【課題】光パワーの測定時に位置合せをしてから測定を行なう必要がなく、簡単な構成で測定精度を向上することができる光パワー測定装置を提供する。
【解決手段】発光素子１から出射された光ビームのパワーを受光素子２側で測定する測定装置において、上記発光素子と上記受光素子との間に設けられた環状のハーフミラー３と、上記ハーフミラーで反射された光を検出するＣＣＤカメラ６と、上記ＣＣＤカメラの出力と基準出力とを比較して光軸のずれ及びピントのずれを検出する画像処理装置７と、上記画像処理装置の検出結果にもとづいて上記ハーフミラー、ＣＣＤカメラ及び受光素子の位置を調整する駆動装置９とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】構成が簡易で小型化などにも適し、紫外線の強度を容易かつ正確に判断することが可能な紫外線センサを提供する。
【解決手段】一定強度以上の紫外線を受けることにより、発色、変色、および蛍光の少なくともいずれか１つの現象を可逆的に生じる紫外線反応部１を備えている、紫外線センサＳ１であって、紫外線反応部１の表面の少なくとも一部を覆い、かつ受けた紫外線をその強度を弱めて透過させる紫外線抑制部２を備えており、この紫外線抑制部２は、紫外線の透過率が相違する複数のブロック２ａ，２ｂに区分されているとともに、紫外線反応部１は、複数のブロック２ａ，２ｂに対応して紫外線の到達率が相違する複数の個別反応領域１ａ，１ｂに区分されており、これら複数の個別反応領域１ａ，１ｂのそれぞれが紫外線を受けて上記現象を開始するときの紫外線抑制部２に入射する紫外線強度は、互いに相違するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 従来の赤外線撮像装置では、光学フィルタを有するためフィルタ表面での光線反射により迷光が発生し、その迷光を赤外線検出素子が受光することにより画像が劣化する。この迷光の発生源とならない光学フィルタに代わる赤外線を減衰するフィルタを得る。
【解決手段】 赤外線の光路上に赤外線吸収特性を持つガスを封入する空間を構成し、ガスの封入量を調整することによって、フィルタターレットにより光学部品を切り替える光学フィルタを使用せずとも赤外線を減衰することができ、フィルタ表面での反射による迷光を発生させることなく、赤外線検出素子に集光する赤外線の光量を低下させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板のウェットエッチング加工が容易であり、広い波長域にわたって効率良く赤外線を吸収できる赤外線吸収体および熱型赤外線検出器を提供する。
【解決手段】赤外線吸収膜２は、ＴｉＮを含む第１の層２１と、Ｓｉ系化合物を含む第２の層２２とを備え、第２の層２２側から入射する赤外線のエネルギを熱に変換する。ＴｉＮは、８μｍより短い波長域の赤外線に対する吸収率が高い一方、８μｍより長い波長域の赤外線に対しては反射率が高い。従って、長波長域の赤外線に対する吸収率が良いＳｉ系化合物層をＴｉＮ層上に積層すれば、ＴｉＮ層において吸収率が低い波長域の赤外線をＳｉ系化合物層において好適に吸収できると同時に、Ｓｉ系化合物層を透過しようとする赤外線をＴｉＮ層の界面で反射してＳｉ系化合物層へ戻すことができる。 （もっと読む）

【課題】感度および応答速度を向上することができる赤外線センサを提供する。
【解決手段】ベース基板１０と、ベース基板１０の一表面に形成された凹所１５の周部の内側に配置された梁部２０と、上記一表面から離間して配置され赤外線を吸収して熱に変換する赤外線吸収部３０と、ベース基板１０の上記一表面側において赤外線吸収部３０の温度変化を検出するサーモパイルからなる感温部４０と、梁部２０の中間部と赤外線吸収部３０の中央部とを機械的且つ熱的に結合する結合部５０とを備える。感温部４０は、冷接点部４０Ａがベース基板１０における凹所１５の周部に配置され、温接点部４０Ｂが梁部２０の中間部に配置されているが、温接点部４０Ｂは当該温接点部の一部が冷接点部４０Ａよりもベース基板１０の厚み方向において当該ベース基板１０の上記一表面から離れて位置して赤外線吸収部３０と直接接している。 （もっと読む）

【課題】
導光ロッドの個体差を無くし、内部欠陥やキズに依存する漏光量を測定することなく、導光ロッドから出力される検出光の光量を増加させて検出精度を向上させると共に、導光ロッドからは均一の光量分布の光を出射できるようにする。
【解決手段】
光源（２）から被照射物に至る光路中に、光入射端面（７in）となる片端側から入射した光を均一化して光出射端面（７out）となる他端側から出射する多角柱状のロッドインテグレータから成る導光ロッド（７）が配され、光出射端面（７out）のエッジ部（９）の外周面に該エッジ部（９）で散乱して外部に出射する光をさらに拡散させる光拡散体（１０）が設けられると共に、光拡散体（１０）で拡散された光の光量を照射光量として検出する光センサ（１５）を設けた。 （もっと読む）

