【課題】試料の複数部位の位相差を高精度で測定可能な位相差測定装置および位相差測定方法の提供。
【解決手段】光源、偏光子、光学補償子１、測定ステージ、検光子、及び受光素子アレイがこの順に配置され、光学補償子１の遅相軸を回転させる手段を有し、かつ該測定ステージ及び該受光素子アレイの間に、光軸を回転させる手段を有する素子を有しない位相差測定装置、ならびに、例えば該装置を用いて、該偏光子の透過軸に対して光学補償子１の遅相軸がなす角度θｃにおける透過光Ｔθ_cを、受光素子アレイの２つ以上のエリアで検出し、前記の２つ以上のエリアで測定されたそれぞれのＴθ_cとθｃとの関係式から測定試料における２点以上の位相差をそれぞれ算出することを含む方法。 （もっと読む）

【課題】表面プラズモンセンサにおいて、複屈折率を有する誘電体プリズムを用いても表面プラズモンを有効に励起することができるようにする。
【解決手段】表面プラズモンセンサにおいて、誘電体プリズム６による複屈折の影響により生じる位相差を相殺できるように、あらかじめ励起光Ｌｉの偏光状態を上記の位相差と逆の位相差を持つ偏光状態にしてから、励起光Ｌｉを誘電体プリズム６に入射する。このとき、反射光Ｌｓを第１の光検出器３０ａでモニタリングして、その検出信号に応じ自動偏光調整機構４０で偏光調整素子Ｄを操作することによって励起光Ｌｉの偏光状態を自動的に調整できるようにする。 （もっと読む）

【課題】シート状フイルムを連続搬送して製造するフイルムの製造工程において、オンラインで厚み方向レタデーションＲｔｈを正確に算出する。
【解決手段】第１の偏光特性測定部１１がフイルム法線方向から偏光特性測定をおこなう。この測定結果に基づいて、軸／レタデーション算出手段６１が試料１６の配向軸方位を算出する。面内方位制御手段６４は、第２の偏光特性測定部１７の斜め入射光が算出された配向軸方位と平行になるように、第２の偏光特性測定部１７を方位旋回させる。試料１６が搬送ロール２１で搬送され、第１の偏光特性測定部１１で測定した領域が第２の偏光特性測定部１７の測定位置に達すると、第２の偏光特性測定部１７が測定を開始する。軸／レタデーション算出手段６１は、第１の偏光特性測定部１１と第２の偏光特性測定部１７の測定結果に基づいて、厚み方向レタデーションＲｔｈの算出を行う。 （もっと読む）

【課題】製造工程内でフイルムの複屈折特性を正確に測定し、工程条件にフィードバックする。
【解決手段】含水率測定部８１が試料１６の含水率を、厚み測定部８２が試料１６の厚みを、第１の偏光特性測定部１１および第２の偏光特性測定部１７が試料１６の複屈折特性の測定を行う。軸／レタデーション算出手段６１は、第１の偏光特性測定部１１および第２の偏光特性測定部１７の測定結果から試料１６のレタデーションを算出する。さらに、含水率測定部８１で測定された含水率を厚み測定部８２で測定された厚み値で規格化し、あらかじめ求めておいた含水率とレタデーションの相関式を用いて、算出したレタデーションを補正する。算出したレタデーションに基づいて、工程条件にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】微細構造を持つフイルムの微細エリアの複屈折を精度よく面測定する。
【解決手段】光源１１からの光は、コリメータ１５、第１の直線偏光板１６、第１のλ／４波長板１７、カラーフィルタ１００、第２のλ／４波長板２１、第２の直線偏光板２２、テレセントリック・レンズ２３を介してＣＣＤカメラ２４で受光される。第１のλ／４波長板１７の所定角の回転とＣＣＤカメラ２４での撮像を第１のλ／４波長板１７が１周するまで繰り返す。ＣＣＤカメラ２４が撮像した画像について、カラーフィルタ１００の各エリア毎に対応したＣＣＤの所定の画素毎に、第１のλ／４波長板１７の回転に同期した輝度変化のデータを得る。この輝度変化のデータから、各エリア１０１内の複屈折を算出する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバを経由して入射される試料からの光を、分光器を用いて受光し試料の分光偏光パラメータを計測する分光偏光計測装置において、光ファイバの曲げ状態の変化による計測値への影響を除去し、計測を安定化させる。
【解決手段】分光器２０を用いて試料３０の分光偏光パラメータを計測する分光偏光計測装置１０は、試料３０からの光を受光する受光光学系５２を含む。受光光学系５２は検光子１６等で受光した光を分光器２０に送る光ファイバ１８と、光ファイバ１８の直前に設けられ、試料からの光を分散させる拡散板１９とを含む。 （もっと読む）

