【課題】高精細パターンを簡便に形成できる新規なパターン形成方法と、このようなパターン形成方法に好適なフォト沈降型組成物を提供する。
【解決手段】無機粉末の凝集沈降によりパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法であって、無機粉末、分散媒、及び光酸発生剤を含むフォト沈降型組成物を基板上に塗布して塗膜を形成する工程と、得られた塗膜をパターン露光して無機粉末を凝集沈降させる工程と、現像する工程と、現像して得られたパターンを焼成する工程とを含むことを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】 高コントラスト且つ高明度な赤色着色膜を形成することを可能とする赤色着色組成物、その赤色着色組成物を用いて形成したカラーフィルタ、及びそのカラーフィルタを備える液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】 顔料、バインダー樹脂、モノマー、光重合開始剤、及び有機溶剤を含む赤色着色組成物であって、前記顔料は４０nm以下の平均1次粒径を有するとともに、少なくともジケトピロロピロール系顔料を含み、前記有機溶剤は、溶解度パラメーターが９．０（ｃａｌ/ｃｍ^３）^１/2未満である有機溶剤Ａと、溶解度パラメーターが９．０（ｃａｌ/ｃｍ^３）^１/2以上である有機溶剤Ｂを含むとともに、着色組成物中の有機溶剤Ａ及びＢの質量百分率をＷａ、Ｗｂとしたときの溶剤比率Ｒａｂ＝Ｗｂ／Ｗａが、０≦Ｒａｂ≦０．２５であることを特徴とする赤色着色組成物。 （もっと読む）

【課題】着色剤を高濃度に含有する場合であっても、着色剤の高分散性および高分散安定性に優れ、スリット塗布での適性があり、インクジェットノズル等への凝集異物の発生を抑制しうる着色組成物、および、硬化後の膜厚均一性に優れた硬化性着色組成物を提供することにある。
本発明の他の目的は、本発明の硬化性着色組成物を用いてなる高輝度および高コントラストなカラーフィルタ、及びそれを用いた液晶表示装置を提供することにある。
【解決手段】着色剤と、分散剤と、溶剤と、を含有し、かつテトラヒドロフルフリルアセテートを１〜５０質量％含有することを特徴とする着色組成物。 （もっと読む）

【課題】塗布後の外観に優れた感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、感光剤（Ｂ）と、特定構造の不飽和アルコールから選ばれる１種以上の化合物（Ｃ）と、溶剤（Ｄ）とを含んでいる。また、硬化膜は、上記感光性樹脂組成物の硬化物で構成されている。また、保護膜および絶縁膜は、上述の硬化膜で構成されている。さらに、化合物（Ｃ）の含有量は、前記アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して０．１〜５０重量部であり、前記溶剤（Ｄ）が、γ―ブチロラクトン（Ｄ１）である。 （もっと読む）

【課題】形成済みフォトレジスト層に直接塗布することができるコーティング組成物の提供。
【解決手段】フォトレジスト樹脂を含んでなる被膜上に直接被覆層を形成させるための、特定の有機意溶剤を含むコーティング組成物。フォトレジスト樹脂のハンセン溶解度パラメーターの分散項をσ_ｄ、極性項をσ_ｐ、水素結合項をσ_ｈとし、前記組成物に含まれる有機溶剤のハンセン溶解度パラメーターの分散項をσ^Ｓ_ｄ、極性項をσ^Ｓ_ｐ、水素結合項をσ^Ｓ_ｈとしたとき、
Ｒ＝［（σ_ｄ−σ^Ｓ_ｄ）^２＋（σ_ｐ−σ^Ｓ_ｐ）^２＋（σ_ｈ−σ^Ｓ_ｈ）^２］^１／２
により定義されるパラメーターＲが７．５以上である有機溶剤を、無機および有機溶剤の総重量を基準として９０重量％より多く用いる。 （もっと読む）

【課題】塗布に起因する面状劣化を抑制し、欠陥の少ない着色パターンを形成し得るカラーフィルタ用着色硬化性組成物、カラーフィルタ、その製造方法、及び液晶表示素子を提供する。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤、（Ｄ）溶剤、（Ｅ）バインダーポリマー、及び、（Ｆ）一般式（Ｉ）で表される構造単位と一般式（ＩＩ）で表される構造単位を共重合成分として含む界面活性剤を、０．０２〜１０質量％含有するカラーフィルタ用着色硬化性組成物。式中、Ｒ⁰¹は水素原子またはアルキル基を示し、Ｒ¹は単結合、又は、酸素原子、窒素原子及びイオウ原子から選択される原子を含む連結基を示す。ｎは１〜１０、ｍは２〜１４、ｌは０〜１０の整数を示し、ｐは０〜２０、ｑは０〜２０、ｒは０〜２０の整数を示し、ｐ，ｑ，ｒは同時に０となることはない。 （もっと読む）

