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Fターム[2H025AA04]の内容

フォトレジストの材料 (104,520) | 目的 (13,098) | 現像性・画像再現性 (1,814)

Fターム[2H025AA04]に分類される特許

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【課題】現像性、感度、耐刷性及び網点再現性に優れ、現像時の現像液における現像カスの生成が少ない平版印刷版原版、並びに、平版印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、(i)バインダーポリマー、(ii)エチレン性不飽和化合物、及び、(iii)重合開始剤を含有する感光層を有し、前記(ii)エチレン性不飽和化合物が、下記式(1)で表される化合物を含有することを特徴とする平版印刷版原版、並びに、並びに、平版印刷版の製造方法。式(1)中、Lは(m+n)価の連結基を表し、Dは下記式(A)〜(D)で表される基よりなる群から選ばれた基を表し、mは1以上の整数を表し、nは2以上の整数を表す。
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【課題】解像性能に優れ、かつ、ナノエッジラフネスの小さい化学増幅型レジストを形成可能な感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】一般式(1)で示されるスルホン酸基含有感放射線性酸発生剤(A)と、樹脂成分全体を100mol%としたとき、酸解離性基を有する繰り返し単位の合計が25〜40mol%である樹脂(B)と、を含有する感放射線性樹脂組成物である。


〔前記一般式(1)において、Rは炭化水素基等を示し、Mは1価のオニウムカチオンを示す。〕 (もっと読む)


【課題】転写される感光性樹脂層の、被転写面の凹凸形状への追随性に優れ、樹脂パターンを形成する際、1回の現像工程でも均一性よく現像できる感光性転写材料を提供する。
【解決手段】厚み12μm以上40μm以下の仮支持体上に、110℃における溶融粘度が10000Pa・s以上30000Pa・s以下である感光性樹脂層を有する感光性転写材料である。 (もっと読む)


【課題】現像性に優れ、更に、コントラスト及び輝度に優れた画素部を形成しうるカラーフィルタ用着色組成物を提供すること。
【解決手段】平均一次粒子径が10nm〜40nmであるポリハロゲン化亜鉛フタロシアニンとC.I.ピグメントイエロー150とからなる有機顔料(A)、下記一般式(I)で表される繰り返し単位と(メタ)アクリル酸を由来とする繰り返し単位とを含む共重合体(B)、重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)、及び有機溶剤(E)を含有することを特徴とするカラーフィルタ用着色組成物(一般式(I)中、Rは水素原子又はメチル基を表し、Rは炭素数2又は3のアルキレン基を表し、Rは水素原子又は炭素数1〜20のアルキル基を表し、nは1〜15の整数を表す。)。
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【課題】保存安定性に優れ、また現像性、硬度、耐熱性、耐薬品性、電気絶縁性、可撓性等の特性を充分に満足する優れた硬化膜が得られる光及び/又は熱硬化性化合物及びその硬化物を提供する。
【解決手段】本発明は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する樹脂(a)のエポキシ基に、エポキシ基1当量に対して、モノカルボン酸(b)を0.3〜0.9モルの割合で反応させ、得られた反応生成物(c)のエポキシ基に、エポキシ基1当量に対して、多塩基酸(d)を0.2〜5モルの割合で反応させ、得られた反応生成物(e)のエポキシ基に、エポキシ基1当量に対して、モノカルボン酸(f)を0.0〜5.0モルの割合で反応させて得られる酸価18〜180mgKOH/gの反応生成物(g)の2級のアルコール性水酸基に、さらに多塩基酸無水物(h)を反応させて得られる酸価40〜200mgKOH/gのカルボキシル基含有化合物である。 (もっと読む)


【課題】安全で、優れた現像性及び処理能力を発揮する平版印刷版の作製方法を提供する。また、得られた版において耐刷性を損なうことなく、現像後印刷までに印刷版を保存した場合でも耐刷性の低下が起こらず、また、指紋跡汚れの発生を抑えることができる、1液処理が可能な平版印刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】親水性支持体上に、下記(i)、(ii)、(iii)および(iv)を含有する画像記録層を有するネガ型平版印刷版原版を画像露光した後、低分子ヒドロキシカルボン酸イオン、pH緩衝剤、及び界面活性剤を含有するpH8.5〜10.8の水溶液で処理することを特徴とする平版印刷版の作製方法。
(i)増感色素
(ii)重合開始剤
(iii)エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物
(iv)バインダーポリマー (もっと読む)