【課題】表面プラズモン共鳴(SPR)センサーは、金属表面や界面付近の屈折率（あるいは
誘電率）とその変化を高感度で測定できるセンサーで、様々な化学物質の相互作用を容易に計測出来る為、高感度で且つリアルタイムで計測できる「化学センサー」として、バイオ関連の研究者に利用されつつあるが、直線偏光を用いた従来のSPRセンサーでは円二色
性は検出できなかった。
【解決手段】本SPRセンサーではその金属表面に単一あるいは複数の周期性を持つ形状構
造を形成し、その金属部位に外部磁場を印加することで、周期的な形状構造の周りにプラズモンの円偏波を誘起させ、そこからのエバネッセント波と光学活性物質との相互作用で円二色性を検出するものである。これにより光学活性を持つ媒体の円二色性測定が可能となり、糖、蛋白質、アミノ酸などの有機物質の光学異性体であるL体、D体の区別が可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料の集合体構造を精密に測定する、テラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析方法およびその構造を得る。
【解決手段】フェムト秒レーザから第１のビーム光と第２のビーム光を発生する。第１のビーム光を第１のテラヘルツ電磁波に変換して試料チャンバーに導入する。第１のテラヘルツ電磁波を第１の試料に伝播させて、第１の試料のテラヘルツ電磁波時間領域分光分析を行ない、特定のテラヘルツ電磁波吸収値を求める。第２のビーム光を第２のテラヘルツ電磁波に変換して試料チャンバーに導入し、第２のテラヘルツ電磁波を第２の試料に伝播させて、第２の試料のテラヘルツ電磁波時間領域分光分析を行ない、特定のテラヘルツ電磁波吸収値を求める。第１の試料の特定のテラヘルツ電磁波吸収値と第２の試料の特定のテラヘルツ電磁波吸収値との差を求める。特定のテラヘルツ電磁波吸収値差により、試料のイオン種を同定する。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の複屈折を、露光装置上で短時間、且つ、高精度に測定することができる露光装置を提供する。
【解決手段】第１のステージに保持されたレチクルのパターンを第２のステージに保持された基板に投影する投影光学系を備える露光装置であって、前記投影光学系を通過した光を撮像素子に入射させる結像光学系を含み、前記結像光学系と前記投影光学系との全体の複屈折を測定する測定部と、前記測定部の校正時において、前記結像光学系の複屈折を測定するために前記投影光学系の物体面側に配置され、前記測定部からの光を反射して前記投影光学系を介さずに前記測定部に戻す校正部と、前記測定部によって前記結像光学系と前記投影光学系との全体の複屈折を測定した結果から前記投影光学系の物体面側に前記校正部を配置して前記測定部によって測定した前記結像光学系の複屈折を分離して、前記投影光学系の複屈折を算出する算出部と、を有することを特徴とする露光装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で多波長の旋光度を計測することが可能な計測装置を提供すること。
【解決手段】光の所定の偏光成分を透過させる第１の偏光子１８と、透過した光を任意の偏光に変調する偏光変調部２０と、偏光変調部２０を介して測定対象３０を透過した光の所定の偏光成分を透過させる第２の偏光子３２と、透過した光の所定の波長成分を透過させ、前記所定の波長成分以外の波長成分を反射させるダイクロイックミラー８０と、ダイクロイックミラー８０を透過した光の第１の波長を透過させる第１のフィルタ８２と、ダイクロイックミラー８０を反射した光の第２の波長を透過させる第２のフィルタ８４と、第１のフィルタ８２を透過した光の光強度を検出する第１の検出部３４と、第２のフィルタ８４を透過した光の光強度を検出する第２の検出部３６とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コスト等をかけることなく、簡単な構成で複屈折特性を測定する。
【解決手段】複屈折測定装置１０は、光源１１、偏光子１５、位相子１６、回転検光子４０、受光器１８、コントローラ２０を有する。位相差フイルム１９は位相子１６と回転検光子４０との間に挿入される。コントローラ２０は、回転検光子４０の透過軸方位θとその透過軸方位のときに受光器１８で受光した光の強度とを対応付けて光強度データを作成する。光強度データ記憶部５０には、偏光子１５の透過軸方位がγ１であるときの第１光強度データと、透過軸方位がγ２（γ２はγ１と異なる方位）であるときの第２光強度データとが記憶されている。第１又は第２光強度データに基づき、位相差フイルム１９の主軸方位が求められるとともに、位相差フイルムの主軸方位、第１光強度データ、及び第２光強度データに基づいて、位相差フイルム１９のレタデーションが求められる。 （もっと読む）

