ホルダ及び検査装置
【課題】被検査物の欠陥を精度よく検査することが可能となるホルダ及び検査装置を提供する。
【解決手段】ホルダ３は、ガラス基板Ｓの欠陥を検査する際に用いられるものであって、ガラス基板Ｓを支持する本体１０を備え、本体１０が紫外光を吸収する材料で形成されて紫外光を透過しないようになっており、本体１０の反射型暗視野照明装置側の表面１０ａには、ＡＲコート１４が設けられている。つまり、ホルダ３は、紫外光の反射を防止するための反射防止部、及び紫外光の透過を防止するための透過防止部を有している。よって、ガラス基板Ｓの欠陥を検査する際、反射型暗視野照明装置から照射された紫外光が表面１０ａにて反射散乱したり、透過型暗視野照明装置から照射された紫外光がホルダ３を透過したりするのを防止でき、ガラス基板Ｓを撮像時においてノイズが検出されるのを抑制できる。
【解決手段】ホルダ３は、ガラス基板Ｓの欠陥を検査する際に用いられるものであって、ガラス基板Ｓを支持する本体１０を備え、本体１０が紫外光を吸収する材料で形成されて紫外光を透過しないようになっており、本体１０の反射型暗視野照明装置側の表面１０ａには、ＡＲコート１４が設けられている。つまり、ホルダ３は、紫外光の反射を防止するための反射防止部、及び紫外光の透過を防止するための透過防止部を有している。よって、ガラス基板Ｓの欠陥を検査する際、反射型暗視野照明装置から照射された紫外光が表面１０ａにて反射散乱したり、透過型暗視野照明装置から照射された紫外光がホルダ３を透過したりするのを防止でき、ガラス基板Ｓを撮像時においてノイズが検出されるのを抑制できる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の欠陥を検査する際に用いられるホルダ及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検査物の欠陥を検査する際、例えば特許文献１，２に記載された検査装置が用いられている。これらの検査装置では、被検査物の表面に照射される第１の照射光、及び被検査物の内部に照射される第２の照射光の少なくとも一方を照射すると共に、被検査物を撮像することで、被検査物の欠陥を検査する。そして、この種の検査装置では、通常、被検査物を支持する本体を備えたホルダが設けられている。
【特許文献１】特開２０００−１６２１４６号公報
【特許文献２】特開２０００−２８４７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、上述したようなホルダでは、被検査物の欠陥を検査する際、第１の照射光がホルダにて反射したり、第２の照射光がホルダを透過したりするおそれがある。よって、上述したようなホルダでは、ホルダにて反射した第１の照射光の反射光（散乱光）や、ホルダを透過した第２の照射光の透過光がノイズとして検出されてしまい、被検査物を精度よく検査できないという問題がある。
【０００４】
そこで、本発明は、被検査物の欠陥を精度よく検査することが可能となるホルダ及び検査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明に係るホルダは、被検査物の欠陥を検査する際に用いられるホルダであって、被検査物を支持する本体を備え、被検査物の表面に照射される第１の照射光の反射を防止するための反射防止部、及び被検査物の内部に照射される第２の照射光の透過を防止するための透過防止部の少なくとも一方を有することを特徴とする。
【０００６】
このホルダを用いて被検査物の欠陥を検査する場合、本体によって支持された被検査物に第１の照射光及び第２の照射光の少なくとも一方が照射され、例えば撮像手段によって被検査物が撮像される。ここで、このホルダにあっては、反射防止部及び透過防止部の少なくとも一方を有していることから、第１の照射光がホルダにて反射したり、第２の照射光がホルダを透過したりするのを防止することができる。よって、被検査物を撮像する際にノイズが検出されるのを抑制することができ、被検査物の欠陥を精度よく検査することが可能となる。
【０００７】
ここで、反射防止部は、本体において第１の照射光が照射される側の表面に設けられた反射防止層であることが好ましい。反射防止層としては、例えばＡＲコートが挙げられる。
【０００８】
また、透過防止部は、本体が第２の照射光を吸収する材料で形成されて成り、本体には、第２の照射光を被検査物に向けて通過させる通過孔が形成されていることが好ましい。この場合、ホルダに照射される第２の照射光を吸収して、第２の照射光がホルダを透過しないようにすることができる一方、第２の照射光を通過孔を介して被検査物の内部に確実に照射させることができる。つまり、第２の照射光がホルダを透過するのを好適に防止することが可能となる。
【０００９】
また、本発明に係る検査装置は、上記のホルダを具備し、被検査物の欠陥を検査する検査装置であって、第１の照射光を照射する第１の照明手段、及び第２の照射光を照射する第２の照明手段の少なくとも一方と、被検査物を撮像する撮像手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
