スペクトル純度フィルタは、極端紫外線を反射するように構成される。スペクトル純度フィルタは、基板と、基板の上面上の反射防止コーティングとを含む。反射防止コーティングは、赤外放射を透過させるように構成される。また、スペクトル純度フィルタは、極端紫外線を反射し、かつ赤外放射を実質的に透過させるように構成された多層スタックを含む。 （もっと読む）

【課題】 実際の使用環境に近い条件で半導体レーザ装置の特性評価を行うことが可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】 光共振器を画定する２つの反射面を有する発振波長λ［ｎｍ］、実効屈折率ｎ₀のレーザ媒質の少なくとも１つの反射面上に、酸化シリコンからなる厚さｄ₁［ｎｍ］の第１の層が形成されている。第１の層の表面上に、屈折率ｎ_Siのシリコンからなる厚さｄ₂［ｎｍ］の第２の層が形成されている。第２の層の表面上に、酸化シリコンからなる厚さｄ₃［ｎｍ］の第３の層が形成されている。実効屈折率ｎ₀が３．１８以上３．２８以下であり、膜厚ｄ₁が、（０．１１−９．２×１０^-3Ｒ＋２．２×１０^-4Ｒ²）λ／１．４５±１５の範囲内であり、膜厚ｄ₂が、（−８．７×１０^-3＋３．５×１０^-3Ｒ−１．２×１０^-5Ｒ²）×（−３．６＋１７／ｎ_Si）λ±１５の範囲内であり、膜厚ｄ₃が、（０．２３−４．９×１０^-3Ｒ＋７．７×１０^-5Ｒ²）λ／１．４５±１５の範囲内であり、上式中のＲ［％］が１５以上３０以下である。 （もっと読む）

【課題】良好な視野角特性を有し、また、外光の反射による影響を低減して投射光のコントラストを改善することも可能なスクリーンを提供すること。
【解決手段】スクリーン１０では、スクリーンが設置されたときの水平方向について広く、かつバランスのとれた視野角特性を持たせるようにスクリーンの表面に微細な凹凸構造を形成させている。これにより、フレネル状に配列されたプリズム構造を有するスクリーンでありながらも、水平方向について適切な視野角で投射光ＰＬを拡散・反射させることができる。また、各プリズム２をフレネル状の配列即ち円弧状に並列した配列とすることで、上方からの外光ＯＬを反射させず、明るい部屋等での使用においても、コントラストの高い画像を形成することも可能となっている。 （もっと読む）

【課題】ミラーに振動を伝えることなくミラーを裏面側から効率的に変形及び／又は冷却できる装置を提供する。
【解決手段】ミラー装置は、ミラーＭ１の裏面に隔壁部３５ｄによって区分けされた複数の穴部３５ｃと、複数の穴部３５ｃの底面にそれぞれ固定された複数の薄膜圧電素子４１と、穴部３５ｃに差し込まれる複数の突部３６ａを有する放射温調板３６と、ミラーＭ１を変形させるために、その複数の薄膜圧電素子４１に加える電圧を個別に制御するミラー制御系４０とを備える。 （もっと読む）

リソグラフィ装置は、配向カーボンナノチューブシートを含む光学素子を含む。光学素子は、約２０〜５００ｎｍの範囲内の素子厚さを有し、かつ、約１〜２０ｎｍの範囲内の波長を有するＥＵＶ放射に対して、そのＥＵＶ放射による垂直照射下で少なくとも約２０％の透過を有する。配向カーボンナノチューブシートはそれ自体を光学素子として用いてよく、また、デブリを減少しおよび／またはＥＵＶ／不所望の放射の割合を改善するように設計されうる。シートは、強度があることによりサポートが必ずしも必要ではない。本発明の光学素子は支持されなくてもよい。 （もっと読む）

【課題】従来とは異なる方法により耐紫外線性が高くかつ高反射率の可視光ミラーを実現する。
【解決手段】可視光ミラー１０を基板１１とミラースタック層部１２と紫外線吸収層部１３とから構成する。ミラースタック層部１２は、上記基板１１上に形成され、紫外線の照射により可視光吸収の増大が誘起される誘電体材料の層を含んだ多層膜ミラーである。紫外線吸収層部１３は、上記ミラースタック層部１２上に被覆形成され、紫外線を吸収する誘電体材料の層を少なくとも１層含み、紫外線領域の所定の波長帯域における透過率が５０％以下である。 （もっと読む）

【課題】透過性の窓を有する光学ミラー素子を提供すること。
【解決手段】本願の一実施形態による光学ミラー素子は、第１の表面および第２の表面を有する光透過性の素子と、ミラー表面を定義する上記第１の表面上の反射コーティングであって、上記第１の表面の上記第１の部分は、上記第１の部分がミラー表面において光透過性の窓を定義することができるように、上記反射コーティング層を含んでいない、反射コーティング層とを備えている、光学ミラー素子である。 （もっと読む）