【課題】塗膜を減圧乾燥したときの塗膜の表面欠陥や表面荒れを効果的に抑制することが可能な着色感光性樹脂組成物、その着色感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターンを有するカラーフィルター、及びそのカラーフィルターを有する液晶表示ディスプレイを提供する。
【解決手段】本発明に係る着色感光性樹脂組成物は、光重合性化合物（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、着色剤（Ｃ）、及び溶剤（Ｓ）を含有する。溶剤（Ｓ）は、大気圧における沸点が１７０℃未満である１種以上の低沸点溶剤（Ｌ）と、大気圧における沸点が１７０℃以上１８０℃未満である１種以上の第１の高沸点溶剤（Ｈ１）と、大気圧における沸点が１８０℃以上である１種以上の第２の高沸点溶剤（Ｈ２）とからなり、溶剤（Ｓ）中の前記第１の高沸点溶剤（Ｈ１）の割合は６０質量％以上である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、比較的高い塗膜強度と比較的低い比誘電率を有し、さらには表面平坦性や耐クラック性などに優れたシリカ系塗膜にパターニングを施す方法および該方法から得られるシリカ系塗膜に関する。
【解決手段】 パターニング特性を備えたシリカ系塗膜をパターニングする方法であって、（１）特定のシリカ系塗膜形成用塗布液を基板上に塗布する工程、（２）前記工程で基板上に形成された塗膜を乾燥する工程、（３）前記工程で乾燥された塗膜上にパターニング用マスクを載置する工程、（４）前記工程でマスキングされた塗膜上に紫外線を照射する工程、（５）前記工程で紫外線を照射された塗膜を加熱する工程、（６）前記工程で加熱された塗膜を現像液に浸漬する工程、および（７）前記工程で現像液に浸漬された塗膜を洗浄する工程を含むことを特徴とするシリカ系塗膜のパターニング方法および該方法から得られるシリカ系塗膜。 （もっと読む）

【課題】スピンコート法の実施条件を変更することにより、膜厚が大きく異なる樹脂膜を形成することが可能なポジ型感放射線性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】（Ａ）酸により解離して酸性官能基を生じる酸解離性官能基を有する構造単位を有する重合体、（Ｂ）感放射線性酸発生剤、および（Ｃ）２０℃、１気圧での飽和蒸気圧が３．０ｍｍＨｇ以下のエチレングリコール系有機溶媒を含む有機溶媒類を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】有機薄膜上での塗布時の濡れ性、ＵＶ−ｉ線での感光特性及び有機薄膜に対する接着性に優れ、低温硬化が可能である感光性ポリオルガノシロキサン組成物、これを用いたポリオルガノシロキサン硬化レリーフパターン及びその形成方法、並びに半導体装置及びその製造方法の提供。
【解決手段】（ａ）特定構造のシラノール化合物と特定構造のアルコキシシラン化合物とを、触媒の存在下で水添加を行うことなく重合させて得られるポリシロキサン１００質量部、（ｂ）光重合開始剤０．２〜２０質量部、（ｃ）非イオン性界面活性剤０．０１〜１０質量部、並びに（ｄ）アルコール性水酸基を有する化合物及びケトン化合物から選択される少なくとも１種の有機溶媒１０〜１５０質量部、を含む感光性ポリオルガノシロキサン組成物。 （もっと読む）

【課題】可視領域（４００ｎｍ〜７３０ｎｍ）での着色が抑制されたカラーフィルターを与える染料含有レジスト組成物を提供すること。
【解決手段】式［１］で表されるシクロヘキサジエン系オキシムスルホネート化合物からなる光酸発生剤を含む染料含有レジスト組成物。


（式中、Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^５、Ｒ^６及びＲ^７は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、ＣＮ、ＮＯ_２、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数１〜５のアルコキシ基等を表し、Ｒ^３は、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、ＣＮ基、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数１〜５のアルコキシ基等を表し、Ｒ^４は、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数１〜５のアルコキシ基、炭素数１〜５のハロアルキル基、炭素数１〜５のハロアルコキシ基、Ｗで置換されていてもよいフェニル基等を表し、Ｗは、ハロゲン原子、ＣＮ、炭素数１〜１０のアルキル基等を表し、ｎは、１、２、３又は４の整数を表す。） （もっと読む）

【課題】 層間絶縁膜として用いることのできるシリカ系被膜の形成が比較的容易であり、プロセスマージンに優れ、形成されるシリカ系被膜が解像性及び耐熱性に優れる感光性樹脂膜の形成方法及びそれを用いたシリカ系被膜の形成方法を提供すること。
【解決手段】 特定のシラン化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、上記シロキサン樹脂が溶解する溶媒と、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルとを含有する感光性樹脂組成物を、基板上に塗布し真空乾燥して感光性樹脂膜を形成する工程を備える感光性樹脂膜の形成方法。 （もっと読む）

