【課題】欠陥寸法の検出精度を迅速に適正化し検出精度の変動を抑制することによって半導体製造ラインのシステム安定性を向上させることができる光学式欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査用照明光１１，１２をステージ３０１上の試料表面に照射し試料表面にビームスポット３を生成する照明光学系１００と、ビームスポット３からの反射光を検出する検出光学系２００とを有する光学式欠陥検査装置において、校正用試料７００上の標準粒子の位置及び大きさを予め記憶した記憶部４１０と、校正用試料７００を検査対象とした場合に、標準粒子からの検出散乱光量を記憶部４１０に記憶された対応位置の標準粒子の既知の大きさと関連付け、検出散乱光量と真の値との相関関係を作成する校正処理部４０８と、検査ウェハを検査対象とした場合に上記相関関係に基づいて検出散乱光量を欠陥寸法に変換する信号処理部４０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗布液の付与および基板の回転により形成された基板の膜上において回転軸を中心とする遠心方向に伸びる筋ムラの存在を精度よくかつ容易に確認する。
【解決手段】基板上の膜は、外部のスピンコータにおいて主面上にレジスト液を塗布するとともに基板を主面に垂直な回転軸を中心として回転することにより形成されており、ムラ検査装置では、基板の膜から得られる対象画像７１中において、基板の上面上にて回転軸を中心として設定される複数の遠心方向のそれぞれに対応する動径方向に並ぶ画素の値を積算することにより、複数の遠心方向に対応する複数の評価値が取得される。その結果、評価値を参照することにより、基板の膜上において回転軸を中心とする遠心方向に沿って伸びる筋ムラの存在を精度よくかつ容易に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】青果物内部の局所的な内部品質を計測する場合などにおいて、青果物への測定光照射範囲と受光視野が制限されることなく高精度な計測が可能であり、さらに安定した搬送が可能な青果物搬送用トレーおよびそれを用いた内部品質評価方法を提供する。
【解決手段】略平板状の受座部材１１に青果物５１を載置しその上方に配置された略平板状の青果物保持用部材２１の開口部内に収まる青果物の側面部を可撓性部材２３によって保持する。透過光測定時には、受座部材と青果物保持用部材との間の空間を介して青果物側面部への光照射または透過光の受光を行う。あるいは、受座部材と青果物保持用部材とを、弾性を有する伸縮部材によって連結し、透過光測定時には、青果物保持用部材を受座部材に対して押し下げて、これにより青果物保持用部材の上側に露出した部分に対して測定光の照射および透過光の受光を行う。 （もっと読む）

【課題】検査時間が極めて短く、作業時間、タクトタイムを短縮することが可能な線状体ないし帯状体として把握可能であり、しかも、被検体に歪みや変形がある場合でも、誤認識を防止し、正確な欠陥検出が可能な欠陥検出方法、欠陥検出装置、欠陥検出プログラムを提供する。
【解決手段】半導体ウエハのエッジ部分など、線状体ないし帯状体として認識可能な被検体画像の幅方向の輝度と画素数とを積算し、この積算値が所定の基準値以下のときに欠陥であると判断する構成の欠陥検査方法、欠陥検出装置、欠陥検出プログラムとした。 （もっと読む）

【課題】被検査体におけるムラの定量的な評価等が可能な検査装置、検査方法、及び検査処理プログラムを提供する。
【解決手段】 本発明は、被検査体におけるムラを検査する検査装置であって、前記被検査体の表面を撮影した表面画像のデータを取得する画像取得手段と、前記表面画像上の複数の領域における輝度値を算出し、当該輝度値に基づいて、当該領域内におけるコントラストを表す値を算出するコントラスト算出手段と、前記コントラストを表す値を提示する提示手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画一的に取得した欠陥特徴値に基づいて欠陥種別を定量的かつ高精度で判定できる故障診断システム及び故障診断方法を提供する。
【解決手段】
欠陥画像情報の有する欠陥の種別である欠陥種別を要素とする欠陥種別集合を判定するための集合判定特徴値を算出する集合判定値算出手段と、集合判定値算出手段により算出された集合判定特徴値に基づいて、クラスタリング処理により、前記欠陥種別集合を判定する集合判定手段と、を備える。
この構成によれば、集合判定特徴値を用いて欠陥種別集合を定量的かつ画一的に判定することができる。よって、例えば、オペレータが欠陥を推測し、推測した欠陥種別を含む欠陥種別集合毎に集合特徴値を定性的又は個別的に取得して解析する方法に比べて、欠陥種別集合の判別精度がオペレータの推測能力の優劣に影響を受けることがない。 （もっと読む）

【課題】光沢度の異なるさまざまな被測定物について、人間の視覚特性に良好に対応した光沢むらの評価を行うことを可能にする。
【解決手段】画像評価装置は、プレ撮像を実行して（ステップＳ１）、被測定物の光沢度を推定する（ステップＳ２）。その後、推定した光沢度に基づいて撮像時間と入射角偏差を設定し（ステップＳ３、Ｓ４）、設定された条件で被撮像物を再度撮像する（ステップＳ５）。画像評価装置は、このようにして得られた画像信号から光沢むらを示す評価値（ＧＵ）を算出する。 （もっと読む）

