【課題】 マクロ検査とミクロ検査と連続して行える基板検査装置の大型化を防ぎ、検査効率を向上させることである。
【解決手段】 基板検査装置１は、ベース本体３上に基板Ｗをエアー浮上させる浮上ステージ４が敷設されている。さらに、ベース本体３の一端部から他端部に至る間に、自動マクロ検査部２１と、ミクロ検査部２２とが順番に配設されている。自動マクロ検査部２１は、ライン状の照明光を基板Ｗに照射する照明部２４を有し、照明光の反射光を反射部２５で折り返した後に、撮像部２６に入射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 特定の欠陥が後の工程で問題となることを防止し、歩留まりを向上させることができる欠陥修正装置を提供する。
【解決手段】 欠陥修正装置１は、ワークＷを載置するステージ２を有し、ワークＷの表面をＣＣＤカメラ６で観察すると共に、レーザ光源７からのレーザ光で欠陥を除去できるように構成されている。欠陥修正装置１の制御装置２０には、次工程のパターンのデータが格納されたレシピデータベースを有し、ＣＣＤカメラ６で取り込んだ実際の画像と、次工程のパターンとから後に問題となる欠陥を判定する。 （もっと読む）

【課題】
簡単な構造でありながら、板材を撓ませることなく簡単に保持することができる板材の自立補助機構を提供することである。
【解決手段】
板材Ｗが載置される載置部材６に当該板材Ｗの下端Ｗ２を載置して立て掛けられ、その板材Ｗが鉛直に起立した状態で、その一方の面Ｗａの上端部Ｗａ１を支持する支持部材７と、前記板材Ｗの他方の面Ｗｂの上端部Ｗｂ１に接触して前記支持部材７との間で前記板材Ｗを挟み込み、前記板材Ｗが前記支持部材７から離れないように保持する保持部材８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 円筒状物体の側面及び端面に存在する打痕、傷、及び汚れを短時間で検出して表示することが可能な円筒状物体の外観検査装置を提供する。
【解決手段】 待機位置Ｐにある円筒状物体１１の一端部を保持し検査位置Ｑまで移動する移動手段１３と、中心軸を検査位置Ｑにある円筒状物体１１の軸心に一致させて円筒状物体１１の側面１４を取り囲む反射面１５を備える円錐台ミラー１６と、円筒状物体１１が通過する挿通孔１９が形成され、検査位置Ｑにある円筒状物体１１の軸心に対して傾斜させて配置される孔開き平面ミラー２０と、中央部に開口２１を備え孔開き平面ミラー２０に対して傾斜配置されて、円筒状物体１１の側面１４に垂直光を円錐台ミラー１６及び孔開き平面ミラー２０を介して照射する第１の環状照明手段２３と、第１の環状照明手段２３の背面側に配置され円筒状物体１１の側面画像を撮影する側面撮影カメラ２６とを有する。 （もっと読む）

【課題】 最適な装置条件の決定に掛かる時間を短縮できる検査装置を提供する。
【解決手段】 被検物体１１を照明する照明手段１２,１３と、被検物体からの回折光に基づく物体像を撮像する撮像手段１４,１５と、撮像手段の光軸Ｏ２上に配置され、回折光の光量をモニタするモニタ手段１６,１７と、回折光の進行方向と撮像手段の光軸方向との成す角度に関わる装置条件を連続的に変化させてモニタ手段から光量信号を取り込み、光量信号と装置条件との関係に基づいて装置条件の最適条件を決定する決定手段１８と、装置条件を最適条件に設定して撮像手段から撮像信号を取り込み、該撮像信号に基づいて検査用の画像を生成する生成手段１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】動圧軸受けモータにより１００００ｒｐｍ以上の回転ができるため、高速で検査することができるとともに、動圧軸受けは振動も少なく像の歪みによる分解能の差がなく、低騒音で高精度の内壁面の検査装置を提供する。
【解決手段】ケース体と、このケース体の一面のほぼ中央部より突出するように端部が固定されたスリーブ、このスリーブ内に気体空間を介して配置された光を軸心方向に通すことができるシャフト、このシャフトに固定された回転部材とを備える動圧軸受けモータとシャフトの両端部に位置するように取付けられたビームスプリッターとケース体内に設置された一方のビームスプリッターを介してシャフトに光を通し他方のビームスプリッターより測定する内壁面へ光を照射する発光素子と測定する内壁面からの反射光を他方のビームスプリッター、シャフト、一方のビームスプリッターを介して受光する高速の受光素子とで内壁面の検査装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】長物野菜の搬出数量が多い引出コンベヤと同様に、長物野菜の搬出数量が少ない引出コンベヤでも長物野菜の箱詰め作業を効率よくできる長物野菜の選別制御装置を提供するものである。
【解決手段】選別コンベヤのバケット上に長物野菜を載置して移送し、この移送途中で前記選別コンベヤに沿った複数箇所の仕分け部にて、所定の等級の長物野菜ごとに引出コンベヤに落下排出させるように構成してなる長物野菜の選別制御装置において、前記引出コンベヤを作動及び停止させる制御手段を備え、前記制御手段は、前記各仕分け部において、所定の等級の長物野菜を落下排出する時間間隔が短かいときには、前記引出コンベヤを連続して作動させる一方、前記時間間隔が長いときには、次の長物野菜が落下排出される直前まで前記引出コンベヤを停止させるように制御するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フレキシブル印刷回路基板ユニットが連続して形成されたフィルムまたはテープ形態の検査対象物外観を光学的な方式を利用して自動検査する自動光学検査システム及び方法に関する。
【解決手段】本発明の自動光学検査システムは、検査対象物が提供される巻き出し部と、 前記巻き出し部から提供される前記検査対象物の表面を検査するビジョン検査部と、前記検査対象物に形成された前記フレキシブル印刷回路基板ユニットのうち欠陥として判定されたユニットを表示するマーキング部と、検査を終えた前記検査対象物が巻かれる巻き取り部とを含み、前記ビジョン検査部は互いに異なる視野を有して前記フィルムテープを撮像する撮像部材を含む。このような構成を有する本発明によると、より高い検査品質を得ることができ、検査品質を高めることができるという格別の効果を有する。 （もっと読む）

