【課題】可動電極を持つセンサ素子で振動を検出する場合でも、送信端末の小型化を実現する。
【解決手段】センサ素子１４として、接地電位が印加される可動電極１４Ｍと、この可動電極１４Ｍと対向して固定された固定電極１４Ｐ，１４Ｎとを有し、振動に応じた可動電極１４Ｍの揺動により、接地電位ＧＮＤに対して正負に変化する検知信号を固定電極１４Ｐ，１４Ｎから出力する回路素子を用い、この可動電極１４Ｍを、基板Ｐに実装された蓄電素子ＣＶの上端に位置する当該蓄電素子ＣＶの接地電極ＧＮに対して、揺動自在に支持するとともに電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】 高精度なパターンの形成を必要とせず、かつ、簡単な構造で、小型化が可能であり、ＡＥ波の検知に対しても十分な感度が得られる振動センサ、およびそれを使用した振動検知装置を提供すること。
【解決手段】 振動センサ部１４とアンテナ１３とから構成され、振動センサ部１４は、基板２と、支持部８と、支持部８に一端を固定された片持ち梁１と、基板２上に設置された下部電極３と、下部電極３に対向して片持ち梁１の先端部に設けられた上部電極４とを有し、下部電極３と上部電極４はアンテナ１３に接続され、外部より印加された振動により片持ち梁１が振動することにより、上部電極４と下部電極３間の静電容量が変化し、これによりアンテナ１３へ入力される外部からの送信波の反射波が前記振動により変調されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】、例えば地震時において、振動周期(振動周波数)を簡易に正確に検出することができる装置を提供すること。
【解決手段】水晶板に力が加わって撓むと、先端部に設けた可動電極とこの可動電極に対向する容器側の固定電極との間の容量が変わり、この容量に応じて水晶板の発振周波数が変わる。このため容器を振動させると、水晶板が固定電極側に撓んで固定電極に接近した第１の状態と、水晶板が元の状態あるいは逆側に撓む状態となって固定電極から離れた第２の状態とが現れる。このため第１の状態に対応する発振周波数と第２の状態に対応する発振周波数とが交互に現れるため、これら発振周波数が現れる周期（周波数）を求めれば振動の周期（周波数）を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】タービンロータと振動検出器間の取付ギャップに過大な変動が起きた場合でも、振動計測範囲を正常範囲内に維持できるタービン監視装置をＶローラとエアシリンダから構成される追従機構を追設せず、簡単な構成で実現する。
【解決手段】内部に非接触式振動検出器２を一定位置にスプリング等の弾性体６ａ、６ｂでフローティング状態に保持する検出器プローブ５と、この検出器プローブ５をケーシング８に設けた摺動スリーブ９で摺動自在に保持するとともに検出器プローブ５の先端をタービンロータ７上に自重で接触させる機構と、非接触式振動検出器２の出力を受ける振動監視部４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】センサ回路を低消費電力化する。
【解決手段】センサ回路は、入力端子が電源電位ＶＤＤに接続され、出力端子がセンサ素子１の出力端子１０に接続された第１のダイオードＤ１と、入力端子が第１のダイオードＤ１の出力端子およびセンサ素子１の出力端子１０に接続され、出力端子がセンサ素子１の出力端子１１に接続された第２のダイオードＤ２と、入力端子が第２のダイオードＤ２の出力端子およびセンサ素子１の出力端子１１に接続され、出力端子がセンサ回路の出力端子ＯＵＴに接続された第３のダイオードＤ３と、第１の端子がセンサ回路の出力端子ＯＵＴに接続され、第２の端子が接地電位に接続された容量素子と、初期化時にセンサ回路の出力端子ＯＵＴの電圧を接地電位にする初期化スイッチＳＷ１とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンデンサマイクロフォンの代わりにシリコンマイクロフォンを採用して、チャンバを不要化し、光を直接に検出できるようにする。
【解決手段】音響、静圧変動、動圧変動、加速度、光の照射変化、および温度変化などの物理現象に関わる複数の物理変量を検出する検出部１、および検出部１から出力された出力信号に基づいて物理変量の種類を判定する判定手段３を具備した多変量検出装置であって、検出部１をシリコンマイクロフォン５で構成した。また、金属酸化膜半導体素子(CMOS)として機能させ、光を電子的に検知する。シリコンマイクロフォンを収容する筐体に集光レンズ１３を設ける。 （もっと読む）

