【課題】実際の開口部の形状との比較を行うためあらかじめ設計データを元に擬似的なパターン画像を生成しておき、自動検査を行うものであったが、画像処理の手法を駆使して設計データから所望のパターン画像を生成しても、実際に作製されたステンシルマスクの開口部の形状とはコーナ具合やコントラスト等が完全に一致することはないため、誤検出の原因となり、検査に有用に使用するのは不可能であった。
【解決手段】ステンシルマスクに対して斜め方向から線状平行光を照射し、表面反射光を撮像した撮像画像における非反射像により開口部の形状を測定することにより開口部の欠陥を検査するステンシルマスク欠陥検査方法および装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】欠陥部分の信号を漏れなく検出する。
【解決手段】欠陥検査対象のフィルムを受光器により撮像する。受光器で得られた撮像信号を微分処理する。微分処理が施された微分処理信号のうち、一定の画素範囲内で輝度値が最大となる極大信号５０ａ，５１ａ，５２ａと輝度値が最小となる極小信号５０ｂ，５１ｂ，５２ｂとを検出する。基準信号５５の輝度値と極大信号５０ａ，５１ａ，５２ａの輝度値の差分を第１差分値ＬＡ１，ＬＢ１，ＬＣ１として求める。基準信号５５の輝度値と極小信号５０ｂ，５１ｂ，５２ｂの輝度値の差分を第１差分値ＬＡ２，ＬＢ２，ＬＣ２として求める。第１差分値ＬＡ１，ＬＢ１，ＬＣ１と第２差分値ＬＡ２，ＬＢ２，ＬＣ２を加算して、加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣを求める。加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣが一定値以上である場合に、それら加算値ＬＡ，ＬＢ，ＬＣを求めた画素範囲内の信号を、フィルムの欠陥部分の信号として特定する。 （もっと読む）

【課題】
微小欠陥を試料にダメージを与えることなく高速に検査すること。さらに大欠陥についても、散乱光量を精度良く検出し、欠陥寸法および欠陥座標を高精度に算出すること。
【解決手段】
互いに異なる複数の照度による照明、あるいは互いに異なる複数の感度の画素による検出により、互いに実効感度の異なる複数の信号を得、それらを選択利用することで、高感度、広ダイナミックレンジ検査を実現する。さらに上記複数の信号を同時並列に出力し、処理することにより、高速検査を実現する。 （もっと読む）

