【課題】ウエハ上の塗布膜厚の均一性に優れる遮光性カラーフィルターを与える感光性樹脂組成物を提供することである。さらに、前記感光性樹脂組成物により形成された遮光性カラーフィルター及びその製造方法、並びに、固体撮像素子を提供すること。
【解決手段】（Ａ）チタンブラック、（Ｂ）重合性化合物、（Ｃ）樹脂、（Ｄ）光重合開始剤、（Ｅ）シリコーン系界面活性剤及び／又はフッ素系界面活性剤、並びに、（Ｆ）有機溶剤、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。前記感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターンを有することを特徴とする遮光性カラーフィルター。前記遮光性カラーフィルターを備えたことを特徴とする固体撮像素子。 （もっと読む）

【課題】撮像部の周縁又は撮像部のある表面に対向する裏面の遮光能を高め、基板への密着が良好であり、基板上の塗布膜厚の均一性を高めた遮光性カラーフィルターを与える感光性樹脂組成物、これを用いて形成された遮光性カラーフィルター、その製造方法、及び、前記遮光性カラーフィルターを有する固体撮像素子を提供すること。
【解決手段】チタンブラック、重合性化合物、樹脂、光重合開始剤、及び２種以上の有機溶剤を含有する感光性樹脂組成物、これを用いて形成された遮光性カラーフィルター、その製造方法、及び、前記遮光性カラーフィルターを有する固体撮像素子。 （もっと読む）

【課題】アルカリ性現像液によるカラーレジスト現像時に起こるカラーレジストの浮きやハガレによる欠陥を抑制すること。
【解決手段】（Ａ）色材、（Ｂ）アルカリ現像性樹脂組成物、（Ｃ）光重合開始剤及び（Ｄ）有機溶剤を含有するカラーレジスト組成物において、該（Ｄ）有機溶剤が、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡＣ）とジメチルアセトアミド（ＤＭＡＣ）又はジエチルアセトアミド（ＤＥＡＣ）から選ばれるジアルキルアミドとを必須成分として含有するカラーレジスト組成物を用いる。 （もっと読む）

【課題】スリットダイのリップ先端における重合性組成物の乾燥凝集塊の発生を抑制することができ、かつ、塗布する際の液中放電現象を抑制し、画素残りなどの欠陥を最小限にし、高品質のカラーフィルタが得られる重合性組成物、該重合性組成物を用いたカラーフィルタの製造方法、該製造方法で製造されたカラーフィルタ、該カラーフィルタを備える液晶表示装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、（ａ）着色剤、（ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（ｃ）重合性基を３つ以上有する重合性化合物、（ｄ）重合開始剤、（ｅ）フッ素系界面活性剤、及び（ｆ）溶剤を含み、該（ｆ）溶剤の蒸発速度が、酢酸ブチルの蒸発速度を１としたときに、０．３４未満である重合性組成物、該重合性組成物を用いたカラーフィルタの製造方法、該製造方法で製造されたカラーフィルタ、該カラーフィルタを備える液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】膜厚の減少及びクラックの発生を抑制しながら、パターニングされたシリカ系被膜を優れた解像性で比較的容易に形成することを可能にする感光性樹脂組成物を製造する方法の提供。
【解決手段】（ａ）成分：下記一般式（１）で表される１種以上のシラン化合物を加水分解縮合して得られる縮合体であるシロキサン樹脂と、（ｂ）成分：前記シロキサン樹脂を溶解する溶媒と、（ｃ）成分：ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルとを含有する溶液を、３０℃〜１４０℃に加熱する工程を備える、感光性樹脂組成物の製造方法。
Ｒ^１_ｎＳｉＸ_４−ｎ（１）［式（１）中、ｎは０〜２の整数を示し、Ｒ^１は置換基を有していてもよい炭素数１〜２０の炭化水素基等を示し、Ｘは加水分解性基を示す。］ （もっと読む）

【課題】感度、解像性、パターン形状、サイドローブマージン、露光量依存性（ＥＬ）、フォーカス余裕度（ＤＯＦ）性能、ＬＷＲ性能に優れたレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用により分解しアルカリ現像液中での溶解性が増大する樹脂、（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｃ）オキシアルキレン基を有する２価のアミン化合物及び（Ｄ）溶剤を含有するレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】着色感光性樹脂組成物の塗布後の減圧乾燥時に異物の発生を抑制できる着色感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】（Ａ）光重合性化合物、（Ｂ）光重合開始剤、（Ｃ）着色剤、（Ｄ）分散剤、及び（Ｓ）溶剤を含有する着色感光性樹脂組成物であって、前記（Ｓ）溶剤は、沸点が１８０℃以上２５０℃以下である少なくとも一種の（Ｒ）難揮発性溶剤を含有し、前記（Ｄ）分散剤は、３０質量％となるように難揮発性溶剤中に混合させたとき、下記式（１）で表される濁度が４００ｎｍにおいて１６％以下のウレタン系分散剤である着色感光性樹脂組成物。


