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Fターム[2H025CB01]の内容

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【課題】 超微細領域での、特に、電子線、X線またはEUV光リソグラフィにおいて、現像前のレジスト表面が親水性と疎水性の凸凹構造を持つことによる撥水化を抑制し、ムラなく均一に現像が進行するようにすることで、抜け性の向上による高解像性とアウトガス低減を同時に実現するパターン形成を可能とするリソグラフィ用基板被覆方法、及びその方法に用い得るポジ型レジスト組成物を提供すること。
【解決手段】 リソグラフィプロセスにおいて基板上に膜を被覆する工程と、該膜上にトップコート層を設ける工程を含むリソグラフィ用基板被覆方法であって、前記膜が、活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する繰り返し単位(A)を有する樹脂(P)を含有する感活性光線または感放射線性樹脂組成物を用いて形成されることを特徴とする、リソグラフィ用基板被覆方法。 (もっと読む)


【課題】
電子線レジストの上層に用いられる帯電防止膜形成組成物とそれを用いたレジストパターン及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 水溶性樹脂及びイオン液体を含む電子線レジストの上層に用いる帯電防止膜形成組成物。水溶性樹脂が非イオン性樹脂、アニオン性樹脂、又はカチオン性樹脂である。イオン液体が、イミダゾリウム、ピリジニウム、ピロリジニウム、フォスフォニウム、アンモニウム、及びスルホニウムからなる群より選ばれるカチオンを含む。イオン液体が、ハロゲン、カルボキシレート、サルフェート、スルホネート、チオシアネート、アルミネート、ボレート、ホスフェート、ホスフィネート、アミド、アンチモネート、イミド、及びメチドからなる群より選ばれるアニオンを含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は、円筒状のワークを横置きにしてワークの内表面を加工する場合であっても、ワークの撓みを抑制して良好に加工を行うことを目的とする。
【解決手段】円筒内表面の加工装置(レーザ照射装置6)は、ワーク3の両端を回転可能に支持するワーク支持台(中空支持軸64aおよびベアリング台64b)と、ワーク3を回転させる駆動装置(モータ、ベルト64cおよびプーリ64d)と、前記ワーク支持台に形成される孔64fから通されてワーク3内においてワーク3の軸方向に延びるヘッド支持軸(ヘッドガイド軸62およびヘッド駆動軸63b)と、前記ヘッド支持軸に沿って移動しながら、ワーク3の内表面にレーザ光を照射するヘッド61と、を備えて構成されている。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、リスタートトーニング回復性が良好な平版印刷原版、特に赤外線感光性ポジ型の平版印刷原版を提供するものである。
【解決手段】基板と画像記録層との間に、中間層を有する感光性平版印刷原版であって、前記基板が、ホスホン酸基またはリン酸基を有するポリマー溶液で処理されており、そして前記中間層が、オニウム基を有するデンプンを含有することを特徴とする感光性平版印刷原版。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、平版印刷版材料を長期間保存した場合でも、感度変動や印刷での非画像部汚れの発生抑制、耐刷性に優れた平版印刷版材料、平版印刷版材料の処理方法、および、平版印刷版の作製方法を提供することにある。
【解決手段】親水性表面を有する支持体上に光熱変換材料を含有する層を有する構成層を有する平版印刷版材料を赤外レーザ光源により画像情報を露光記録した後、該平版印刷版材料の未露光部分をpHが3から9の範囲の現像液で除去できる平版印刷版材料において、該構成層中に熱溶融粒子を含有することを特徴とする平版印刷版材料。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、印刷性能への悪影響なく、平版印刷版材料の生産時に所定のサイズに断裁する際の粉落ちによる工程汚染を著しく軽減した平版印刷版材料を提供することにある。
【解決手段】支持体の上に親水性層および画像形成層を支持体の側からこの順に有する平版印刷版材料において、親水性層または画像形成層に、熱可塑性樹脂と無機粒子からなる複合エマルジョンを含有することを特徴とする平版印刷版材料。 (もっと読む)


【課題】露光・現像性能と乾燥後或いは焼成後の導体層の密度とが共に得られる転写用感光性導体ペーストを提供する。
【解決手段】 感光性導体ペースト12において、アクリル樹脂、ロジン系樹脂、またはフッソ系分散剤を含むことから、感光性樹脂の含有量を減少させても露光・現像性能が確保されるとともに、乾燥後或いは焼成後の導体層の密度が高くなるので、露光・現像性能と乾燥後或いは焼成後の導体層の密度とが両立した転写用感光性導体ペースト12が得られる。 (もっと読む)


【課題】化学増幅系レジストにおけるかぶりや膜減り現象防止に優れた帯電防止剤、該帯電防止剤を用いた帯電防止膜及び被覆物品を提供することを目的とする。
【解決手段】水溶性導電性高分子、溶媒及びポリペプチド構造を有する水溶性高分子を含み、感荷電粒子線樹脂上に被覆するための帯電防止剤。安価で簡単にレジストへの塗布性を付与できる界面活性剤を用いても、塗布性を維持しながら、レジストへの影響(レジストの溶解やレジストの現像の結果生じるレジストのかぶりや膜べり現象)を抑止できる。界面活性剤を含有させることにより塗布性を向上させた帯電防止剤は、化学増幅系レジスト、および非化学増幅系レジストに対するミキシング抑制に効果がある。 (もっと読む)