【課題】 光量を定量評価できる光量計測装置および光量計測方法を提供する。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ１２の無信号状態を作り、ゼロ点調整を行う。このとき、校正用シャッター２３は光路を遮断する実線で示す位置に駆動され、迷光がＣＣＤカメラ１２に入らない状態が確保される。このときのＣＣＤカメラ１２の出力信号は光量算出部５１に送られ、校正部５６は光量算出部５１に対し、この出力信号値を基準（ゼロ点）とする校正を実行する。また、校正用レーザ光源２１から出力された光は光アッテネータ２２により減衰され、可動ミラー９およびリレーレンズ１１を介してＣＣＤカメラ１２に入射する。光アッテネータ２２の減衰量を切り替えることで、正しく値付けされた光をＣＣＤカメラ１２に入射させる。このときのＣＣＤカメラ１２の出力信号は光量算出部５１に送られ、校正部５６は各出力信号値がそれぞれの光量に正しく対応するように、光量算出部５１に対する校正を実行する。 （もっと読む）

【課題】 中空構造を有する半導体装置の製造方法であって、メンブレンの破損を防いで歩留まりを向上させることができる製造方法を提供する。
【解決手段】 犠牲層エッチングによって中空構造を有する半導体装置を製造するに際して、犠牲層にエッチングガスを通気するための通気孔を形成し、中空部分に犠牲層を残したまま、ウエハのダイシング工程、ダイスボンド工程、ワイヤーボンド工程を実行した後に、犠牲層をエッチングによって除去する。
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【課題】 １を超える開口数の光を高精度かつ安定に検出する受光素子及び液浸露光装置を提供する。
【解決手段】 光源からの光を利用してレチクルのパターンを被露光体に投影する投影光学系を備え、当該投影光学系と前記被露光体との間を液体で満たして前記投影光学系及び前記液体を介して前記被露光体を露光する露光装置であって、前記投影光学系及び前記液体を介して前記光を検出する受光素子を備え、当該受光素子は、前記光を拡散する拡散部と、前記拡散部によって拡散された前記光を検出する検出部と、前記液体が前記検出部に接触することを防止すると共に前記光を前記拡散部に導入する基板とを持つ受光素子とを有することを特徴とする露光装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来の吸収膜がレンズで投影された地域を赤外線検出域とするサーモパイルには、最外吸収膜の検出域が２ヶ存在し、且つ、所定の寸法より大となり、正確な計測が不能という欠点を有していた。
【解決手段】レンズ内を伝播しレンズ周囲部で最外吸収膜方向に出射される光を遮断するリング状光線遮蔽機構をレンズ・チップ間に設ける。
さらには、レンズ頂点付近で大きな出射角を持ち吸収膜に到達する光をカットする光線遮蔽機構を、チップ上最外吸収膜上の点とレンズ頂点とを結ぶ直線を少なくとも遮断する位置に設ける。

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【課題】簡素な構造でありながら、より高い自由度をもって、しかもより高い精度での感度調整を可能とする光センサを提供する
【解決手段】不透明な円盤状の板材から形成された遮光板４０を自由回転可能に軸支する。そしてこの遮光板４０に、その回転軸４１を中心とした回転方向についての１８０度を超える領域にわたってその幅が連続的に変化する態様で、同遮光板４０を貫通する透光用のスリット４２を設ける。また、遮光板４０の回転軸４１を外装フィルタ５０の回転の中心に対して偏倚して設け、遮光板４０の回転半径よりも外装フィルタ５０の回転半径を大きく設定するとともに、遮光板４０の外周面には外歯ギア４３を、外装フィルタ５０の内周面には内歯ギア５３をそれぞれ形成している。それら外歯ギア４３と内歯ギア５３との噛合に基づき遮光板４０を外装フィルタ５０の回転に追従させて回転させることで受光素子２０に入射される光量を調整する。 （もっと読む）