【課題】焦点深度が広く、LWR及びMEEFが小さく、パターン倒れ特性に優れ、かつ、現像欠陥性能にも優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】樹脂(A)と、感放射線性の酸発生剤(B)と、酸拡散抑制剤(C)と、溶剤(D)とを含有し、前記樹脂(A)が、側鎖に環状炭酸エステル構造を有する繰り返し単位(a−1)を有する重合体であり、前記酸拡散抑制剤(C)が、特定構造の窒素含有化合物である感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】画像部の耐薬品性、耐傷性に優れ、現像性も良好であり、現像後に高温で加熱処理した場合、著しく耐刷性が向上する赤外線レーザ用感光性平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】 親水性表面を有する支持体上に、下記一般式(I)で示される重合性モノマーに由来する単位を少なくとも有する高分子化合物を含有する下層と、下記一般式(II)で示される基を側鎖に有する高分子化合物を含有する上層と、をこの順に有する。
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【課題】化学増幅型ポジ型レジスト膜の成膜に好適に用いることができ、電子線又は極紫外線に有効に感応し、ナノエッジラフネスの発生を抑制することができる感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】(a)下記一般式(1)で表される化合物と、(b)下記一般式(2)で表される感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性組成物である。
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【課題】放射線に対する透明性が高く、感度、ドライエッチング耐性等のレジストとしての基本物性に優れ、且つ、解像度、焦点余裕度、パターン形状に優れる。
【解決手段】酸解離性基含有樹脂と、感放射線性酸発生剤と、溶剤とを含有する感放射線性樹脂組成物において、上記樹脂は、特定構造の酸解離性基を有する繰り返し単位を含む共重合体を含有し、酸解離性基を有する繰り返し単位は、共重合体を構成する全繰り返し単位に対して、55モル%を超えて含有し、共重合体は、樹脂全体に対して、90質量%以上含有する。 (もっと読む)


【課題】液浸露光による微細パターン形成プロセスにおける現像工程で、良好なレジストパターン形状を与える液浸露光フォトレジスト膜の保護層用塗布組成物、並びにパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】式(1)で示される化合物を50質量%以上含む溶剤系に、フルオロアルコール基を側鎖に有する水不溶性、かつアルカリ可溶性ビニルポリマーを溶かしてなることを特徴とする液浸露光フォトレジスト膜の保護層用塗布組成物、並びにパターン形成方法。式(1)において、R1及びR2は、それぞれ独立に炭素数3〜5のアルキル基である。
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【課題】本発明の目的は、低pH処理で現像液の活性度が低くても、現像性と耐刷力の両立に優れ、印刷時の損紙改善と耐刷力に優れた感光性平版印刷版材料を提供することにある。
【解決手段】画像情報を露光、記録した後、現像液で未露光部を除去して平版印刷版を作製する製版方法に用いられる感光性平版印刷版材料であり、親水性表面を有する支持体上に、ラジカル発生剤、重合性モノマーおよびバインダーを有する感光層を有し、かつ該バインダーが、下記一般式(1)で表される構造を有するマクロモノマー(A)を構成モノマーとして含む共重合体であり、かつ該マクロモノマー(A)の共重合率が、8モル%以下の範囲である共重合体であることを特徴とする感光性平版印刷版材料。
【化1】
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【課題】 耐めっき性、ラミネート後の安定性及び現像残渣の抑制に優れ、且つ、はんだ処理時の変色を抑制することが可能な感光性樹脂組成物、感光性フィルム、永久マスクレジスト及び永久マスクレジストの製造方法を提供する。
【解決手段】 (A)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する重合性プレポリマー、(B)カルボキシル基を有するバインダーポリマー、(C)光重合性化合物、(D)光重合開始剤、及び(E)重金属不活性化剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(E)重金属不活性化剤が、サリチル酸誘導体、ヒドラジド誘導体又はシュウ酸アミド誘導体からなる群より選ばれる1種以上を含む、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】酸の拡散の選択性に優れた酸転写樹脂膜を得ることができる酸転写樹脂膜形成用組成物、これを用いてなる酸転写樹脂膜、及びこの酸転写樹脂膜を用いて既存のフォトリソプロセスによりパターン形成できるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】イミドスルホネート基を有する感放射線性酸発生剤、及び式(1)に示す構成単位を有する重合体、を含有する組成物。この組成物を用いてなる酸転写樹脂膜。酸解離性基を有する樹脂を含有し且つ感放射線性酸発生剤を含有しない第1樹脂膜上に、上記酸転写樹脂膜としての第2樹脂膜を形成する第2樹脂膜形成工程を備えるパターン形成方法。
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【課題】赤外線レーザ露光により高感度で硬化するとともに、プレヒート処理における加熱ラチチュードが広く、低温でプレヒート処理した場合においても、耐刷性に優れた画像が形成でき、且つ非画像部における残膜の発生が抑制されたネガ型平版印刷版原版及びその製版方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、(A)光又は熱により分解して酸を発生する化合物、(B−1)下記一般式(I)で表される部分構造を有し、分子量が2000以下である架橋剤、(B−2)レゾール樹脂、(C)バインダーポリマー、及び(D)赤外線吸収剤を含有する画像記録層を有することを特徴とするネガ型平版印刷版原版。一般式(I)中、Rは、炭素数1〜20の炭化水素基、アルコキシ基、又はハロゲン原子を表し、Rは、水素原子又は炭素数1〜20の炭化水素基を表し、mは、1〜3の整数を表し、nは、0〜3の整数を表し、nは、1〜3の整数を表す。
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【課題】ベーク条件の変動による性能変動の小さいポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(A)酸の作用により分解してアルカリ水溶液に対する溶解速度が増大する樹脂、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(C)120℃で15分間保持した際の揮発量が10%以下である、含窒素塩基性基又は4級アンモニウム基を有する化合物、および、(D)有機溶剤を含有する組成物であって、該組成物中の全固形分の濃度が、1.0〜4.5質量%であり、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物の総量が、該組成物中の全固形分に対して少なくとも10質量%であることを特徴とする電子線、X線またはEUV用ポジ型レジスト組成物。及びそれを用いたパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】パターン露光後の現像工程を省略することができる、新規なフォトリソグラフィー法を提供すること。
【解決手段】被加工表面上に、ヒートモード感光性化合物を蒸着することにより蒸着膜を形成すること、上記蒸着膜に、上記化合物が感光性を有する波長のレーザー光をパターン露光すること、および、上記パターン露光後の蒸着膜を有する被加工表面の少なくとも一部にエッチング処理を施し、上記パターン露光において露光された部分に対応する領域における被加工表面の少なくとも一部をエッチングすること、を含む被加工表面のエッチング方法。被加工物上に複数の凹凸を形成する加工方法。被加工物上に、ヒートモード感光性化合物を蒸着することにより蒸着膜を形成すること、および、上記蒸着膜に、上記化合物が感光性を有する波長のレーザー光をパターン露光することにより、該蒸着膜に複数の凹部を形成すること、を含む。 (もっと読む)


