【課題】高い検査精度を得る。
【解決手段】本発明は、扁平なワークの表面および裏面の状態を検査する扁平ワークの外観検査装置を対象とする。ワークをその表面側を上向きにして、搬送ラインに沿って下流側に搬送する表面検査用搬送機１０と、表面検査用搬送機１０の上方に設けられ、かつ表面検査用搬送機１０上のワークの表面を撮像する表面撮像装置と、表面検査用搬送機１０から搬出されたワークを裏面側が上向きとなるように反転させるワーク反転装置３１と、ワーク反転装置３１によって裏面側を上向きにしたワークを、搬送ラインに沿って下流側に搬送する裏面検査用搬送機２０と、裏面検査用搬送機２０の上方に設けられ、かつ裏面検査用搬送機上のワークの裏面を撮像する裏面撮像装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル３をプローブユニット１１に対して確実に位置合わせする。
【解決手段】検査対象板を検査するために、カメラで前記検査対象板の表面のアライメントマークを撮影し当該アライメントマークと基準マークとを整合させて前記検査対象板の位置合わせを行う検査装置である。前記カメラで撮影した、印字状態の異なる複数の検査対象板のアライメントマークを基準マークとして記憶する記憶手段と、前記カメラで撮影した前記検査対象板のアライメントマークに近似した基準マークを前記記憶手段に記憶した複数の基準マークの中から選択してその基準マークと前記検査対象板のアライメントマークとを整合させて位置合わせ制御を行う制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、透明容器の内壁に付着してしまうような粉末や流動性が悪い粉末であっても検査することができ、粉末に対する比重に制限されることなく、透明容器内に充填された粉末中の異物を容易且つ確実に検査可能な透明容器内粉末中の異物検査方法及び異物検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の透明容器内粉末中の異物検査方法は、透明容器内に充填された粉末中への異物の混入の有無を検査する異物検査方法において、前記透明容器に縦方向の往復振動と横方向の往復振動を合成した振動を与えて該透明容器内の粉末を循環流動させながら、内面に粉末が付着している透明容器壁面を通して粉末を撮像し、得られた画像を用いて異物の有無を検査することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数のボールの全表面及び内部の目視検査を短時間で完了させて作業性の向上をはかると共に、目視検査中のボール表面に付着するコンタミの抑制，表面キズの発生を防止する。
【解決手段】上下に重ねられる２枚の板材１，４からなり、上側の板材１には被検査対象となるボールＢの底面の一部が下側の板材に接する形状のボール穴３が一定ピッチで複数配設されていると共に、複数のボール穴３の両側に稲妻形のガイド穴２が穿設されており、一方、下側の板材４には上側の板材１に設けられたガイド穴２に差し込まれるピンが設けられ、ピンとガイド穴とのクリアランスを０．０５〜０．１ｍｍとしてピンを稲妻形ガイド穴の辺に沿って移動させることにより、上下板材１，４の相対位置を移動させ、上側の板材１のボール穴３に保持されるボールＢ全てを同時に一方向に一定距離回転させ順次、繰り返し全面の目視検査を可能ならしめる目視検査用治具である。 （もっと読む）

【課題】被検査体における内部析出物、空洞欠陥、表面の異物ないしスクラッチ、表層のクラックの欠陥を精度よく検出し、欠陥の種類を特定して欠陥を分類できるようにする。
【解決手段】光源装置４からの光をポラライザー５を介して偏光を与えて被検査体Ｗに対し斜め方向に入射させ、その散乱光ＳＢを暗視野に配置された偏光分離素子９を有するＣＣＤ撮像装置７で撮像し、得られたＰ偏光成分画像とＳ偏光成分画像とについて成分光強度を得て、それらの比としての偏光方向を求める。被検査体に応力を印加していない状態と、応力を印加した状態の光散乱体の撮像により得られた画像から成分光強度、偏光方向を求め、所定の閾値と対比することにより欠陥の検出、分類がなされる。 （もっと読む）

