【課題】通常は高速な検査を行いながら、必要に応じて高倍率の画像に基づく高精度な検査を行うことが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１において、制御部４０は、第１の撮像装置３５にウェハＷの表面全体の像を撮像させ、画像処理部４５で第１の撮像装置３５により撮像されたウェハＷの表面全体の画像において異常を検出した場合に、第１の撮像装置３５よりも高い倍率で撮像可能な第２の撮像装置３６に切り替えてウェハＷの表面における異常が検出された部分の像を撮像させる制御を行う。 （もっと読む）

【課題】搬送テーブル上でワークを正確に位置決めすることができ、かつワークに対する静電破壊や特性劣化を生じさせることのないワークの外観検査装置を提供する。
【解決手段】ワークの外観検査装置３０は、６面体形状のワークＷを搬送するリニアフィーダ１と、リニアフィーダ１からのワークＷが移載されて搬送される搬送テーブル２と、リニアフィーダ１からのワークＷを搬送テーブル２上に移載して整列させる移載整列手段２１と、搬送テーブル２の下面を帯電してワークＷを保持する帯電手段６Ａと、ワークＷの６面を撮像する撮像手段２０とを備えている。移載整列手段２１は、リニアフィーダ１と搬送テーブル２との間に位置する無振動部４と、ワークＷを整列させる整列ガイド７とを有している。整列ガイド７は平面からみて直線状をなすガイド面７ａを含む。 （もっと読む）

【課題】正確に自動外観検査を行うことが可能な配線回路基板の検査方法、配線回路基板の製造方法および配線回路基板の検査装置を提供する。
【解決手段】基板吸着台２０Ａの上面上に複数の集合体シート１００が載置され、押圧板３１で複数の集合体シート１００が押圧されるように基板吸着台２０Ａ上の複数の集合体シート１００上に押圧板３１が載置される。この状態で、直流電源装置２３がオン状態となり、基板吸着台２０Ａの上面が帯電することにより複数の集合体シート１００が静電気力によりその上面に吸着される。続いて、基板吸着台２０Ａの上面が帯電した状態で複数の集合体シート１００上に載置された押圧板３１が取り外され、基板吸着台２０Ａの上面上に吸着された複数の集合体シート１００の自動外観検査が行われる。 （もっと読む）

【課題】印刷検査位置における枚葉紙の浮き上がりやバタつきを防いだ状態で印刷検査を行うことができる印刷検査装置を提供する。
【解決手段】印刷欠陥を検査する検査装置であって、圧胴102上を移動する枚葉紙Ｐの表面を撮影する撮影手段２と、圧胴102上を移動する枚葉紙Ｐに対して、撮影手段２の撮影位置より枚葉紙Ｐの移動方向下流側に空気を吹き付けるエア吹付手段５とを備えており、エア吹付手段５は、枚葉紙Ｐに吹き付けた空気が、枚葉紙Ｐの表面に沿って、枚葉紙Ｐの移動方向上流側流れるようにエア吹付け角度が調整されている。エア吹付手段から枚葉紙に吹き付けられた空気が、枚葉紙の表面に沿って上流側に流れるから、枚葉紙は圧胴表面に密着するから、枚葉紙にしわができることを防ぐことができる。枚葉紙の後端まで空気が流れるから、後方部分のバタつきを防ぐこともできるし、撮影位置に余剰エアが溜まることがない。 （もっと読む）

【課題】メタルマスクの不良有無を精密で安定的に検査することができるマスク不良検査装置を提供する。
【解決手段】マスク不良検査装置１００は、検査対象であるメタルマスクＭＭが置かれる支持台３１と、前記支持台の両側に配置されて、前記メタルマスクの両側周縁を固定するクランプ部３２と、前記クランプ部によって固定された前記メタルマスクに引張力を加えるテンション部３３とを含む引張ジグユニット３０;及び前記引張ジグユニットによって固定されたメタルマスクを検査する検査ユニット２０；を含み、前記支持台上に置かれた前記メタルマスクと前記検査ユニットとの間の垂直方向の距離ｄ１は、前記クランプ部及び前記テンション部と前記検査ユニットとの間の垂直方向の距離ｄ２と同一または短く形成される。 （もっと読む）

