【課題】インコヒーレント光源から放射された光束の平行度を少ない測定回数で測定できる光束平行度測定装置を提供すること。
【解決手段】光束９に含まれる光線成分のそれぞれを光軸Ｋに対する入射角度θに応じた距離Ｌだけ前記光軸Ｋから離れた位置に結像するレンズ部２０と、前記光束９の結像位置Ｐを検出する二次元検出器２２と、を有し、前記光軸Ｋから前記結像位置Ｐまでの距離Ｌを前記入射角度θに変換し、前記光束９に含まれる光線成分の入射角度分布を出力する解析装置１２を備える光束平行度測定装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】管理が容易な装置であって高い精度で光源の全光量を測定できる装置の提供。
【解決手段】光源３００を配置可能な第一空間を備え、配置された光源３００から放射される光を正反射する反射面部１１３を有し、直接光と反射光とが通過する第一開口１１１を有する第一筐体１０１と、第二空間を備え、第一開口１１１と同一形状かつ同一面積の第二開口１２１と、光を吸収する吸収面部１２３を内面に有する第二筐体１０２と、第一開口１１１を通過する第一光量Ｃと、第二開口１２１を通過する第二光量Ａとを検出する検出手段と、第一光量Ｃと第二光量ＡとをＤ＝Ａ＋（Ｃ−Ａ）／ｔ（ｔ：前記正反射における反射率補正係数）に代入し全光量を算出する演算手段１０４とを備える。 （もっと読む）

【課題】干渉光とそうでない波長帯の光とを検出することのできる赤外線センサ等の光センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板２と、干渉光を吸収する吸収膜９と、吸収膜９と第一の絶縁層８を介して対向する金属反射膜７とを備え、光線の吸収を感知するセンサ１において、第一の絶縁層８が、それ自体吸収波長帯を有し、吸収膜９の共振吸収状態及び第一の絶縁層８の固有振動励起に伴う光吸収状態の少なくともいずれか一方を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高感度ボロメータ型THz波検出器の提供。
【解決手段】基板に形成された読出回路に接続される電極配線を含む支持部により、前記電極配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部が、前記基板から浮いた状態で支持される熱分離構造を有するボロメータ型THz波検出器であって、前記基板上の前記温度検出部に対向する位置にTHz波を反射する反射膜が形成され、前記温度検出部上に前記THz波を吸収する吸収膜が形成され、前記反射膜と前記温度検出部とで光学的共振構造が形成され、前記反射膜と前記温度検出部との間隔が8〜14μmに設定され、且つ、前記吸収膜のシート抵抗が100〜200Ω/squareに設定される。 （もっと読む）

【課題】フィルタ構造を用いずに所定の波長の光を選択的に検出できる半導体光素子および半導体光装置の提供をする。
【解決手段】温度検知部５と、温度検知部に熱的に接続された吸収傘１０とを含み、吸収傘に入射した光を検出する熱型赤外センサ素子１００において、吸収傘が、特定波長を表面に結合させる表面プラズモンを誘起するように表面にアレイ状に配置された凹部１１を有し、特定波長の入射光の吸収量を、特定波長以外の入射光の吸収量より大きくする。また、複数の半導体光素子をアレイ状に配置し、半導体光装置とする。 （もっと読む）

【課題】光電面への入射光量が増えても正確な測定が出来る光量測定装置を提供する。
【解決手段】サンプルからの発光を光電子増倍管により計測する光量測定装置において、前記光電子増倍管の光電面と前記サンプルとの間に透過率が異なる複数の減光部材からなるフィルタユニットを配置し、前記サンプルからの発光を前記減光部材の全てを通過して前記光電面に到達するように前記フィルタユニットを制御し、前記サンプルからの発光を前記減光部材毎に検出し、前記減光部材毎に検出された値の計測可否判断を行い、計測可であれば透過率が一番高い減光部材の検出結果を計測値とする減光率選択手段を備えた光量測定装置。 （もっと読む）

【課題】調節可能なマルチモードの光照射野結像システムを提供する。
【解決手段】光学的なモジュール１０５は、物体１５０の光学的な像１７０を形成する。光学的な像は、光学的なモジュール像平面１２５に形成される。光学的なモジュールは、開口１１７及び開口面１１５を有するが、単一のレンズ素子と共同で配置された開口絞りによって表される。より複雑な光学的なモジュールにおいては、開口及び開口面は、光学的なモジュール内の光学的な素子のいずれのものとも共同で配置される必要はない。不均質なフィルターモジュール１１０は、光照射野結像システムの開口面に位置決めされると共にマルチモードの性能を提供する。フィルターモジュールを結像システムに対して相対的に移動させることができると共に、このようにマルチモードの性能の調節を可能にする。 （もっと読む）