この検査装置においても、上記のホルダを具備することから、上記と同様な作用効果、すなわち、被検査物を撮像する際にノイズが検出されるのを抑制し、被検査物の欠陥を精度よく検査できるという効果が奏される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、被検査物の欠陥を精度よく検査することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１３】
図１は本発明の一実施形態に係る検査装置を示す構成図、図２は図１の検査装置におけるホルダを示す平面図、図３は図２のIII−III線に沿う端面図である。図１に示されるように、検査装置１は、ガラス基板（被検査物）Ｓの欠陥を検査するための装置であって、検査軸線Ｌ上においてガラス基板Ｓを支持するためのホルダ３を備えている。ガラス基板Ｓは、図２に示されるように、矩形状を呈しており、ホルダ３上に複数載置されている。なお、欠陥としては、表面欠陥（例えば、点傷、線傷、打痕、錆、異物の付着、ピンホール、その他の外観異常等）や内部欠陥（例えば、ピンホール、内部気泡等）が挙げられる。
【００１４】
図１に戻り、検査装置１は、反射型暗視野照明装置（第１の照明手段）４、透過型暗視野照明装置（第２の照明装置）５、カメラ（撮像手段）６及び顕微鏡７を備えている。反射型暗視野照明装置４は、検査軸線Ｌ方向においてホルダ３の一方の側に複数設けられており、ホルダ３によって支持されたガラス基板Ｓの表面Ｓ１に紫外光（第１の照射光）を照射する。この反射型暗視野照明装置４は、照射する紫外光の照射方向及びスポット径が可変となっている。なお、「反射型暗視野照明」とは、ガラス基板Ｓの表面Ｓ１に欠陥が存在しない場合に表面Ｓ１にて正反射された紫外光がカメラ６に入射しない照射角度で、ガラス基板Ｓに対して光を照射する照明を意味する。
【００１５】
透過型暗視野照明装置５は、検査軸線Ｌ方向においてホルダ３の他方の側に複数設けられており、ホルダ３によって支持されたガラス基板Ｓの内部に、通過孔２０（後述）を介して紫外光（第２の照射光）を照射する。この透過型暗視野照明装置５は、反射型暗視野照明装置４と同様に、照射する紫外光の照射方向及びスポット径が可変となっている。なお、「透過型暗視野照明」とは、ガラス基板Ｓの表面及び内部に欠陥が存在しない場合にガラス基板Ｓによって屈折された紫外光がカメラ６に入射しない照射角度で、ガラス基板Ｓに対して光を照射する照明を意味する。
【００１６】
カメラ６及び顕微鏡７は、検査軸線Ｌ方向においてホルダ３の一方の側に設けられている。カメラ６は、反射型暗視野照明装置４又は透過型暗視野照明装置５によって紫外光が照射されたガラス基板Ｓを撮像する。顕微鏡７は、ガラス基板Ｓを拡大観察することで、欠陥の形状や大きさ、種類等を詳細に検査する。これらのカメラ６及び顕微鏡７は、検査軸線Ｌ上に移動可能となっており、反射型暗視野照明装置４によってガラス基板Ｓの表面に照射された紫外光の反射散乱光や、透過型暗視野照明装置５によってガラス基板Ｓの内部に照射された紫外光の透過散乱光を捉える。
【００１７】
さらに、検査装置１は、装置全体を制御する制御装置８と、カメラ６及び顕微鏡７によって捉えられた反射散乱光像や透過散乱光像、検査結果等を表示する表示装置９と、を備えている。制御装置８は、ホルダ３と反射型暗視野照明装置４との位置関係やホルダ３と透過型暗視野照明装置５との位置関係が変化するように、ホルダ３のＸ軸及びＹ軸方向への移動並びにＺ軸周りの回転を制御する。また、制御装置８は、ガラス基板Ｓに照射される紫外光の照射方向及びスポット径が変化するように、反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５を制御する。
【００１８】
次に、上述したホルダ３について詳細に説明する。ホルダ３は、検査軸線Ｌに垂直なＸ軸及びＹ軸方向に移動可能、且つ検査軸線Ｌに平行なＺ軸周りに回転可能に構成されている。このホルダ３は、図２に示されるように、ガラス基板Ｓを支持し保持する本体１０を備えている。
【００１９】
本体１０は、長尺矩形状の枠部材１２と、この枠部材１２に移動可能にして固定された複数の梁部材１３と、を有している。枠部材１２の長辺部には、その長手方向（Ｙ方向）に沿って延在する溝１５が形成されている。また、枠部材１２の短辺部には、ガラス基板Ｓを載置するものとして、内側に凸の載置部１６が設けられている。
【００２０】
梁部材１３は、枠部材１２の長手方向に直交する方向（Ｘ方向）に延在している。この梁部材１３は、枠部材１２に対し長手方向に移動可能にして固定されている。具体的には、梁部材１３は、その両端部が枠部材１２の溝１５から露出するように枠部材１２に取り付けられ、ネジ１７で枠部材１２に固定されている。この梁部材１３は、図３に示されるように、ガラス基板Ｓを載置するための載置部１８と、当該載置部１８に設けられ上方（図中において上側）に凸の凸部１９と、を含んで構成されている。また、隣接する載置部１６，１８間、及び載置部１６，１６間には、透過型暗視野照明装置５から照射される紫外光をガラス基板Ｓに向けて通過させるための通過孔２０が形成されている。
【００２１】
この本体１０は、紫外光を吸収する材料で形成されており、紫外光を透過しないようになっている。ここでは、本体１０は、紫外光を透過しないプラスチックであって、ガラスのような透明性を有する材料であるステラ３００（商品名：三菱樹脂株式会社製）により形成されている。つまり、本体１０自体が、ガラス基板Ｓの内部に照射される紫外光の透過を防止するための透過防止部となっている。