【課題】タイヤ表面の微細な異常箇所であっても目視により容易に発見することができ、検査に伴う人的労力も軽減することのできるタイヤ外観検査用補助装置を提供する。
【解決手段】第１及び第２の圧接ローラ２０，３０を荷重付与機構４０によってタイヤ１の外周面に圧接させることにより、タイヤ１をタイヤ径方向に変形させるようにしたので、外観検査をしようとするタイヤ１の表面に引張変形を生じさせることができる。これにより、タイヤ１の外面にクラックが発生していた場合には、タイヤ表面の引張変形によってクラックを広げることができ、微細なクラックであっても容易に発見することができる。その際、荷重付与機構４０によってタイヤ１を径方向に容易に変形させることができるので、人手によって変形させる場合に比べ、検査に伴う人的労力を大幅に軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡易な構成でリング状ワークをローラに架けることができる検査装置の提供を課題とする。
【解決手段】ローラ１７、１８、１９を収納する略三角形の穴１３が設けられているテーブル１４の一般面３７は、ローラ１７、１８、１９により走行するワーク１６の下エッジ１０１と同じ高さになるように保持され、略三角形の穴１３の縁に下へ傾斜するテーパ面３８が設けられていることを特徴とする。
【効果】ローラ１７、１８、１９にワーク１６を架けるには、移動ローラ１９を移動させることで一般面３７からローラ１７、１８、１９に載せ替える。即ち、ワークをローラに架けるための治具や、ローラを昇降させるためのアクチュエータが必要ない。 （もっと読む）

