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Fターム[2H025AA16]の内容

フォトレジストの材料 (104,520) | 目的 (13,098) | 剥離性 (124)

Fターム[2H025AA16]に分類される特許

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【課題】 対象基材上に、絶縁樹脂組成物の塗膜による被覆層が、テープ基材の剥離によっても接着性および電気絶縁性が劣化せず、その特性が維持された状態で形成される被覆層形成方法の提供。
【解決手段】 被覆層形成方法は、テープ基材上に粘着膜が形成された保護テープを用い、対象基材の一面上に、その粘着膜が前記対象基材の一面上に接触する状態に保護テープを貼り合わせる工程と、粘着膜に熱または光を与えて気体を発生させた後、テープ基材を粘着膜から剥離する工程とを、この順に行って粘着膜による被覆層を対象基材の一面上に形成する方法であって、粘着膜が、熱または光を受けることにより気体を発生する気体発生剤を含有する絶縁樹脂組成物の塗膜よりなることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】感度、解像度、密着性、レジスト形状、硬化後の剥離特性及びスラッジ除去性がいずれも良好である感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、(C)ヘキサアリールビイミダゾール系化合物を含む光重合開始剤及び(D)下記一般式(4)で表される化合物を含む増感色素を含有する感光性樹脂組成物。
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【課題】保護層に対して適度な剥離性と適度な密着性とを発揮するカバーフィルム、およびカバーフィルムと保護層との間に適度な剥離性と適度な密着性とを兼ね備えた凸版印刷用の感光性樹脂構成体を提供すること。
【解決手段】表面に樹脂層42を有し、該樹脂層が、酸変性成分1〜10質量%の酸変性ポリオレフィン樹脂と、架橋剤および/またはポリビニルアルコールとを含有し、架橋剤がカルボジイミド化合物および/またはオキサゾリン化合物にて構成され、酸変性ポリオレフィン樹脂100重量部に対する架橋剤の含有量X(質量部)と、ポリビニルアルコールの含有量Y(質量部)とが以下の関係式;1≦X≦50かつ0≦Y≦1000;または0≦X≦50かつ5≦Y≦1000;の少なくとも一方を満たすカバーフィルム4。ベースフィルム1、感光性樹脂組成物層2、保護層3、および上記カバーフィルム4の順に積層された構造を有する凸版印刷用感光性樹脂構成体。 (もっと読む)


【課題】水溶性保護層に対して適度な剥離性と適度な密着性とを発揮するカバーフィルム、およびカバーフィルムと水溶性保護層との間に適度な剥離性と適度な密着性とを兼ね備え、廃棄時の環境負荷が少ない水系凸版印刷用感光性樹脂構成体を提供すること。
【解決手段】表面に樹脂層42を有し、該樹脂層が、酸変性成分1〜10質量%および(メタ)アクリル酸エステル成分0.5〜40質量%の酸変性ポリオレフィン樹脂、架橋剤およびポリビニルアルコールを含有し、架橋剤がカルボジイミド化合物および/またはオキサゾリン化合物にて構成され、酸変性ポリオレフィン樹脂100重量部に対する架橋剤の含有量が1〜30質量部であり、ポリビニルアルコールの含有量が5〜100質量部であるカバーフィルム4。ベースフィルム1、水溶性感光性樹脂組成物層2、水溶性保護層3、および上記カバーフィルム4の順に積層された構造を有する水系凸版印刷用感光性樹脂構成体。 (もっと読む)


【課題】印刷配線板、リードフレーム、半導体パッケージ等の製造、金属の精密加工等の分野において、エッチングレジスト、めっきレジスト等のレジスト材料として特に優れた高解像性と高密着性を有し、更にレジスト剥離性にも優れた光重合性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が5千〜50万であるバインダー用樹脂:20〜90質量%、(b)下記一般式(I)で表されるイミド化合物Aを含む光重合可能な不飽和化合物:3〜70質量%、及び(c)光重合開始剤:0.1〜20質量%を含有する感光性樹脂組成物。
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【課題】 テント強度に優れ、また、十分な光感度、解像度、密着性、及び剥離特性を有する感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造法を提供する。
【解決手段】 (A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つのエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤、を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(B)成分が、(B1)下記一般式(I)で表される化合物と、(B2)分子内に2つのエチレン性不飽和基、並びに、オキシエチレン基及び/又はオキシプロピレン基を有する化合物と、を含有する感光性樹脂組成物。
【化1】


(一般式(I)中、Rは水素原子又はメチル基を示す。) (もっと読む)