【課題】乾燥しにくく、また、乾燥した際に容易に再溶解させることができる着色感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】着色剤、バインダー樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及び溶媒を含む着色感光性樹脂組成物であって、溶媒は、アルキル基の炭素数１〜４のジプロピレングリコールモノアルキルエーテル及びアルキル基の炭素数１〜４のジプロピレングリコールモノアルキルエーテルエステルからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶媒（Ａ）及び（Ａ）とは異なる溶媒（Ｂ）からなり、溶媒（Ａ）の含有量が全溶媒量に対して、５質量％以上４０質量％以下であり、溶媒（Ｂ）の含有量が全溶媒量に対して、６０質量％以上９５質量％以下である着色感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】含フッ素重合体を含有していてもアルカリ現像できる感光性組成物を提供すること。
【解決手段】式（Ｉ）で表される化合物を構成モノマーとする重合体（Ａ）、重合性化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）及び溶剤（Ｄ）を含有する感光性組成物（式（Ｉ）中、Ｒ¹〜Ｒ³は水素原子、フッ素原子又は脂肪族炭化水素基を示す。Ｒ⁴は単結合又はアルキレン基を示す。Ｒ⁵は単結合又は脂肪族炭化水素基を示す。Ｒ⁶は直鎖状アルキレン基を示す。Ｒ⁷は水素原子又は脂肪族炭化水素基を示す。但しＲ¹〜Ｒ⁷のいずれか一つは、フッ素原子又はフッ素原子で置換されている基である。）。
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【課題】最終的に得られるポリイミドの化学構造を問わず大きな溶解性コントラストを得られ、形状が良好なパターンを得ることができ、簡便に合成できて安価に入手可能な、高感度の感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記式（１）で表わされる繰り返し単位を有するポリイミド前駆体、及び、光塩基発生剤を含有する、感光性樹脂組成物である。
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【課題】高温における耐熱性に優れるだけでなく耐吸湿性にも優れており、Ｒ．Ｇ．Ｂ．カラーフィルター用カラーレジスト、ブラックマトリクス、カラムスペーサ、絶縁膜、オーバーコートの製造工程でパターン形成が容易なネガティブレジスト組成物を提供する。
【解決手段】下記化１で表されるバインダー樹脂、多価（メタ）アクリルモノマー、光開始剤及び有機溶媒を含むネガティブレジスト組成物。


化１において、Ａは炭素原子数が３〜１０であるエポキシ基で置換された（メタ）アクリル酸エステルモノマーから形成される反復単位、Ｂは特定のマレアミド酸系モノマーから形成される反復単位、Ｃはラジカル重合開始剤で重合が可能なモノマーから形成される反復単位であり、各反復単位の配列順序が任意のランダム共重合体であり、ｘ、ｙ、ｚは、各反復単位のモル比であって、ｘは０.０３〜０.６０、ｙは０.０２〜０.５０及びｚは０.０５〜０.７０である。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィーによるパターン加工に対応でき、高反射率の樹脂組成物が得られるペースト組成物を提供すること。
【解決手段】（Ａ）二酸化チタン粒子、酸化アルミニウム粒子、炭酸カルシウム粒子、炭酸バリウム粒子、硫酸カルシウム粒子あるいは硫酸バリウム粒子、（Ｂ）シクロヘキサン、シクロヘキセン、シクロヘキサジエン、またはフェニル基のいずれかで表される基を持ち、その環にＲ^１、及び−ＣＯ−Ｏ−Ｒ^２を持つ構造式の化合物、および（Ｃ）有機溶媒を含むペースト組成物。 （もっと読む）

【課題】液状態での保存安定性が高く、硬化後には圧縮強度及び圧縮変形からの変形回復性に優れた硬化物が得られる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）側鎖に、分岐及び／又は脂環構造、酸性基、並びにエチレン性不飽和結合を有する樹脂と、（Ｂ）重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）沸点１５０℃以上の親水性有機溶剤とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】基板との密着性に優れ、ウエハ上の塗布膜厚の均一性に優れ、かつ、残渣の発生が抑制された遮光性カラーフィルターを与える感光性樹脂組成物、前記感光性樹脂組成物により形成された遮光性カラーフィルター及びその製造方法、並びに、固体撮像素子を提供すること。
【解決手段】（Ａ）チタンブラック、（Ｂ）重合性化合物、（Ｃ）樹脂、（Ｄ）光重合開始剤、（Ｅ）有機溶剤、及び、（Ｆ）９個以上のフッ素原子を含むフルオロアルキル基を有するエチレン性不飽和化合物と、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物との共重合体、を少なくとも含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、これを用いて形成された遮光性カラーフィルター及びその製造方法、並びに、前記遮光性カラーフィルターを有する固体撮像素子。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プリント配線基板形成において、配線を形成するためのパターンサイズが微細化し、パターンのアスペクト比が増大しても、パターンの折れ曲がりなどが起こらず好適に用いることができる感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本発明のプリント配線基板用感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）特定のアルカリ可溶性共重合体、（Ｂ）少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、
（Ｃ）感放射線性ラジカル重合開始剤、および（Ｄ）１２０〜２７０℃の１種以上の溶媒から構成され、かつ各溶媒の沸点の加重平均値が１７０〜２７０℃である溶媒を含有することを特徴とする。 （もっと読む）