【課題】水蒸気圧の上昇による誤検出の発生を防止できるリークテスト方法を提供する。
【解決手段】減圧したワークＷの検査空間Ｗ２およびマスタチャンバ２０の空間２１の差圧変化から、ワークＷの検査空間Ｗ２の漏れを検出するリークテスト方法であって、ワークＷの検査空間Ｗ２を加湿して、ワークＷの検査空間Ｗ２を水蒸気飽和させる加湿工程と、ワークＷの検査空間Ｗ２を水蒸気飽和させた状態で、差圧センサ１１によって各空間Ｗ２・２１の差圧変化を検出する検出工程と、を行う。 （もっと読む）

【課題】リーク試験時間を短縮する。
【解決手段】リーク試験方法は，マスタ容器とワーク容器とを大気圧で閉塞した状態でマスタ容器とワーク容器の内部圧力の差圧の変化を温度補正値として計測する温度補正値計測工程と，マスタ容器とワーク容器とを大気圧以外の試験圧力で閉塞した状態で前記差圧の変化を試験差圧値として計測する試験差圧変化計測工程とを行い，試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正し，補正された試験差圧値に基づいてワーク容器のリークの有無を判断する温度補正計測モード工程を行う。さらに，温度補正計測モード工程での温度補正値計測工程で計測した差圧の変化が第１の基準値を超えない場合に，試験差圧変化計測工程を行い当該試験差圧変化計測工程で計測した試験差圧値に基づいてワーク容器のリークの有無を判断する圧力計測モード工程に移行する。そして，圧力計測モード工程でリーク有りと判断された場合に，温度補正計測モード工程に戻る。 （もっと読む）

【課題】リーク試験時間を短縮する。
【解決手段】マスタ容器とワーク容器とを大気圧で閉塞した状態でマスタ容器とワーク容器の内部圧力の差圧の変化を温度補正値として計測する。次にマスタ容器とワーク容器とを試験圧力で閉塞した状態で前記差圧の変化を試験差圧値として計測し，試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正し，ワーク容器のリークの有無を判断する。その後のワーク容器それぞれに対して，試験差圧変化計測し、試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正し，補正された試験差圧値に基づいてワーク容器のリークの有無を判断する工程を繰り返す。ワーク容器がリーク有りと判断された場合に，同じワーク容器に対して，再度試験差圧値を計測し、この試験差圧値を前記温度補正値に基づいて補正してワーク容器のリークの有無を判断するリトライ工程を行う。ここでリーク有りと判断された場合には，最初の温度補正値の計測に戻る。 （もっと読む）

【課題】圧力洩れ測定において、マスタデータの所要記憶量を減らし、かつ実際の被検査物の洩れレートを算出する際の演算量を減らして処理速度を高める。
【解決手段】洩れが無い被検査空間９ａと基準空間８ａとの間の差圧の経時変化を、各々の時間帯τ₁，τ₂，τ₃…内は一次関数になると擬制したときの、各一次関数の勾配a_M1，a_M2，a_M3…をマスタデータとして作成する（作成工程）。次に、被検査空間９ａと基準空間８ａとの間の実測差圧の経時変化の時間帯τ₁，τ₂，τ₃…ごとの勾配a_T1，a_T2，a_T3…を実測データとして求める（実測工程）。実測データから同じ時間帯のマスタデータを差し引く（演算工程）。 （もっと読む）

【課題】加工の成形品の気密検査を、低コストな設備を用い、多数の成形品を短時間で連続的に検査可能にする。
【解決手段】加工され、洗浄機３０で洗浄された後のシリンダブロック１０を気密検査装置４０に搬送する。気密検査装置４０で、内部にマスターワークＷｍが収容されたマスター容器４０２と、洗浄後のシリンダブロック１０が収容された検査容器４０４とに、高圧空気供給装置４０６から高圧空気を供給する。マスター容器４０２の内部空間と検査容器４０４の内部空間の圧力差を差圧センサ４１４で計測し、その差圧を監視することで、シリンダブロック１０の漏れを検査する。マスターワークＷｍとシリンダブロック１０との温度差が設定範囲内になるように、コントローラ４２４で温調設備３１２の稼動を制御し、洗浄液の温度を調整する。 （もっと読む）

