【課題】起電力を記憶する容量が小さくでき、読み出し速度を速くできる熱検出センサアレイを提供する。
【解決手段】複数の画素が２次元配列された熱型赤外線感応領域を有する熱検出センサアレイであって、２次元配列における第１の方向に配列されている複数の画素２（ｍ，ｎ）にわたって、各画素を構成する２つの熱型赤外線感応部１１ａ（ｍ，ｎ），１１ｂ（ｍ，ｎ）のうち一方の熱型赤外線感応部１１ａ_ｍ同士が直列に接続されており、２次元配列における第２の方向に配列されている複数の画素２（ｍ，ｎ）にわたって、各画素２（ｍ，ｎ）を構成する２つの熱型赤外線感応部１１ａ（ｍ，ｎ），１１ｂ（ｍ，ｎ）のうち他方の熱型赤外線感応部１１ｂ（ｍ，ｎ）同士が直列に接続されている。 （もっと読む）

【課題】熱型赤外線固体撮像素子のNETD低減による性能向上を実現する熱型赤外線固体撮像素子を提供する。
【解決手段】熱型赤外線固体撮像素子は、断熱構造と赤外線吸収構造を有した温度検出素子を含む画素を２次元配列してなる画素アレイと、画素アレイの各画素に対して温度検出素子の電位を逆バイアスとなる所定電位に設定するリセット動作を行い、リセット動作から所定の蓄積時間経過後に出力を読み出す手段と、断熱構造及び／又は赤外線吸収構造を有しない参照画素の列と、各参照画素に対して行毎に異なる蓄積時間を付与し、各参照画素に対してリセット動作を行い、リセット動作後異なる蓄積時間経過後に各参照画素から出力を読み出す手段と、各参照画素から読み出した出力を基準電圧と比較する比較回路とを備える。画素アレイの画素に対する所定の蓄積時間は比較回路の出力に基づき決定される。 （もっと読む）

【課題】蛍光灯の発光強度分布を有し、低光強度から高光強度までの光を照射でき、白熱灯との切り換えを可能にする。
【解決手段】ＲＧＢ３色ＬＥＤ１２のＲ：Ｇ：Ｂの強度比を１００：９４：４３に保ちつつ、照度センサ１１の出力電流が、３Ｌx〜５５０００Ｌxの蛍光灯下での照度センサ１１の出力電流と同じ電流値になるように、３色ＬＥＤ１２の駆動電流を制御し、得られた各駆動電流値を発光強度制御部１８に記憶する。そして、照度センサの検査を行う際には、上記記憶された各駆動電流値に基づいて３色ＬＥＤ１２を駆動することにより、蛍光灯と同じ発光強度分布を有して蛍光灯と略同じ照度で各ＬＥＤを発光させる。したがって、検査用の蛍光灯光源をＲＧＢ３色ＬＥＤ光源に置き換えて構成を簡素にし、低光強度から高光強度までの光を照射できる。また、ＲＧＢ３色ＬＥＤ１２が設置された遮光板１７を引き抜くことによって白熱灯１４との切り換えができる。 （もっと読む）

【課題】発光体からの光を分光測定する際に、そのダイナミックレンジを容易に拡大させることができる光学特性測定装置を提供する。
【解決手段】制御手段は、受光部２６からの検出出力に基づいて、入射する測定光の光量を判断し、受光部２６に入射する光量が所定の下限値より小さい場合には、光フィルタ部２２における減光率をより小さな値に切換え、受光部２６に入射する光量が所定の上限値より大きい場合には、光フィルタ部２２における減光率をより大きな値に切換える。 （もっと読む）

【課題】大型化、封止不良及び機能不良を生ずることなく高真空を実現する真空パッケージ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】真空パッケージ１００は、チャンバ６内に真空封止される赤外線受光素子１と、チャンバ６を形成する赤外線透過窓１２、スペーサ９及び受光素子基板３とを備える。赤外線透過窓１２は、チャンバ６内を脱気するための貫通孔１３を有し、貫通孔１３は封止材料１５で封止されている。貫通孔１３を形成する赤外線透過窓１２の角部は鈍角である。貫通孔１３の内壁は、チャンバ６の外面側から内面側に向けて貫通孔の開口面積を縮小する第１テーパ面と、チャンバ６の内面側から外面側に向けて貫通孔１３の開口面積を縮小する第２テーパ面と、を有し、第１テーパ面は、第２テーパ面よりもチャンバ６の外面側に形成されている。また、封止材料１５用のパッド１４は、貫通孔１３の内壁のうち、第１テーパ面上のみに形成されている。 （もっと読む）

