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Fターム[2H025CC03]の内容

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Fターム[2H025CC03]に分類される特許

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【課題】アルカリ水溶液で現像可能なポジ型感光性樹脂組成物において、感度及び解像度の更なる改善を図ること。
【解決手段】(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂、(B)光により酸を生成する化合物、(C)エラストマー、(D)フェノール性水酸基を有する低分子化合物、及び(E)溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】塗布ムラ、乾燥ムラ、乾燥付着物や突沸孔が発生しにくく基材面内の色度均一性に優れる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】マレイミド系共重合樹脂、光重合性モノマー、顔料、分散剤、光重合開始剤及び溶剤を含む感光性樹脂組成物であって、該溶剤が大気圧の沸点として100℃以上かつ165℃未満である溶剤A及び大気圧の沸点として165℃以上かつ200℃以下である溶剤Bからなることを特徴とする感光性樹脂組成物である。 (もっと読む)


【課題】半導体デバイスの製造において、コンタクトホールの解像において優れ
た感度を有するとともに、固形分を溶剤に溶かす時や経時保存時のパーティクル
の発生を防止でき、経時保存による感度の変動を防止できるポジ型フォトレジス
ト組成物を提供する。
【解決手段】活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、特定構造の
酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、及び特定の混
合溶剤を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物
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【課題】高感度で、パターンのエッジラフネスが改良されたポジ型感光性組成物を提供する。
【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、(C)分子内に少なくとも炭素数8以上の置換又は無置換の脂肪族炭化水素基を含有する塩基性化合物及び(C)成分の塩基性化合物以外の含窒素塩基性化合物を含有するポジ型感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】高感度で、パターンのエッジラフネスが改良されたポジ型感光性組成物を提供する。
【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、且つ下記一般式(IV)、下記一般式(AI)又は下記一般式(VI)で表されるラクトン構造を有する繰り返し単位を有する、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂及び(C)分子内に少なくとも炭素数8以上の置換又は無置換の脂肪族炭化水素基を含有する塩基性化合物を含有するポジ型感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】高感度で、現像性、保存安定性が良好であり、さらに耐熱性の高い硬化膜を形成できる感光性組成物、及び該硬化膜を含む表示素子を提供する。
【解決手段】N−置換マレイミドとカルボキシ含有ラジカル重合性モノマーとを含有するモノマーの混合物を重合して得られる共重合体(A)、N−置換マレイミドと熱架橋性官能基含有ラジカル重合性モノマーを含有するモノマーの混合物を重合して得られる共重合体(B)、光重合開始剤(C)、二つ以上のラジカル重合性二重結合を有するラジカル重合性化合物(D)を含有する感光性組成物、この組成物を用いて製造された硬化膜、カラーフィルター用保護膜及び表示素子を提供する。 (もっと読む)


【課題】IC等の半導体製造工程、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにその他のフォトファブリケーション工程などに使用される、高精度な微細パターンを安定的に形成する方法、該方法に用いられる樹脂組成物及び該方法に用いられる現像液を提供する。
【解決手段】(ア)活性光線又は放射線の照射により、ネガ型現像液に対する溶解度が減少する、レジスト組成物を塗布する工程、(イ)露光工程、及び(エ)ネガ型現像液を用いて現像する工程を含むパターン形成方法、該方法に用いられるレジスト組成物及び該方法に用いられる現像液及びリンス液。 (もっと読む)