【課題】リークテスタのガス圧路から一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器において、簡易かつ安価に製造可能な微小内径のキャピラリ路を有するキャピラリ部を提供する。
【解決手段】リークテスタ１のガス圧路１０にリーク量標準器２０の接続部２１ａを接続する。接続部２１ａにリーク管３０の一端を連ね、リーク管３０の他端を開放する。リーク管３０のキャピラリ部３２を、一の径方向に潰れた扁平形状にする。キャピラリ部３２の上記一の径方向と直交する巾方向の両端部にはキャピラリ路３２ａを形成する。キャピラリ部３２の巾方向の中央部の互いに対向する管壁部３２ｂどうしの間をキャピラリ路３２ａより狭隘にし、又は閉塞する。 （もっと読む）

【課題】リークテストを、より短時間で精度良く行うことができる、差圧式リークテスト装置によるリークテスト方法を提供する。
【解決手段】差圧式リークテスタ１０を用いたリークテスト方法であって、差圧式リークテスタ１０による検査を行う検査工程と、該検査工程の前工程である洗浄工程との間に、検査対象たるワーク１の温度を、前記検査工程の雰囲気温度Ｔ_１になじませて温度Ｔ_３とする工程であるなじませ工程を備え、該なじませ工程は、ファン１５・１５を用いて、検査工程の雰囲気の空気をワーク１に吹付けて、該ワーク１の温度を、検査工程の雰囲気温度Ｔ_１になじませて温度Ｔ_３とする。 （もっと読む）

【課題】ガスセンサの完成品に対して、差圧式リークテストを用いて気密性を検査する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被測定ガス中の所定ガス成分を検出するガスセンサ１１の気密性を検査する気密検査方法であって、差圧式リークテスタ２００を用いて、ガスセンサ１１の大気側雰囲気２４内にコネクタ２２およびリード線２１を介して空気を供給し、圧力変化をモニタすることによりガスセンサ１１の圧力変動を検出し、ガスセンサ１００の圧力変動と、あらかじめコネクタ２２およびリード線２１への空気の供給に起因して生じると推定する推定圧力変動とを比較した結果に応じて、ガスセンサ１００の大気側雰囲気２４内からのエアリークの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】筒状物に存在する傷、ピンホール、薄肉部等の欠陥を精度良く簡便に検査し得る筒状物の検査方法及び検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、筒状の形状を有し且つその中心軸方向の一端が開放されて開口端１ａとされ且つ他端が閉じている中空の筒状物１の欠陥を検査する筒状物の検査方法である。筒状物１の周囲に配置された照明手段２０から該筒状物１の外周面１ｃ全体に光を照射しつつ、開口端１ａから筒状物１の中空部２内に光が入らないように該開口端１ａを遮光した状態で、撮像手段４０によって開口端１ａから中空部２内を撮像し、撮像された中空部２内の画像を画像処理することによって、外周面１ｃを透過して中空部２内に漏洩する光の強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】リーク検出対象となる被測定密閉容器が高圧又は低圧に晒される時間を大幅に短縮することができるリーク検出システムを提供する。
【解決手段】被測定密閉容器１００の内部と、被測定密閉容器１００に接続されたリーク検査用配管２の内部と、を含む検査空間に検査用流体を流入させることにより、検査空間の圧力を大気圧とは異なる所定の目標値に設定して被測定密閉容器１００のリークを検出するシステム１であって、所定流量の検査用流体を検査空間に流入させるようにマスフローコントローラ８を制御することにより、検査空間の圧力を目標値に近い所定の近似目標値に到達させる流量制御手段（中央制御部２１）と、検査空間の圧力が近似目標値に到達した時点から、圧力センサ５で検出した圧力に基づいて圧力制御弁６を制御することにより、検査空間の圧力を目標値に到達させる圧力制御手段（中央制御部２１）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 大気圧より高いテスト圧力の下で漏れ検査を行う際に発生する圧縮熱の影響を低減することにより、精度が高く、短時間で、簡単な装置により漏れ検査が行えるリーク検査方法およびリーク検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 大気圧より高い圧力で圧力室３１の漏れを測定するリーク検査方法であって、圧力室３１に大気より高い圧力の気体を圧力源２から供給し、供給した気体により圧力室３１で発生する圧縮熱を、圧力室３１に配備したファン３２で気体を循環させ放熱して圧力室３１の気体の温度を降下させる加圧工程Ｓ２と、圧力室３１を圧力源２から遮断し、温度が降下した気体の温度を平衡させる平衡工程Ｓ３と、温度が平衡した気体の圧力を基準圧力と比較し、圧力室３１の漏れを検査する検出工程Ｓ４と、を備える。 （もっと読む）