【課題】 透明樹脂被膜の塗布ムラを効率的に検出する塗布ムラ検査方法を提供すること。
【解決手段】 透明樹脂の塗布方向及びこれに直交する方向に分割して多数の小領域とし、これら小領域に光を照射してその反射光強度を小領域毎に測定し、前記塗布方向又は塗布方向に直交する方向を積算方向として、この積算方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を基準エリア５１内で積算処理して基準積算値を算出し、前記塗布方向又は塗布方向に直交する方向を積算方向として、この積算方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を前記基準エリア５１内の走査エリア５２内で積算処理して積算値を算出し、前記基準積算値及び積算値から所定区間内で分散を算出し、前記基準エリア５１及び走査エリア５２の分散値との比較演算により塗布ムラを抽出する。 （もっと読む）

【課題】表面に微小な濃淡が存在する平版印刷版材料の塗布欠陥を迅速に検出する故障検出方法を提供することである。
【解決手段】プラスチック支持体上に少なくとも１層の親水性層及び少なくとも１層の画像形成層を有する平版平版印刷版材料の故障検出方法において、該平版平版印刷版材料を透過で撮影した画像データから、特定濃度以上の部分を抽出し、該当部分の面積及び積算濃度から算出される式から故障部分を抽出することを特徴とする故障検出方法。 （もっと読む）

パターンのパラメータの変化を評価するための方法及びシステムが提供される。この方法は、パターン化された物品の少なくとも一部分の空間強度像を表すデータを処理し、更に、そのパターン化された物品の前記少なくとも一部分内の所定の領域に対して空間像強度のある関数の値を決定することを含み、空間像強度の関数の前記値は、そのパターン化された物品の前記少なくとも一部分内のパターンの少なくとも１つのパラメータの変化を表すか、又はそのパターン化された物品を使用することにより製造されるパターンの少なくとも１つのパラメータの変化を表すものである。 （もっと読む）

画像化すべき微細な特徴を有する概して平面的なワークの高解像度処理の為の装置であって、概して平面的なワーク上の微細部分の少なくとも２つの候補画像を取得するビデオカメラと、前記ビデオカメラが選択された時間間隔で前記少なくとも２つの候補画像を取得し、前記少なくとも２つの候補画像のそれぞれは少なくとも一つの画像パラメータが異なるように、前記ワークの面上の位置に概して垂直に伸びる光軸に沿って前記ビデオカメラの少なくとも一つの光学部品の前記ワークを基準とする移動を生じさせるよう動作するモーションコントローラと、予め決まった画像品質の基準にしたがって前記少なくとも２つの候補画像から、選択された微細部分に対応する個別の画像を選択するように動作する画像セレクタと、画像セレクタによって選択された個別の画像の少なくとも一部を分析するよう動作する選択画像アナライザと、を備える。 （もっと読む）

【課題】製造工程に使用される処理装置、特に基板を１枚ずつ処理する枚葉式の処理装置等に発生した固有の欠陥等に起因して基板に生じる欠陥を容易且つ確実に認識し、上記の固有の欠陥等の工程異常を正確に特定することを可能とし、基板に形成する素子構造の信頼性の大幅な向上を実現する。
【解決手段】各共通欠陥にそれぞれ識別番号を付与しておき、各基板毎に識別番号に対応する共通欠陥の有無を判定する。その結果、当該共通欠陥が存在すると判定された基板のみに、当該共通欠陥に対応する識別番号が付与された状態となる。そして、識別番号に対応する共通欠陥分布から、当該共通欠陥の発生原因を特定する。 （もっと読む）

【課題】 放射状に生じる直線状の欠陥を検出できる画像処理検査装置を提供する。
【解決手段】 画像処理検査装置の演算部１４３は、検査領域に対応する画像データを取得する取得部２０３と、画像データを直交座標系から極座標系のデータに変換する極座標変換部２０４と、半径方向の直線を強調するフィルタ処理を実行するフィルタ処理部２０６と、半径方向に表示される直線の平滑化を行なう平滑化処理部２０８と、２値化基準に基づいて平滑化された画像データの２値化処理を行なう２値化処理部２１０と、２値化処理された画像データから、抽出基準を満足する画像データを欠陥の候補として抽出する抽出部２１２と、極座標系のデータを直交座標系に変換する直交座標変換部２１４と、直交座標系のデータに基づいて欠陥の候補の特徴量を算出する算出部２１６と、判定基準と特徴量とに基づいて欠陥の候補が欠陥であるか否かを判定する欠陥判定部２１８とを含む。 （もっと読む）