【課題】外乱を受けて振動する制御対象物の慣性空間に対する絶対速度、あるいは絶対変位を、広い周波数帯域で直接検出する振動センサ、及びこの振動センサを用いたアクティブ精密除振台、アクティブ動吸振器などの振動制御装置を提供する。
【解決手段】センサ外郭に対して質量体を支持する支持ばねと、前記センサ外郭と前記質量体の間の相対変位を検知する検知器と、前記センサ外郭と前記質量体の間に配置され前記質量体を負荷として駆動するアクチュエータと、前記検知器から得られる相対変位信号を前記アクチュエータの駆動部に帰還するサーボ回路を備えたサーボ型振動センサにおいて、地動絶対速度、あるいは地動絶対変位を検出するために、積分帰還用増幅器をセンサのサーボ回路に配置して、この積分帰還用増幅器から検出信号を取り出したものである。さらに、この積分器の極の構成と、検出信号を取り出す方法に工夫を施すことにより、広い検出帯域でゲイン・位相特性をフラットにできることを理論的に見出したものである。 （もっと読む）

【課題】２物体間の間隔を推定するシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】回転機械（１０）内の間隔推定用処理システム（１２）は、１つまたは複数のセンサ（１４、１６、１８）と、推定間隔（４６）を算出する１つまたは複数のデジタル信号プロセッサ（３２、４０）とを備えている。処理システム（１２）は、リアルタイム間隔推定値を得るための技術、および平均化した間隔推定値を得るための技術を含むことができる。処理システム（１２）の態様はまた、回転機械（１０）の動作状態によって、リアルタイム間隔推定値および平均化間隔推定値を切り換える方法を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】 小型化が図れる音圧空間微分検出センサを提供する。
【解決手段】 それぞれ扁平な直方体形状であって厚さ方向を互いに揃えて長手方向を互いに直交させる向きで配置された２個の振動板１と、振動板１を短手方向の両側から間に隙間を空けて挟む挟み部２０を各振動板１についてそれぞれ有するパッケージ２と、各振動板１に２個ずつ設けられそれぞれ振動板１の長手方向の中央部であって短手方向の一端ずつとパッケージ２の挟み部２０との間に架設された支持体３と、各振動板１の長手方向の両端部の測定点Ａ〜Ｄについてそれぞれ厚さ方向の変位を検出する変位検出手段（図示せず）とを備える。１枚の振動板１につき１方向の音圧空間微分を検出可能であるから、１方向の音圧空間微分を検出するために複数枚ずつの振動板を用いる場合に比べ、小型化が図れる。 （もっと読む）