【目的】参照画像生成モデルの精度をより向上させることが可能なパターン検査方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン検査方法は、サンプル光学画像データと設計画像データを入力し、参照画像作成モデル関数の複数の係数を取得する工程（Ｓ１０２）と、複数の係数の１つを用いて作成された参照画像データと被検査試料の実光学画像データとを比較して、欠陥候補パターンを検出する工程（Ｓ１０８）と、欠陥候補パターンを含む参照画像データについて、残りの係数を用いて、作成された残りの係数分の参照画像データと欠陥候補パターンを含む実光学画像データとを比較する工程（Ｓ１１２）と、複数の係数分の各参照画像データと欠陥候補パターンを含む実光学画像データとの複数の比較結果のうち、所定の条件に沿った比較結果を出力する工程（Ｓ１２０）と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】より実画像に近い参照画像を生成可能なパターン検査を行う装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置１００は、サンプル光学画像データをＮ倍の解像度に変換する倍率変換部５０と、サンプル光学画像データのＮ倍の解像度で対応する階調値を定義した設計画像データと所定の低域ろ過関数とを畳み込み積分するＬＰＦ５４と、この設計画像データと所定の光学モデル関数とを畳み込み積分するＰＳＦ５６と、これらの画像データを用いて光学モデル関数の係数を取得する係数取得部１４２と、パターン形成された被検査試料の実光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、係数を用いて、前記被検査試料の実光学画像データに対応する参照画像データを作成する参照回路１１２と、実光学画像データと参照画像データを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
試料表面の概略同一領域からの散乱光を大きくする方法として、照明波長の短波長化、レーザの高出力化、レーザ照明スポットの縮小などが存在するが、上記手法では被照射部の温度が上昇し試料にダメージを与える恐れがある。
【解決手段】
試料表面の欠陥検査方法であって、前記試料表面の第一の領域にレーザビームを複数回照射する照射工程と、前記複数回照射による前記第一の領域からの複数の散乱光を検出する検出工程と、前記検出工程で検出された前記複数の散乱光の有する検出タイミングの誤差を補正する補正工程と、前記補正工程で補正された前記複数の散乱光を加算または平均化する工程と、前記加算または平均化する工程による演算結果に基づいて前記試料表面の欠陥を判定する欠陥判定工程とを有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】リフロー後のハンダの三次元形状を正確に測定することは難しい。
【解決手段】走査ヘッド１６は、基板１の検査面に投光する落射照明源と、基板１からの反射光を検知するラインセンサ３４を有し、このラインセンサ３４の走査により被検査体の検査面全体の画像を取得する。画像メモリ４４は、走査ヘッド１６により取得された基板１の検査面全体の画像を検査画像として格納する。ハンダ情報記憶部４５は、検査面上のハンダの撮像画像の明度とハンダ面の傾斜角度の相関関係を示す相関マップ６４を記憶する。傾斜角度算出部６１は、相関マップ６４を参照することにより、画像メモリ４４に格納された検査画像４１のハンダ撮像領域の明度から検査面上のハンダ面の傾斜角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】信号強度のロスが少なく、正確で精度の高い欠陥検査を行うことができる欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる欠陥検査装置は光ビームを発生するレーザー光源１と、光を１次元のマルチビームに変換する１次元回折格子と、マルチビームを集束する対物レンズ９と、試料で反射した光ビームを試料に入射する光ビームから分離するハーフミラー６ａと、分離された光ビームを分岐するウェッジ１７を備えている。そして、試料台１１をラスタ走査して試料全面を検査する。ウェッジによって分岐された一方の光ビームを検出する光検出器１９ａともう一方の光ビームを検出する光検出器１９ｂをさらに備えている。この光検出器１９ａ、１９ｂの信号に基づく和信号によってシミ状欠陥を検査する。 （もっと読む）

【課題】表面性状が位置により変動する鋼板等の帯状体の表面を撮像した画像データに基づいて疵を検出する際、適切な輝度レベルの画像データを得ることを可能とし、有害な疵を正確に検出可能にする。
【解決手段】撮像部４は、帯状体表面の照射部分の画像を、予め設定した所定の撮像パラメータの値で撮像して画像データを採取する。指定領域画像輝度算出部７は、画像データの一フレームごとに予め設定した領域の輝度値を検出する。画像輝度判定部８は、検出した指定領域の輝度値が、予め設定した輝度範囲内にあるのか、又は外れているのかを判定する。撮像パラメータ設定部９は、画像輝度判定部８の判定結果に基づいて、所定の撮像パラメータの値を維持か、又は変更して設定する。撮像部４は、撮像パラメータ設定部９で設定された新たな撮像パラメータの値で以後の画像データを採取する。 （もっと読む）