【課題】残存欠陥を自動的かつ正確に検出する。
【解決手段】撮像部１１がガラス基板２を撮像した欠陥画像に基づき画像処理部１２は欠陥を検出し、欠陥の位置および範囲を認識する。レーザ発振器１４は、検出された欠陥を修正するためのレーザ光を出力する。レーザ光は、欠陥に照射されるようにＤＭＤユニット１７により空間光変調される。ＤＭＤユニット１７を駆動するドライバ２０は、画像処理部１２から出力されるデータに基づいて制御信号を出力するレーザ形状制御部１９により制御される。残存欠陥検出部２２は、欠陥の範囲におけるガラス基板２の高さに関する高さ情報を取得し、欠陥の修正後にさらに修正すべき残存欠陥が存在するか否かを、高さ情報に基づいて判断する。残存欠陥が存在すると判断されると、欠陥に対するレーザ照射と同様にして、残存欠陥に対するレーザ照射が行われる。 （もっと読む）

【課題】基板浮上機構の組み付け工数を減らし、精密な加工を含めた装置全体の価格を削減することができる基板浮上機構の取り付けおよび高さ調整機構を提供すること。
【解決手段】空気の吹き出し及び吸引によって基板２を一定の高さに浮上維持する基盤浮上機構３と、前記基板浮上機構３の高さを個別に調整する高さ位置調整機構４と、前記基板浮上機構４の一側面からはみ出した前記基板５の片端部を固定する基板把持機構５と前記基板浮上機構３の一側面と隣接して設けられ、前記基板把持機構５を介して前記基板２を搬送方向Ｘに沿った方向に搬送する基板搬送機構６と、前記基板浮上機構３へ空気の供給および前記基板浮上機構３からの空気の吸引を行う浮上制御部Ａと、前記基板２の表面検査を行う検査部Ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】発泡体ローラーの表面部と内部に存在する欠陥を１度の検査で得る方法及び装置を提供する。
【解決手段】投光装置の光源及びシリンドリカルレンズ４を通した光を発泡体ローラー１に投光する。そして、発泡体ローラー１における反射光Ｐを撮像装置１１で撮像すると共に、発泡体ローラー１を透過した透過光を反射板２で反射させて、撮像装置１１で撮像する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の欠陥を精度よく検査することが可能となるホルダ及び検査装置を提供する。
【解決手段】ホルダ３は、ガラス基板Ｓの欠陥を検査する際に用いられるものであって、ガラス基板Ｓを支持する本体１０を備え、本体１０が紫外光を吸収する材料で形成されて紫外光を透過しないようになっており、本体１０の反射型暗視野照明装置側の表面１０ａには、ＡＲコート１４が設けられている。つまり、ホルダ３は、紫外光の反射を防止するための反射防止部、及び紫外光の透過を防止するための透過防止部を有している。よって、ガラス基板Ｓの欠陥を検査する際、反射型暗視野照明装置から照射された紫外光が表面１０ａにて反射散乱したり、透過型暗視野照明装置から照射された紫外光がホルダ３を透過したりするのを防止でき、ガラス基板Ｓを撮像時においてノイズが検出されるのを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の水平方向における傾きを矯正し被検査物を負圧により吸着固定して画像を取得して検査する吸着固定装置の実装スペースを小さくするとともに、装置コストを低くし、被検査物の水平方向における傾きを矯正する時間も短くする。
【解決手段】複数の吸引孔を有する検査テーブル上の被検査物１を吸着して固定する吸着固定装置において、吸着固定動作のときに上下して吸着孔を開閉する複数のボール８と、被検査物の水平方向における傾きを矯正する突き当て板５と、被検査物１が前記突き当て板５に当接したことを検出する検出センサ６と、前記複数のボール８に当接し、前記検出センサ６の検出結果に基づき前記突き当て板５の所定の方向と逆方向に回転駆動するボール駆動ベルト３ｂを備え、吸着動作以外のときに被検査物１の傾きを矯正できるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、パネルの欠陥位置を精度良く特定する装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の装置１０は、パネル１２の保持台１４と、パネル１２の全ての画素を駆動させる信号発生器１６と、パネル１２を撮影するカメラ１８と、カメラ１８で撮影される領域の中心にレーザーを照射するレーザーポインタ２０と、カメラ１８とレーザーポインタ２０とを移動させる２軸（ＸＹ）ステージ２２と、２軸ステージ２２におけるカメラ１８の位置（以下、第１の位置）を求めるスケーラー（図示せず）と、種々の制御やデータの処理をおこなうコンピュータ２４と、欠陥サブピクセルの座標などを記憶するデータベース２６とを有する。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムの欠点検査において、離型フィルムの一部を残して剥離して欠点検査を行なう場合に、離型フィルムの剥離に際し、離型フィルムに粘着剤が付着したり、粘着剤表面が荒れることがないように構成した光学フィルムの欠点検査方法を提供することにある。
【解決手段】リーダー部材を離型フィルムの端部分に貼着し、当該リーダー部材を当該離型フィルムに設けるリーダー部材貼着処理と、リーダー部材を当該離型フィルムの端部分方向に折り返すリーダー部材折返し処理と、離型フィルムを粘着剤層から剥離するように、折り返したリーダー部材と光学フィルムおよび粘着剤層とを相対的に移動させ、離型フィルムの端面部分が粘着剤層から剥離開始以後、所定位置まで連続して、当該離型フィルムを当該粘着剤層から剥離する離型フィルム剥離処理と、剥離された所定領域を欠点検査する欠点検査処理とを有する。 （もっと読む）

