【課題】強力な光源を得つつも、投光器に対する検査対象の距離を十分確保し且つ光量のムラを抑制し得る照度安定機構を提供する。
【解決手段】この照度安定機構は、複数の一次元ＣＣＤカメラと、これらＣＣＤカメラのゲインを正規化によって均一化するゲイン調整器と、複数のＣＣＤカメラの台数よりも一台多い複数の投光器とを備え、複数の投光器は、複数のＣＣＤカメラと互い違いに且つ隣り合うカメラ同士の中間に投光器の中央を合わせて配置されている。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面全体にムラなく光を照射して精度の高い撮像を行うことが可能な検査システムを提供する。
【解決手段】撮像素子が面状に敷設されたエリアセンサを有する撮像装置と、前記撮像装置が撮像する領域に光を照射する発光装置と、前記撮像装置が前記検査対象の流れ方向に直交する水平方向に往復移動可能であるように、前記撮像装置を支持するカメラ移動機構と、前記発光装置が前記検査対象の流れ方向に直交する水平方向に往復移動可能であるように、前記発光装置を支持する照明移動機構と、前記撮像装置と前記発光装置とが同期して移動可能であるように、前記カメラ移動機構と前記照明移動機構とを制御する移動制御部と、前記撮像装置の撮像タイミングと前記発光装置の発光タイミングとが同期するように、前記撮像装置と前記発光装置とを制御する撮像制御部と、を備えているようにした。 （もっと読む）

【課題】被供試体の内面の計測現場にて簡易迅速に計測が可能で、且つ構造の簡易な管内面観察装置を提供する。
【解決手段】本被供試体１１内面を観察する管内面観察装置であって、被供試体１１内部を観察する先端に撮像部であるＣＣＤカメラ１３を有するファイバースコープ１２と、前記ファイバースコープ１２を内部に挿・抜可能であると共に、屈曲自在な中空管２１ａを有する管内面保持装置本体２１Ａとを具備してなり、前記管内面保持装置本体２１Ａの周囲に、ファイバースコープ１２を中心としてその外周側に向かって湾曲して突出する湾曲突出体であるスプリングバンド２２を有する。 （もっと読む）