構造体又は要素３０の構造的完全性を監視するための差動比較型圧力監視システム１０は、圧力源１２と、圧力源１２に並列接続された第１の流体回路１４及び基準流体回路１６と、監視デバイス１８とを備える。第１の流体回路１４及び基準流体回路１６は、実質的に整合した特性を有するように形成される。これらの特性には、各々の回路の容量、回路を通る流体の流量、それらの温度特性及び拡散特性が含まれる。第１の回路１４は、システム１０によって監視される構造体又は要素３０上の面２８にシールされるセンサ要素２０を備える。基準回路１６は、構造体又は要素３０の面２８から流体的に分離される。監視デバイス１８は、第１の回路１４及び基準回路１６に接続され、回路１４及び１６に共通の流体特性の同時測定を行い、同時測定された共通の特性の回路１４と１６の間の差異に基いて、構造体又は要素の完全性を示す信号を発生させる。
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比較圧力監視器（１０）は第１ポート（１８）と第２ポート（２０）を有するスイッチ（１４）と高フロー・インピーダンス（１６）を収容する。ポート（１８）と（２０）はそれぞれ第１圧力源（７２）と第２圧力源（８２）と流体連通する。インピーダンス（１６）はスイッチ・ポート（１８）と（２０）間及び第１圧力源（７２）と第２圧力源（８２）間に結合されている（すなわちシャントされている）。スイッチ（１４）は、プリセット・レベルより小さいインピーダンス両端間の圧力差によって特徴付けられる第１状態と、プリセット差に等しいかまたはプリセット差より大きいインピーダンス両端間の圧力差によって特徴付けられる第２状態とを切り替える。圧力源（７２）と（８２）間に圧力差があるとインピーダンス（１６）を介して空気流ないしはガス流を起こし、したがってインピーダンス（１６）両端間に圧力降下を生じる。
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【課題】連続的に計測しても計測精度が低下することなく、しかも、次の計測時までの待ち時間をなくすことができる、気密検査装置を提供する。
【解決手段】全く洩れのない製品として知られたマスターワークＷｍを収容する、気密容器としてのマスターチャンバー１１と、検査すべき製品である被検査ワークＷｔを収容する、気密容器としての検査チャンバー１２と、マスターチャンバー１１と検査チャンバー１２とに高圧気体を供給する高圧気体供給部１３と、マスターチャンバー１１と検査チャンバー１２内との圧力差を計測する圧力差計測部１４とを具備する。
マスターチャンバー１１には、マスターチャンバー１１内のマスターワークＷｍを冷却する冷却手段１５を設ける。 （もっと読む）