【課題】電力供給を遮断した状態の機械装置に付加された振動を電気的に且つ高精度に検出可能で且つ小型で安価な振動検出装置及び振動検出方法を提供すること。
【解決手段】外部からの電力供給を遮断した状態における機械装置１の振動を電気的に検出する振動検出装置は、キャパシタ又は２次電池からなる電源手段８７と、機械装置に所定振動レベル以上の振動が付加されたときに、その振動をＭＥＭＳスイッチを介して検出する振動検出手段９２と、振動検出手段により検出された振動の有無を振動履歴として電気回路を介して記憶する振動履歴記憶手段９３と、外部から機械装置に電力が供給された状態で、振動履歴記憶手段に記憶した振動履歴の有無から振動発生を判定する振動履歴判定手段と、振動履歴判定手段により振動発生を判定した場合に、機械装置の起動を禁止する起動停止手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】振動計の大型化等を伴うことなく、高精度に長周期の速度計測が可能な動電型振動計を提供する。
【解決手段】動電型振動計１００において、静電容量変化量により振動子の変位を検出する変位検出部２１と、磁界内に設けられ、電流を流すことで振動子に駆動力を付与する変位帰還コイル５ｂと、変位検出部２１により検出された変位に基づく正帰還ゲインに応じた電流を変位帰還コイル５ｂに供給する正帰還制御部２３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 長期間にわたって振動を検知することが可能な振動センサ装置を提供する。
【解決手段】 絶縁基体１の内部に設けられた対向する１組の面が正方形状である直方体状の空間２内に、絶縁性の液体が充填されて、空間２の振動に応じて空間２内を移動可能な、対向する１組の面にそれぞれ対向する１組の面が正方形状である直方体状の誘電体ブロック３が収容されているとともに、空間２の対向する１組の面にそれぞれ、１辺の長さが誘電体ブロック３の１辺の長さと同じで、外辺と空間２の面の端との間の平面視した距離が誘電体ブロック３の１辺の長さよりも小さい寸法である正方形状の領域Ｓを除いて、容量電極４が形成されている振動センサ装置９である。空間２の振動に応じた誘電体ブロック３の移動に伴い容量電極４，４間の静電容量が変化するため、容量電極４等の磨耗等を抑制しながら振動の検知が可能である。 （もっと読む）

【課題】ベントホールにおける熱雑音によるノイズを低減させることができ、かつ、良好な低周波特性も得ることのできる静電容量型振動センサを提供する。
【解決手段】
空洞部３７を有するシリコン基板３２の上面には、振動を受けて膜振動する振動電極板３４を設けている。さらに、振動電極板３４の上方に、厚み方向に貫通した複数の音響孔４３が開口した固定電極板３６を設け、振動電極板３４と固定電極板３６を対向させている。空洞部３７の周囲においては、シリコン基板３２の上面と振動電極板３４の下面との間に、振動電極板３４及び固定電極板３６間のエアギャップ３５と前記空洞部３７とを連通させるベントホール４５を設けている。ベントホール４５に対応する領域において、振動電極板３４には複数の貫通孔状をした空気逃げ部４２が開口している。 （もっと読む）

【課題】 長期間にわたって振動を検知することが可能な振動センサ装置を提供する。
【解決手段】 絶縁基体１の内部に設けられた対向する１組の面が正方形状である直方体状の空間２内に、絶縁性の液体が充填されて、密度が液体の密度と異なり空間２の振動に応じて空間２内を移動可能な、空間２の対向する１組の面にそれぞれ対向する１組の面が正方形状である直方体状の誘電体ブロック３が収容されているとともに、空間２の対向する１組の面にそれぞれ平行に、１辺の長さが誘電体ブロック３の１辺の長さと同じ１組の正方形状の容量電極４，４が、外辺と空間２の面の端との間の平面視した距離が誘電体ブロック３の１辺の長さよりも小さい寸法であるように形成されている振動センサ装置である。空間２の振動に応じた誘電体ブロック３の移動に伴い容量電極４，４間の静電容量が変化するため、容量電極４等の磨耗等を抑制しながら振動の検知が可能である。 （もっと読む）

【課題】同一周波数の音波を発生する複数の音源が存在したり、音源と相関のある反射音が存在したりする任意の音場条件でも、任意の位置における音波が有する音響エネルギの流れの方向及び大きさを正確に計測することが可能な音響エネルギ計測装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る音響エネルギ計測装置及び計測方法は、音波が伝搬する空気等の媒質の粒子変位分布の方向変化率、即ち、粒子変位ベクトルの空間微分を媒質のひずみとして検出し、ひずみテンソルに媒質の体積弾性率を乗じた応力テンソルと粒子速度ベクトルとに基づいて、音響エネルギの流れの方向及び大きさを正確に検出するものである。 （もっと読む）

