【課題】 発光ダイオードを多数配列した面照明を使用した場合であっても、ＬＥＤの全点灯までの時間遅れの影響を受けることなく、検査時の照明光量を一定に保ちつつ、短時間で検査を行うことができる、膜厚むらの検出装置並びに当該装置を具備した塗布装置を提供する。
【解決手段】 基板上に形成された皮膜の膜厚むらを検出する装置で、
基板保持部と、光源部と、撮像部と、制御部と、検査部とを備え、
光源部は複数の発光ダイオードを配置して構成された面照明であり、
制御部は、発光指令信号を出力してから複数の発光ダイオードが全点灯状態になるまでの点灯遅れ時間を登録する点灯遅れ時間登録部と、発光指令信号を入力してから登録された点灯遅れ時間経過後に、撮像部に対して撮像指令信号の出力を行う撮像ディレイタイマ部とを備えたことを特徴とする、膜厚むら検出装置。 （もっと読む）

【課題】パターン化位相差フィルムの欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】パターン化位相差フィルム１２を挟んで第１，第２偏光板１８，１９が配される。各偏光板１８，１９は、クロスニコル配置とされる。パターン化位相差フィルム１２には、遅相軸がほぼ直交する第１位相差領域１４，第２位相差領域１５が交互に配されている。光源部１６は、第１偏光板１８を介してパターン化位相差フィルム１２に検査光を照射し、撮影装置１７は、パターン化位相差フィルム１２，第２偏光板１９を透過する光を受光して輝度画像を撮影する。第１位相差領域１４の遅相軸Ａｓ１と第１偏光板１８の偏光透過軸Ｐ１とをほぼ平行となる状態で、正常な第１位相差領域１４と第２位相差領域１５の各輝度が同じレベルとなるように偏光透過軸Ｐ１の方向を調整する。 （もっと読む）

【課題】検査に適切な明るさやコントラストの画像を取得し、膜厚むら検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された基板を一方向に移動させながら、基板に形成された皮膜の膜厚むらを検査する装置及び方法であって、皮膜の厚みを検出する膜厚検出部を備え、光源部は、撮像部側に配置された反射照明部３ａと、基板を挟んで撮像部に対向する位置に配置された透過照明部３ｂを備え、撮像部４は基板との相対角度を調節する撮像部角度調整手段を備え、反射照明部は反射照明部と基板との相対角度を調節する反射照明角度調整手段を備え、透過照明部は透過照明部と基板との相対角度を調節する透過照明角度調整手段を備え、膜厚検出部からの膜厚情報に基づき、反射照明角度調節手段及び透過照明角度調整手段を制御し、反射照明の光量及び透過照明の光量を調節する制御部を備えたことを特徴とする膜厚むら検査装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】部材表面に形成された皮膜の膜厚むらを、光の位相特性を認識することができない場合においても適切に検査することが可能な膜厚むらの検査装置を提供する。
【解決手段】表面に皮膜が形成された部材を所定の移動方向に移動させる移動手段と、部材を移動させながら皮膜の外観画像を繰り返し撮像する撮像手段と、外観画像中の一の画素を特定する画素番号と、前記一の画素にて撮像された皮膜部分の皮膜上における位置を特定する位置座標と、上記一の画素における外観画像部分の輝度とからなる多次元データを格納するデータ格納手段と、外観画像が移動方向に分割されてなる一の分割画像領域内の画素に対応する画素番号を有する多次元データを抽出して一の部分集合を形成する部分集合形成手段と、該部分集合に含まれる多次元データの輝度の分布に基づいて皮膜の膜厚むらの有無を検知する膜厚むら検知手段を備えたことを特徴とする膜厚むらの検査装置。 （もっと読む）