［式（１）中、Ｔは測定試料の透過率値を示し、Ｔ_０は難揮発性溶剤単独での透過率値を示す。］ （もっと読む）

【解決手段】化学増幅型レジスト組成物に、
ベース樹脂１００質量部に対し全溶剤が１，４００〜５，０００質量部で、
全溶剤中、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートと乳酸エチルを６０％以上、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの質量の割合が他の溶剤よりも高く、
乳酸エチルを１０〜４０％、
γ−ブチロラクトン、アセト酢酸アルキルエステル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールブチルエーテル、トリプロピレングリコールブチルエーテル、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネートから選択される溶剤を０．２〜２０％配合する。
【効果】本発明は、上記溶剤を上述した割合で含有する混合溶剤を用いてレジスト組成物を調製することで、レジスト塗膜が均一に形成でき、ラインエッジラフネスが改善され、保存安定性に優れたレジスト組成物を与え、優れたパターン形成方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】着色感光性樹脂組成物の塗布後の減圧乾燥時に異物（欠陥）の発生を防止できる着色感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】（Ａ）光重合性化合物、（Ｂ）光重合開始剤、（Ｃ）着色剤、（Ｄ）分散剤、及び（Ｓ）溶剤を含有する着色感光性樹脂組成物であって、前記（Ｓ）溶剤は、沸点が１８０℃以上２５０℃以下である少なくとも一種の（Ｒ）難揮発性溶剤を含有し、前記（Ｄ）分散剤は、所定の要件を満たす化合物（Ｄ１１）を含有する着色感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】紫外光、可視光を放射する固体レーザー及び半導体レーザー光を用いて記録することによりコンピューター等のデジタルデータから直接製版可能、特に、ｐＨ１０以下の水溶液により現像可能であり、高耐刷かつ汚れ性良好な平版印刷版を提供できる製法及び原版を提供する。
【解決手段】支持体上に、バインダーポリマー、ラジカル重合性化合物、重合開始剤、増感色素、熱融着性樹脂微粒子を含有する画像形成層を少なくとも有する平版印刷版原版を、画像様に露光し、現像して非画像部を除去した後、熱融着性樹脂微粒子の熱融着温度以上の温度によって乾燥することを特徴とする平版印刷版の製版方法及び当該平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】着色顔料としてハロゲン化亜鉛フタロシアニンからなるＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ
５８を使用しても保存安定性に優れ、コントラストの低下を抑制したカラーフィルタ用着色塗布液組成物、およびそれを用いたカラーフィルタと該カラーフィルタを具備する液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】保存安定性が優れているカラーフィルタ用着色塗布液組成物として、顔料微粒子を少なくとも透明樹脂または／およびその前駆体に分散させた着色組成物を有機溶剤に溶解した着色塗布液組成物において、顔料としてＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ
５８を含み、かつ溶解度パラメータ（ＳＰ値）が９．０（ｃａｌ／ｃｍ³）^1/2以下である少なくとも１種類の有機溶剤が、全有機溶剤中の９０％質量以上を占めるもの、それを用いたカラーフィルタ等を提供する。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィを利用した微細加工を行うために使用される、新規なフォトレジスト用化合物、上記フォトレジスト用化合物を用いたフォトレジスト液、および上記フォトレジスト液を使用して、所望の表面をエッチングするエッチング方法の提供。
【解決手段】シアニン色素およびスチリル色素からなる群から選択された化合物であるフォトレジスト用化合物。前記フォトレジスト用化合物を含むフォトレジスト液。前記フォトレジスト液を使用する被加工表面のエッチング方法。 （もっと読む）

【課題】ダブルパターニングによるレジストパターンの形成において、第二のレジスト組成物として用いることができるポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】ポジ型レジスト組成物からなる第一のレジスト膜から形成された第一のレジストパターンが形成された支持体上に、ポジ型レジスト組成物を塗布して第二のレジスト膜を形成した後、選択的に露光し、アルカリ現像してレジストパターンを形成する方法において、特定構造の構成単位を有する酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する樹脂成分（Ａ）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）とが、前記第一のレジスト膜を溶解しない有機溶剤（Ｓ）に溶解してなる、前記第二のレジスト膜を形成するために用いられるポジ型レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】 層間絶縁膜として用いることのできるシリカ系被膜の形成が比較的容易であり、かつ形成されるシリカ系被膜がクラック耐性、耐熱性及び解像性に優れる感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 （ａ）成分：下記一般式（１）で表される化合物を含むシラン化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、（ｂ）成分：上記（ａ）成分が溶解する溶媒と、（ｃ）成分：ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルと、（ｄ）成分：微粒子と、を含有し、上記（ａ）成分の配合割合が、組成物の固形分全体を基準として５〜８０質量％であり、上記（ｄ）成分の配合割合が、組成物の固形分全体を基準として５〜５０質量％である、感光性樹脂組成物。