【課題】小型、高速、広ダイナミックレンジ、周辺環境変化に対して冗長であることを同時に満たすストークスパラメータを取得できる光計測装置を提供する
【解決手段】２次元三角格子状に複数配列した光ファイバと、周期構造体群を含み、各光ファイバと周期構造体群を１対１で直列に配置してなる光学複合部品を用いる。かつ２次元または３次元の周期構造体群は、同種の周期構造体群が隣り合わず、かつ同種の周期構造体群が２次元長方形格子状の並進対称性を有して配列する。さらに１つの周期構造体群は６つの周期構造体群と隣接する光学複合部品を用いる。 （もっと読む）

【課題】構造で回折したビームの位相差および振幅を、既知の位相変調器を使用することなく、また、過剰な追加ハードウェアを組み込むことなく、複数の波長レンジで測定することができるよう、スキャトロメータにエリプソメトリック機能を提供する。
【解決手段】システムは、基板の特性を決定するために、基板で回折する際に個々に偏光される２つのビームを測定するように構成されている。２つの直交偏光放射ビームのうちの一方の位相をもう一方のビームに対して変化させるために、円偏光源または楕円偏光源が固定位相リターダを介して引き渡される。２つの放射ビームの相対位相およびディテクタで測定されるビームの他のフィーチャによって基板表面の特性が得られる。 （もっと読む）

【課題】被検出体の位相差や光軸方位の２次元分布を、広範囲で、且つ高精度、短時間に測定することができる偏光検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の偏光検出装置３０は、偏光子アレイ７と、ＴＤＩイメージセンサ５とが設けられた検出光学手段１、計算処理手段２、及び、走査ステージ３を備えている。偏光子アレイ７は、ＴＤＩイメージセンサの積分方向に整列した偏光子８からなる段を該積分方向に垂直な方向に４つ整列して、これを１つの組とすると、各段は、上述したように所定の角度範囲内において互いに異なる透過軸角度を有した偏光子からなり、上記組が、上記垂直な方向に沿って複数設けられており、ＴＤＩイメージセンサは、偏光子アレイ７の各偏光子８を透過した光を受光する受光素子を有している。 （もっと読む）