【課題】二次元画像の画質を適切に検査できる画質検査装置を提供する。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ１から出力される画像データは、画質検査装置２に入力される。画質検査装置２は、検査対象となる二次元画像の検査領域に対して、窓関数を用いて検査領域の境界における不連続性の影響を抑制するような補正を行う補正手段２１と、補正手段２１により補正された後の画像について、視覚の感度の周波数特性と、検査対象となる二次元画像の周波数成分とを積算することで欠陥強度を算出する欠陥強度算出手段２２と、欠陥強度算出手段２２により算出された欠陥強度に基づいて上記二次元画像の画質を判定する判定手段２３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成で高い精度の検査を実現するとともに、検査コストを抑えつつ、検査効率の高い検査装置及び検査方法を提供するとともに、視認し難い樹脂の異常歪みを検出することができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】樹脂成形体の検査装置であって、樹脂成形体に対して検査光を照射する光源と、検査光の進行方向上に配置した偏光手段と、検査光が偏光手段を通ることによって生ずる干渉模様を撮像する撮像手段と、干渉模様に基づいて樹脂成形体の歪み、形状、及び外観のうち少なくとも一つを解析する解析手段と、を備え、偏光手段は、少なくとも、光源と樹脂成形体との間に配置した第１偏光手段と、樹脂成形体と撮像手段との間に配置した第２偏光手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】表示に影響するような欠陥及びムラや製品製造での不具合につながる様な欠陥を容易に判別し、良好な光透過性周期性パターン試料検査装置を提供する。
【解決手段】光透過性を有する周期性パターン試料検査装置であって、前記周期性パターン試料をステージ上に載置しＸ平面上を移動させる試料移動手段と、光照射手段と、前記周期性パターン試料からの透過光又は反射光を撮像し、複数のセンサ素子を二次元方向に配列してなる二次元センサアレイを具備した撮像手段と、前記撮像手段と前記周期性パターン試料との間の距離を測定する為の距離測定手段と、前記距離測定手段により得られた距離を基に撮像手段の焦点位置へ撮像手段を移動させるＺ方向移動手段と、画素データを処理する画像処理手段と、前記画像処理手段で処理された結果を表示する表示手段と、を有することを特徴とする周期性パターン試料検査装置である。 （もっと読む）

【課題】検査対象物上の欠陥を隣接する主走査ラインにまたがっている欠陥や主走査ライン上で隣接する画素にまたがり、かつ隣接する主走査ラインにまたがっている欠陥を検出可能であり、表面状態の検査を精度よく行うことができる表面検査装置及び方法。
【解決手段】ラインイメージセンサ（１３）を有するカメラ（１１）により検査対象物（１０）上を走査して得た画像データを演算処理手段（１６）に入力し、ラインメモリ（１７）と加算器（１８）を用いて隣接する２つの主走査ラインの画像データを加算して画像データ列を生成し、演算処理器（１９）により主走査方向に連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを生成し、主走査方向で互いに隣接するブロック内加算データの相関値を算出し、判定手段（２０）で相関値を閾値判定する。 （もっと読む）

【課題】本発明はＦＰＤドット欠陥検査方法及び装置に関し、１回の撮影で取得した積算輝度画像から、全てのドット欠陥を検出することができるＦＰＤドット欠陥検査方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ＦＰＤ１１に一定のパターンを表示させ、ＦＰＤ１１の表示領域をカメラ１２により撮影し、撮影した画像からＦＰＤ１１の表示領域を構成する各ドットの動作を確認するＦＰＤドット欠陥検査装置において、カメラ１２の１回の撮影露光時間内に複数の表示パターンを切り替えるパターンジェネレータ１４と、カメラ１２の１回の撮影露光時間内にＦＰＤの表示輝度を時間変調させる輝度変調手段１７と、撮影露光時間内にカメラ受光面に照射された輝度分布の積算データを画像として取得し、取得した輝度分布の積算データからドット欠陥を検出する制御手段１０と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】印刷半田の状態を的確に検査することができる印刷半田検査方法及び装置を提供することにある。
【解決手段】基板１０に印刷された半田１０ｘの２次元画像を撮像する光学系２０、３０と、当該印刷半田の３次元画像を撮像する光学系２０、３０と、撮像した２次元画像及び３次元画像を処理して、該印刷半田の底部面積、パッド面積等の２次元性状の項目６１を測定すると共に断面積、突起面積、平均高さ、ピーク高さ、体積等の３次元性状の項目６２を測定し、当該測定項目に基づいて該印刷半田の形状を決定し、また、少なくとも２つの前記測定項目をマトリックス状に組み合わせて該印刷半田の形成合否を判定する検査部５０、６０、８０とを備える。これにより、２次元測定と３次元測定をそれぞれ単独で実施するよりも、正確に印刷半田の形状を決定することが可能となると共に正確に印刷半田の形成合否を判定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】画像データから特定周期スジムラの出現傾向の評価を適切に行えるスジムラ評価装置を提供する。
【解決手段】本発明のスジムラ評価装置１００は、カラーフィルタの光照射されている評価対象面を撮像して得られた撮像画像データから当該評価対象面に発生している周期性を有するスジムラを評価する指標となる評価データを生成する評価データ生成部１２０を備える。評価データ生成部１２０は、撮像画像データに含まれる光分布情報に対して、スジムラの出現方向のベクトルを含む方向を投影方向として一次元投影処理を行う一次元投影処理部１２１と、一次元投影処理された光分布情報からパワースペクトルを算出するパワースペクトル算出部１２２と、算出されたパワースペクトルから、予め設定した周期の区間積分値を算出する積分処理部１２３と、算出された区間積分値中に含まれるノイズ成分を除去するノイズ成分除去部１２４とを有している。 （もっと読む）