【００２２】
また、本体１０の反射型暗視野照明装置４側の表面１０ａ（枠部材１２の表面１２ａ及び梁部材１３の表面１３ａ）には、紫外光の反射を防止するための薄膜であるＡＲコート（Anti Refledion Coating：反射防止部）１４が設けられている。つまり、本体１０において反射型暗視野照明装置４により紫外光が照射される側の表面１０ａには、反射防止層が設けられている。また、この本体１０において、表面１０ａの表面粗さは、表面１０ａ以外の部分の表面粗さよりも小さくなっている。ここでの表面１０ａの表面粗さは、例えば１０ｎｍ以下とされている。
【００２３】
このホルダ３によってガラス基板Ｓを支持する場合には、ガラス基板Ｓのサイズに応じて梁部材１３をＹ方向に移動させて梁部材１３を固定し、隣接する載置部１６，１８及び載置部１６，１６に掛け渡すようにガラス基板Ｓを載置する。これにより、ガラス基板Ｓが、ホルダ３で支持されると共に、枠部材１２と梁部材１３の凸部１９との間、及び隣接する凸部１９，１９間で挟持されることとなる。
【００２４】
次に、検査装置１の動作について説明する。まず、ホルダ３で支持された複数のガラス基板Ｓのうち、検査軸線Ｌ上の一のガラス基板Ｓの表面Ｓ１に反射型暗視野照明装置４から紫外光が照射され、検査軸線Ｌ上に配置されたカメラ６によってガラス基板Ｓの表面が撮像される。そして、制御装置８によって、取得された画像が解析されて表面欠陥の有無が判断され、その結果（表面欠陥の位置、形状、大きさ、種類等に関する情報）が表示装置９に表示される。
【００２５】
続いて、このガラス基板Ｓの内部に透過型暗視野照明装置５から紫外光が通過孔２０を介して照射され、検査軸線Ｌ上に配置されたカメラ６によってガラス基板Ｓの内部が撮像される。そして、制御装置８によって、取得された画像が解析されて内部欠陥の有無が判断され、その結果（内部欠陥の位置、形状、大きさ、種類等に関する情報）が表示装置９に表示される。
【００２６】
その後、ホルダ３がＸ軸及びＹ軸方向に移動されて、別のガラス基板Ｓの欠陥が検査される。そして、これが繰り返されることで、ホルダ３で支持された複数のガラス基板Ｓの検査が完了する。
【００２７】
ここで、本実施形態のホルダ３にあっては、上述したように、本体１０が紫外光を吸収する材料で形成されおり、紫外光を透過しないようになっている。さらに、本体１０の反射型暗視野照明装置４側の表面１０ａには、ＡＲコート１４が設けられている。つまり、ホルダ３は、紫外光の反射を防止するための反射防止部、及び紫外光の透過を防止するための透過防止部を有している。よって、ガラス基板Ｓの欠陥を検査する際、反射型暗視野照明装置４から照射された紫外光が表面１０ａにて反射散乱したり、透過型暗視野照明装置５から照射された紫外光がホルダ３を透過したりするのを防止することができる。従って、ガラス基板Ｓの撮像時にノイズが検出されるのを抑制することができ、ガラス基板Ｓの欠陥を精度よく検査することができる。
【００２８】
また、上述したように、紫外光を吸収する材料によって本体１０が形成されており、この本体１０には通過孔２０が形成されている。そのため、ホルダ３に照射される紫外光を吸収し、紫外光がホルダ３を透過しないようにすることができる一方、透過型暗視野照明装置５から照射された紫外光を、通過孔２０を介してガラス基板Ｓの内部に確実に照射させることができる。つまり、透過型暗視野照明装置５から照射された紫外光がホルダ３を透過するのを好適に防止することが可能となる。
【００２９】
また、本実施形態では、上述したように、ホルダ３における表面１０ａの表面粗さが、表面１０ａ以外の部分の表面粗さよりも小さくなっている。また、上述したように、ＡＲコート１４は、ガラスのような透明性を有する本体１０の表面１０ａに設けられている。よって、反射型暗視野照明装置４から照射された紫外光が表面１０ａにて反射散乱するのを一層防止することができる。なお、ガラス等の透明材料の表面１０ａにＡＲコート１４を設けると、表面１０ａからの散乱ノイズを１％以下にできることが確認されている。
【００３０】
また、本実施形態では、上述したように、ガラス基板Ｓのサイズに応じて、梁部材１３がＹ方向に移動されて固定されている。よって、ホルダ３によれば、ガラス基板Ｓのサイズや厚さ等によらず、種々のガラス基板Ｓを支持することができる。さらに、上述したように、枠部材１２と梁部材１３の凸部１９との間、及び隣接する凸部１９，１９間でガラス基板Ｓが挟持されている。よって、支持されたガラス基板Ｓのズレを防止でき、ガラス基板Ｓを確実に支持することが可能となる。
【００３１】
なお、本実施形態では、反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５の双方から紫外光を照射してガラス基板Ｓの欠陥を検査したが、これらの何れか一方から紫外光を照射してガラス基板Ｓの欠陥を検査してもよい。また、反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５から紫外光を照射したが、可視光を照射してもよい。これらの各場合において、ホルダ３の本体１０の材料及びＡＲコート１４に関しては、以下のとおりである。
【００３２】