【課題】十分な薬品耐性を有しながら良好な剥離性をもち、かつ基材上の金属膜との間で良好な接着性を示すような樹脂パターンを得るための感光性樹脂組成物を提供すること、及びそのような樹脂パターンを使用した被エッチング基体の製造方法を提供する。
【解決手段】酸基含有アクリル系樹脂と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応により生成したアルカリ可溶性樹脂(A)と、3官能以上の多官能モノマー(B)と、窒素含有単官能モノマー(C)と、光重合開始剤(D)と、を含有する感光性樹脂組成物を使用する。 (もっと読む)


【課題】酸性及びアルカリ性条件におけるエッチング耐性を有し、かつエッチング工程終了後にアルカリ性の剥離液によって剥離することが可能な樹脂パターンをマスクとした被エッチング基体の製造方法等を提供する。
【解決手段】基体上に感光性樹脂層を形成する工程と、前記感光性樹脂層を選択的に露光、現像して樹脂パターンを形成する工程と、前記樹脂パターンをマスクとし、45℃以下の酸性又はアルカリ性のエッチング液を用いて前記基体を選択的にエッチングする工程と、50〜80℃のアルカリ性の剥離液を用いて前記樹脂パターンを剥離する工程と、を含み、前記感光性樹脂組成物が、酸基含有アクリル系樹脂と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応により生成したアルカリ可溶性樹脂と、3官能以上の多官能モノマーと、光重合開始剤とを含有する被エッチング基体の製造方法を使用する。 (もっと読む)


【課題】 10μm以上の厚膜でも均一性の高い感光性樹脂膜を形成でき、解像性、密着性、アルカリ現像液に対する充分な現像速度、メッキ液耐性に優れ、メッキ工程中の感光性樹脂膜のクラック発生や欠けも低減でき、剥離性に優れるバンプ形成用材料として好適な厚膜形成に適するポジ型感光性樹脂組成物及びこれらを用いたバンプの製造方法を提供する。
【解決手段】
(A)アルカリ可溶性ノボラック樹脂、(B)炭素数4〜100の不飽和炭化水素基を有する化合物で変性されたフェノール樹脂、(C)光により酸を生成する化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物であって、前記(B)成分の含有量が、前記(A)成分と前記(B)成分の総量に対して5〜50質量%であるポジ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】撥液性成分を含有する感光性組成物(レジスト)を用いて基板上に構造物(隔壁)を形成するにあたり、形成された構造物で区画される部分におけるレジストの残渣や撥液性成分の残留に起因する白抜けの問題を解決する。
【解決手段】基板上に、撥液性成分を含有する感光性組成物で構造物を製造する際に、該感光性組成物と基板との間に直接または他の層を介して形成される該感光性組成物の下引き層用の組成物において、親水性有機化合物を含有することを特徴とする下引き層用組成物。この下引き層用組成物を用いて基板と感光性組成物との間に下引き層を形成することにより、上記課題が解決できる。 (もっと読む)


【課題】 はく離片を細分化させる効果を有し、また感度、解像度・密着性、さらに、耐めっき性及びスカム分散性に優れる感光性樹脂組成物、この組成物を用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法を提供する。
【解決手段】 (A)バインダーポリマーの成分(重合性単量体)として、(1)メタクリル酸を有し、かつ、その含有量が18〜23質量%であり、(2)アクリル酸エチル及びアクリル酸ブチルをいずれも有し、(3)スチレン及びその他、芳香族系化合物(重合性単量体)を含まないことを特徴とし、この(A)バインダーポリマーの成分に、さらに(B)エチレン性不飽和光重合性モノマ、(C)光重合開始剤及び増感剤を含有してなる感光性樹脂組成物、この組成物を用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法。 (もっと読む)


【課題】レジストのはく離性に優れ、密着性及び解像度を向上させることが可能な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法、及びプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を少なくとも1つ有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物であって、前記(A)バインダーポリマーが、特定の化学式で表される重合性単量体を含み、前記(B)エチレン性不飽和結合を少なくとも1つ有する光重合性化合物が、特定の化学式で表される化合物を含む感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】 リソグラフィーで用いられる多層レジスト法において、フォトレジスト膜の良好なパターン形成が可能であり、良好なドライエッチング耐性を有するエッチングマスク用ケイ素含有膜を形成でき、保存安定性が良好であり、剥離プロセスで使用される溶液で剥離が可能なケイ素含有膜形成用組成物、ケイ素含有膜形成基板、更にパターン形成方法を提供する
【解決手段】 リソグラフィーで用いられる多層レジスト法において成膜されるケイ素含有膜を形成するための熱硬化性ケイ素含有膜形成用組成物であって、少なくとも、(A)酸を触媒として用いて加水分解性ケイ素化合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物、(B)熱架橋促進剤、(C)炭素数が1〜30の1価又は2価以上の有機酸、(D)3価以上のアルコール、(E)有機溶剤、を含むことを特徴とする熱硬化性ケイ素含有膜形成用組成物。 (もっと読む)