【課題】 欠陥部を迅速に修正することが可能な作業性のよいパターン修正装置およびパターン修正方法を提供する。
【解決手段】 このパターン修正装置では、画素ＰＩＸ＿Ｂの着色層１３にある白抜け欠陥部１３ａに、シャッタ３１を開きながら塗布ノズル３０から霧状の修正液２０を噴出する。白抜け欠陥部１３ａ全体に適切な量の修正液２０ａが行きわたったら、シャッタ３１を閉じる。このため、従来の針方式のように１回塗布するごとに針にインクを付け直す作業を必要とせず、白抜け欠陥部に連続して修正液を堆積させることができる。したがって、欠陥修正にかかるタクトタイムの短縮が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 基板のリフト回転機構を有するホルダ装置において、簡素な手段によりホルダ本体の剛性低下を防止し、ホルダ本体の変形や振動を抑制して、安定した状態で基板を保持できるようにする。
【解決手段】 リング支持部材５、５により、リフトピンが回転移動する円弧状のガイド用開口部８−１に対して、往復シリンダ６４などにより進退可能とされたロック部材６１を設ける。そして、リフトピンの移動時以外は、ロック部材６１を進出させて先端の係合部６１ａを対向位置に設けられた係合ブロック６５と係合させてロック状態としてホルダ本体の剛性を向上させる。リフトピンの移動時は、ロック部材６１を退避させてロック開放状態を形成し、リフトピンの移動を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 基板の検査などを行う際に、基板の搬送する際に基板に作用する応力を低減させる。
【解決手段】 ガラス基板Ｗを浮上させる基板浮上ステージ３を有し、ガラス基板Ｗの非素子形成面Ｗ２の側縁部に下側から当接する吸着部１６と、ガラス基板Ｗの素子形成部Ｗ１の側縁部に上側から当接する吸着補助部３０とを備え、吸着補助部３０は、エアシリンダ３１の下端に補助パッド部３３が取り付けられている。補助パッド部３３は、ガラス基板Ｗを搬送する前に、ガラス基板Ｗを押圧して吸着パッド部１８に押し付ける。 （もっと読む）

【課題】 赤外線の照射により被検体の異物部分・異常部分を検出する赤外検査装置において、適切に微小な異物部分・異常部分を検出できるようにする。
【解決手段】 本発明に係る赤外検査装置は、被検体に赤外線を照射する赤外光源と、被検体を透過した赤外線を集光する赤外線レンズと、前記赤外線レンズにより集光された赤外線を電気信号に変換して出力する赤外線カメラと、前記赤外線カメラの出力する電気信号を入力して画像信号に変換し画像信号に基づいて画像を表示するモニタとを備える赤外検査装置であって、被検体の温度を設定温度の近傍に保つ冷却装置を更に備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査者による作業ミスを低減させることができる半導体素子の検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明の半導体素子の検査装置は、検査対象の半導体素子を載置する載置部９を備える顕微鏡５と、顕微鏡５に隣接して配置され、前記載置部９に載置された半導体素子の検査を行う検査者の手１５の位置を安定させるように構成された安定化部材１１とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 検査目的を限定でき、欠陥の発生する工程を特定することが容易になる欠陥レビュー装置、欠陥レビュー方法及び欠陥解析方法、半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 欠陥レビュー装置１０は、レビュー用データ取得機構１２によってステージ１１に載置された半導体ウェハＷＦのレビュー対象領域を画像データ化する。画像メモリシステム１２４は、レビュー対象領域の画像データを所定の項目毎にソートし分類データを蓄積する。レビュー操作制御機構１４におけるステージコントロールシステム１４１は、例えば、欠陥検査で得られた欠陥位置の座標データのうち、マスク画像データベース１４２からの所定条件に合致した座標データのみをレビュー対象領域として選択する。これにより、ステージ１１は、このようにステージコントロールシステム１４１で選択された座標データに従ってレビュー対象領域への移動及び位置決めが制御される。 （もっと読む）