【課題】 測定対象となる青果物の微小傷害部位や青果物個体内での糖度の部位差を感度良く検知することのできる、青果物内部品質検査装置および青果物内部品質検査方法を提供すること。
【解決手段】 搬送ライン上を搬送される青果物に対し一方側より測定用光を照射する光源と、前記光源に対峙して設けられ、前記光源より照射された前記測定用光のうち前記青果物を透過した透過光を受光する受光部とを備え、前記青果物に対し、前記光源から前記青果物に対して前記測定用光を照射し、前記青果物を透過して前記受光部で受光された透過光データを所定間隔で収集することにより複数の透過光収集データを得て、前記複数の透過光収集データに基づいて、前記透過光収集データに対応する前記青果物の部位についての所望の内部品質情報を得るように構成した。 （もっと読む）

【課題】赤外励起蛍光体インクによる印刷部を有した紙葉類に対して、赤外励起蛍光体の赤外透過特性を捉えて、簡易な構成で紙葉類を精度よく真偽判別することができる紙葉類の真偽判別装置を提供できる。
【解決手段】赤外励起蛍光体インクにより印刷された印刷部を有した有価証券等の紙葉類の真偽を判別する紙葉類の真偽判別装置において、紙葉類の赤外透過光信号、あるいは、赤外透過光信号と赤外反射光信号をそれぞれ取得し、これら紙葉類の透過光信号および反射光信号に対して、それぞれ部分的な透過光量、反射光量、パターンの違いを検出することにより赤外励起蛍光体特徴の有無を判断し、紙葉類の真偽判別を行なう。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーションを要することなく、しかも、撮像系の欠陥に起因する測定ミスを防止して、正確な検出を行う方法と、この方法に利用する検出装置を提供すること。
【解決手段】樹脂皮膜の表面を多数の小領域に分割すると共に、予想される筋ムラの方向（予想筋ムラ方向）に交差する方向を移動方向として、この移動方向に基材１とカメラ６とを相対的に移動させながら、前記樹脂皮膜の表面に照射光を照射してその反射光強度を前記小領域ごとに測定し、前記予想筋ムラ方向を積算方向として、この積算方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を積算してその積算値を算出し、この積算値を相互に比較して、周囲の積算値に比べて前記積算値が大きいまたは小さい部位を塗布ムラのある領域として抽出する。 （もっと読む）

【課題】大面積の全基板上において反射光強度を精度良く測定し、この反射光強度から透明感光性樹脂被膜の下層に存在する格子影響等の外乱要因を除去すると共に塗布ムラの可能性のある領域（ムラ候補領域）を精度良く推定し、透明感光性樹脂被膜の塗布ムラを効率的に検出する方法を提供すること。
【解決手段】透明樹脂の塗布方向及びこれに直交する方向に分割して多数の小領域とし、これら小領域の反射光強度を測定し、塗布方向又は塗布方向に直交する方向を移動平均方向として、この移動平均方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を移動平均して移動平均値を算出し、塗布方向又は塗布方向に直交する方向を包絡方向として、この包絡方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を包絡処理して包絡値を算出し、前記移動平均値と包絡値との比較演算により塗布ムラを抽出する塗布ムラ検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板に対し、ブラックマトリクス上の異物を検査する場合に、着色層の形状に左右されず、異物欠陥を検出できるカラーフィルタ形成基板の異物検査方法およびカラーフィルタ形成基板の異物検査装置を提供する。
【解決手段】 カラーフィルタ形成基板の所定領域のカラーフィルタ部を、反射暗視野照明にて撮影して得られた撮影画像データから、得られた２値化画像データを用いて欠陥候補部を抽出する第１の欠陥候補部抽出処理と、前記所定領域のカラーフィルタ部を、反射明視野照明にて撮影して得られた撮影画像データから、得られた２値化画像データを用いて欠陥候補部を抽出する第２の欠陥候補部抽出処理とを行い、第１の欠陥候補部抽出処理と、第２の欠陥候補部抽出処理との両方で共に欠陥候補部として抽出された箇所の欠陥候補部を、新たに欠陥として抽出する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の表面の欠陥を検査する際に，輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥と輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥とを同時に検出することのできる計算負荷の低い欠陥検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】 被検査体表面の画像データの各画素の輝度を正規化した後に正規化基準値を用いて重み付けするようにしたので輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥を消失させずに輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥を検出することが可能となる。また，被検査体表面の画像データの輝度を正規化及び重み付けした値を各画素に対する有害度として定めた後，各画素を中心とする所定サイズの領域内の有害度を積分した値を各画素に対する有害度積分値として定めて，この有害度積分値を二値化処理するようにしたので，単一欠陥としての検出が困難な分断された欠陥や，集合して存在する欠陥を１つの欠陥として低い計算負荷で検出することが可能となる。 （もっと読む）

【解決手段】多重チャネル画像化ヘッドは、規則的なパターンを画像化する際の帯対帯及び帯内のばらつきを最小化するために予め定められた規則的なパターンに従って較正される。画像化ヘッドの画像化パラメータは、予め定められた規則的なパターンに従って最適化される。 （もっと読む）