【課題】赤外線検出素子のそれぞれのシリコンダイオードが他のシリコンダイオードから受ける熱の影響によるノイズを低減もしくは解消させる。
【解決手段】複数の直列接続されたシリコンダイオード３を備えた赤外線検出素子１において、一のシリコンダイオード３におけるその中心と他のすべてのシリコンダイオード３の中心との距離の総和と他のすべてのシリコンダイオードにおける前記距離の総和が等しくなるようにそれぞれのシリコンダイオード３を配置し、それぞれのシリコンダイオード３が他のシリコンダイオード３から受ける熱の影響を均一になるようにした。 （もっと読む）

【課題】安価でありながら抵抗値における気温に依存した成分を取り除くことができる検出精度の高い日射検出装置を提供すること。
【解決手段】温度に応じて抵抗値が変化する第１サーミスタ１１および第２サーミスタ１２を備え、第１サーミスタ１１と第２サーミスタ１２とが、日射吸収特性を異ならせて形成されていることを特徴とする日射検出装置とした。 （もっと読む）

赤外線マイクロボロメータセンサの伝導構造及び電磁放射を感知する方法を与えることができる。マイクロボロメータは、第１の導電層（６４）及び第２の導電層（６８）を含むことができる。マイクロボロメータは、第１の導電層と第２の導電層との間にボロメータ層（６２）をさらに含むことができる。
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【課題】温度による変動及び雑音発生を抑制し、感度ムラが少ない赤外線固体撮像素子を提供する。
【解決手段】赤外線固体撮像素子は赤外線検知画素を配列した画素エリアと画素出力に基づき出力電流を変調する積分回路を含む。積分回路１０８は、第１及び第２の定電流化手段の電位差により電流を変調する積分トランジスタ２０３、変調された電流を蓄積し周期的にリセットされる積分容量２１１、バイアス電流供給用トランジスタ２０６、そのドレイン−ゲート間を接続するスイッチ２０９、積分トランジスタの出力点と積分容量を交流結合する容量２１０、積分トランジスタにバイアス電圧を供給するゲートバイアススイッチ２０４、第１及び第２の電流化手段からの積分トランジスタのゲートへの電位入力を切替るスイッチ２０１、そのスイッチと積分トランジスタのゲートを交流結合する容量２０２を含む。 （もっと読む）

【課題】 一体型チップ内でアンプ部等の発熱による熱分布（熱の不均一）が発生しないようにしたサーモパイル型赤外線センサ装置を提供する。
【解決手段】 半導体チップ１０に形成されたアレイ状に配列された複数のサーモパイル素子からなるサーモパイル型エリアセンサ１２と、エリアセンサ１２の出力を増幅するアンプ１３と、エリアセンサ１２の周辺部の少なくとも一部に近接して配置形成された熱伝導性金属膜１１とを具備する。半導体チップ内のアンプ部の発熱による熱分布（熱の不均一）が発生したとしても、熱伝導性金属膜によって熱が拡散して行き、半導体チップ内は均一な温度分布になる。これにより、サーモパイルアレイ（サーモパイル型エリアセンサ）部とその出力を増幅するアンプとを同一半導体チップに形成した赤外線センサ装置において、高精度な温度測定が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光の幅広い波長領域に渡って、発光素子の評価試験を精度よく行なうことができるとともに、装置の小型化と低コスト化に資することのできる光検出素子と、それを用いた発光素子試験装置を提供する。
【解決手段】 第1導電型の半導体基板１０１と、半導体基板の上面の一部に形成された第２導電型の不純物半導体領域１０４と、第２導電型の不純物半導体領域の上面側の受光面に、多数の開口を有する積層体を備え、積層体は、下層を形成する光反射性金属膜１０６、及び上層を形成して表面の多数の凹凸により光反射を低減する光無反射性のメッキ黒色膜１０７から成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】太陽の位置の如何に関わらず太陽から植物に降り注ぐ日光の日射量を常に正確に測定でき、植物栽培に好適に利用可能な日射計を提供する。
【解決手段】植物栽培に用いる日射計において、ベース部１１と、ベース部１１の上面に配置された日射量検出用のフォトダイオード１３と、フォトダイオード１３の受光面１３ａを一定の空間を介して覆うようにベース部上に配置された白色の球体１４とを備え、ベース部上面の球体周囲に対応する領域が黒色となっていることで植物栽培に好適に利用可能な日射計となっている。 （もっと読む）

【課題】上部シリコン基板の位置がシリコンウエハに近いと、熱吸収膜（温接点側）からの放射対流によって熱を奪い、そして冷接点に伝わり、結果としてセンサの出力を低下させることになっていた。
【解決手段】本発明の赤外線センサは、第１の基板の表面に形成され、温接点および冷接点を有するサーモパイル素子と、第１の基板のサーモパイル素子の形成部を覆い、第１の基板と７０μｍ〜１ｍｍの間隔で設けられた赤外線を透過する第２の基板と、サーモパイル素子の冷接点部上に設けられ、第１の基板および第２の基板を前記間隔で接着する樹脂製のスペーサ部材とを有する。 （もっと読む）

