【課題】光学検出手段に移送される前後の米粒がくっつかずに離間した状態で移送されるようにして品位判別の精度を向上させた穀粒品位判別装置を提供する。
【解決手段】
本発明の穀粒品位判別装置１は、穀粒を供給する供給手段２と、該供給手段２から供給された穀粒Ｋを整列させて流下させる傾斜状のシュート８ａからなる移送手段８と、該シュート８ａ上を流下する穀粒に光を照射し、該穀粒から放出される光を検出する光学検出手段１３と、該光学検出手段１３が検出した検出光に基づいて穀粒の品位を判別する品位判別手段１７とを備えたものにおいて、前記シュート８ａは、該シュート８ａに対して振動を与える振動発生手段１１に接続するとともに、弾性部材１０を介して装置本体部１ａに固定する一方、前記光学検出手段１３は、前記シュート８ａに固定して配設する。 （もっと読む）

【課題】糸もしくは糸前駆体の欠陥箇所を光学的に検出する際の測定精度を高めること。
【解決手段】糸（１０）の欠陥箇所を検出するための装置は糸の品質を光学的に測定する測定チャンバー（１４）を有する。測定チャンバー（１４）の側方に、糸（１０）を測定チャンバー（１４）へ導入するための導入スリット（１５）を設けた。導入スリット（１５）を介して周囲光及び/又は汚染物質が侵入するのを防ぐため、閉鎖手段（１６）を設けた。閉鎖手段は弾性変形又は駆動手段（２５）によって開放することができる。 （もっと読む）

【課題】大型のフォトマスクの性能評価及び欠陥検査を良好に行うことができるフォトマスクの検査装置及びフォトマスクの検査方法を提供し、これらフォトマスクの検査装置及びフォトマスクの検査方法を用いた液晶装置製造用フォトマスクの製造方法及びパターン転写方法を提供する。
【解決手段】フォトマスク３を保持し、光源１からの所定波長の光束を照明光学系２を介して照射し、対物レンズ系４を介して、撮像手段５によりフォトマスク３の像を撮像する。光源１より発せられた光束は、少なくとも、ｇ線、ｈ線、または、ｉ線のいずれかを含み、あるいは、これらのうち任意の二以上を混合した光束を含み、波長選択フィルタ６を介して、フォトマスク３に照射される。 （もっと読む）

【課題】外観検査に伴い行われる重筋作業を廃止して、それに起因して生じる種々の問題、特に、検査時間の短縮を図る。
【解決手段】本発明である外観検査用装置100は、工作物10を載せ置いて外観を検査するための検査台110と、この検査台110を軸Ａ₁周りに回転可能に支持する棚面120aを備える棚台120と、この棚台120を軸Ａ₂周りに傾倒可能に保持する台座140とを有し、工作物10を回転体113に載せ置いて、これら回転体113により回転させて工作物10のシャフト部11の外観を検査し、次いで、磁石170により固定されていた検査台110を軸Ａ₁周りに９０度回転させたのち、更に、検査台110の正面側を持ち上げて軸Ａ₂周りに４５度だけ傾倒させ、更に、検査台110上で工作物10を回転体113で回転させることでその開口穴13と発光部160とを整列させて、開口穴13に繋がる工作物10の端部に形成した開口穴を照らして当該開口穴内を検査する。 （もっと読む）

