【課題】オーバレイ測定を向上させる。
【解決手段】生成物マーカ格子の非対称性などの生成物マーカ格子の横プロファイルに関する情報が測定結果から判定される。オーバレイマーカ格子がレジスト膜に印刷された後、生成物マーカ格子に対するオーバレイマーカ格子の横オーバレイがスキャトロメータによって、且つ適宜の処理モデルと組み合わせた判定済みの非対称情報を使用して測定される。アライメントセンサの情報を使用して、先ず生成物格子を再構築してもよく、この情報はスキャトロメータに送られ、スキャトロメータは生成物とレジスト格子との積層を測定し、積層によって散乱された光は、オーバレイを計算するために積層のモデルを再構築するために利用される。 （もっと読む）

【課題】演算数を抑えつつ局所的な異常と大局的な異常を充分な精度で検出できる画像処理装置を提供する。
【解決手段】検査対象品を撮影して多数の画素からなる画像を取得する撮影部２０と、撮影部２０で取得した画像に基づき検査対象品が良品であるか不良品であるかを判別する判別部２１とを備え、記憶部２４の算出パラメータは、良品画像群を構成する各画像の各画素における輝度値と、良品画像群を構成する各画像の各画素における当該画素と隣接する画素との間の輝度の差分値と、良品画像群を構成する各画像の各画素における当該画素及び周囲の画素との輝度の積分値との、相関係数行列から算出され、判別部２１は、検査対象品の画像について、良品画像群のデータとの統計的距離を算出し、該算出された統計的距離が所定範囲にあるか否かを判別する。 （もっと読む）

【課題】 鋼板のゴールドダスト疵を、長時間安定して精度よく検査することができる表面疵検査装置を提供する。
【解決手段】 鋼板２１のゴールドダスト疵を検査する表面疵検査装置１０は、ハロゲンランプ１１と、ＣＣＤカメラ１２と、二値化処理手段１５と、ブロブ処理手段１６と、判定手段１７と、を含む。ハロゲンランプは、鋼板の表面に対して傾斜して光を照射する。ＣＣＤカメラは、ハロゲンランプと同じ傾斜側に配置され、鋼板の表面を撮像して画像信号を得る。二値化処理手段は、画像信号を二値化する。ブロブ処理手段は、二値化後の画像信号からブロブ処理結果を求める。判定手段は、鋼板のゴールドダスト疵に関する品質とブロブ処理結果との関係として予め求められる検量線に、ブロブ処理手段で求められるブロブ処理結果を対比して、鋼板のゴールドダスト疵に関する品質を判定する。 （もっと読む）

【課題】 高解像度の画像を得て、検査精度の信頼性を高め、特に、高速で移動しながら長尺物を撮影して検査を行うのに適する画像処理装置を提供する。
【解決手段】 被検査物たる長尺物の撮影を行うラインセンサ１１が、長尺物の長手方向に沿って移動する移動体に複数本設けられており、画像処理装置２０が、各ラインセンサ１１にて撮影された各撮影データを取得して、複数枚の撮影データを２次元画像として合成し、この２次元画像を分析して異常箇所の有無を判断する構成である。複数のラインセンサ１１で撮影された複数枚の撮影データを合成するため、得られる２次元画像は解像度が高い。これにより、移動体１０が長尺物１００の長手方向に沿って高速で移動しても、解像度の高い画像が得られることから、異常箇所の有無の検出精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】複写機、ファクシミリ、プリンタ、印刷機等の画像形成装置等に用いられる、物体表面の光沢ムラを比較的簡易な手法で定量的に測定して評価する光沢ムラ評価装置、光沢ムラ評価方法、かかる光沢ムラ評価装置を有するかかる画像形成装置、かかる光沢ムラ評価方法を実行するプログラムを格納した記録媒体の提供。
【解決手段】撮像された被評価サンプルＳＡの正反射光を含む画像の画素の光輝感成分と色彩成分とを算出する第１の算出手段８０と、光輝感成分の平均値と色彩成分の平均値とを算出する第２の算出手段８０と、光輝感成分の平均値からの偏差の空間周波数特性に、人の視覚特性を考慮した重み付け処理を行い積分して所定値を算出する第３の算出手段８０と、所定値に色彩成分の平均値を用いた色味の度合いで重み付け処理を行った光沢ムラ評価値を算出する第４の算出手段８０とを用いる。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置によって検出された汚れ欠陥から、作業員の選別によらず、その汚れ欠陥が良品であるか否を選別するカラーフィルタ汚れ欠陥の選別方法を提供する。
【解決手段】１）全画素領域を濃度差画像とする工程、２）濃度差画像を区分濃度差画像とする工程、３）各区分濃度差画像の濃度差積算判定Ｘ、濃度差積算判定Ｙ、濃度差密度判定Ｚを行う工程、４）判定Ｘ、判定Ｙ、判定Ｚの不良個数の合計から区分判定を行う工程、５）上記３）、４）を全区分濃度差画像に行う工程、６）区分判定による不良又は良の結果を配列する工程、７）上記配列で、判定ＳＸ、判定ＳＹ、判定ＳＺを行う工程、８）上記判定の合計からシート（カラーフィルタ）を不良（汚れ欠陥）又は良品と判定を行う工程を具備する。 （もっと読む）