すなわち、下表１に例示されるように、反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５が紫外光を照射する場合には次のとおりである。反射型暗視野照明装置４のみを用いるとき、本体１０の材料はガラスやプラスチックが挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成される。透過型暗視野照明装置５のみを用いるとき、本体１０の材料は、金属（例えばアルミニウム）、紫外光を透過しないプラスチック（例えばステラ３００）が挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成されない。反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５を用いるとき、本体１０の材料は紫外光を透過しないガラスやプラスチック（例えばステラ３００）が挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成される。ちなみに、紫外光を照射する照明装置４，５を共に用いる本実施形態では、上記のように、本体１０の材料をステラ３００で形成し、本体１０の表面１０ａにＡＲコートを形成している。
【００３３】
また、下表１に例示されるように、反射型暗視野照明装置及び透過型暗視野照明装置が可視光を照射する場合には次のとおりである。反射型暗視野照明装置のみを用いるとき、本体１０の材料はガラスやプラスチックが挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成される。透過型暗視野照明装置のみを用いるとき、本体１０の材料は、金属（例えばアルミニウム）、可視光を透過しないプラスチックが挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成されない。反射型暗視野照明装置及び透過型暗視野照明装置を用いるとき、本体１０の材料は可視光を透過しないガラス（例えば着色ガラス）やプラスチック（例えばステラ３００）が挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成される。ちなみに、本体１０の材料及びＡＲコート１４については、紫外光及び可視光の波長によっても適宜に設定される。
【００３４】
【表１】
【００３５】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、通過孔２０（図３参照）をＺ方向に平行に延在するように設けたが、下方に行くに従って拡がるように設けてもよい。具体的には、通過孔２０を構成する面（つまり、隣接する載置部１６，１８の対向する面、及び隣接する載置部１８，１８の対向する面）を、下方に行くに従って通過孔２０が拡がるように傾斜させてもよい。この場合、透過型暗視野照明装置５から照射された紫外光を、ガラス基板Ｓに向けて集光することが可能となる。
【００３６】
また、上記実施形態では、ガラス基板Ｓを被検査物として検査したが、ＣＣＤ用のカバーガラスを被検査物としてもよく、金属や樹脂等を被検査物としてもよい。ここで、透過性がないものを被検査物とする場合には、表面欠陥の検査が実施される。
【００３７】
また、上記実施形態では、表面欠陥を検査した後に内部欠陥を検査したが、内部欠陥を検査した後に表面欠陥を検査してもよい。或いは、反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５によってガラス基板Ｓに同時に光を照射して、表面欠陥及び内部欠陥を同時に検査してもよい。また、透過型暗視野照明装置５や反射型暗視野照明装置４は、複数に限定されず１つであってもよく、また、検査軸線Ｌを軸線とするリング状に複数配置してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査装置を示す構成図である。
【図２】図１の検査装置におけるホルダを示す平面図である。
【図３】図２のIII−III線に沿う端面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０…表面、２０…通過孔、１…検査装置、３…ホルダ、４…反射型暗視野照明装置（第１の照明手段）、５透過型暗視野照明装置（第２の照明手段）、６…カメラ（撮像手段）、１０…本体（透過防止部）、１４…ＡＲコート（反射防止部、反射防止層）、Ｓ…ガラス基板（被検査物）、Ｓ１…表面。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の欠陥を検査する際に用いられるホルダ及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検査物の欠陥を検査する際、例えば特許文献１，２に記載された検査装置が用いられている。これらの検査装置では、被検査物の表面に照射される第１の照射光、及び被検査物の内部に照射される第２の照射光の少なくとも一方を照射すると共に、被検査物を撮像することで、被検査物の欠陥を検査する。そして、この種の検査装置では、通常、被検査物を支持する本体を備えたホルダが設けられている。
【特許文献１】特開２０００−１６２１４６号公報