【解決課題】 製造したレジスト組成物より得たレジスト膜の解像性能の安定化を可能とするレジスト組成物の製造方法、及びその製造方法により経時劣化のロット間差の小さなレジスト組成物を提供する。
【解決手段】 結合剤、酸発生剤、窒素含有塩基性物質及び溶剤を含有する化学増幅型レジスト組成物の製造方法であって、前記溶剤として、過酸化物含有量が許容値以下である溶剤を選択する工程と、前記選択された溶剤中でレジスト組成物構成用材料を混合する工程とを含んでなる化学増幅型レジスト組成物の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、電極形成用組成物とこれ用いて製造されたプラズマディスプレイパネル(PDP)に関する。
【解決手段】電極形成用組成物は、金属質粉末、フリット及び着色剤を52〜62:5〜7:3〜9質量比で含み、この電極形成用組成物を利用したPDPは、互いに対向配置される第1基板及び第2基板、第1基板と第2基板との間の空間で多数の放電セルを区画する隔壁、各放電セル内に形成された蛍光体層、第1基板上で各放電セルに対応し第1方向に沿って伸張するアドレス電極、及び第2基板上で各放電セルに対応し第1方向と交差する第2方向に沿って伸張した第1電極及び第2電極を含み、第1及び第2電極は、透明電極とバス電極の組み合わせからなり、バス電極は第2基板上で前記透明電極上を通過し着色して形成される着色ガラス層、着色ガラス層上で形成され電気伝導性の金属質層及び金属質層の周縁に沿って形成される絶縁ダミー層を含む。 (もっと読む)


【課題】小径の顔料を用いる場合でも分散安定性が良好であり、塗布膜の均一性に優れ、さらに、露光及び現像をしたときに残渣が極めて少ない平滑なパターンを得ることができる着色光重合性組成物、並びに着色光重合性組成物を用いたカラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】顔料、分散剤、溶剤、重合性化合物、及び光重合開始剤を含む着色光重合性組成物であって、前記溶剤として、沸点が100℃〜200℃である溶剤(A)と、沸点が150℃〜330℃であって、沖津法によるSP値が9.5(cal/cm1/2〜11(cal/cm1/2である溶剤(B)を含み、かつ、該着色光重合性組成物100質量部に対して前記溶剤(B)を5質量部以上含むことを特徴とする着色光重合性組成物。 (もっと読む)


【課題】ODF方式の液晶注入でも気泡なく、パネル化マージンを持ち、低温下にても気泡がなく、外圧でも表示不良を生じ難いフォトスペーサを形成する感光性樹脂組成物用のアルカリ現像型樹脂、フォトスペーサ用感光性樹脂組成物、液晶表示装置用基板を提供する。
【解決手段】1分子に1個以上のエポキシ基を持つエポキシ化合物と、1分子に2個のカルボン酸を持つジカルボン酸化合物との交互共重合体であって、前記ジカルボン酸化合物はジスルフィド基を持つジカルボン酸化合物である交互共重合体に酸無水物を付加させてなるアルカリ現像型樹脂。該アルカリ現像型樹脂を含有したフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】着色感光性樹脂組成物の塗布後の減圧乾燥時に黒色顔料の凝集を防止できる着色感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)光重合性化合物、(B)光重合開始剤、(C)黒色顔料、及び(S)溶剤を含有し、前記(C)黒色顔料が、固形分あたり40質量%より多い着色感光性樹脂組成物であって、前記(S)溶剤は、溶解パラメーターが8.7(cal/cm1/2以上であり、大気圧下における沸点が200℃以上250℃以下である少なくとも1種の(R)難揮発性溶剤を含有する着色感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】カラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタの作製に用いられる着色組成物の感度及び現像速度、粘度安定性の向上。
【解決手段】エチレン性不飽和二重結合を有する化合物(A)と、顔料(B)と、顔料分散剤(C)と、光重合開始剤(D)と、水の溶解度が7.0重量%を超える溶剤(S)を、全溶剤重量の25重量%以上含む溶剤(E)とを含有する着色組成物であって、該着色組成物の含水率が着色組成物の全重量を基準として0.3〜2.0重量%である着色組成物、および基板上に、前記着色組成物を用いて形成された着色画素を具備するカラーフィルタ。 (もっと読む)


