【課題】多重反射を利用した測定方法において、被測定鋼板の放射率の変動および反射板の放射率の経時変化にも影響を受けることなく、長期間にわたって鋼板温度を高精度に測定しうる方法およびその装置、ならびにより高精度な鋼板の温度制御方法を提供する。
【解決手段】温度制御装置５を備えた反射板２を鋼板１に対向して設置し、反射板温度Ｔ_２を接触式温度計６で直接測定するとともに、反射板２と鋼板１との間を多重反射する放射エネルギーを放射温度計７で測定し、この放射エネルギーと等価なエネルギーを放射する黒体の温度に換算して求めた温度を多重反射温度Ｔ_ｍとし、温度制御装置５にて反射板温度Ｔ_２を多重反射温度Ｔ_ｍに一致させるように制御を行い、多重反射温度Ｔ_ｍを鋼板温度とする。 （もっと読む）

ウェハ温度測定および温度測定装置の較正のための方法および装置が、半導体ウェハの層の吸収を決定すること基づいている。吸収は、ウェハに光を向かわせ、入射光が衝突するウェハの下側から反射された光を測定することによって決定される。較正ウェハと測定装置は、ウェハ表面に対し所定の角度で反射された光を測定し、その他の光は測定しないように、配置構成されている。測定は、ウェハの中または上にあるパターンの像におけるコントラストの度合いを評価することに基づく。他の測定は、反射光または透過光に基づく温度決定と並んで、ウェハ内の光路長の決定を利用しても良い。
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【課題】放射温度計の標的確認機構において、距離係数が異なる場合にも、同一の対物レンズ、同一の接眼レンズを使用して互換性を有し、標的サイズが小さくなった場合にも視定を簡単に行うことのできる放射温度計を提供することである。
【解決手段】測定対象から放射される赤外線により測定対象の温度を測定する放射温度計のファインダー方式である黒丸方式の標的確認機構において、アパチャミラーの絞り孔の周囲に、標的を視定する際にファインダー視野内で目印となる指標を付加した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、赤外線の入射量に応じて電気出力信号が得られる赤外線センサ素子を備えた画素をマトリクス状に配置したイメージセンサを有する赤外線撮像装置に関し、周囲環境に影響されずに良好な補正用感度データが得られる赤外線撮像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】赤外線撮像装置１は、複数の画素を有するイメージセンサ３と、複数の画素の感度ばらつきの補正動作時に一定量の赤外線を複数の画素に入射する基準熱源７と、補正動作時の積分時間を調整する積分時間調整機構９とを有している。積分時間調整機構９は、基準熱源７からの赤外線の入射量に応じた積分電圧を出力する積分時間調整画素群１１と、積分時間調整画素群１１からの積分電圧と、基準電圧とを比較する電圧比較部１３と、電圧比較部１３での比較結果に基づいて補正動作時の積分時間を設定する積分時間設定部１５とを有している。 （もっと読む）

【課題】出銑口における溶銑の温度を連続的に精度良く且つ容易に測定することができるようにする。
【解決手段】ＣＣＤカメラ５で撮像された出銑流２の画像のデータから濃度ヒストグラムを算出し、算出した濃度ヒストグラムにおける溶銑に起因するピークでの濃度値Ｐ_Mを求める。そして、出銑流２の画像６１のうち、溶銑の画像６３及び溶融スラグ６４の画像に重ならない位置に設定した外乱光測光エリア６２内の平均濃度Ｐ_Aを求め、求めた平均濃度Ｐ_Aに溶銑の反射率Ｒを乗じて、背光雑音による濃度値Ｐ_Nを求める。さらに、濃度ヒストグラムにおける溶銑に起因するピークでの濃度値Ｐ_Mから、背光雑音による濃度値Ｐ_Nを減算して溶銑における実際の濃度値Ｐ_Tを求め、求めた溶銑における実際の濃度値Ｐ_Tを用いて、溶銑における温度を求める。 （もっと読む）