【特許文献２】特開２０００−２８４７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、上述したようなホルダでは、被検査物の欠陥を検査する際、第１の照射光がホルダにて反射したり、第２の照射光がホルダを透過したりするおそれがある。よって、上述したようなホルダでは、ホルダにて反射した第１の照射光の反射光（散乱光）や、ホルダを透過した第２の照射光の透過光がノイズとして検出されてしまい、被検査物を精度よく検査できないという問題がある。
【０００４】
そこで、本発明は、被検査物の欠陥を精度よく検査することが可能となるホルダ及び検査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明に係るホルダは、被検査物の欠陥を検査する際に用いられるホルダであって、被検査物を支持する本体を備え、被検査物の表面に照射される第１の照射光の反射を防止するための反射防止部、及び被検査物の内部に照射される第２の照射光の透過を防止するための透過防止部の少なくとも一方を有することを特徴とする。
【０００６】
このホルダを用いて被検査物の欠陥を検査する場合、本体によって支持された被検査物に第１の照射光及び第２の照射光の少なくとも一方が照射され、例えば撮像手段によって被検査物が撮像される。ここで、このホルダにあっては、反射防止部及び透過防止部の少なくとも一方を有していることから、第１の照射光がホルダにて反射したり、第２の照射光がホルダを透過したりするのを防止することができる。よって、被検査物を撮像する際にノイズが検出されるのを抑制することができ、被検査物の欠陥を精度よく検査することが可能となる。
【０００７】
ここで、反射防止部は、本体において第１の照射光が照射される側の表面に設けられた反射防止層であることが好ましい。反射防止層としては、例えばＡＲコートが挙げられる。
【０００８】
また、透過防止部は、本体が第２の照射光を吸収する材料で形成されて成り、本体には、第２の照射光を被検査物に向けて通過させる通過孔が形成されていることが好ましい。この場合、ホルダに照射される第２の照射光を吸収して、第２の照射光がホルダを透過しないようにすることができる一方、第２の照射光を通過孔を介して被検査物の内部に確実に照射させることができる。つまり、第２の照射光がホルダを透過するのを好適に防止することが可能となる。
【０００９】
また、本発明に係る検査装置は、上記のホルダを具備し、被検査物の欠陥を検査する検査装置であって、第１の照射光を照射する第１の照明手段、及び第２の照射光を照射する第２の照明手段の少なくとも一方と、被検査物を撮像する撮像手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
この検査装置においても、上記のホルダを具備することから、上記と同様な作用効果、すなわち、被検査物を撮像する際にノイズが検出されるのを抑制し、被検査物の欠陥を精度よく検査できるという効果が奏される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、被検査物の欠陥を精度よく検査することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１３】
図１は本発明の一実施形態に係る検査装置を示す構成図、図２は図１の検査装置におけるホルダを示す平面図、図３は図２のIII−III線に沿う端面図である。図１に示されるように、検査装置１は、ガラス基板（被検査物）Ｓの欠陥を検査するための装置であって、検査軸線Ｌ上においてガラス基板Ｓを支持するためのホルダ３を備えている。ガラス基板Ｓは、図２に示されるように、矩形状を呈しており、ホルダ３上に複数載置されている。なお、欠陥としては、表面欠陥（例えば、点傷、線傷、打痕、錆、異物の付着、ピンホール、その他の外観異常等）や内部欠陥（例えば、ピンホール、内部気泡等）が挙げられる。
【００１４】
図１に戻り、検査装置１は、反射型暗視野照明装置（第１の照明手段）４、透過型暗視野照明装置（第２の照明装置）５、カメラ（撮像手段）６及び顕微鏡７を備えている。反射型暗視野照明装置４は、検査軸線Ｌ方向においてホルダ３の一方の側に複数設けられており、ホルダ３によって支持されたガラス基板Ｓの表面Ｓ１に紫外光（第１の照射光）を照射する。この反射型暗視野照明装置４は、照射する紫外光の照射方向及びスポット径が可変となっている。なお、「反射型暗視野照明」とは、ガラス基板Ｓの表面Ｓ１に欠陥が存在しない場合に表面Ｓ１にて正反射された紫外光がカメラ６に入射しない照射角度で、ガラス基板Ｓに対して光を照射する照明を意味する。
【００１５】
透過型暗視野照明装置５は、検査軸線Ｌ方向においてホルダ３の他方の側に複数設けられており、ホルダ３によって支持されたガラス基板Ｓの内部に、通過孔２０（後述）を介して紫外光（第２の照射光）を照射する。この透過型暗視野照明装置５は、反射型暗視野照明装置４と同様に、照射する紫外光の照射方向及びスポット径が可変となっている。なお、「透過型暗視野照明」とは、ガラス基板Ｓの表面及び内部に欠陥が存在しない場合にガラス基板Ｓによって屈折された紫外光がカメラ６に入射しない照射角度で、ガラス基板Ｓに対して光を照射する照明を意味する。
【００１６】
カメラ６及び顕微鏡７は、検査軸線Ｌ方向においてホルダ３の一方の側に設けられている。カメラ６は、反射型暗視野照明装置４又は透過型暗視野照明装置５によって紫外光が照射されたガラス基板Ｓを撮像する。顕微鏡７は、ガラス基板Ｓを拡大観察することで、欠陥の形状や大きさ、種類等を詳細に検査する。これらのカメラ６及び顕微鏡７は、検査軸線Ｌ上に移動可能となっており、反射型暗視野照明装置４によってガラス基板Ｓの表面に照射された紫外光の反射散乱光や、透過型暗視野照明装置５によってガラス基板Ｓの内部に照射された紫外光の透過散乱光を捉える。