【課題】上側からの入射光に対する受光感度を低下させると同時に、下側からの入射光に対する受光感度を向上させることができる受光装置を提供する
【解決手段】受光装置は、リモコン信号光を受光する受光部１と、受光部１へリモコン信号光５を導く導光管１２とを備える。そして、導光管１２は、底面に開口面側に向かって下方に傾斜する傾斜面１２ａを有する。 （もっと読む）

【課題】外部雑音の影響を受けず、超小型で、高感度、高いＳ／Ｎ比の長波長の赤外線を実現できる光センサを提供すること。
【解決手段】基板１０の、光が入射する面とは反対側の表面に、少なくとも第１の導電型の半導体層２０と第２の導電型の半導体層４０とが順次積層された光吸収部２を複数個有し、センサ部３を構成する複数の光吸収部２の上方であって、光が入射する面とは反対側の面に、所定の膜厚又は誘電率を有する絶縁層７０を介して、導電性の遮蔽部材８０を設けた。 （もっと読む）

【課題】平面を３次元的に加工する手法を提供し、この方法によってガス濃度検出器に用いる凹面ミラーを製造する。
【解決手段】Ｓｉ基板１１０上にマスク２００を形成する（図４（ａ））。このとき、マスク２００を半径の異なる複数の同心円として形成すると共に、各同心円間の開口部が外径方向に向かうほど小さくなるようにマスク２００を形成する。この後、Ｓｉ基板１１０をドライエッチングし、マスク２００の開口部の面積に応じた深さの溝を形成する（図４（ｂ））。続いて、Ｓｉ基板１１０が露出した部分を熱酸化し（図４（ｃ））、フッ酸でＳｉ基板１１０の表面に形成された熱酸化膜を除去する（図４（ｄ））。そして、Ｓｉ基板１１０を熱処理し（図４（ｅ））、Ｓｉ基板１１０の表面に金属を蒸着して反射膜３００を形成する。こうして、ガス濃度検出器に用いられる凹面ミラーが完成する。 （もっと読む）

【課題】 チューニングや複雑な補正が不要で、日射を測定できる日射センサを提供すること。
【解決手段】 車両の車室内へ差し込む日射量を検出する日射センサにおいて、日射を筐体２内部に取り込むよう筐体２上部に設けられたスリット２ａと、スリット２ａから照射される光を受けるよう筐体２内部に設けられた受光面２ｂと、受光面２ｂの日射による熱を筐体２内部で検出する赤外線センサ３を備え、受光面２ｂは、面全体の一部でスリット２ａから照射される光を受ける構成にし、赤外線センサ３は、複数の素子３ａを列状に配置して、一部の素子３ａで日射による熱を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】高感度かつ低雑音の温度センサおよびそれを用いた赤外線固体撮像装置を提供する。
【解決手段】温度センサ１０３は、半導体層１０と、半導体層１０に形成された互いに接するｐ型不純物領域１２およびｎ型不純物領域１１をそれぞれが有する複数のダイオード１０５とを備える。ｐ型不純物領域１２とｎ型不純物領域１１との接合部であるｐｎ接合は、ｐ型不純物領域１２がｎ型不純物領域１１側へ突き出した部分の先端部のｐｎ接合部分と、ｎ型不純物領域１１がｐ型不純物領域１２側へ突き出した部分の先端部のｐｎ接合部分とを有している。 （もっと読む）

【課題】投影システムの放射ビームの位相分布および／または瞳分布を測定する放射分布測定システムを提供する。
【解決手段】波面センサ１０は、透明なキャリアプレート２０と、透明なキャリアプレートの第１面で構成された格子２２と、透明なキャリアプレートの反対側の面のカメラ２４，２６とを含む。測定システムはまた、透明なキャリアプレートとカメラとの間に、フィルタの中央で最も低く、フィルタの外側に向かって徐々にかつ同心円的に増大する透過率を有する放射フィルタ３０を含む。特有の透過率を有するフィルタを配置することにより、波面センサ１０全体にわたる強度の差異（すなわち、強度の勾配）が補正される。カメラに入射する光の強度はより均一にされ、その結果、測定システムの性能が改善される。 （もっと読む）

【課題】赤外線検出素子を形成した半導体素子基板に凹部を形成した封止用基板を接合して、赤外線検出素子を凹部内に真空封止した赤外線センサの凹部内の真空を維持することのできる赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線検出素子４ａは半導体素子基板２の表面に形成され、梁２１ａ，２１ｂと、それらの梁２１により支持された受光部２２とを備えている。受光部２２は、赤外線吸収膜２２ａとメンブレン２２ｂとから構成される。赤外線吸収膜２２ａの表面には、不純物ガスを吸着するゲッタ材料からなるゲッタ層４１が形成される。樹脂封止基板の凹部内の不純物ガスはゲッタ層４１によって吸着され、凹部内の真空は維持される。 （もっと読む）