【課題】自動検査工程において密集圧痕を異物の混入とみなしてしまう問題を回避し得る電子部品の実装状態検査装置及び電子機器の製造方法を提供する。
【解決手段】異方性導電膜を介して電子部品が圧着実装された透明基板を前記電子部品が圧着実装された面の裏面側から微分干渉顕微鏡により映して撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された画像に含まれる凸状部の高さを特定する特定手段と、前記特定手段により特定された前記凸状部の高さが所定の閾値を超えるか否かを判定し、前記凸状部の高さが所定の閾値を超える場合は異物が混入していると判定する判定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターン、特にＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージャー用フォトマスクのような被検査体に対し、数ｎｍオーダーの寸法ズレや位置ズレによって生じるムラ欠陥を精度良く検出するための検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】周期性パターンが形成された被検査基板６０に照明光を最適角度で斜め照射し、周期性パターンにより生じる回折光を用いて検査するムラ検査方法において、撮像部６０にて原撮像画像を取得し、この原撮像画像から周期性パターン領域を切り出す工程と、切り出された矩形計算領域内で積算値及びその比較基準値を求め、コントラスト比を求める工程と、コントラスト比分布画像を作成し、２値化処理・ラベリング処理を実施した後ムラ部面積、ムラ部評価値を算出する工程と、検査結果の判定を行う工程とを含む構成にした。 （もっと読む）

【課題】少ない情報量で単純に画像処理することができ、簡易かつ迅速に欠陥を検出する欠陥検出方法、欠陥検出装置、これらを用いたフィルムの製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】（１）検査対象物を撮像する工程と、（２）前記（１）の工程で得られた画像信号から複数の特徴信号を得る工程、（３）前記特徴信号のうちのいずれか１以上の強度が、特徴信号ごとに予め設定された閾値を超えている部位を欠陥と特定する工程と、（４）前記欠陥と特定した部位の各特徴信号のピーク値が、前記各特徴信号ごとに予め設定された閾値を超えているか否かに基づいて２値化して、前記欠陥と特定した部位ごとにビットパターンを得る工程と、（５）前記ビットパターンに基づいて、前記欠陥を分類する工程と、を含む、欠陥検出方法。 （もっと読む）