【課題】従来、製造プロセスの不良対策は、該検査装置で検出された欠陥を分析することにより行われている。一方、光散乱方式の欠陥検査装置の検出結果として総検出個数や欠陥の検出座標、欠陥の寸法などの情報を出力している。光散乱方式の欠陥検査においては、散乱光を用いて欠陥の寸法を測定しているが、寸法が適切に算出できない場合があった。
【解決手段】光学的系により検査する欠陥検査装置において、欠陥検出とほぼ同時に欠陥の寸法を測定する。欠陥寸法の測定を高精度化するために、標準粒子などの標準試料を用いて欠陥寸法を校正する手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】
光学的手法を用いて、被検査体面の長手方向に生じる微小凹凸状欠点を精度良く検出することを可能とする検査装置を提供すること。
【解決手段】
被検査体である連続走行しているシート状物の一面に高指向性の光照射手段、他面に受光手段を、光照射手段からの照射軸と受光手段の受光軸が被検査体で一致するように配設し、受光手段の開口角を光照射手段からの照射軸と受光手段の受光軸との角度θの２倍より小さくすることにより、受光手段で受光した透過光に基づいて、被検査体表面に存在する微小凹凸欠点を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 透明フィルム上の突起、窪み、折れなどの平面異常による不良を高速に検査するにあたり、反射率や透過率から検査する方式の表面検査装置では平面異常だけを選択的に検出することは非常に困難であった。またレーザ光を使った凹凸測定による検出方法では表裏の反射光を分別できず正確な測定ができなかった。
【解決手段】光源より出射された光を、前記平面に対してライン状に走査する光走査手段と、該走査光による該平面および平面異常部からの透過光を受光する反射光位置検知手段と、該検知手段からの検知信号により該平面異常部の角度を算出して平面異常の検査を行う角度検査測定部と、を有する光走査式平面検査装置とした。 （もっと読む）

【課題】外観検査を高精度で行うことのできる長尺物の外観検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】各照射装置１０に対してホースＨを長手方向に移動させながら、照射線Ｌを所定時間おきに撮像し、各撮像データからホースＨの各幅方向位置と照射線Ｌの高さ方向位置とを対応させた高さ方向位置データをそれぞれ抽出し、各高さ方向位置データを基準データによって減算処理するとともに、減算処理された各高さ方向位置データを所定の色調基準に基づき撮像順に並べて検査用画像を作成する上で、減算処理対象の高さ方向位置データ及びその高さ方向位置データと撮像順が近い所定回数分の減算処理前の高さ方向位置データをホースＨの各幅方向位置ごとに平均化して基準データを作成する。これにより、ホースＨがうねりを伴っている場合でも、高さ方向位置データからうねり分がキャンセルされる。 （もっと読む）