【課題】骨材とそれ以外の異物の、それぞれの可視光域と近赤外光域の輝度を算出し、それぞれの輝度増加率または輝度差を比較することによって骨材以外の異物を検出除去する異物除去装置を提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも、搬送される被選別材料を照明する照明手段と、照明された被選別材料を撮影する撮影手段と、撮影された画像を基に被選別材料中の骨材と異物のそれぞれの可視光域輝度と近赤外光域輝度との輝度増加率または輝度差を計算する画像処理手段と、該輝度増加率または輝度差が基準値以上になった場合に異物の除去信号を出す検出手段と、該除去信号に従って輝度増加率または輝度差が基準値以上となった異物を除去する除去手段とから構成されることを特徴とする異物除去装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ユーザごとの判定条件を用いる事で歩留まり向上、製造コスト低下、生産性を大幅に改善することにある。
【解決手段】光学表示装置の部材である光学フィルムを少なくとも有するシート状製品の欠点を検査する欠点検査装置１０であって、シート状製品を構成する単層体及び／又は積層体であって、シート状製品表面の保護層が設けられていない状態で当該単層体及び／又は積層体の欠点を検出する欠点検出手段と、欠点検出手段で検出された欠点に関する情報である欠点情報を作成する欠点情報作成手段とを備え、欠点情報は、枚葉のシート状製品を製造するために用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ワークを搬送する各種の回転ディスとその駆動手段の安定姿勢が確保され、しかも、ワークの移送路に搬送異常が生じても素早く対応可能なように、ワークの全搬送状態を観察しながら検査することができるようにする。
【解決手段】 上記搬送ライン６に、搬送用回転ディスクＤ１，Ｄ２，Ｄ３が水平に配され、上記ワーク検査部２１に検査用回転ディスク２２が水平に配され、これらの回転ディスクＤ１，Ｄ２，Ｄ３，２２は、駆動軸Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３，Ｊ２２が上方に向けられた駆動手段Ｍｄ１，Ｍｄ２，ＭＤ３，Ｍ４と連結されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面及び表面近傍の微小異物、構造的欠陥を、配線パターン等の影響を受けずに感度良くかつ迅速に検査する。
【解決手段】照光装置と、高屈折率の液体材料と、固体光学要素と、近接場光又は光線の散乱光を集光するレンズ系と、集光した散乱光を検出する光検出装置とを含む、半導体ウェーハの検査装置及び検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ位置の調整を簡単に、かつ素早く行えるようにする外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、ウェハＷをＸＹＺ方向及びＺ軸回りに回転自在に保持するウェハ保持部４を有し、ウェハＷの周縁部を観察するために用いられる周縁撮像部５が近接して配置されている。観察位置におけるウェハ位置は、プリセット設定部５２を使って予めプリセットされているので、ウェハ位置が大幅にずれることがなくなって、フォーカス等の調整に要する手間を低減できる。 （もっと読む）

【課題】基板を圧縮空気で安定的に浮上させたままの状態で検査を行うことができる基板検査装置を提供すること。
【解決手段】基板２の表面を検査する顕微鏡ヘッド（検査部）３と、圧縮空気を噴出して基板２を浮上させる第一浮上部６と、第一浮上部６の顕微鏡ヘッド３側に隣接して顕微鏡ヘッド３近傍に配されて基板２を浮上させる第二浮上部７と、第一浮上部８及び第二浮上部７に対して、基板２を非接触状態で搬送する吸着搬送ステージ（搬送部）８と、顕微鏡ヘッド３近傍に配されて、基板２の上方から基板２に向かって圧縮空気を噴き出すエアー吐出ユニット（吐出部）１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】パネルの検査の効率化を図る。
【解決手段】パネルを撮影してその画像データを基にパネルの良否を判定する検査システムである。複数のパネルをそれぞれ搬送する複数の搬送ラインと、各搬送ライン上にそれぞれ設けられパネルを撮影してその画像データを基に良否を自動判定すると共に前記判定データ及び画像データを送信する検査装置と、この検査装置の下流側にそれぞれ設けられ不良品等と判定されたパネルを一時保管する一時保管部と、当該パネルの画像データを再判定する複数の端末装置と、前記各検査装置及び各端末装置がそれぞれ接続されるネットワーク装置と、当該ネットワーク装置に接続されて不良品又は判定不能と判定されたパネルの判定データ及び画像データを取り込んで、一時保管量の多い前記一時保管部のパネルの判定データ及び画像データを、処理量の少ない端末装置に振り分ける制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】透過照明を用いて検査を精度良く行えるようにする。
【解決手段】基板検査装置の基板ホルダ３は、ホルダ枠１１の開口部１２を覆うようにガラス板１５が装着されている。ガラス板１５には、複数の貫通孔２０が設けられており、貫通孔２０の形成位置に合わせて桟２１がガラス板１５の下側面側に渡されている。桟２１は、一対の帯状板２２の間にブロック２３を挟んだ構成を有し、ブロック２３に基板Ｗを吸着保持するための吸着装置１７が固定されている。 （もっと読む）

開示されるのは、相互に連結された実質的に平坦な袋が供給され、その袋内に対象物があり、それが振動するように設定され、その後袋内の対象物の一つ以上の画像が記録される、検査装置および方法である。この振動は、相互に連結された袋の平面内に対象物に発揮され、一方では、袋上の引張り力によって遂行される絞り力が振動対象物に発揮される。錠剤のような対象物上の前記振動および前記絞り力の組合せが、静かで信頼性が高い検査装置につながる。
（もっと読む）

【課題】周期的なパターンを持つ対象物を撮影する場合、使用するカメラの分解能と対象物のパターン周期の値が近いと、撮影した画像にモアレが見られることがある。画像の不鮮明化をほとんど生じさせることなく、モアレを解消した画像を得る観察方法およびそのモアレを解消した画像を利用する観察装置や欠陥検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】周期的パターンを持つ対象物を撮像することによって周期的パターンの観察を行う観察方法であって、対象物からの入射光を、対象物のパターン周期の概ｎ＋１／２倍（ｎは整数、０を含む）だけシフトさせた半周期シフト画像を取得し、対象物からの入射光を、対象物のパターン周期の概ｍ倍（ｍは整数、０を含む）だけシフトさせた全周期シフト画像を取得し、前記半周期シフト画像と前記全周期シフト画像を重ね合わせた合成画像を観察することで、周期的パターンを持つ対象物を観察する観察方法。 （もっと読む）