集積回路を形成する方法は、検出器のアレイを第１の基板層の外面に近接して設ける段階を含む。検出器のアレイは、透過エネルギーのスペクトルにおける１つ以上の波長の有無を検出するよう動作可能である。１つ以上のフィルタが、第２の基板層に近接して設けられる。１つ以上のフィルタは、１つ以上のフィルタを通る透過エネルギーのスペクトルに作用するよう動作する。第２の基板層は、検出器のアレイを真空環境内に閉じ込めるよう第１の基板層の外面に近接する。
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【課題】自発光パネルの輝度検査の容易化および簡略化を図ること。
【解決手段】自発光素子が設けられた自発光パネル１０１と、所定輝度以上の輝度を有する光を透過させる光透過率調整フィルタ１０２と、を保持部１０３によって対向させた状態で保持し、光透過率調整フィルタ１０２を介して、自発光パネル１０１の輝度を測定するようにした。これによって、輝度検査に際しては、光透過率調整フィルタ１０２を透過する光の有無を判別することで、当該自発光パネル１０１が、光透過率調整フィルタ１０２によって規定される所定輝度以上の輝度を有しているか否かを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】 検出感度を向上させることができる赤外線検出器を提供すること。
【解決手段】 赤外線検出器２００は、赤外線センサ素子１００が、台座３１０とキャップ３２０からなるケース３００内に配置されて構成される。赤外線センサ素子１００は、基板１０と、検出部２０と、赤外線吸収膜３０、赤外線反射膜４０とを備える。基板１０は、空洞部１１を備え、この空洞部１１上を含む基板１０の上面には、メンブレン１３としての絶縁膜１２が形成されている。検出部２０は、熱容量の小さいメンブレン１３上に形成される温接点２０ｃ、メンブレン１３の外側における熱容量の大きい基板１０上に形成される冷接点２０ｄなどを備える。そして、赤外線吸収膜３０は、検出部２０の少なくとも温接点２０ｃを含む一部を被覆するようにメンブレン１３上に形成されている。さらに、赤外線反射膜４０は、赤外線吸収膜３０以外の領域に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 熱検出画素と可視光検出画素を併せ持つ半導体装置を感度良くかつ簡易な構成で提供する。
【解決手段】 本発明の半導体装置は、半導体基板と該半導体基板に熱検出画素を構成するための温度検知部と可視光検出画素を構成するための光電変換部とが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】任意の色の光を照射することのできる光照射装置及びこれを備えた受光素子検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】光源からの光を色分解光学系で、第１色光、第２色光、第３色光に色分解する。色分解された各色光は、第１色光、第２色光、第３色光の光路にそれぞれ配置されたＮＤフィルターによって減光される。ＮＤフィルターを透過した各色光は、光量測定装置によって各色の光強度を測定し、所定の光強度になっているかどうか測定を行う。所定の光強度に調整された各色光は、第１色光、第２色光、第３色光を色合成する色合成光学系によって色合成され任意の色になり、受光素子に照射される。 （もっと読む）

【課題】 発光素子の高出力化に伴ってその発光出力をモニタする受光素子の飽和が問題となっている。本発明では発光素子の特性評価試験を低価格で精度よく行え、かつ小型化が可能な発光素子試験装置を提供する。
【解決手段】 多数の微細孔を均一に分散した光吸収膜からなる遮光膜を受光素子の受光面に形成し、受光素子の出力電流を抑制することで飽和特性を制御する。具体的には、半導体レーザダイオード６からのモニタ光のうち、光吸収層１０ｅの微細孔１０ｃ以外の部分に入射したモニタ光は光吸収層１０ｅに吸収され、微細孔１０ｃ内に入射したモニタ光はホトダイオード１０の光入射面に到達する。よってホトダイオード１０における飽和が抑えられ、半導体レーザダイオード６の特性評価試験を精度良く行うことができる。また、光吸収層１０ｅは、反射光に起因する半導体レーザダイオード６の誤作動も防ぐ。 （もっと読む）

【課題】ＭｇＯ基板のエッチング時のサイドエッチング角をできるだけ大きくとれるようにし、生産性の高い赤外線検出素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】 基板１（１’）の表面１ａ側に下部電極２および上部電極３に挟まれる状態で薄膜の焦電体４が設けられ、絶縁膜５を介して上部電極３上に赤外線吸収膜６が設けられ、マスク１２を用いて基板１（１’）のエッチングを裏面１ｂ側から行うことにより焦電体４に対応する基板領域Ｒに空洞部１５を設ける赤外線検出素子Ｄの製造方法において、基板１（１’）に対して密着性の良い材料よりなるマスク１２を用いることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 弱い照明光であっても照度を正確にモニタすることができる光源装置を提供する。
【解決手段】 光の透過強度を調節し得るＮＤフィルタ４と、このＮＤフィルタ４と撮像素子との光路に挿脱可能に配置され、ＮＤフィルタ４を透過した光を遮断するシャッタ１と、ＮＤフィルタ４を透過した光を検出する照度センサ３と、この照度センサ３の出力に基づいてＮＤフィルタ４を動かしてＮＤフィルタ４を透過する光の透過強度を制御する照度制御装置８とを備えている光源装置において、照度センサ３へ光を導く全反射プリズム９をシャッタ１に設けた。 （もっと読む）

本発明においては、電磁スペクトル領域の一部の強度を測定するための方法及びその方法を実施する電子装置が開示されている。その方法は、少なくとも第１液体（Ａ）を有し、センサ（１２０）の前に位置付けられている光学装置（１０）を有する電子装置を備える段階であって、光学装置（１０）は少なくとも第１液体（Ａ）の配向に依存する電磁スペクトル領域の前記一部の透過性を有する、段階と、電磁（ＥＭ）スペクトル領域の第１強度を測定する段階と、少なくとも第１液体（Ａ）の前記配向を変える段階と、電磁スペクトル領域の第２強度を測定する段階と、第１強度と前記第２強度との差から電磁スペクトル領域の一部の強度を計算する段階とを有する。したがって、ＥＭスペクトル領域の一部についての強度は、ＥＭスペクトル領域のこの一部に専用のセンサを必要とすることなく、測定される。特に、エレクトロウェッティングの原理に基づく光学要素を、ＵＶ放射の強度を測定するように携帯電話で用いることができる。
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