本発明は、例えば、半導体産業用のウェーハ、太陽電池、ガラス、ＦＰＤ基板またはバイオセンサー用の生物活性基板のような、接触に対して敏感な平面状の材料もしくは加工品の検査装置に関し、さらに、接触に対して敏感な曲面表面の材料の検査装置にも関する。この場合、この検査装置は、材料（３）をその上面上に担持する支持体（１）と、その支持体（１）に接続される少なくとも１つの振動発生器であって、その振動発生器の振動の周波数および振幅は、材料（３）を支持体（１）の上で浮揚させ続けうるように選択される少なくとも１つの振動発生器と、少なくとも１つの光学センサー（４）とを含み、さらに、支持体は透明な材料から構成され、かつ、光学センサー（４）は支持体（１）の下部に配置される。 （もっと読む）

【課題】 搬送機構に影響を受けることなく高精度の位置情報を確実かつ安定して得るとともに、コストダウン及び小型化、更に軽量化及び省エネルギ性向上に寄与する。
【解決手段】 被検査物Ｐの外観を撮像部Ｖにより撮像し、画像処理により欠陥部位の有無を検査する外観検査システム１を構成するに際して、被検査物Ｐ上に表示し、かつ少なくとも被検査物Ｐの搬送方向Ｆｙ（Ｙ座標方向）におけるＹ座標位置に対応するエンコーダパターンを表示したＹ座標パターン部２ｙを有するエンコーダパターン表示部２と、欠陥部位を検出する際に当該エンコーダパターン表示部２を撮像部Ｖにより撮像して得たパターン信号Ｓｐから欠陥部位の位置に対応する少なくともＹ座標位置を検出する検出処理部４を有する検査装置３を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送装置間で基板を受け渡しながら検査を行う構成において、装置を小型化かつ構造を簡略化する。
【解決手段】基板検査装置１は、浮上ステージ１１で浮上させたガラス基板Ｗを搬送するための第１の搬送部１２と、第２の搬送部１３が搬送方向に順番に設置されている。第１、第２の搬送部１２，１３は、搬送方向に平行な同軸上に配置されている。さらに、２つの搬送部１２，１３間でのガラス基板Ｗの受け渡しを行うローラ式搬送部１４が設けられている。ローラ式搬送部１４は、浮上ステージ１１に対して突没自在に昇降する自走式のローラ４１を備える。ガラス基板Ｗを受け渡す際には、第１の搬送部１２の吸着を解除してからローラ４１をガラス基板Ｗに当接させ、第２の搬送部１３に向けてガラス基板Ｗを移動させる。 （もっと読む）