【課題】 本発明は，光源からの光ビームの位置がずれるなど入射光の強度分布に変化が生じた場合であっても，適切に偏光面や位相差を測定できる偏光測定器や測定システムなどを提供することを目的とする。
【解決手段】 上記の課題は，偏光子アレイを具備する偏光測定器や測定システムであって，偏光子アレイが複数の行を有し，各行は，透過偏光軸が所定の方向から１８０（１／ｎ）°，１８０（２／ｎ）°，・・・，及び１８０{（ｎ−１）／ｎ}°ずれた領域を有するものにより解決される。また，上記課題は，波長板アレイを具備する偏光測定器や測定システムであって，波長板アレイが複数の行を有し，各行は，波長板の光軸が所定の方向から１８０（１／ｎ）°，１８０（２／ｎ）°，・・・，及び１８０{（ｎ−１）／ｎ}°ずれた領域を有するものにより解決される。
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【課題】本発明は、被測定物で散乱した散乱光の戻り光を抑制することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る成分濃度測定装置２２０は、被測定物としての生体被検部１１０で反射された戻り光を阻止する光非可逆手段２２１を備えることを特徴とする。測定用光発生手段としての第１の光源１０１及び第２の光源１０５への戻り光を阻止することで、第１の光源１０１及び第２の光源１０５の動作が安定する。これによって、第１の光源１０１及び第２の光源１０５からの出力強度の精度を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】生体被検部１１０の表面は性質も形状も複雑であるため、生体被検部１１０への透過率及び反射率が照射する強度変調光の偏光状態に依存する。そこで、本発明は、生体被検部１１０へ入射させる強度変調光の偏光依存性の影響を排除し、安定した光量の強度変調光を生体被検部１１０に透過させることを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するため、本発明に係る成分濃度測定装置１９０は、生体被検部１１０に照射する強度変調光を偏光方向に偏りのない非偏光にしたことを特徴とする。非偏光の強度変調光を生体被検部１１０に照射することで、生体被検部１１０へ入射させる強度変調光の偏光依存性の影響を排除し、安定した光量の強度変調光を生体被検部１１０に透過させることができる。 （もっと読む）

【課題】コスト面に優れ、かつ、高い検出感度を得ることができる新規なプローブ、及びこれを用いた結合検出方法の提供。
【解決手段】所定の物質Tに結合可能な分子鎖Pに、他の化学種を包接し得る化学種であって、かつ、光学活性を有する第一の化学種Hが結合されていることを特徴とするプローブを提供する。このプローブは、さらに、分子鎖Pに、第一の化学種Hに包接され得る第二の化学種Aが結合されていてもよく、この場合において、第一の化学種Hと第二の化学種Aは、物質Tとの非結合時において包接状態を維持し、かつ、物質Tとの結合により包接状態が解除されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】サンプルの少なくとも一部分の画像を生成する構成を実現する。
【解決手段】少なくとも１つの電磁放射を伝播するようにする構成は、解剖学的構造に挿入されるプローブシースと、プローブシース内に設置される干渉計、および、プローブシース内に少なくとも部分的に設置され、サンプルからは少なくとも１つの電磁放射の第１の部分を、基準からは少なくとも１つの電磁放射の第２の部分を受信するセクションのうちの少なくとも１つを含む少なくとも１つの装置と、を備え、第１の部分および第２の部分は実質的に同じ経路を進む。 （もっと読む）

【課題】境界面を有しない散乱物体の任意の深度における物質濃度を測定することができる測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】所定の光源から射出した低コヒーレント光を、測定対象物に入射して後方散乱光を発生させるための測定光と、該後方散乱光と干渉させるための参照光とに分割し、前記後方散乱光と前記参照光との干渉によって得られた干渉光の強度から、測定対象物の物質濃度を計算する濃度測定方法であって、光路長を変化させながら前記干渉光の強度を測定し、光路長の変化に対する前記干渉光の強度の変化率の変化が小さい領域の中から、複数の測定位置を決定する測定位置決定工程と、前記複数の測定位置における前記干渉光の強度から、測定対象物の物質濃度を計算する濃度計算工程と、を有する。 （もっと読む）