【課題】異常が生じた場合でも簡易な構成により食品製造ラインの稼働率の低下を極力防止できる異物検査装置を提供する。
【解決手段】食品を搬送する搬送機構２と、搬送機構２にて搬送過程にある食品４に光を照射する光源１１ａ、１１ｂと、食品４から反射される反射光の画像を撮影する撮影手段６と、この反射光の画像を画像処理して食品中に異物が混入した場合の異物を強調した画像を生成する画像処理手段１５とを備える食品の異物検査装置１において、異物検査装置１に機能的な異常が生じたときにその異常を検出する検出手段と、前記機能的な異常を検出しても搬送機構２が正常であれば該搬送機構を駆動させる駆動指示手段とを備える。前記駆動指示手段として、搬送機構２を駆動させる指示信号を生じさせる手動の操作スイッチ、搬送機構２を駆動させる指示信号を該異物検査装置の外部から入力する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】表面検査装置の検査しきい値およびカメラの設置角度の調整を的確かつ短時間で行なうことができる、表面検査装置の調整方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】検査対象物の表または／および裏面をカメラで撮像し、その全幅全長画像を保存するステップ１０と、保存した画像から欠陥確認が可能かどうかの判断を行なうステップ１２と、該ステップ１２で欠陥確認が可能な場合には、確認された欠陥部と地合部の画像のグレイ値差分が大きいかどうかの判断を行なうステップ１４と、該ステップ１４でグレイ値差分が小さい場合には、カメラ角度調整を行なうステップ１５と、前記ステップ１４でグレイ値差分が大きい場合には、しきい値調整を行なうステップ１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡便に、金属の熱間または冷間連続圧延機における帯状体の平坦度を測定する、平坦度計測方法および装置、並びに平坦度制御方法および装置を提供することを課題とする。
【解決手段】被圧延材上の浮遊物を光学的に撮影する浮遊物撮影ステップと、撮影した撮像データから前記浮遊物の単位時間当りの移動量を算出する移動量算出ステップと、前記被圧延材の幅方向に複数区分した各区分の平均移動量を算出する平均移動量算出ステップと、算出した平均移動量に基づき前記被圧延材の平坦度を算出する平坦度算出ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】ボタンの表裏および種類の判別精度の向上を図ることができるとともに、ミシンによって縫製物にボタンを仕上がりよく縫い付ける。
【解決手段】ボタンＢの前面に対してそれぞれ異なる方向から照射光が照射されるように配置された複数の光源９Ａ、９Ｂ、９Ｃと、各光源９Ａ、９Ｂ、９Ｃからの照射光が照射された状態におけるボタンＢの前面を撮像するカメラ１３と、各光源９Ａ、９Ｂ、９Ｃからの照射光の照射およびカメラ１３の撮像のタイミングを制御し、カメラ１３による撮像によって各光源９Ａ、９Ｂ、９Ｃによる異なる方向からの照射光の照射毎のボタンＢの撮像画像を取得し、各撮像画像に基づいて撮像対象となっているボタンＢの面法線ベクトルｎを算出し、基準面法線ベクトルと比較して、撮像対象ボタンＢの種類および表裏を判別する制御装置１５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】
近年、半導体製造工程においては、製造時間の短縮および歩留まり低下要因の早期発見のため、ウェハの検査時間を短くすることが要求されている。これは、実際に検査する時間のみならず、検査の条件設定時の時間も短縮する必要がある。
【解決手段】
搬送系２の速度または位置の変動情報を用いて、検出器の蓄積時間や動作速度の制御もしくは取得画像の補正により、搬送系２の加減速時にも検査を行う。また、検出部の観察画像の表示を一定時間で切り替えることにより、検出部の視認性を向上させ、欠陥の有無を短時間で確認する。 （もっと読む）

【課題】 セミアディティブ法により作成されたプリント配線基板の表面を撮像する場合においても、コンパクトな構成により良好な二値画像を得ることが可能な基板検査装置を提供すること。
【解決手段】 照明機構１０は、Ｘ方向に延びる一対のロッドレンズ１３と、このロッドレンズ１３の長手方向に複数個列設された第１のＬＥＤ１５とから成る第１照明手段と、一対のロッドレンズ１３の周囲を取り囲むように配設された多数のボールレンズ１４と、第２のＬＥＤ１６とから成る第２照明手段とを備える。両照明手段により照明された光はプリント配線基板により反射し、この反射光は開口部１２を通過してＣＣＤラインセンサに入射する。 （もっと読む）

【課題】欠陥画像と参照画像との差画像から欠陥を抽出する検査装置において，位置合わせのための画素間補間演算に時間がかかっていた。また，欠陥の寸法算出や分類を行う場合もサンプリング点数が不足するため，十分な精度が得られない。
【解決手段】検査試料を搭載したステージ１の移動方向に対して２次元センサ３を所定の角度傾けて設置し，ステージ１の移動と同期して撮像，画像を再構成することにより，ウエハ２に対して，２次元センサ３の画素サイズ以下の高密度サンプリングの画像を得ることが出来る。これにより，位置合わせ時の補間演算が不要になり，また，欠陥の寸法算出，分類が高精度に行える。 （もっと読む）