【課題】検査対象たるシート状ワークのシワや歪みをのばして正確なインライン検査装置を提供する。
【解決手段】シート状ワークＦの光学的情報を取得するスキャナヘッド１０を設置するとともに、スキャナヘッドは、検査対象たるワークの幅方向で往復走行するスキャナヘッド走行手段２０と、ワークを下方に押さえながら検査スキャン方向に往復動する検査ステージ１２と、検査ステージの上方に取り付けられワークに向かって光信号を照射する発光器１３と、検査ステージの上方に取り付けられ発光器から照射されワークで反射した光信号を取得する受光器１４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】被写界深度が狭い超高分解カメラを用いた検査において、複雑な機構やシステムを構築することなく容易で安価に、基板を上下振動無く安定して搬送することで、被写界深度からはずれることなく、搬送しながら検査すること。
【解決手段】空気の吹き出しおよび吸引によって基板２を浮上させながら一定の高さに維持する基板浮上機構３と、前記基板浮上機構３と同様に空気の吹き出しおよび吸引によって基板２を一定の高さで空間保持する基板保持機構４と、前記基板浮上機構３の一側面からはみ出した前記基板２の片端部を固定する基板把持機構と、前記基板浮上機構３の一側面と隣接して設けられ、前記基板浮上機構３および前記基板保持機構４への空気の供給および前記基板浮上機構３および前記基板保持機構４からの空気の吸引を行う浮上制御部と、前記基板２の表面検査を行う検査部Ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】安定した測定を簡便に行うことができる基板保持装置を提供する。
【解決手段】本実施の形態にかかる基板保持装置は、試料５０の端部が載置される載置台１２と、載置台１２に設けられ、試料５０を吸着する第１及び第２の吸着部１３ａ、１３ｂと、試料５０の下側において移動可能に設けられ、試料５０に対して気体を噴出する噴出口４６を有する吸着台１８と、を備え、第１及び第２の吸着部１３ａ、１３ｂのＯＮ／ＯＦＦを切換える切換部１５ａ、１５ｂと、を備え、切換部１５ａ、１５ｂが、試料５０に対する吸着台１８の位置に応じて、第１及び第２の吸着部１３ａ、１３ｂの一方をＯＮし、他方をＯＦＦするものである。 （もっと読む）

【課題】基板にかかる応力を抑制しつつ確実に吸着保持できるようにする。
【解決手段】外観検査装置１は、基板吸着装置として板金１５に固定された３つの吸着部群１６Ａ〜１６Ｃを備える。吸着部群１６Ａ〜１６Ｃはガラス基板Ｗの搬送方向に並んで配置されており、各々が３つの吸着部１８Ａ〜１８Ｃを備える。吸着部１８Ａ〜１８Ｃは、ガラス基板Ｗの裏面に吸着可能で、首振り動作が可能な吸着パッド２２が１つずつ設けられている。最も中央にある吸着部群１６Ｂの吸着部１８Ｂは、上方に押し付け部３３が配置されている。押し付け部３３は補助パッド３５を降下させてガラス基板Ｗを吸着部１８Ｂに押し付ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ワークを走査するＣＣＤカメラにおいて正確な走査結果を得ることができる部品検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の部品検査装置１は機台２と、この機台２の上面の一部に弾性部材３を介して載置されるベース板４と、このベース板４に載置され、ワークＳを搬送する回転搬送ユニット４０と、この回転搬送ユニット４０にワークＳを供給する供給ユニット１０と、前記ベース板４に載置され、回転搬送ユニット４０上のワークＳを走査するＣＣＤカメラ６０とから構成されることを特徴とする部品検査装置である。 （もっと読む）