【課題】基材表面に存在する水膜量の分布を非接触で迅速にオンライン測定する。
【解決手段】水の吸収波長と非吸収波長を含む波長域の赤外光を放出する赤外光源と該赤外光源から放出された赤外光を、表面に水溶液膜が存在する基材表面の所定領域に照射する照射系を備える光照射部と、基材表面から反射した光を、位置情報を保ったまま、水の吸収波長を透過するフィルター、水の非吸収波長を透過するフィルターを通過させた後、一次元以上の多素子型検出器からなる検出器に導く受光系を備える光検出部と、水の吸収波長を透過するフィルターを通過した赤外光と水の非吸収波長を透過するフィルターを通過した赤外光を検出器に交互に導入する制御系と、前記検出器で測定した水の吸収波長を透過したフィルターの光強度及び水の非吸収波長を透過したフィルターを通過した光強度から水の吸光度を求めて基材表面の水溶液量を算出する信号処理系とを備える。 （もっと読む）

【課題】 チャネルド分光偏光計測法が有する様々な特徴を継承しつつ、移相子のリタデーションが温度変化その他の要因により変動することによって生じる分光偏光状態を示すパラメータの計測誤差を効果的に低減すること。
【解決手段】 チャネルドスペクトルＰ（σ）中に含まれる各振動成分から方程式を解くことにより、基準位相関数φ_１（σ）、φ_２（σ）が求められることに着目し、分光ストークスパラメータＳ_０（σ），Ｓ_１（σ），Ｓ_２（σ），Ｓ_３（σ）の測定と同時に、基準位相関数φ_１（σ）とφ_２（σ）を較正するようにした。 （もっと読む）

【課題】 反射率計測センサの校正を短時間で行うことができる露光装置を提供する。
【解決手段】 マスクＭのパターンを投影光学系ＰＬを介して感光性基板Ｐ上に露光する露光装置において、前記感光性基板の反射率を計測する反射率計測センサ１９と、前記反射率計測センサの校正を行うために用いられ、前記感光性基板を載置する基板ステージＰＳＴ上とは別の位置に配置される基準反射板２６と、必要に応じて前記基準反射板を前記基板ステージ上に設置する設置手段と、前記設置手段により設置された前記基準反射板の反射率を前記反射率計測センサにより計測し、計測された前記反射率に基づいて前記反射率計測センサの校正値を算出する算出手段２０と、前記算出手段により算出された前記校正値に基づいて前記反射率計測センサの校正を行う校正手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】不純物ガス濃度がきわめて微量であっても、不純物ガス濃度を正確に測定することのできるガス中の不純物定量方法及び装置を提供する。
【解決手段】ガスから不純物を除去してセル１５に導入し、そのセル１５を透過した光の光強度をリファレンスとして測定する。既知の濃度の不純物を含むガスを同一セル１５に導入して、同一温度、同一圧力に保って、セル１５を透過した光の光強度を測定し、前記２つの測定で得られた光強度の比から不純物の吸光度を求める。この不純物の吸光度を、不純物の濃度の関数としてメモリ２０ａに記憶しておく。濃度が未知の不純物を含むガスを同一体積のセル１５に導入して、同一温度、同一圧力に保って、セル１５を透過した光の光強度を測定し、この測定で得られた不純物の、前記リファレンスに対する吸光度を求め、この吸光度を前記関数に適用して、不純物の濃度を求める。 （もっと読む）

【課題】紫外域において連続的なスペクトルを呈する紫外光源を提供することを主な目的とする。
【解決手段】ガスセル内に封入された不活性ガスに対しパルスレーザー光を集光照射することによりレーザープラズマを発生させ、該プラズマから発生する紫外光を、紫外光透過窓を通してガスセル外に誘導することを特徴とする紫外光の発生方法、および
不活性ガスを封入するためのガスセル、不活性ガス導入部、ガスセル内の不活性ガスに対してパルスレーザー光を集光照射する機構、およびガスセル内で発生する紫外光をガスセル外に誘導する窓を備えたことを特徴とする紫外光源装置。 （もっと読む）

組織部を介して伝送されるエネルギーから誘導される第１の波長の第１の信号を取得することであって、信号は、動きに関係する出来事に対応する信号部と、動脈拍動の出来事に対応する信号部とを含み、第１の波長において、組織部における電磁エネルギーの主な吸収体は水である、こと；組織部を介して伝送される電磁エネルギーから第２の波長の第２の信号を取得することであって、信号は、動きに関係する出来事に対応する信号部と、動脈拍動の出来事に対応する信号部とを含み、第２の波長において、組織部におけるエネルギーの主な吸収体はヘモグロビンである、こと；第１および第２の信号を組み合わせ、組み合わせ信号が動きに関係する出来事に対応する信号部を有し、信号部が第１の信号または第２の信号に存在するものよりも小さくなるように、組み合わせのプレチスモグラフ信号を生成することを含む、生理学的パラメータを測定する方法とその装置である。
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自動車の排ガス組成を測定するための遠隔排ガス計測（ＲＥＳ）システムおよび方法を提供し、較正方法論を備え、周囲の温度効果および／または圧力効果を補正する。
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【課題】 ４００ｎｍ〜２５００ｎｍの波長領域の可視光及び／又は近赤外光を利用して各試料中の成分の判別や成分の特性を測定する分光分析方法及びその装置において、従来の方法では判別困難なものを判別可能とし、成分特性の高精度な測定を可能とし、また超低濃度成分の検出を可能とし、さらに成分の特性や、生体高分子の構造又は機能及びそれらの変化をリアルタイムに測定可能とする可視光・近赤外分光分析方法及びその装置を提供することである。
【解決手段】 試料検体に所定の条件を付加し摂動（water activating perturbations：ＷＡＰ）を与えながら前記試料検体のスペクトル測定を行うことで応答スペクトルに変化を生じさせると共に、前記応答スペクトルの変遷を捉えてスペクトル解析もしくは多変量解析して、前記試料検体の成分の判別及び／又は成分の特性を判別可能とする構成とした。 （もっと読む）

本発明は、極めて低い屈折率をもつ気体に基づいて気体と液体を区別するための装置及び方法を提供する。また、サンプルの浄化される様子をその場で観察できる。坑井中の流体の屈折率は、既知の屈折率を持った透明窓と流体との界面での反射光の分画Rから決定する。好ましくは、屈折率は流体を通る光の波長が大きく減衰するのではなく、適度に減衰するような波長で測定する。隣接する変換分光計は観察することにより、波長の減少から正確な屈折率を測定することができる。この反射を基にした屈折計の設計は大きく減衰する波長において減衰反射法分光器のように用いられている。 （もっと読む）