【課題】パターンの形成状態を高コントラストで検査可能にする。
【解決手段】カラーフィルタ基板４上に線状に形成されたシールライン５の形成状態を検査するパターン検査装置であって、シールライン５を撮影する検査カメラ２と、検査カメラ２の撮影領域を照明する照明光学系３と、を備え、照明光学系３によりカラーフィルタ基板４に照射される照明光の光線の光軸Ｌ_axに対する最大角度θ₁が検査カメラ２の画角θ₂の半角θ₂／２に略等しくなるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを抑制した検査ステージを備えたマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】基板を目視によって検査する場合に用いられるマクロ検査装置であって、基板を搬送する搬送ラインの横に配置し、少なくとも、基板の１つの基板端を吸着及び吸着解除する基板端吸着及び吸着解除手段と、前記基板端吸着及び吸着解除手段をスライドする手段と、前記基板端が吸着された基板をスライドする際には浮上させ、スライドした後には浮上を解除し吸着する浮上吸着手段と、を有する検査ステージを備えたことを特徴とする基板マクロ検査装置。 （もっと読む）

【課題】近赤外線吸収性能の面均一性を容易に測定できる、近赤外線吸収性能の面分布測定方法と、この測定方法を利用した近赤外線吸収フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】透明基材シート２上に近赤外線は吸収し且つ可視光は吸収しない近赤外線吸収層３を積層した帯状の近赤外線吸収フィルタ１に対して、搬送させながら、その幅方向ＴＤ及び流れ方向ＭＤに亘る所定領域面Ａ毎に、近赤外線光源５からの透過光の面分布を、近赤外線領域に感度を有する二次元イメージセンサ５による二次元画像として撮影し、画像処理装置７で画像処理して、その輝度分布から近赤外線吸収性能の面分布を測定し、ディスプレイ８に表示する。更に、判定基準に従い面分布の不良品と良品とをマーキング等で識別できる様にすると良い。この方法を用いて、近赤外線吸収フィルタを製造する。 （もっと読む）

【課題】 現状、まだほとんど判っていない、各自の眼またカメラなどのデバイスが、他者また国際標準（ＣＩＥ標準観測者）と果たして一致するかどうか、そして異なるとすればどの色の方向にどの程度か。またどこまで細かい色差までが読み取れるかといった問題を、ＣＩＥ Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色法に基づき、携帯端末でも容易確実に検証可能にする色覚検査法の開発。
【解決手段】 眼の色特性を、モニタ画面上に、透過型の灰色判定基準、またはモニタ光とは別光源で照明された標準色票等の判定基準をもたらし、該判定基準と隣接させて該判定基準と等色するようＲＧＢデジタル色をつくって両者のＬａｂ値を測色し、得られる両者のΔａｂ値差から眼・デバイスの色感特性をはじめて容易確実に検査可能にする。 （もっと読む）

【課題】波長フィルタ等の光学部品の従来よりも詳細な評価を可能とする光学特性評価方法および装置を提供することにある。
【解決手段】単一波長で発振する半導体レーザ７１からの光がアイソレータ７２を介してＦＢＧ７３に入射され、ＦＢＧ７３からの透過光の光強度を光検出器７４にて測定する。ここで、ＦＢＧ７３には温度調節器７５が取り付けられ、温度を一定に保持することができる。また、温度調節器７５は、温度制御器７６によって設定温度を自由に変化することができる。温度調節器７５の設定を１５℃から３５℃まで０．１℃刻みで変化させ、各温度において光検出器７４により検出される光強度を、温度係数を用いて各離調における光強度に換算する。反射ピーク波長近傍を除いた周辺波長ではＦＢＧ７３の影響がないため、周辺波長の光強度を近似的に平均化して、当該平均値によって測定範囲の光強度を規格化することにより、光強度を透過率に換算できる。 （もっと読む）