【課題】修正が必要なフォトマスクの欠陥を、正確かつ容易に検出することを可能にする。
【解決手段】画像センサ７から、マスクパターンの光透過領域および遮光領域を含む所定領域の光学画像データを取得するデータ取得部１１と、取得した光学画像データから、マスクパターンの形状および欠陥の情報とともに、上記所定領域内での欠陥の数である欠陥の密度を検出する情報検出部１２と、検出したマスクパターンの形状および欠陥の情報と欠陥の密度の情報とに基づいて、情報検出部１２で検出したマスクパターンの欠陥に対する修正の要否の判定を行う演算部１３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ウェーハの種類や工程にたいして適正な異物検査を可能とし、異物検出性能を低下させることなく、歩留り管理に有益な情報を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、ウェーハを含む被検査物に検査光を照射し、前記被検査物から反射または散乱する光を受光し、その受光の強度より被検査物の表面に存在する異物の有無を検査する異物検査方法であって、前記被検査物上に形成されるウェーハパターンの有無や膜の有無、膜の材質、膜厚寸法に対して前記受光の強度が強まるように焦点オフセットを調整することを特徴とする。これにより、適正な異物検査が実現できる。
また、表面高さ位置検出手段（表面検出系）が検出する表面高さ位置に強度検出手段の受光強度が強まるように焦点オフセットを調整する。それにより、適正な異物検査が実現できる。また、レシピ作成画面にこのオフセット量を算出する機能を組み込むことでウェーハの種類や工程に最適な条件作成が可能となる。 （もっと読む）

【課題】ステージ上に載置する液晶基板を検査する液晶基板検査装置において、加熱による変形量を定量化する。
【解決手段】液晶基板検査装置の装置内に撮像装置を設け、この撮像装置によって、液晶用ガラス基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、この基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を測定することによって、加熱による変形量を定量化する。基板の変形量測定方法は、撮像装置によって、基板上に設けられた基板アライメントマークを撮像し、座標算出部によって、撮像装置の撮像画像に基づいて、基板アライメントマークの座標を撮像装置に固定した座標系上において算出し、変形量算出部によって、基板アライメントマークの座標に基づいて基板の変形量を算出する。 （もっと読む）

【課題】レンズ作用面を有する透明体が設置されたワークの透明体に対面する内部が鮮明に撮像でき、また、透明体に傷をつけることなく検査することができる検査機構および被検査物搬送検査装置ならびに検査方法を提供することを課題とする。
【解決手段】レンズ作用を有する透明体Ｗ１が設けられた被検査物Ｗを、搬送機構２０により保持して検査位置Ｔまで搬送し、当該検査位置の被検査物を撮像カメラにより撮像して画像を解析して検査する検査機構２０であって、光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする透光板３１およびゲル体３２と、を有する透光介在板３０と、この透光介在板のゲル体に対面する前記検査位置に前記被検査物が保持されて前記搬送機構により搬送されたときに、前記ゲル体を前記被検査物の透明体に当接あるいは離間させるように前記透光介在板を移動させる透光介在板移動機構２０ＡＢと、を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】より高精度な検査面の位置を保つ基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板１０１を検査する基板検査装置において、水平方向に移動するＸＹステージ１２１と、ＸＹステージ１２１上に配置され、上下方向に移動するＺステージ１０３と、Ｚステージ１０３を３箇所で上下方向に移動させる圧電素子を有する３つのアクチュエータ機構１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃ、およびＺステージ１０３を支持する弾性ヒンジ１０８を備えた。また、Ｚステージ１０３上には基板１０１の中心を仮想中心軸として回転方向に移動するθステージ１０６が配置され、直線方向に移動するロッド３０８と、ロッド３０８に接続され弾性変形しながらθステージ１０６を回転させる弾性部材１１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】パレットのうねりや厚さばらつきと同程度の寸法を有するパレット表面の異物をより確実に検出する。
【解決手段】検査装置は、パレット１０の表面の異物１２を検査するように構成される。検査装置は、パレット１０を搬送するコンベアと、コンベアによって搬送されているパレット１０の表面の高さにならって昇降する第１従動部３０及び第２従動部４０と、第１従動部３０に取り付けられた第１部分５２及び第２従動部４０に取り付けられた第２部分５４を含むフォトセンサとを備える。第１部分５２と第２部分５４との間に異物１２を検出するための検出光路５６が形成される。 （もっと読む）