【課題】感度、解像性、密着性及びレジスト形状に優れ、且つ剥離特性を十分に満足するレジストパターンを形成し得る感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】(A)アルカリ可溶性基含有バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、水晶振動子上に形成された前記感光性樹脂組成物の硬化膜を、25℃、1質量%炭酸ナトリウム水溶液に浸漬し、浸漬直後の水晶振動子マイクロバランス(QCM)の指示値を0Hzとしたとき、浸漬後60秒における振動数変化量が、硬化膜の膜厚1μmあたり−80Hz以上−20Hz以下である、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】 リソグラフィーで用いられる多層レジスト法において、フォトレジスト膜の良好なパターン形成が可能であり、良好なドライエッチング耐性を有するエッチングマスク用金属酸化物含有膜を形成でき、保存安定性が良好であり、剥離プロセスで使用される溶液で剥離が可能な金属酸化物含有膜形成用組成物、金属酸化物含有膜形成基板、更にパターン形成方法を提供する
【解決手段】 リソグラフィーで用いられる多層レジスト法において成膜される金属酸化物含有膜を形成するための熱硬化性金属酸化物含有膜形成用組成物であって、少なくとも、(A)加水分解性ケイ素化合物と、加水分解性金属化合物とを加水分解縮合することにより得られる金属酸化物含有化合物、(B)熱架橋促進剤、(C)炭素数が1〜30の1価又は2価以上の有機酸、(D)3価以上のアルコール、(E)有機溶剤とを含むことを特徴とする熱硬化性金属酸化物含有膜形成用組成物。 (もっと読む)


【課題】光感度に優れ、無電解めっき耐性及び剥離特性の双方に優れた硬化物を得ることが可能な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント及びプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、(B)重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(B)成分が、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物、アルコキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート化合物、及びノニルフェニルポリアルキレングリコール(メタ)アクリレート化合物を含み、(C)成分が、アクリジン化合物を含む、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】剥離時にカバーフィルムと感光性樹脂層との剥離性が良好で、剥離前にはカバーフィルムと感光性樹脂層との密着性が良好な感光性転写材料を提供する。
【解決手段】仮支持体と、層表面を二次イオン質量分析計で測定したときのモノマー二次イオン強度A及びトータル二次イオン強度Bの比(A/B)が0.0017〜0.0145である感光性樹脂層と、前記感光性樹脂層の表面に接して設けられたカバーフィルムと、をこの順に有する感光性転写材料である。 (もっと読む)


【課題】 感度、解像度及びレジストの剥離特性に特に優れたレジストパターンを得る事ができる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供する。
【解決手段】 (A)下記一般式(I)、(II)及び(III)で示される構造単位の共重合組成からなるバインダーポリマー、
【化1】


(ここでRはそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を表し、Rはそれぞれ独立に炭素数1〜3のアルキル基又はアルコキシ基、OH基、ハロゲンを表し、Rはラジカル重合性不飽和二重結合含有の置換基を示し、mは0〜5の整数である。)
(B)光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法。 (もっと読む)


【課題】カバーフィルムの剥離性が良好であり、かつ、カバーフィルムをカットする際のカッターの汚れが抑制される感光性転写材料を提供する。
【解決手段】仮支持体と、三角錐の圧子で0.5mNの荷重で測定した際の硬度が1.0以上4.5以下である熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層と、カバーフィルムと、をこの順に有する感光性転写材料である。 (もっと読む)


【課題】感度、解像度、密着性、レジスト形状及び硬化後の剥離特性がいずれも良好な感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供すること。
【解決手段】(A)バインダーポリマー、式(1)の化合物を含む(B)光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物。
【化1】


[式中、R及びRは水素原子又はメチル基を示し、R及びRのうち少なくとも1つ並びにR〜R12のうち少なくとも1つはアルキル基、シクロアルキル基又はフェニル基を示し、−(AO)−及び−(OB)−は(ポリ)オキシエチレン鎖又はエチレンオキサイドとプロピレンオキサイドとの共重合鎖を示し、オキシエチレン基の総数は2〜40であり、オキシプロピレン基の総数は0〜40である。] (もっと読む)


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