【課題】データ取得時間間隔を短くできる光スペクトラムアナライザを実現する。
【解決手段】被測定光の光スペクトルを測定する光スペクトラムアナライザ２において、回折格子２１と、回折格子制御部３と、光検出部６と、回折格子が抽出する波長成分が成分光の光強度を検出すべきサンプリング波長となる目標回折格子角度を算出し、算出した目標回折格子角度データを内部メモリに格納する演算部５と、格納された目標回折格子角度データの一部が入力され、サンプリングのタイミングを示すトリガ信号ごとに目標回折格子角度データを出力するＦＩＦＯメモリと、ＦＩＦＯメモリから出力された目標回折格子角度データと回折格子の角度とに基づいてトリガ信号を生成するトリガ信号生成部と、ＦＩＦＯメモリのデータ残量が所定値以下になると内部メモリから目標回折格子角度データの続きを読みだしてＦＩＦＯメモリに入力するＦＩＦＯメモリ制御部４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】画像処理装置および干渉計測定システムにおいて、干渉計の画像表示のための装置構成を簡素化し、干渉縞計測の作業性を向上することができることができるようにする。
【解決手段】画像処理装置１は、アライメント用画像を撮影するアライメントカメラ６と、干渉縞画像を撮影する干渉縞カメラ７とを接続し、これらから送信される画像データを伝送する接続端子部４と、伝送された画像データのうち、アライメント用画像および干渉縞画像のいずれかを選択するカメラ切替スイッチ３Ｂと、選択された画像データによる画像を表示する表示部２と、干渉縞画像の画像データを解析する画像処理部と、カメラ切替スイッチ３Ｂによって干渉縞画像の画像データが選択されたときに、画像処理部によって解析された解析結果を干渉縞画像とともに表示部２に表示する装置制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】自動的に物品の欠陥または特徴を検査できる、検査システムを提供する。
【解決手段】検査システム１０は、製品をスキャンして製品のイメージを生成するスキャナ１２と、スキャナ１２に電気的に接続され、製品のイメージを受信して分析する分析装置１６と、を有する。イメージが画素マトリクスを含み、各画素がグレースケール値を有する。分析装置１６がマイクロプロセッサ、メモリ及び比較モジュールを有する。マイクロプロセッサがイメージ中の各画素に関する基準グレースケール値の計算に用いられ、当該基準グレースケール値が各画素の隣に位置する画素のグレースケール値の平均値を含む。メモリは各画素に関する基準グレースケール値と基準グレースケール値に関する閾値の保存に用いる。比較モジュールはイメージ中の各画素のグレースケール値と各画素に関する閾値の比較に用いる。 （もっと読む）

【課題】効率的な照明が可能であり、撮像素子などの感光回路の検査効率を向上させることが可能な照明装置及び検査装置を提供する。
【解決手段】ウェハＷ上に形成された感光回路（撮像素子）を検査するための検査装置１００は、光源１１１を有し、感光回路に光源１１１からの光を照射する照明部１１と、この照明部１１を、感光回路に対して相対移動可能に支持する支持部１２と、この支持部１２を駆動させて、照明部１１を感光回路に対して移動させる駆動部１３と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】塗布膜のスジムラ検査にて品種に対応したＮＤフィルタを自動で選択し、検査能力を低減させずにスジムラ検査を行う塗布膜の検査方法、検査装置を提供する。
【解決手段】塗布膜の光学濃度に対応して照射する検査光の輝度を撮像カメラ１４の入射輝度の範囲に調整するＮＤフィルタ１７を設定する際に、予め、光学濃度を測定しておき、該光学濃度にもとずき複数種のＮＤフィルタから自動で選択し設定する。検査装置はスジムラ検査機３０と膜厚監査計２０で構成され、膜厚監査計は予め測定した光学濃度をスジムラ検査機に伝送し、スジムラ検査機は、検査光の輝度を調整するＮＤフィルタを設定する際、伝送された光学濃度にもとずき複数種のＮＤフィルタから自動で選択し設定。 （もっと読む）

【課題】判定サイズの再設定作業を行うこと無く、判定サイズの設定を自動的に行うことが可能な欠陥検査装置における判定条件設定方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】フラットパネル表示装置に用いられるカラーフィルタの欠陥を検出するための判定条件設定方法であって、カラーフィルタ基板に設けられた判定サイズ調整パターンを撮像部で撮像し、撮像された判定サイズ調整パターンを二値化し、判定サイズ調整パターンの実サイズと、二値化された調整パターンの撮像部のピクセル数との間の散布図による近似直線より、判定サイズの設定を行うことを特徴とする判定条件設定方法。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタの着色画素であるＲＧＢ画素の露光位置ずれを検査するカラーフィルタ基板検査装置を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ製造工程においてレッド、グリーン、ブルーの着色画素を露光、現像しパターンを形成する際に、露光の位置ずれによって起こる着色画素のずれを検査するカラーフィルタ基板検査装置であって、カラーフィルタ基板を搬送する搬送手段と、透過照明する照明手段と、照明されたカラーフィルタ基板を撮像する撮像手段と、着色画素の位置ずれのない基準画像と撮像した検査画像を用いて画像全体処理とプロジェクション比較処理と平均明度処理を行って着色画素の位置ずれを判定処理する画像比較処理手段と、撮像した撮像画像の近接した同一パターンを比較処理して外観検査する外観検査手段と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ基板検査装置。 （もっと読む）