【課題】 本発明の課題は、良好な感光性機能、電気絶縁材料としての基本特性を有する感光性樹脂組成物であって、更には、フレキシブルプリント配線板等の柔らかい基材の片面に塗工した時のプリント配線板の反りが小さい感光性樹脂組成物を提供することにある。
【解決手段】 少なくとも(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマー、(B)ジアミノ化合物、(C)感光性樹脂、及び、(D)オキシムエステル系光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物を用いることで上記問題点を改善することができる。 (もっと読む)


【課題】高感度に良好なパターンが得られ、経時劣化を抑えて経時後でも欠け等の画像欠陥の発生が防止された感光性組成物を提供する。
【解決手段】金属粒子及び金属を有する粒子の少なくとも1種と、沸点120℃以上の高沸点溶剤の少なくとも1種と、樹脂及びその前駆体の少なくとも1種と含み、前記高沸点溶剤の全溶剤量に対する含有割合を70%以上とする。 (もっと読む)


【課題】プリント配線板、パッケージ基板、モジュール基板に用いられるソルダーレジストとして必要な現像性、解像性、耐熱性、めっき耐性に優れ、且つ硬化収縮が少なく反りの無い基板を提供できるソルダーレジスト組成物、及びその硬化物を提供すること。
【解決手段】式(1)により算出される硬化後の架橋密度が2×10〜1.2×10mol/mであり、且つガラス転移温度が100℃以上であることを特徴とするソルダーレジスト組成物。
n=E’min/3ΦRT (1)
式中、nは架橋密度、E’minは貯蔵弾性率E’の最小値、Φはフロント係数≒1、Rは気体定数、TはE’minの絶対温度を表わす。 (もっと読む)


【課題】 本発明の課題は、良好な感光性機能、電気絶縁材料としての基本特性を有する感光性樹脂組成物であって、更には、フレキシブルプリント配線板等の柔らかい基材の片面に塗工した時のプリント配線板の反りが小さい感光性樹脂組成物を提供することにある。
【解決手段】 少なくとも(A)末端テトラカルボン酸シロキサンイミドオリゴマー、(B)ジアミノ化合物、(C)フォスファゼン化合物、(D)感光性樹脂、及び(E)光重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物を用いることで上記問題点を改善することができる。 (もっと読む)


【課題】充分な黒色度を有しつつ解像性にも優れる黒色フォトソルダーレジストを提供すること。
【解決手段】(A)カルボキシル基含有樹脂、(B)光重合開始剤、(C)希釈剤、(D)1分子中に少なくとも2個のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物、(E)黒色着色剤、(F)黒色着色剤以外の1種以上の着色剤を含有する黒色ソルダーレジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】粘度が安定でかつ濾過詰まりしにくいカラーフィルタ用赤色着色組成物、およびそれを用いたカラーフィルタの提供をする。
【解決手段】顔料、樹脂、モノマー、光重合開始剤および溶剤を含有するカラーフィルタ用赤色着色組成物であって、該顔料がC.I Pigment Red 48:1、48:2、48:3、48:4、48:5から選択される少なくとも1種の顔料を含み、該溶剤が溶剤の全量100重量部に対して70重量部以上のエステル系溶剤を含み、該樹脂が下記一般式(1)で表される化合物と他のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物とを共重合してなる共重合体樹脂Aを含む。
(もっと読む)


【課題】レジスト原液と溶剤を混合したレジスト液の濃度を正確に測定する。
【解決手段】レジスト濃度測定装置100にはレジスト原液タンク101、溶剤タンク102、及びマーカー材タンク103が設けられ、これらタンクから供給されるレジスト原液、溶剤、及びレジスト原液の濃度に対して所定の比率で添加されるマーカー材溶液が混合ブロック106で混合される。マーカー材は600nm〜900nmの波長の光に対して最大の吸光度を有しており、吸光度計108で600nm〜900nmの波長の光をレジスト液に照射することで、マーカー材のみの一定の吸光度を測定することができる。そしてマーカー材の濃度を演算することにより、レジスト液の濃度を正確に測定することができる。 (もっと読む)


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