【課題】人間の視感度特性に合わせた視感度特性と小型化とを両立できる近接照度センサを提供する。
【解決手段】基板４と、基板４に実装された発光素子１０と、基板４における発光素子１０と同一の面に実装された、表面に光学フィルタが実装された照度センサ受光素子６と、基板４における発光素子１０と同一の面に実装された距離検知用受光素子８と、照度センサ受光素子６をモールドする第１の可視光樹脂１４と、第１の可視光樹脂１４の周囲を覆うように基板４に設けられた可視光および赤外線カット樹脂１６と、第１の可視光樹脂１４における上記基板と接する面と対向する面全体を覆うように実装された赤外線カットフィルタ１８とを備えていることを特徴とする近接照度センサ１。 （もっと読む）

【課題】アーク・フラッシュを検出し、緩和する。
【解決手段】アーク・フラッシュ検出器（１００）が、光センサ（１２０）と、光センサ（１２０）と通信状態にある光減衰フィルタ（１１０）と、光減衰フィルタ（１１０）および光センサ（１２０）を支持するように配置されたハウジング（１４０）と、光センサ（１２０）と通信状態にある論理回路（１３０）とを備える。論理回路（１３０）は、光センサ（１２０）の出力を受信するように配置され、光センサ（１２０）が受信した光の所定の強度に応答して出力信号を生成するように配置される。光減衰フィルタ（１１０）は、光センサ（１２０）が受信した光の強度を減らすように配置される。またハウジング（１４０）は、光センサ（１２０）および光減衰フィルタ（１１０）を固定方位で保持するように配置される。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の検査時間を短縮するとともに検査対象物の良否を精度よく判定する。
【解決手段】検査対象物Ａは、ランプユニットＢと、ランプユニットＢを発光させる本体部Ｃとで構成される。検査装置１のマスタ部４に装着されたランプユニットＢの発光面を撮像部２が撮像する。画像処理部５２は、撮像画像に基づく２値化画像から第１の発光領域を抽出する。第１の判定部５４は、第１の発光領域の各区画の第１の濃淡値と第１の発光領域の面積値とを用いて、マスタ部４に装着されたランプユニットＢの発光特性を検査し、ランプユニットＢの良否を判定する。不良品ではないと判定されたランプユニットＢが本体部Ｃに装着され、上記ランプユニットＢの発光面を撮像部２が撮像する。第２の判定部５５は、第２の濃淡値の最大値を算出し、上記第２の濃淡値の最大値を用いて、本体部Ｃに装着されたランプユニットＢの発光特性を検査し、本体部Ｃの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の検査時間を短縮するとともに検査対象物の良否を精度よく判定する。
【解決手段】検査対象物Ａは、ランプユニットＢと、ランプユニットＢを発光させる本体部Ｃとで構成される。検査装置１のマスタ部４に装着されたランプユニットＢの発光面を撮像部２が撮像する。画像処理部５２は、撮像画像に基づく２値化画像から第１の発光領域を抽出する。第１の判定部５４は、第１の発光領域の各区画の第１の濃淡値と第１の発光領域の面積値とを用いて、マスタ部４に装着されたランプユニットＢの発光特性を検査し、ランプユニットＢの良否を判定する。不良品ではないと判定されたランプユニットＢが本体部Ｃに装着され、上記ランプユニットＢの発光面を撮像部２が撮像する。第２の判定部５５は、第２の濃淡値の最大値を算出し、上記第２の濃淡値の最大値を用いて、本体部Ｃに装着されたランプユニットＢの発光特性を検査し、本体部Ｃの良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】複眼レンズの設計を容易にでき、確実で安定した熱源の検出ができる赤外線検出器を提供する。
【解決手段】赤外線エネルギを検出する受光部12を用いる。所定の検知エリア内の赤外線を受光部12に集光する複数のレンズ部13a，13b，13cを有する複眼レンズ14を用いる。所定の検知エリアの全域に、複眼レンズ14の各レンズ部13a，13b，13cを通じて赤外線を受光部12に集光する個別検知エリアが存在し、これら個別検知エリアの少なくとも一部が重なっている。 （もっと読む）

【課題】レーザーパワーセンサにおいて、単純な構成で応答速度が速く、長時間使用しても測定精度の良い熱型センサを提供する。
【解決手段】レーザー光の出力を測定するレーザーパワーセンサであって、一方の主面でレーザー光を受光する面状の光吸収体と、光吸収体の主面と背向する面に接して配設された熱伝導体と、熱伝導体に接するように配設された温度検出用のサーモパイルとからなる光検出部を有する。サーモパイルは、基板上に、直列に接続された複数の薄膜熱電対と、薄膜熱電対で発生する電圧を出力する導線を接続するためのコネクタ部と、薄膜熱電対上に積層された保護膜を有する。複数の薄膜熱電対は、基板上の略中央領域に一定の間隔を置いて配設された温接点と、基板上の略外周領域に一定の間隔を置いて配設された冷接点を有し、温接点は、熱伝導体に保護膜を介して接していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱感知器の薄型化を図る。
【解決手段】本体３と、該本体３に設けられた吸熱板１１と、該吸熱板１１の内面１１ａと対向する位置であって、前記吸熱板１１と離して設けられたサーモパイル７と、前記本体３に設けられたサーミスタ９と、を備えている。前記本体３は、円錐台形部５ｂを有する筐体５に覆われており、前記吸熱板１１は、前記円錐台形部５ｂの頂面５ｃに設けられている。 （もっと読む）