【課題】細長い欠陥がウェーハ表面に存在した場合に、欠陥の方向に依存せず、どの方位に伸びる欠陥であっても一様に検出することで、欠陥の実体を正確に把握することを低コストで実現できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、ウェーハ表面にレーザー光を走査しつつ照射する入射系と、前記ウェーハの欠陥により一定角度に散乱する散乱光を捕らえるように配置された受光器を有する受光系とを備えた欠陥検査装置であって、前記入射系は、光源から発せられた一本のレーザー光を複数に分岐し、該分岐されたレーザー光を複数の方向から前記ウェーハ表面の同一領域に入射するものであって、前記受光系は、一つの受光器で前記散乱光を捕らえるものであることを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】基板検査に対する基板検査装置の稼働率向上のために、スループットを向上させることが可能な基板検査方法および基板検査システムを提供することを目的とする。
【解決手段】レシピサーバが、レシピの初期設定として被検査体の検査領域を設定する検査領域設定工程を実行し、レシピサーバが、撮像のための光学条件を設定する光学条件設定工程を実行し、基板検査装置が、レシピサーバによって設定された検査領域および光学条件を含む暫定レシピを用いて被検査体を撮像して画像データを取得する画像取得工程を実行し、レシピサーバが、基板検査装置によって取得した画像データを用いて暫定レシピをチューニングして調整レシピを作成するレシピチューニング工程を実行し、基板検査装置が、レシピサーバによってレシピチューニングした調整レシピに基づいて、被検査体を検査する検査工程を実行することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像モニタ中の要検査部位の画像を直接に動かすイメージで自在に動かして必要な部位を必要な方向から撮影した画像を表示させるようにすること。
【解決手段】正面用ビデオカメラ２ａ及び斜め用ビデオカメラ２ｂからなるカメラユニット２と、検査対象の回路基板１を保持する保持部３と、これを配したベース部４と、これに立ち上げたカメラユニット２を支持する門形フレーム５と、ベース部４に構成した保持部３のＹ方向移動機構４ａと、カメラユニット２の回転機構６ａ及びＺ方向移動機構６ｂと、門形フレーム５に構成したカメラユニット２のＸ方向移動機構５ａと、画像信号を再生する画像モニタ７と、各部を制御する制御部８と、動作指示用の指示用リモコン装置９と、画像モニタ７中の要検査部位を操作するイメージでＸ、Ｙ方向への変位操作、Ｚ方向の伸縮操作、Ｘ、Ｙ方向の傾き操作又は回転操作が可能な３Ｄマウス１４とで構成した。 （もっと読む）

【課題】ホールの形成について高精度に検査するパターン検査装置およびパターン検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】パターン検査装置１は、被検査物を撮像して多値画像を取得する撮像部２と、当該被検査物の理想状態を表すマスター画像を記憶する記憶部３５と、撮像部２によって取得した画像からホールの画像を消去したホール消去画像を取得するホール消去画像取得部３２と、撮像部２によって取得した画像からホールの位置データを取得する位置取得部３３と、位置データが取得されたホールを覆う領域のデータを禁止データとして生成する禁止データ生成部３４と、禁止データが生成される領域以外の領域について、ホール消去画像とマスター画像とを比較してホールの形成を判定する判定部３６を備える。 （もっと読む）

【課題】表面性状が位置により変動する鋼板等の帯状体の表面を撮像した画像データに基づいて疵を検出する際、適切な輝度レベルの画像データを得ることを可能とし、有害な疵を正確に検出可能にする。
【解決手段】撮像部４は、帯状体表面の照射部分の画像を、予め設定した所定の撮像パラメータの値で撮像して画像データを採取する。指定領域画像輝度算出部７は、画像データの一フレームごとに予め設定した領域の輝度値を検出する。画像輝度判定部８は、検出した指定領域の輝度値が、予め設定した輝度範囲内にあるのか、又は外れているのかを判定する。撮像パラメータ設定部９は、画像輝度判定部８の判定結果に基づいて、所定の撮像パラメータの値を維持か、又は変更して設定する。撮像部４は、撮像パラメータ設定部９で設定された新たな撮像パラメータの値で以後の画像データを採取する。 （もっと読む）