【目的】パルス光を用いた場合のＴＤＩセンサの出力変動を補正可能な検査装置を提供することを目的とする。
【構成】パターン検査装置１００は、パルス光源１０３と、フォトマスク１０１を載置するＸＹθテーブル１０２と、パルス光がフォトマスク１０１に照射されて得られるフォトマスク１０１の光学画像を撮像するＴＤＩセンサ１０５と、照射された後のパルス光の光量を検知する光量センサ１７２と、検知された光量を入力し、パルス光の周期に同期させて、パルス毎の光量を測定する光量モニタ回路１４２と、パルス毎の光量とＴＤＩセンサ１０５から出力された積分された画素値を入力し、光学画像の画素毎に、該当するパルス毎の光量の総光量を用いてＴＤＩセンサ１０５から出力された積分された画素値を補正するセンサ回路１０６と、補正後の積分された画素値を用いて、パターンの欠陥の有無を検査する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】様々な欠陥を含む可能性がある検査対象であっても、高精度の検査を実現する。
【解決手段】画像検査装置は、検査対象を撮影するＣＣＤカメラ３と、検査対象を撮影して得られた検査画像に存在するパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出部４０３と、輪郭抽出部４０３によって得られた２値化画像においてパターンの輪郭を表す画素のうち、連結した画素の集まりを１つの連結成分とみなし、同一の連結成分の各画素に同一のラベルを与えることにより、連結した輪郭を抽出するラベリング処理部４０４と、ラベリング処理部４０４で抽出された連結した輪郭の数を数える計測部４０５と、計測部４０５で得られた輪郭の数と予め良品と判定された検査画像から求めた連結した輪郭の数とを比較して、検査対象の良否判定を行う判定部４０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】横断面形状において両端部が低くなる或いは高くなる曲線を有する長丈材を測定対象物とする場合に表面欠陥の検出精度を高める。
【解決手段】測定対象物の表面の幅方向に延びる線状光を照射して、ＴＤＩカメラ３０により測定対象物からの反射光を撮像して光切断画像を得て、測定対象物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査に際して、光切断画像を順に配列することにより得られる縞画像から測定対象物の表面形状を表す形状画像した後、事前処理部１０１は形状画像上の凹凸部を抽出し、形状補正処理部５０８は形状画像から事前処理部１０１で抽出された凹凸部を取り除いた形状画像に対してフィッティング曲線を求めるフィッティング処理を施し、そのフィッティング曲線と、形状画像との差分演算を行い、欠陥検出処理部５０９は形状補正処理部５０８の差分演算で得られたデータに基づいて、測定対象物の表面欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の製造工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を高解像検出するための深紫外光を光源とする装置において、短波長化による光学系へのダメージを検知して、ダメージ部分を退避する手段と、光学系配置の異常を製造時と比較検知して補正する手段とを備え、被検査対象基板上の欠陥を高速・高感度で安定検査できる装置および方法を提供すること。
【解決手段】
光学系の光路内に照明光の強度，収れん状態を検知する手段を設けて、光学系の異常を検知し、異常箇所が光軸と一致しないように退避する手段と、光学系を調整して製造時の光学条件となるように補正するように構成したことにより、検査装置内の光学系の長寿命化と微小欠陥の安定検出を図った。 （もっと読む）

【課題】電子写真装置用のローラの表面における、緩やかな凹凸や、極微小な凹凸及びムラ、微妙なコントラストを効率的に検出する。
【解決手段】電子写真装置用のローラ１の表面を照明し、ローラ１を軸周りに回転させた状態で、ローラ１の軸方向に沿って複数の画素４が配列されたラインセンサー１１によって前記表面を撮像する第１ステップと、ラインセンサー１１の１つの画素４が出力する像情報信号に、この１つの画素４と連続する複数の画素４からなる所定領域における各画素がそれぞれ出力する各像情報信号を加算して１つの画素４における加算像情報信号とする加算処理を画素毎に行うことで画像処理する第２ステップと、画像処理された結果に基づいてローラ１の表面状態を判定する第３ステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板に影響を及ぼす可能性が高い塗布ムラの有無を効率的に判定することができる塗布ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】第１の端部から第２の端部へ向かって塗布材料が塗布された基板における塗布ムラを検査する塗布ムラ検査装置４０は、干渉現象を利用して得られた基板の画像を取得する取得手段４３１と、基板の画像から、基板の第１の端部から所定距離離れた所定領域に対応する検査画像を抽出する抽出手段４３２と、検査画像を塗布材料の塗布方向へと投影することによって投影データを取得する投影手段４３３と、投影データが所定の条件を満たすか否かを判定する判定手段４３６Ａ（４３６Ｂ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明はプラズマディスプレイ等のガラス基板に塗布された蛍光体に紫外線を照射し、蛍光体から発光させた光をカメラ等により撮像することで蛍光体の塗布品質を検査する装置において、ラインセンサカメラを用い、カメラと紫外線照明を移動させながら撮像する蛍光体検査装置にて、プラズマディスプレイのＲ、Ｇ、Ｂ塗布領域間の隔壁に乗上げた蛍光体を容易に検出することを目的とした蛍光体検査装置で有る。
【解決手段】本発明は上記の目的を達成するために、蛍光体塗布領域のエッジ部を検出することにより、隔壁位置を抽出し、隔壁頂部の輝度を積算することで、隔壁上部に乗り上げた微量の蛍光体発光剖分を強調し、隔壁の乗り上げ輝度画像を作成し、隔壁上部に乗り上げた蛍光体塗布欠陥の検出を容易にすることである。 （もっと読む）