【課題】強光を受光することで出力電流が低下した際に生じる実際の光強度とのばらつきを補正して出力することのできる光電変換装置を提供することを課題とする。
【解決手段】光電変換素子と、光電変換素子に照射される入射光量に応じた第１の電流を流すための回路を具備する光電流出力回路と、透過率ａ（０＜ａ＜１）の遮光膜で遮光された補正用光電変換素子を具備し、補正用光電変換素子に照射される入射光量に応じた光電流を１／ａ倍にした第２の電流を流すための回路を具備する光電流補正回路と、第２の光電流と第１の電流との差に応じた第３の電流を１／（１−ａ）倍にした第４の電流を流すための回路を具備する光電流加算回路と、第１の電流及び第４の電流の和に応じた電流を増幅して出力する回路を具備する増幅回路と、とを有する。 （もっと読む）

【課題】入射赤外線の有効利用と放熱の抑制とにより、高感度の赤外線撮像素子を提供する。
【解決手段】赤外線撮像素子１０は、Ｓｉ基板１１の上に、空間３０を隔てて、ダイヤフラム部Ｄが設けられている。ダイヤフラム部Ｄには、絶縁支持膜１７と、第１，第２熱電部材２０ａ，２０ｂと、配線１９と、熱吸収膜２２とが設けられている。第１，第２熱電部材２０ａ，２０ｂは、配線１９の両端から、基板上まで延びている。第１，第２熱電部材２０ａ，２０ｂは、第１，第２電極１２ａ，１２ｂに電気的に接続されている。ダイヤフラム部Ｄに、単一の絶縁層からなる絶縁支持膜１７を設けることで、ダイヤフラム部Ｄの熱容量が低減し、赤外線検知感度が向上する。 （もっと読む）

【課題】強力な妨害レーザを受光したとしても、ＮＤフィルタを保護しながら、赤外線検知素子の飽和及び障害を確実に防止する。
【解決手段】撮像レンズ２を通じて入射した赤外線に応じて赤外線検知信号を取得する赤外線検知素子３と、赤外線検知信号が飽和レベル閾値を超えた場合、赤外線を減光すべく、ＮＤフィルタ５を赤外線検知素子３の受光軸上の減光位置に駆動配置するフィルタ駆動制御部９と、ＮＤフィルタ５の温度を検出する温度センサ１３と、受光軸上の減光位置に配置したＮＤフィルタ５の現在温度を検出し、ＮＤフィルタ５の現在温度が耐熱温度閾値を超えた場合、ＮＤフィルタ５及び赤外線検知素子３に対する赤外線を遮光すべく、シャッタ６を遮光位置に駆動配置するシャッタ駆動制御部１２とを有している。 （もっと読む）

【課題】反射型波面整形手段を備えた波面測定光学系のアライメント調整を、自動化して高精度かつ短時間で行うことができるようにする。
【解決手段】撮像面２１Ｃ上において、ピンホールミラー１５Ａからの反射光からなる第１のスポット像と平面反射ミラー１７からの反射光からなる第２のスポット像とが互いに重なるようにピンホールミラー１５Ａの位置調整を行った後に、ピンホールミラー１５Ａを測定光軸Ｃ_１に沿って順次移動し、移動毎に撮像された画像の輝度積分値と移動位置と関係に基づき、ピンホールミラー１５Ａの最適位置を求める。その後、ピンホールミラー１５Ａからの反射光からなる光像が撮像面２１Ａの中心部に移動するように、ピンホールミラー１５Ａの傾きを調整する。 （もっと読む）

【課題】感光物（レジスト・フィルム等）への露光によるマーキングを観察できるようにするには、現像プロセスやエッチングプロセスが必要である。その為に、マーキングされたデータコードの品質評価には、現像やエッチングのプロセスを必要とし、プロセスの影響も受けた。本発明は、マーキングする対象物を必要とせず、リアルタイム且つ迅速にマーキングの品質を評価する方法を提供する。
【解決手段】照射光強度を受光素子で直接受光するステップ、照射光をデータ化してマーキングパターンを読み取るステップ、予め定められた基準パターンと比較判断するステップを有するマーキング評価方法において、照射光強度を電荷の蓄積として捉えるステップと画像データを形成し、マーキングパターンを再現するステップを有するマーキング評価方法。 （もっと読む）

【課題】画像を途切れさせることなくＦＰＮ補正を行う。
【解決手段】本発明は、赤外光を集光する赤外線レンズと、該集光された赤外光を検知する赤外線センサと、赤外線センサの出力信号から、画素ごとの固定パターンノイズを除去して画像信号を得る画像信号出力部と、を有する赤外線撮像装置に適用される。この赤外線撮像装置は、赤外線レンズと赤外線センサとの間に配置され、開閉自在でかつ温度分布が均一な半透明シャッタと、半透明シャッタを開状態および閉状態にした時の赤外線センサの出力信号の輝度を基に、画素ごとの固定パターンノイズを求める制御部と、を有している。 （もっと読む）