【課題】反射型マスクブランクの欠陥の存在および種類を正確かつ簡便に検査することができるマスクブランク検査装置および方法を提供する。
【解決手段】マスクブランク検査装置は、反射型マスクブランクＭを載置するステージ２と、検査光ＢＭを発生する光源１と、照明光学系としてのミラー１０と、暗視野結像光学系Ｌと、ビームスプリッタＢＳと、２個の２次元アレイセンサＳａ，Ｓｂと、信号蓄積部６，７と、画像処理部８と、装置全体の動作を制御する主制御部９などで構成される。センサＳａは、光束１４ａの結像面ＩＰａから光進行方向に沿って所定距離ｄ１だけ変位した位置に配置される。センサＳｂは、光束１４ｂの結像面ＩＰｂから光進行方向とは反対方向に所定距離ｄ２だけ変位した位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、欠陥検出の高速化および高精度化が図れる外観検査装置を提供することにある。
【解決手段】外観検査装置は、検査対象物１００の被検査面１１０を撮像する撮像手段３と、撮像手段３で撮像する被検査面１１０に光を照射する光照射手段４との組を複数有した撮像部１を備えるとともに、撮像部１の撮像手段３より得られた濃淡画像から濃度差が所定の閾値以上の画素を抽出する画素抽出手段７と、画素抽出手段７で抽出した画素同士を当該特徴画素の隣接画素内で連結して連結領域を作成する連結領域作成手段８と、連結領域のサイズが所定値以上であれば当該連結領域を被検査面１１０の欠陥によるものと判別する欠陥判別手段９とを有した検査部２を備え、各撮像手段３は、それぞれの撮像範囲が互いに重ならない位置に配置され、各光照射手段４は、それぞれの光照射方向が被検査面１１０に平行する面内において互いに交差する位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】変形欠陥の捕捉が確実に行えるとともに、変形欠陥と異物欠陥など他の欠陥との判別が容易に行える欠陥検査方法および欠陥検査装置の提供。
【解決手段】検査対象物の表面を撮影して前記検査対象物の表面欠陥を検査する欠陥検査方法であって、前記表面から任意の焦点高さ離れた位置に焦点が合った状態で前記表面を撮影し、前記焦点高さにおける画像として記録する一次画像記録工程と、前記画像の検査すべき全ての部位に対して、当該部位の周囲に対する当該部位の濃淡を強調して数値化するフィルタ処理を行い、前記画像における欠陥候補部位を検出する一次画像フィルタ工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】缶体の外面に光を照射して、その光が缶体内に漏れたことを検出して缶体に発生したピンホールを検査する缶体検査装置において、支持部に支持された部分の缶体に発生するピンホールを、簡単な構成により確実に検出すること。
【解決手段】缶体５０に沿う周面が形成されたポケット部１１ａに前記缶体５０の外面を支持する支持部１１と、前記缶体５０の外側から光を照射する光源１２と、前記缶体５０の内側に漏れ出た光を検出する検出部Ｓとを備え、前記ポケット部１１ａに支持された前記缶体５０に前記周面１１ａから前記光を照射する缶体検査装置１０であって、前記支持部１１は、入射された光が蛍光に変換される蛍光性光透過材料により形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】容易に撮影時における外乱光などの明るさの変動や製品の種類の変化に対応できる画像処理装置を提供する。
【解決手段】指定された撮影タイミングおよびシャッター時間で、シャッター時間ごとに内蔵された照明駆動回路１５により駆動された照明装置Ｌの各照明用光源の複数の相異なる輝度で照射しながら、撮像素子１が製品Ｐごとにそれぞれ複数回連続して撮影するので、照明装置Ｌの複数の相異なる輝度を可変させてそれぞれ撮影された複数の画像の中から、撮影時に外乱光などの明るさの変動や製品Ｐの種類の変化の影響を受けない本来の正常な画像に近い画像が容易に得られ、撮影時における外乱光などの明るさの変動や製品Ｐの種類の変化に対応できる。 （もっと読む）