【００１７】
さらに、検査装置１は、装置全体を制御する制御装置８と、カメラ６及び顕微鏡７によって捉えられた反射散乱光像や透過散乱光像、検査結果等を表示する表示装置９と、を備えている。制御装置８は、ホルダ３と反射型暗視野照明装置４との位置関係やホルダ３と透過型暗視野照明装置５との位置関係が変化するように、ホルダ３のＸ軸及びＹ軸方向への移動並びにＺ軸周りの回転を制御する。また、制御装置８は、ガラス基板Ｓに照射される紫外光の照射方向及びスポット径が変化するように、反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５を制御する。
【００１８】
次に、上述したホルダ３について詳細に説明する。ホルダ３は、検査軸線Ｌに垂直なＸ軸及びＹ軸方向に移動可能、且つ検査軸線Ｌに平行なＺ軸周りに回転可能に構成されている。このホルダ３は、図２に示されるように、ガラス基板Ｓを支持し保持する本体１０を備えている。
【００１９】
本体１０は、長尺矩形状の枠部材１２と、この枠部材１２に移動可能にして固定された複数の梁部材１３と、を有している。枠部材１２の長辺部には、その長手方向（Ｙ方向）に沿って延在する溝１５が形成されている。また、枠部材１２の短辺部には、ガラス基板Ｓを載置するものとして、内側に凸の載置部１６が設けられている。
【００２０】
梁部材１３は、枠部材１２の長手方向に直交する方向（Ｘ方向）に延在している。この梁部材１３は、枠部材１２に対し長手方向に移動可能にして固定されている。具体的には、梁部材１３は、その両端部が枠部材１２の溝１５から露出するように枠部材１２に取り付けられ、ネジ１７で枠部材１２に固定されている。この梁部材１３は、図３に示されるように、ガラス基板Ｓを載置するための載置部１８と、当該載置部１８に設けられ上方（図中において上側）に凸の凸部１９と、を含んで構成されている。また、隣接する載置部１６，１８間、及び載置部１６，１６間には、透過型暗視野照明装置５から照射される紫外光をガラス基板Ｓに向けて通過させるための通過孔２０が形成されている。
【００２１】
この本体１０は、紫外光を吸収する材料で形成されており、紫外光を透過しないようになっている。ここでは、本体１０は、紫外光を透過しないプラスチックであって、ガラスのような透明性を有する材料であるステラ３００（商品名：三菱樹脂株式会社製）により形成されている。つまり、本体１０自体が、ガラス基板Ｓの内部に照射される紫外光の透過を防止するための透過防止部となっている。
【００２２】
また、本体１０の反射型暗視野照明装置４側の表面１０ａ（枠部材１２の表面１２ａ及び梁部材１３の表面１３ａ）には、紫外光の反射を防止するための薄膜であるＡＲコート（Anti Refledion Coating：反射防止部）１４が設けられている。つまり、本体１０において反射型暗視野照明装置４により紫外光が照射される側の表面１０ａには、反射防止層が設けられている。また、この本体１０において、表面１０ａの表面粗さは、表面１０ａ以外の部分の表面粗さよりも小さくなっている。ここでの表面１０ａの表面粗さは、例えば１０ｎｍ以下とされている。
【００２３】
このホルダ３によってガラス基板Ｓを支持する場合には、ガラス基板Ｓのサイズに応じて梁部材１３をＹ方向に移動させて梁部材１３を固定し、隣接する載置部１６，１８及び載置部１６，１６に掛け渡すようにガラス基板Ｓを載置する。これにより、ガラス基板Ｓが、ホルダ３で支持されると共に、枠部材１２と梁部材１３の凸部１９との間、及び隣接する凸部１９，１９間で挟持されることとなる。
【００２４】
次に、検査装置１の動作について説明する。まず、ホルダ３で支持された複数のガラス基板Ｓのうち、検査軸線Ｌ上の一のガラス基板Ｓの表面Ｓ１に反射型暗視野照明装置４から紫外光が照射され、検査軸線Ｌ上に配置されたカメラ６によってガラス基板Ｓの表面が撮像される。そして、制御装置８によって、取得された画像が解析されて表面欠陥の有無が判断され、その結果（表面欠陥の位置、形状、大きさ、種類等に関する情報）が表示装置９に表示される。
【００２５】
続いて、このガラス基板Ｓの内部に透過型暗視野照明装置５から紫外光が通過孔２０を介して照射され、検査軸線Ｌ上に配置されたカメラ６によってガラス基板Ｓの内部が撮像される。そして、制御装置８によって、取得された画像が解析されて内部欠陥の有無が判断され、その結果（内部欠陥の位置、形状、大きさ、種類等に関する情報）が表示装置９に表示される。
【００２６】
その後、ホルダ３がＸ軸及びＹ軸方向に移動されて、別のガラス基板Ｓの欠陥が検査される。そして、これが繰り返されることで、ホルダ３で支持された複数のガラス基板Ｓの検査が完了する。
【００２７】
ここで、本実施形態のホルダ３にあっては、上述したように、本体１０が紫外光を吸収する材料で形成されおり、紫外光を透過しないようになっている。さらに、本体１０の反射型暗視野照明装置４側の表面１０ａには、ＡＲコート１４が設けられている。つまり、ホルダ３は、紫外光の反射を防止するための反射防止部、及び紫外光の透過を防止するための透過防止部を有している。よって、ガラス基板Ｓの欠陥を検査する際、反射型暗視野照明装置４から照射された紫外光が表面１０ａにて反射散乱したり、透過型暗視野照明装置５から照射された紫外光がホルダ３を透過したりするのを防止することができる。従って、ガラス基板Ｓの撮像時にノイズが検出されるのを抑制することができ、ガラス基板Ｓの欠陥を精度よく検査することができる。