本発明は、離散的な低剛性の透明又は半透明体の欠陥を検査する装置及び方法に関するものであり、画像取得装置は、離散的な低剛性の透明又は半透明体を搬送する第１の搬送手段及び第２の搬送手段と、離散的な低剛性の透明又は半透明体の搬送経路における第１の搬送手段と第２の搬送手段との間に設置され、上面を有する透明ブリッジと、透明ブリッジの一方の側に設置され、散乱光を透明ブリッジに透過させて透明ブリッジの上面に投射する照明手段と、透明ブリッジの他方の側に設置され、離散的な低剛性の透明又は半透明体が透明ブリッジの上面に入ると、照明手段から投射し離散的な低剛性の透明又は半透明体を透過した光を受光して画像を形成する撮像手段と、を含む。当該装置及び方法によって、離散的な低剛性の透明又は半透明体での欠陥を検査することができる。
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【課題】第８世代や第１０世代のガラス基板に対する欠陥検査や欠陥修正に対応できる基板保持装置を実現する。
【解決手段】本発明による基板保持装置は、固定端とテンション端との間に張架されると共に第１の方向に沿って延在する支持ワイヤ（７〜１０）を含む複数のワイヤ支持機構（３〜６）と、ワイヤ支持機構の各支持ワイヤに対して第１の方向に沿って移動可能に連結されたステージ（３０）と、ステージを第１の方向に案内するガイド手段（４４）と、ステージを第１の方向に沿って移動させる駆動装置（５１，５３）とを具える。ワイヤ支持機構の各支持ワイヤは、同一の平面内において互いに平行に張架され、複数の支持ワイヤ上に基板が載置された際、当該ステージは、支持ワイヤ上に載置された基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動する。ステージは、基板の裏面と直接対向しながら第１の方向に移動するので、支持ワイヤによる影響を受けることなく各種処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】浮上させたガラス基板の移動を規制して、所定の位置に確実に保持できるようにする基板保持装置及び基板の保持方法を提供する。
【解決手段】浮上ステージ３から基板Ｗを浮上させつつ、前記基板Ｗを位置決めして保持する基板保持装置で、前記浮上ステージ３から突設し搬送される前記基板Ｗを載置する支持部材１１と、前記基板Ｗが載置された前記支持部材１１を下降させ、前記浮上ステージ３から吐出されるエアーによって前記基板Ｗが浮上する高さより高い位置で前記支持部材１１を停止させる制御部と、浮上している前記基板Ｗの裏面に前記支持部材１１が当接されて前記基板Ｗが支持された状態で前記基板Ｗを前記支持部材１１に対して相対的に移動させ所定位置に位置決めする位置決め機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】
変形させなければ欠陥の有無を確認することが不可能な被検査物であっても、被検査物を一旦停止させることなく外観検査を可能とするスポンジ部材外観検査装置を提供する。
【解決手段】
本発明のスポンジ部材外観検査装置１は、搬送ベルト１６にスポンジ部材を載置して、当該搬送ベルト１６を回転して当該スポンジ部材を搬送する搬送手段１０Ａ，１０Ｂと、スポンジ部材の搬送経路に配置され、搬送中の当該スポンジ部材を押圧して変形させる変形手段２０と、この変形手段２０で押圧されたスポンジ部材を撮像する撮像手段４０，４１を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半田付けを行う前に、半田フラックスの塗布状態の良否を検出することできる太陽電池用タブリード半田付け装置を提供する。
【解決手段】太陽電池セルバスバーに半田フラックスを塗布する半田フラックス塗布手段６と、半田フラックス塗布手段６が塗布した塗布対象領域に光を照射する投光系５１と、塗布対象領域から反射した前記光を受光する受光系５２と、半田フラックスが正常に塗布された場合の塗布対象領域からの反射光の強度の値を保持し、前記値と前記受光系５２が受光した塗布対象領域からの反射光の強度を比較し、半田フラックスの塗布状態を判定する判定手段５３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】カラーライン撮像装置のライン撮像部の傾きと回転ドラムの軸方向とを容易且つ正確に調整することができる粉粒体異物検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体を搬送しながら平準化する粉粒体搬送機構３と、該粉粒体搬送機構から落下する粉粒体を外周面で受けて滑落位置まで搬送する透光性の回転ドラム１１と、回転ドラム１１の粉粒体落下位置から前記滑落位置までの間で、少なくとも回転ドラムを軸方向に延長するライン状照明領域１２で照明する照明機構１３と、ライン状照明領域１２を撮像するカラーライン撮像装置１４と、回転ドラム１１の外周面に着脱自在に載置する傾き検出用パターンを表示した校正部材と、前記校正部材を回転ドラムに載置した状態で、カラーライン撮像装置１４で撮像したカラー画像情報に基づいて少なくともカラーライン撮像装置１４の傾きを検出する撮像装置傾き検出部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
搬送ラインで搬送される容器を確実に検査できる検査装置を提供すると共に、既設のラインを使用可能にする搬送機構を備えた検査装置を提供する。
【解決手段】
容器の底部を支持し搬送する第１の搬送手段と、第１の搬送手段で搬送される容器のネック部を支持し搬送する第２の搬送手段および第２の搬送手段の搬送経路に容器を検査する検査部を有し、第２の搬送手段の入口部は、第１の搬送手段の上に被さった状態で設置されると共に、第２の搬送手段の入口部は、第１の搬送手段で搬送される容器のネック部を掴めるように配置され、第２の搬送手段は、第１の搬送手段が前記容器を搬送する速度と同期して駆動されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】印刷機上で印刷物の品質検査を行うため、搬送用紙のバタツキを抑制して正確な画像を入力することで、確実な品質検査を行う方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、搬送される印刷用紙の品質検査を行う検査ユニットを有する検査装置であって、前述の検査ユニットは、搬送中の印刷物のバタツキを抑止させるため、搬送中の印刷用紙にエアーを吹き付けるエアー噴出部と、エアー噴出部と一対となって印刷物を挟み込む位置に設置され、かつ、透明部材で形成された用紙密着部と、用紙密着部に密着された印刷物の画像を撮像する画像入力部と、画像入力部により撮像された画像データとあらかじめ設定された基準データとを比較判定することにより、印刷物に異常があるか否かを判定する判定部を有する検査装置であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置において、装置の大型化及び基板の破損を防ぐと共に、透過照明による検査を有効に行う。
【解決手段】基板（Ｇ）にエアを吐出する浮上ステージ２と、１軸方向（Ｘ軸方向）に移動する門型のガントリ３と、このガントリ３に沿って、このガントリ３の移動方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に移動する検査部（４）と、を備える基板検査装置１において、浮上ステージ２内に配置された複数の透過照明部５と、基板（Ｇ）の被検査部分が複数の透過照明部５のいずれかの上方に位置するように基板（Ｇ）を搬送する基板搬送部６と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】基板浮上装置、基板検査装置及び基板検査方法において、簡単な構成で確実にガラス基板の浮上状態を検知する。
【解決手段】基板（Ｇ）に対しエアを吐出するステージ部２と、基板（Ｇ）の浮上状態を、基板（Ｇ）に接触することで検知する検知部（３）と、を備える構成とする。好ましくは、検知部（３）は、ステージ部２の上部に配置される構成とする。 （もっと読む）