【課題】 撮像対象物の温度に応じて各赤外線検知素子の感度バラツキを高精度に補正することができる赤外線撮像装置を提供する。
【解決手段】 赤外線撮像装置は、放射温度測定手段２０、３個以上の熱源３１〜３６、撮像対象物の赤外線を所定の光路Ｌ０を介して複数の赤外線検知素子６０に結像させる光学的結像手段１，２，５、所定の光路Ｌ０上において撮像対象物からの赤外線を周期的に遮断し、それと同時に熱源３１〜３６の赤外線を複数の赤外線検知素子６０へと導く光路切り換え手段４，３７、複数の赤外線検知素子６０から撮像対象物に対応する生画素信号を１フレームずつ出力させ、放射温度に対して高温側および低温側で温度差が最小となる２個の熱源を１フレームおきに切り換えながら高温画素信号および低温画素信号を出力させる制御手段４０と、高温画素信号および低温画素信号に基づいて生画素信号を補正する補正手段９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 外乱光の影響がある場合においても車室内の絶対温度分布を精度よく測定でき、これにより人の表面温度を正確に測定するとともに、空調の吹き出し口から人までの距離も正確に推定でき、より快適な空調制御を行うことができる車両用温度測定装置を提供すること。
【解決手段】 １６素子のサーモパイルモジュール２１により車室内で放射される赤外光を検知して温度を分布で測定する赤外線センサユニット２を備えた、車両用温度測定装置１において、サーモパイルモジュール２１の検知対象範囲で、所定の温度で発熱する標準発熱体ユニット３と、サーモパイルモジュール２１による標準発熱体ユニット３の検知結果からサーモパイルモジュール２１の較正を赤外線センサユニット２のCPU２４が行う。 （もっと読む）

本発明は、放射体１０及び放射体を製造する方法に関する。特に、本発明は、全体構造のサーマル放射率を増加させるのに役立つ薄膜コーティング５を有する放射体１０に関する。放射体１０は、基板１２、アモルファスカーボン層１６、及び前記基板１２と前記アモルファスカーボン層１６の間に挿入された金属化カーバイド形成層１４を備えている。さらに、放射体を製造する方法は、基板上に金属化カーバイド形成層を形成する工程、及び前記金属化カーバイド形成層上にアモルファスカーボン層を形成する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 パイロメータを正確に校正する。
【解決手段】 本発明の熱処理チャンバのための温度プローブの校正のための装置は、強度が安定した光源を有し、この光源がファイバ光ガイドの第１の端部に光学的に結合して校正中はファイバ光ガイドの第２の端部を通して光を発することを特徴とする。ファイバ光ガイドを温度プローブの入力端に調心するために、調心機構が用いられる。この調心機構は第１の調心構造体を有し、これはチャンバ内の対応する第１の調心部に係合する。 （もっと読む）

【課題】 従来の赤外線温度計測装置では計測することができなかった遮へい物内部の物体または遮へい物に遮られた物体の温度計測を可能にする非接触温度計測装置を提供する。
【解決手段】 計測対象となる物体Ｘから放射されるマイクロ波またはミリ波帯の信号をアンテナ部１１で受信し、受信した信号の成分の振幅値と既知の温度値とから所定の換算式による換算の際に使用される係数値を算定し、この係数値を校正テーブル１６に保存する。計測時には、物体Ｘについて計測した振幅値と校正テーブル１６に保存されている係数値とを上記の換算式に代入することによって、物体Ｘの振幅値を温度値に変換する。
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【課題】 樹脂の化学状態変化を正確に把握する。
【解決手段】 赤外吸収スペクトルにより樹脂の化学状態変化を測定する際に、樹脂から検出される赤外線のうち、樹脂に入射した赤外光からの透過光と、樹脂から放出される放射赤外光とを分離し、透過光の変化のみを利用して樹脂の状態変化を追跡する。 （もっと読む）