【００２８】
また、上述したように、紫外光を吸収する材料によって本体１０が形成されており、この本体１０には通過孔２０が形成されている。そのため、ホルダ３に照射される紫外光を吸収し、紫外光がホルダ３を透過しないようにすることができる一方、透過型暗視野照明装置５から照射された紫外光を、通過孔２０を介してガラス基板Ｓの内部に確実に照射させることができる。つまり、透過型暗視野照明装置５から照射された紫外光がホルダ３を透過するのを好適に防止することが可能となる。
【００２９】
また、本実施形態では、上述したように、ホルダ３における表面１０ａの表面粗さが、表面１０ａ以外の部分の表面粗さよりも小さくなっている。また、上述したように、ＡＲコート１４は、ガラスのような透明性を有する本体１０の表面１０ａに設けられている。よって、反射型暗視野照明装置４から照射された紫外光が表面１０ａにて反射散乱するのを一層防止することができる。なお、ガラス等の透明材料の表面１０ａにＡＲコート１４を設けると、表面１０ａからの散乱ノイズを１％以下にできることが確認されている。
【００３０】
また、本実施形態では、上述したように、ガラス基板Ｓのサイズに応じて、梁部材１３がＹ方向に移動されて固定されている。よって、ホルダ３によれば、ガラス基板Ｓのサイズや厚さ等によらず、種々のガラス基板Ｓを支持することができる。さらに、上述したように、枠部材１２と梁部材１３の凸部１９との間、及び隣接する凸部１９，１９間でガラス基板Ｓが挟持されている。よって、支持されたガラス基板Ｓのズレを防止でき、ガラス基板Ｓを確実に支持することが可能となる。
【００３１】
なお、本実施形態では、反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５の双方から紫外光を照射してガラス基板Ｓの欠陥を検査したが、これらの何れか一方から紫外光を照射してガラス基板Ｓの欠陥を検査してもよい。また、反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５から紫外光を照射したが、可視光を照射してもよい。これらの各場合において、ホルダ３の本体１０の材料及びＡＲコート１４に関しては、以下のとおりである。
【００３２】
すなわち、下表１に例示されるように、反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５が紫外光を照射する場合には次のとおりである。反射型暗視野照明装置４のみを用いるとき、本体１０の材料はガラスやプラスチックが挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成される。透過型暗視野照明装置５のみを用いるとき、本体１０の材料は、金属（例えばアルミニウム）、紫外光を透過しないプラスチック（例えばステラ３００）が挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成されない。反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５を用いるとき、本体１０の材料は紫外光を透過しないガラスやプラスチック（例えばステラ３００）が挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成される。ちなみに、紫外光を照射する照明装置４，５を共に用いる本実施形態では、上記のように、本体１０の材料をステラ３００で形成し、本体１０の表面１０ａにＡＲコートを形成している。
【００３３】
また、下表１に例示されるように、反射型暗視野照明装置及び透過型暗視野照明装置が可視光を照射する場合には次のとおりである。反射型暗視野照明装置のみを用いるとき、本体１０の材料はガラスやプラスチックが挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成される。透過型暗視野照明装置のみを用いるとき、本体１０の材料は、金属（例えばアルミニウム）、可視光を透過しないプラスチックが挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成されない。反射型暗視野照明装置及び透過型暗視野照明装置を用いるとき、本体１０の材料は可視光を透過しないガラス（例えば着色ガラス）やプラスチック（例えばステラ３００）が挙げられ、本体１０の表面１０ａにはＡＲコートが形成される。ちなみに、本体１０の材料及びＡＲコート１４については、紫外光及び可視光の波長によっても適宜に設定される。
【００３４】
【表１】
【００３５】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、通過孔２０（図３参照）をＺ方向に平行に延在するように設けたが、下方に行くに従って拡がるように設けてもよい。具体的には、通過孔２０を構成する面（つまり、隣接する載置部１６，１８の対向する面、及び隣接する載置部１８，１８の対向する面）を、下方に行くに従って通過孔２０が拡がるように傾斜させてもよい。この場合、透過型暗視野照明装置５から照射された紫外光を、ガラス基板Ｓに向けて集光することが可能となる。