【課題】高い顔料分散性と分散安定性とを有し、色特性が良好な顔料分散組成物、現像性および画素の表面平滑性に優れ、かつ高いコントラストを得ることができる光硬化性組成物、色特性が良好でコントラストの高いカラーフィルタを提供する。
【解決手段】ラクトン構造および酸無水物構造から選択される部分構造を1種以上有し、重量平均分子量が1,000〜100,000であり、且つブロック型、グラフト型または末端変性型の構造を有する高分子化合物(A)、および顔料(B)を含有する顔料分散組成物、上記顔料分散組成物と、アルカリ可溶性樹脂と、光重合性化合物と、光重合開始剤と、を含有する光硬化性組成物、上記の光硬化性組成物を用いてなるカラーフィルタ。 (もっと読む)


【課題】化学増幅系レジストにおけるかぶりや膜減り現象防止に優れた帯電防止剤、該帯電防止剤を用いた帯電防止膜及び被覆物品を提供することを目的とする。
【解決手段】水溶性導電性高分子、溶媒及び水溶性高分子を含む帯電防止剤。特定の水溶性高分子、特に、ポリペプチド結合を有する水溶性高分子化合物またはポリビニル構造を有する特定の水溶性高分子を水溶性導電性高分子と併用することにより、安価で簡単にレジストへの塗布性を付与できる界面活性剤を用いても、塗布性を維持しながら、レジストへの影響(レジストの溶解やレジストの現像の結果生じるレジストのかぶりや膜べり現象)を抑止できる。界面活性剤を含有させることにより塗布性を向上させた帯電防止剤は、化学増幅系レジスト、および非化学増幅系レジストに対するミキシング抑制に効果がある。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、高感度であり、かつ、印刷性能に優れるCTP方式用の印刷版材料を提供することにある。
【解決手段】基材上に親水性層と感熱画像形成層とを該基材側からこの順に有する印刷版材料において、該親水性層が、(A)粒子径が1μm以上、10μm未満の範囲にあり、かつ、金属酸化物からなるコア粒子の表面を、光熱変換能を有する金属酸化物で被覆した複合粒子を含有することを特徴とする印刷版材料。 (もっと読む)


【課題】平版印刷版の製版技術において、高廃液の発生がなく明室下での作業性に極めて優れ、また印刷性に於いても特に耐汚れ性に優れた平版印刷版を提供する。
【解決手段】支持体上に親水性層を設けてなる平版印刷版において、該親水性層が印刷時に最表面を構成する層であり、かつ水酸基とその硫酸エステル基を有するポリマー及び金属酸化物を含有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】耐刷性及び生保存性に優れ、レーザ光による走査露光に適しており、高速での書き込みが可能であり、高い生産性を併せ持つ平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】(A)オリゴ糖および多糖からなる群より選択される少なくとも1種の糖、(B)バインダーポリマー、(C)付加重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物、及び(D)重合開始剤を含有する感光層を有する平版印刷版原版、又は(A)オリゴ糖および多糖からなる群より選択される少なくとも1種の糖からなる下塗り層と、(B)バインダーポリマー、(C)付加重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物、及び(D)重合開始剤を含有する感光層を有する平版印刷版原版。 (もっと読む)


【課題】耐刷性と画像形成性に優れ、レーザー光による描画に適した光重合性組成物及び平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】(A)糖構造含有ユニットとともにエチレン性不飽和結合含有ユニットをもつアルカリ可溶性バインダーポリマー、(B)重合性化合物、および(C)重合開始剤を含有することを特徴とする光重合性組成物。 (もっと読む)


【課題】各種印刷液に対する耐性を持ち、優れた印刷適性を有する印刷版製造用感光性組成物、並びに、これを用いた感光性印刷原版積層体および印刷版を提供する。
【解決手段】少なくとも、バインダー樹脂、光重合性モノマー、および、光重合開始剤を含有する印刷版製造用感光性組成物において、バインダー樹脂として、エラストマー樹脂とテルペン樹脂とを併用することによって、各種印刷液、特に、UV硬化性インキ、油性インキ等のインキ成分や、配向膜液等の印刷液に対して、優れた耐性を有する感光性組成物を得る。 (もっと読む)


【課題】 各種印刷液に対する耐性を持ち、優れた印刷適性を有する印刷版製造用感光性組成物、並びに、これを用いた印刷用感光性印刷原版積層体および印刷版を提供する。
【解決手段】 少なくとも、バインダー樹脂、光重合性モノマー、および、光重合開始剤を含有する印刷版製造用感光性組成物において、バインダー樹脂として、エラストマー樹脂と、テルペン樹脂とを併用することによって、各種印刷液、特に、配向膜液等の印刷液に対して、優れた耐性を有する感光性組成物を得る。 (もっと読む)


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