提供する。本発明の一実施形態は、マイクロ電子デバイスにおける三次元構造の非対称性を測定する方法を提供する。本方法により、光は、マイクロ電子デバイスのマイクロ電子フィーチャのアレイに向けられる。光は、複数のマイクロ電子フィーチャの全長及び全幅を含むアレイの一部を照射する。アレイから散乱し戻された光は、一又はそれ以上の反射角、一又はそれ以上の波長、或いはそれらの組み合わせから成る群より選択された条件で検出される。本方法はまた、反射の余角からのデータを調べることを含む操作を実行することにより、戻り散乱光の一又はそれ以上の特性を調べることも含む。
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