【００３６】
また、上記実施形態では、ガラス基板Ｓを被検査物として検査したが、ＣＣＤ用のカバーガラスを被検査物としてもよく、金属や樹脂等を被検査物としてもよい。ここで、透過性がないものを被検査物とする場合には、表面欠陥の検査が実施される。
【００３７】
また、上記実施形態では、表面欠陥を検査した後に内部欠陥を検査したが、内部欠陥を検査した後に表面欠陥を検査してもよい。或いは、反射型暗視野照明装置４及び透過型暗視野照明装置５によってガラス基板Ｓに同時に光を照射して、表面欠陥及び内部欠陥を同時に検査してもよい。また、透過型暗視野照明装置５や反射型暗視野照明装置４は、複数に限定されず１つであってもよく、また、検査軸線Ｌを軸線とするリング状に複数配置してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査装置を示す構成図である。
【図２】図１の検査装置におけるホルダを示す平面図である。
【図３】図２のIII−III線に沿う端面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０…表面、２０…通過孔、１…検査装置、３…ホルダ、４…反射型暗視野照明装置（第１の照明手段）、５透過型暗視野照明装置（第２の照明手段）、６…カメラ（撮像手段）、１０…本体（透過防止部）、１４…ＡＲコート（反射防止部、反射防止層）、Ｓ…ガラス基板（被検査物）、Ｓ１…表面。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物の欠陥を検査する際に用いられるホルダであって、
前記被検査物を支持する本体を備え、
前記被検査物の表面に照射される第１の照射光の反射を防止するための反射防止部、及び前記被検査物の内部に照射される第２の照射光の透過を防止するための透過防止部の少なくとも一方を有することを特徴とするホルダ。
【請求項２】
前記反射防止部は、前記本体において前記第１の照射光が照射される側の表面に設けられた反射防止層であることを特徴とする請求項１記載のホルダ。
【請求項３】
前記透過防止部は、前記本体が前記第２の照射光を吸収する材料で形成されて成り、
前記本体には、前記第２の照射光を前記被検査物に向けて通過させる通過孔が形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のホルダ。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項記載のホルダを具備し、前記被検査物の欠陥を検査する検査装置であって、
前記第１の照射光を照射する第１の照明手段、及び前記第２の照射光を照射する第２の照明手段の少なくとも一方と、
前記被検査物を撮像する撮像手段と、を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項１】
被検査物の欠陥を検査する際に用いられるホルダであって、
前記被検査物を支持する本体を備え、
前記被検査物の表面に照射される第１の照射光の反射を防止するための反射防止部、及び前記被検査物の内部に照射される第２の照射光の透過を防止するための透過防止部の少なくとも一方を有することを特徴とするホルダ。
【請求項２】
前記反射防止部は、前記本体において前記第１の照射光が照射される側の表面に設けられた反射防止層であることを特徴とする請求項１記載のホルダ。
【請求項３】
前記透過防止部は、前記本体が前記第２の照射光を吸収する材料で形成されて成り、
前記本体には、前記第２の照射光を前記被検査物に向けて通過させる通過孔が形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のホルダ。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項記載のホルダを具備し、前記被検査物の欠陥を検査する検査装置であって、
前記第１の照射光を照射する第１の照明手段、及び前記第２の照射光を照射する第２の照明手段の少なくとも一方と、
前記被検査物を撮像する撮像手段と、を備えたことを特徴とする検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２００９−１３３６７８（Ｐ２００９−１３３６７８Ａ）
【公開日】平成２１年６月１８日（２００９．６．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３０８９０７（Ｐ２００７−３０８９０７）
【出願日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【出願人】（０００００５４３０）フジノン株式会社 (2,231)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年６月１８日（２００９．６．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【出願人】（０００００５４３０）フジノン株式会社 (2,231)
【Ｆターム（参考）】
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