［式（１）中、Ｒ^１は有機基を示し、Ａは２価の有機基を示し、Ｘは加水分解性基を示し、同一分子内の複数のＸは同一でも異なっていてもよい。］ （もっと読む）

【課題】塗布均一性に優れた染料含有ネガ型硬化性組成物を提供する。
【解決手段】有機溶剤可溶性染料、光重合開始剤、光重合性化合物、及びシクロペンタノンを少なくとも含むことを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物である。 （もっと読む）

【課題】感光性組成物をより高感度化でき、且つ感光性組成物の溶剤に対する溶解性も良好なオキシムエステル系化合物、及びそのオキシムエステル系化合物を光重合開始剤として含有する感光性組成物を提供する。
【解決手段】感光性組成物の光重合開始剤として、下記式（１）で表されるオキシムエステル系化合物を用いる。


（式（１）中、Ａ，Ｅ，Ｇ，Ｊはそれぞれ独立に一価の有機基を表し、Ｄは酸素原子で中断されていてもよい炭素数１〜５のアルキレン基を表し、Ｌは置換基を有していてもよい、複素環基、縮合環式芳香族基、又は芳香族基を表す。） （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、着色剤の塗布溶液中での安定性が良好で、かつ、当該着色剤を含有する組成物を用いた場合における画像部の着色濃度、感度およびセーフライト性が良好な、感光性平版印刷版原版を提供することにある。
【解決手段】支持体上に、（Ａ）増感色素、（Ｂ）イオン性重合開始剤、（Ｃ）ラジカル重合性化合物、（Ｄ）バインダーポリマー、および、（Ｅ）有機顔料、を含有する感光層を有し、前記（Ｅ）有機顔料が有機溶剤中で分散した固体分散物であり、かつ該有機溶剤は、溶解パラメーター(ＳＰ値)が１１以上の少なくとも１種の有機溶剤と、溶解パラメーター(ＳＰ値)が１１より小さい少なくとも１種の有機溶剤と、を含有する混合物であることを特徴とする平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】非露光部の溶解速度が小さいポジ型感光性ポリイミドを完成させることによって、本来ポリイミド樹脂が有する耐熱性、電気特性、機械的特性及び不燃性等の特性を有し、かつ屈曲性が高い感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。また、その感光性ポリイミド前駆体組成物を用いた電子部品を提供する。
【解決手段】感光性ポリイミド前駆体組成物は、少なくとも１種のポリイミド前駆体（つまり、ポリイミド前駆体は、ブレンド物であってもかまわない）、感光剤及び極性有機溶媒を含有するものであって、感光性ポリイミド前駆体組成物を構成する１種の芳香族テトラカルボン酸二無水物を含み、かつ感光性ポリイミド前駆体組成物を構成する芳香族ジアミンを含むポリイミド前駆体で構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アルカリ可溶性バインダー樹脂およびその製造方法、ならびに液晶表示素子用カラーフィルタの製造に使用される透明感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本発明のアルカリ可溶性バインダー樹脂は、エポキシ基を含むもののカルボン酸を含まないものであって、これを含む感光性樹脂組成物は保管安定性に優れ、現像工程中の小さいパターンの流失を防ぎ、パターン形成時にアンダーカットを減少させる効果がある。 （もっと読む）

【課題】遮光膜を形成した際、パターニング不良による基板との密着性の低下やシール性劣化等を引き起こすことがなく、また、均一な遮光度が得られるブラックレジスト用感光性樹脂組成物を形成することができるような、遮光性分散液の製造方法を提供する。
【解決手段】（ａ）黒色着色剤、（ｂ）溶剤、及び（ｃ）アミン系分散剤を含む遮光性分散液の製造方法であって、（１）上記（ａ）〜（ｃ）成分を混合した混合液に気体を放出して気泡を形成させ、混合液中に含まれる凝集起因物を気泡に吸着させる工程と、（２）気泡に吸着した凝集起因物を取り除く工程と、を含むことを特徴とする遮光性分散液の製造方法である。 （もっと読む）