【課題】 半導体パッケージの様々な箇所に付着した異物を、測定に入る前の段階で各種クリーニング部を使用して除去することにより、正確な外観検査の実現と後の除去作業を無くして、半導体パッケージの生産性を向上させることができる半導体パッケージの外観検査装置及びその方法を提供する。
【解決手段】 供給トレイエレベータ２によって外観検査装置１内に搬入された半導体パッケージが、供給トレイ３から搬送ハンド４によって取り出される。取り出された半導体パッケージはクリーニング機構５内で、各クリーナーハンド１０による清掃作業とイオナイザー１１によるイオンの吹き付けにより異物が除去され、除去された異物は集塵機１２により集塵される。その後に測定部６に搬送されて外観検査が行われ、良品と選別された半導体パッケージが収容トレイ７に収容され、収容トレイエレベータ８を介して外観検査装置１の外へ、次工程へと搬出される。 （もっと読む）

【課題】 基板上に透明絶縁膜が形成された時点で透明絶縁膜の欠陥に対して適切な修正方法を決定し、生産効率の向上及び製造コストの削減を実現する。
【解決手段】 本発明の透明絶縁膜修正装置は、カメラ１により、干渉レンズ３と対物レンズ６とをレンズ切り替え器５により切り替えて撮像された基板３１の画像に基づいて制御コンピュータ７により、欠陥の種別、及び、当該欠陥の基板３１上の配線パターンに対する位置を用いて、修正方法決定手段１６により修正方法を決定する。これにより、適切な方法を用いて、レーザ制御部１１、インクジェット吐出制御基板１３によって、各欠陥を修正できるから、生産効率の向上及び製造コストの削減を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、粉粒体を容易に一様な薄い層状にして移動させることができ、異物選別処理能力の向上を可能とした粉粒体選別装置を提供する。
【解決手段】 粉粒体選別装置１Ａは、粉粒体を供給部１１から回転する円形部材１２上に供給し、遠心力により一様な薄い層状にし、光センサー部１５により粉粒体中の異物の有無を検出し、異物が検出された場合には、吸引ダクト２６を備えた内方回収部１４により異物を含む粉粒体を吸引して排除し、その他の場合には、粉粒体を遠心力により円形部材１２の外側に放出し、外方回収部１３に導いて異物とこれを除く粉粒体とを選別するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 印刷物の検査を行うために、その画像を撮影するときに、枚葉紙のバタつきを押さえる印刷物検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 印刷物の被検査面の画像を撮影する撮影手段を設けるとともに、撮影される検査位置に対し、搬送方向の前方斜め上より空気を吹付ける第１吹付け手段４と、搬送方向の後方斜め上より空気を吹付ける第２吹付け手段５と、少なくとも前記第１吹付け手段４及び前記第２吹付け手段５から排出された空気を、双方の吹付け手段に挟まれた前記検査位置の上方より吸気する吸気手段６とを配する （もっと読む）

青果物の損傷に基づいて青果物を選別する方法および装置が開示される。ビームエミッタ（１０２Ａ、１０２Ｂ）は、青果物の外面に向けて照明光を放射する。ビーム検出器（１０４Ａ、１０４Ｂ）は、照明光に対応して青果物が生成した反射光のほぼ単一波長を検出する。制御ユニットは（１０６）は、反射光に応じて損傷の存在、量及びひどさの少なくとも１つを判定する。制御ユニット（１０６）は、損傷の判定に応じて青果物に損傷分類区分を割り当てる。

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錯乱円を減少し、被写界深度を増大するために、拡大対物レンズ上の細い開口部を利用する光学デバイスを検査するシステムおよび方法。被写界深度の増大を生じるより小さい開口部は、検査される物体の全ての部分について同時焦点を可能にさせる。集光レンズと組み合わせた楕円形の反射体を備えるアークランプは、対物レンズを通った光の、より強いビームに焦点を合わせ、それにより、被写界深度を何ら犠牲にすることなく十分な明るさを提供する。
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