【課題】良好な現像性を維持しつつ、現像除去成分の版面再付着を抑制し、かつ良好な細線再現性を得るのに適した平版印刷版の作製方法を提供する。
【解決手段】支持体上に、側鎖にポリアルキレンオキサイドセグメントを有する繰り返し単位と側鎖にシアノ基を有する繰り返し単位を含有するポリマー微粒子を含む画像形成層を有する平版印刷版原版を画像様に露光する工程、及び露光済みの平版印刷版原版を炭酸イオン及び炭酸水素イオンを含有するpH8.5〜10.5の水溶液で現像する工程を含む平版印刷版の作製方法。 (もっと読む)


【課題】耐ポツ状汚れ性に優れる平版印刷版を得ることができる平版印刷版用アルミニウム合金板およびその製造方法、ならびに、それを用いた平版印刷版用支持体および平版印刷版原版、特に機上現像可能な平版印刷版原版の提供。
【解決手段】平版印刷版用支持体を製造する平版印刷版用支持体の製造方法であって、
Feを0.08〜0.45質量%含有し、Siを0.05〜0.20質量%含有し、残部が不可避不純物とAlとからなるアルミニウム合金溶湯から鋳塊を形成する半連続鋳造工程と、
半連続鋳造工程後の鋳塊の板厚(X)、冷間圧延工程後の板厚(Y)、面削工程における面削量(A)、粗面化処理による粗面化処理量(B)、および、陽極酸化皮膜の膜厚(C)が、下記式(i)を満たす各処理工程とを具備する平版印刷版用アルミニウム支持体の製造方法。
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【課題】レジスト組成物用の酸発生剤として有用な化合物及びその製造方法、酸発生剤、レジスト組成物並びにレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分(A)、及び露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)を含有し、酸発生剤成分(B)が、一般式(b1)で表される化合物からなる酸発生剤(B1)を含むレジスト組成物。
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