【課題】被検査物品に対し複数方向側から光を当てて検査されることによって、高い精度で被検査物品の状態の検査を行うことができる装置を提供する。
【解決手段】互いに平行に配された一対のベルトコンベア９、９で構成され、走行部としての無端ベルト１１、１３が異なる速度で同じ方向に駆動される搬送手段と、搬送されてくる被検査物品Ｗに光を当て、この当てた光から被検査物品Ｗの状態を検知する検知装置Ａ、Ｂとを備え、検知装置Ａ、Ｂは無端ベルト１１、１３に沿って異なる位置に設けられている。一対のベルトコンベア９、９の無端ベルト１１、１３は逆ハの字状に配置されており、被検査物品Ｗは姿勢を変更しながら搬送される。従って、検知装置Ａと検知装置Ｂ内では光が当たる被検査物品Ｗ、例えば玉ねぎの姿勢が異なっているので、光が当たる側面が異なる。 （もっと読む）

【課題】円筒体の表面検査を精度良く行う。
【解決手段】本発明は、円筒体Ｗにおける一端側に駆動ローラ１ａを接触させるとともに、他端側に従動ローラ１ｂを接触させた状態で、駆動手段により駆動ローラ１ａを回転させて、その回転力によって、円筒体Ｗおよび従動ローラを１ｂ従動回転させつつ、円筒体Ｗの表面状態を検査するようにした円筒体の表面検査装置を対象とする。本装置は、両ローラ１ａ，１ｂの回転状況の差異に基づいて、円筒体Ｗの回転異常の有無を判定する回転異常判定手段と、円筒体Ｗを回転させつつ、表面状態を検査する初期検査実行手段と、先行の検査による表面状態の検査中に、回転異常判定手段によって回転異常があったと判定された場合には、円筒体を回転させつつ、表面状態を再度検査する再検査実行手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可撓性シートの誤判定を減少して、外観検査での歩留まり率を向上させるようにした可撓性シートの外観検査装置を提供する。
【解決手段】可撓性シート２０を上流側ガイドローラ２１と下流側ガイドローラ２２との間でテンションを付与した状態で搬送しながら、両ガイドローラ２１，２２の間で可撓性シート２０の外観を検査する可撓性シートの外観検査装置である。可撓性シート２０の両側端部２０ａの凹凸を検出する凹凸検出センサー２５と、可撓性シート２０の両側端部２０ａを表裏両面から空気力で押圧することで、両側端部２０ａを非接触状態で支持する空気力支持機構２４とを備えている。凹凸検出センサー２５で検出された凹凸の程度に応じて、微小振動を抑制する方向に空気力支持機構２４の空気力を制御する制御ユニット２６を備えている。 （もっと読む）