【課題】金属異物及び樹脂異物を除去可能で、且つ、カラーフィルタ基板にダメージを与えることなく異物欠陥を除去することを可能とするカラーフィルタ修正装置を提供する。
【解決手段】異物検査装置によって検出された異物の所在情報に基づいてカラーフィルタ基板に付着した異物を除去するカラーフィルタ基板修正装置であって、カラーフィルタ基板を載置し移動するステージと、異物を撮像する撮像カメラと、１つのマイクロマニュピュレータと、マイクロマニュピュレータに備えられその先端で異物を除去するアームと、アームとカラーフィルタ基板の干渉を防ぐ干渉防止手段１と、を有することを特徴とするカラーフィルタ基板修正装置。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置に用いられる液晶部材のコントラストに与える影響を正確かつ安定的に評価すること。
【解決手段】液晶表示装置の偏光板の間に配置される液晶部材の偏光解消度測定方法であって、２枚の測定用偏光板と、測定対象である上記液晶部材とを準備し、上記２枚の測定用偏光板を直交ニコルの関係となるように配置して測定した透過光量をＴ９０、前記２枚の測定用偏光板の間に液晶部材を配置して、測定した透過光量をＨ９０、上記２枚の測定用偏光板を平行ニコルの関係に配置して測定した透過光量をＴ０、前記２枚の測定用偏光板の間に液晶部材を配置して、測定した透過光量をＨ０とし、得られた透過光量Ｈ９０、Ｈ０、Ｔ９０およびＴ０を用いて、下記式（１）により偏光解消度を求めることを特徴とする液晶部材の偏光解消度測定方法。偏光解消度＝１−（（（Ｈ０−Ｈ９０）×（Ｔ０＋Ｔ９０））／（（Ｈ０＋Ｈ９０）×（Ｔ０−Ｔ９０）））（１） （もっと読む）

【課題】光デバイスの特性を精度よく且つ低コストにて測定する方法および装置を提供する。
【解決手段】光源１００と、前記光源からの光の偏光方向を調整する偏光子１０４と、前記偏光方向が調整された光を伝搬する光ファイバー１０６と、所定位置に配置され、複屈折性を有するフィルターを含む光デバイス１２０の入力端子の位置に対し、前記光ファイバー１０６の出力端部の位置を調整する調芯手段１０８と、前記光ファイバー１０６を介して前記入力端子から前記光デバイス１２０に入力され、この光デバイスを透過した光のうち、前記フィルター１２０から出力された光を検出する検出手段１３２と、前記調整された光の偏光方向と、前記検出された光の周波数および強度とに基づいて前記フィルターから出力された光の偏光方向を分析する偏光方向分析手段１３８とを少なくとも備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い波長分解能かつ広いダイナミックレンジにて、アクティブ光部品とパッシブ光部品の両方の光部品を評価可能な光部品評価装置を提供することを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、本願発明の光部品評価装置１０１は、波長可変光源１１からの出力光を外部に出力しかつローカル光として利用するための出力光分波部１２と、当該出力光をパッシブ光部品に入力させるための光出力端子１３と、被測定光と出力光の干渉光を２光束に偏光分離する光合分波部１５ａと、光合分波部１５ａからの干渉光を光電変換する第１受光器１６ａ及び第２受光器１６ｂと、パッシブ光部品からの出力光を被測定光として光電変換する第３受光器と、を備えることを特徴とする。これにより、ヘテロダイン検波を用いたアクティブ光部品の評価とパッシブ光部品の評価を可能とした。 （もっと読む）