【課題】検出精度を犠牲にすることなく、検査時間の短縮を図った欠陥検出装置、及び、欠陥検出方法を実現する。
【解決手段】
欠陥検出装置１００は、評価対象物２００を撮像して得られた複数の撮像画像を参照して高解像度化画像を生成する高解像度化処理部１２３と、高解像度化画像を参照して評価対象物２００における欠陥を検出する欠陥検出処理部１２４とに加え、記録部１２１に記録された欠陥形状情報に基づいて、高解像度化画像を生成するために高解像度化処理部１２３が参照する撮像画像の枚数を設定する光学系制御部１２２を備えている。 （もっと読む）

【課題】被検査体における内部析出物、空洞欠陥、表面の異物ないしスクラッチ、表層のクラックの欠陥を精度よく検出し、欠陥の種類を特定して欠陥を分類できるようにする。
【解決手段】光源装置４からの光をポラライザー５を介して偏光を与えて被検査体Ｗに対し斜め方向に入射させ、その散乱光ＳＢを暗視野に配置された偏光分離素子９を有するＣＣＤ撮像装置７で撮像し、得られたＰ偏光成分画像とＳ偏光成分画像とについて成分光強度を得て、それらの比としての偏光方向を求める。被検査体に応力を印加していない状態と、応力を印加した状態の光散乱体の撮像により得られた画像から成分光強度、偏光方向を求め、所定の閾値と対比することにより欠陥の検出、分類がなされる。 （もっと読む）

【課題】基板上の着色膜に生じる帯状の濃度変動を非常に感度良く捕らえ、その程度に応じて良否判定を行う検査装置および検査方法を提供すること。さらに、２方向のムラを検査する装置および方法を提供すること。
【解決手段】基板上の着色膜を撮像し、この画像の同じＸ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＸ方向のプロファイルデータを作成し、さらに、この画像の同じＹ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＹ方向のプロファイルデータを作成し、これらのプロファイルデータを基準プロファイルデータと比較することを行う基板検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】サインパネルの位置、サイズ、エッジ部欠け、ピンホールについて適切な検査が可能で、誤検出を防止できるサインパネル検査装置および方法が求められていた。
【解決手段】カードに貼着されたサインパネルの印刷欠陥の有無を検査する検査装置であって、規則的な繰り返しパターンを有するサインパネルを有するカード表面を照明を移動しながら順次カメラにより画像信号を入力する画像入力部と、画像入力部からの画像信号を基準信号と閾値を用いて比較処理して良否の判定を行う画像信号処理部と、処理内容の表示を行うモニターとからなることを特長とするサインパネル検査装置において、画像信号処理部が、画像入力部からの画像信号を２値化反転した基準信号と閾値を用いて比較処理するものであることを特徴とするサインパネル検査装置およびその方法を提供する。 （もっと読む）