【課題】振動トランスデューサの感度を高めつつダイヤフラムのスティクションを防止する。
【解決手段】基板と、前記基板上の堆積膜からなり、導電性を有し、中央部と前記中央部から外側に放射状に延びる複数の腕部とを備えるダイヤフラムと、前記基板上の堆積膜からなり、導電性を有するプレートと、前記基板上の堆積膜からなり、複数の前記腕部のそれぞれに接合され、前記プレートとの間に空隙を挟んで前記ダイヤフラムを支持するダイヤフラム支持部と、を備え、前記基板または前記プレートに前記ダイヤフラムが付着することを防止する複数の突起が前記ダイヤフラムの腕部に形成され、前記ダイヤフラムが前記プレートに対して振動することにより前記ダイヤフラムと前記プレートとで形成される静電容量が変化する、振動トランスデューサ。 （もっと読む）

【課題】振動トランスデューサの感度を高める。
【解決手段】基板と、前記基板上の堆積膜からなり導電性を有するダイヤフラムと、前記基板上の堆積膜からなり導電性を有するプレートと、前記ダイヤフラムを構成している導電膜からなり前記ダイヤフラムから切り離されているガード部と、上層絶縁膜からなり、前記プレートと前記ガード部とに接合され、前記ダイヤフラムとの間に空隙を挟んで前記プレートを支持する、プレートスペーサと、前記基板と前記ガード部とに接合されている下層絶縁膜と、を備え、前記ダイヤフラムが前記プレートに対して振動することにより前記ダイヤフラムと前記プレートとで形成される静電容量が変化する、振動トランスデューサ。 （もっと読む）

【課題】振動部における応力を緩和でき、振動部と背極板との間に生じ得る寄生容量を低減でき、低周波の音に対する感度を充分に確保でき、耐落下衝撃性能が確保できる容量型センサを提供する。
【解決手段】一部分が振動部４ａとして機能し、他の部分が当該振動部４ａを取り囲む非振動部４ｂとして機能する基材と、振動部４ａと対面する形態で、基材と所定の間隔をおいて配置される背極板６と、振動部４ａと非振動部４ｂとの間の境界１２付近の非振動部４ｂ側の複数箇所に配置されて、背極板６と基材との間の所定の間隔を保持するスペーサ５とを備える容量型センサＳであって、振動部４ａの、境界１２を挟んでスペーサ５と対向する位置に、貫通孔９又は窪み１４を複数個、或いは、当該貫通孔９及び当該窪み１４を組み合わせて境界１２に沿った方向に並べた肉抜部Ｎを設けてある。 （もっと読む）

【課題】同一位置で複数の計測対象を好適に検出することができる振動検出器を提供することにある。
【解決手段】切換部２４によりサーボアンプ２１による制御がＯＮに切り換えられている場合、電流値検出部２２により、フォースコイル２ｂに流した電流値を検出することに基づきコイルボビン３の加速度を計測するとともに、切換部２４によりサーボアンプ２１による制御がＯＦＦに切り換えられている場合、誘導起電力検出部２３により、発電コイル４に誘起された誘導起電力を検出し、当該検出された誘導起電力に基づきコイルボビン３の速度を計測する。 （もっと読む）

【課題】振動電極板が対向電極板に固着して振動電極板の振動が妨げられる現象を効果的に軽減することのできる音響センサを提供する。
【解決手段】音圧に感応する振動電極板２４が対向電極板２５に対向し、静電容量型の音響センサを構成する。対向電極板２５には、振動を通過させるための音響孔３１が開口し、また振動電極板２４と対向する面には複数の突起３６が突設している。振動電極板２４の柔軟性が高くて対向電極板２５に局所スティックしやすい領域では、突起３６どうしの間隔を小さくしている。また、振動電極板２４の柔軟性が低くて対向電極板２５に局所スティックしにくい領域では、突起３６どうしの間隔を大きくしている。 （もっと読む）