【課題】 コストを低減できる気密性検査装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の気密性検査装置１は、ワーク７が配置される内部空間を区画するケース２と、ケース２内の圧力を検知する圧力センサ６と、を有し、圧力センサによって検知されたワーク７が配置された状態での内部空間の圧力変動からワーク７の気密性を検査する気密性検査装置であって、ケース２の内部空間の少なくとも一部を区画する壁部２１が移動可能に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】膜破断を検知する方法を提供する。
【解決手段】膜の少なくとも片面を液体に接触させる膜湿潤工程と、前記膜湿潤工程に引き続き前記膜の片面を気体で加圧し、前記膜の両面間の差圧を検出して前記膜の損傷を検知する差圧計測工程を実施する膜損傷検知方法において、前記差圧計測工程は、前記膜の片側に気体を注入して加圧する空気注入工程と、前記空気注入工程と並行して、前記空気注入工程開始時から所定時間後に膜損傷の有無を一次判断し膜破断ありと判断された場合は、膜損傷ありの信号を発信し、直ちに差圧計測工程を終了する一次判断工程と、前記一次判断工程に引き続き、加圧側がバブルポイントより低い所定圧力まで上昇した時から所定時間後に前記差圧が予め定めた差圧閾値より小さい場合は膜損傷ありの信号を発信する二次判断工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面の開口部をマスキング部材にて閉塞し、前記開口部とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテストについて、前記マスキング部材によるマスキング不良を解決するための新規な技術を提案する。
【解決手段】ワーク１の表面の開口部１１をマスキング部材２１にて閉塞し、前記ワーク１における前記開口部１１とは異なる箇所からのエアリークを検出するためのエアリークテスト装置であって、前記マスキング部材２１にかかる圧力分布を検出するための圧力センサ２１ｂと、前記圧力分布を表示するための手段（圧力分布演算部３２、表示部３１）と、を具備することとする。 （もっと読む）

【課題】
リーク検査に要する時間を短縮すると共に、リーク検査の精度をより向上できるリーク検査装置を提供すること。
【解決手段】
ワーク１１内に空気を加圧下で充填し、所定の平衡時間Ｔ４が経過後にワーク１１内の圧力変化を測定することによって、ワーク１１からのリークの有無を検査するリーク検査装置１であって、ワーク１１内と接続され、ワーク１１内の空気を排出するための排出路２５と、排出路２５に設けられ、ワーク１１内に空気を充填すべく排出路２５における空気の単位時間当たりの流量を漸減させる比例流量調整弁２２と、ワーク１１内と排出路２５との接続部の近傍に設けられ、ワーク１１内から排出路２５に流れる空気の温度を測定する温度センサ２４と、を備える構成としたこと。 （もっと読む）

【課題】オイルホールの漏れ検査において、本来、合格と判定するべきシリンダブロックを適切に合格と判定すること
【解決手段】オイルホールの漏れ検査方法は、オイルホールとクランクルームを備えたシリンダブロックに対し、オイルホールの漏れが検出された場合に、オイルホールからクランクルームへの内部漏れ、および、オイルホールの漏れからクランクルームへの内部漏れを差し引いたオイルホールの差分漏れに基づいて、オイルホールの漏れの適否を判定するものである。このオイルホールの漏れ検査方法によれば、オイルホールの漏れ検査で、オイルホールからクランクルームへの内部漏れに起因して、オイルホールの漏れが過大評価されて不合格とされる場合がなくなり、本来、合格と判定するべきシリンダブロックを適切に合格と判定することができる。 （もっと読む）

【課題】空気差圧式の漏洩検査装置において、該洩検査装置と被検査体との間の熱交換を抑制して、装置及び被検査体の検査中の温度変化を低減することにより、温度変化に起因する差圧検出値のバラツキを低減して、検査精度の向上を図るための技術を提案する。
【解決手段】シール治具１６・１６により開口部が閉塞された被検査体１７と基準タンク１８とに空気圧を印加し、被検査体１７内の空気圧と基準タンク１８内の空気圧との間に生じる差圧値に応じて被検査体１７内からの空気の洩れの有無を判定する漏洩検査装置５において、前記被検査体１７とシール治具１６・１６との間に断熱層３０を設けて、被検査体１７とシール治具１６・１６とを熱的に絶縁させた。 （もっと読む）