【課題】多層光反射光学体、特に、一定範囲の波長にわたって光を反射する多層光学体（例えば、ミラー、色鏡面フィルム、ＩＲ反射フィルムおよびＵＶ反射フィルム）を提供する。
【解決手段】各光学層が配向されている複数の第１の光学層と、各光学層がポリマー組成物を含み前記複数の第１の光学層と繰り返し順で配置された複数の第２の光学層と、第１または第２の光学層上に配置され、第１または第２の光学層の厚さの少なくとも１０倍の厚さを有する非光学層とを含む光学体。 （もっと読む）

【課題】光学部材の光学薄膜設計仕様を緩め、容易に光学薄膜製造が行える安価な光学部材と、これを有する光学系と光学装置を提供すること。
【解決手段】光学系内に配置される光学部材であって、前記光学部材は、可視光の分光特性に２〜４の極大値を有し、使用する光源の前記可視光の分光特性とＣＩＥ３刺激値ｘ、ｙ、ｚとの積のピーク波長λｘ、λｙ、λｚの少なくとも１つの波長の近傍に前記分光特性のピークを有することを特徴とする光学部材。 （もっと読む）

自動車バックミラーアセンブリのような画像維持反射器に使用するための異方性薄膜積層体及び関連の製作方法。薄膜は、光偏光層及び他の機能層のような異方性層を含むことができる。制御された含水量を有する薄膜は、基板に積層されるように薄膜のガラス転移温度範囲の下限値に実質的に等しいか又はそれよりも高い温度まで全方向圧力及び真空下で加熱される。積層体は、ミラー構造体の背後に位置決めされた光源によって生成されて視覚者の方向へミラー構造体を通じて伝達される光のコントラストを増大させるようにミラー構造体の一部として構成される。ミラー構造体は、いかなる広範な歪みも欠如しており、かつ３未満、より好ましくは２未満、最も好ましくは１未満のＳＷ値及びＬＷ値によって特徴付けられる。 （もっと読む）

本発明は、改善された極紫外線放射反射要素であって、ａ）高反射材料から本質的に作製される第１層と、ｂ）5nm以下の厚さを有し、且つ、10⁸ショット毎に10nm以下のスパッタ抵抗を有する材料から本質的に作製される、第２層と、を含み、前記第２層が入射及び／又は反射された極紫外線光の経路において設けられる、極紫外線放射反射要素に関する。 （もっと読む）

【課題】光線の入射角度の変化に起因する色差を抑えることができる光学部材と、これを有する光学系と光学装置を提供すること。
【解決手段】可視光の光線の入射角度が３０度以上で使用される光学部材であって、前記光学部材は、前記可視光の分光特性に２から４の極大値を有し、当該光学部材への光線の入射角度が変化したとき、使用する光源の前記可視光の分光特性とＣＩＥ３刺激値ｘ、ｙ、ｚとの積のピーク波長λｘ、λｙ、λｚ近傍における該光学部材の分光特性の変動幅が２０％以内に形成されていることを特徴とする光学部材。 （もっと読む）

【課題】小型、低コストでかつ安定性が高く、フェムト秒領域のCWモード同期を実現できる固体レーザ装置を得る。
【解決手段】固体レーザ媒質15と可飽和吸収ミラー16とをレーリ長の２倍以下の距離で近接配置する。その上で、可飽和吸収ミラー16の吸収変調深さΔＲを0.4％以上とし、パルス幅に対して所定の関係式で表される、共振器内を所定の波長の光が一往復した場合の共振器内全分散量の絶対値｜Ｄ｜（ただしＤ＜０）を、可飽和吸収ミラー16により基本周期のソリトンパルス以外の動作様式が抑制可能なパルス帯域内に設定し、出力ミラーとして、所定の波長の光18に対して、ミラー分散量が−1000fs²〜−100fs²であり、かつ、反射率が97％〜99.5％である負分散ミラー５を用いる。 （もっと読む）

【課題】本発明の露光装置は、ＥＵＶ光以外の他の光を取り除き、ＥＵＶ光のみをマスクに供給することができる。
【解決手段】ミラー５１０の表面には、Ｍｏ／Ｓｉの多層膜が設けられており、この多層膜にブレーズド溝５１３が形成される。ＥＵＶ光源装置１から入射する光２０３，３０１は、ミラー５１０に入射し、反射または回折する。ＥＵＶ反射光２０４（ＥＵＶ回折光を含む）と、他の波長の光３０２とは、反射角度または回折角度が異なるため、進行方向が異なる。アパーチャやダンパによって他の光３０２を除去することにより、純度の高いＥＵＶ光をマスク６００に照射することができる。 （もっと読む）

広帯域の入射光ビームを分割するためのプリズムシステムが開示される。一実施の形態においては、広帯域のビームがプリズムシステムに進入し、平行四辺形のプリズムによって側方にずらされる。次いで、ビームは、第１のダイクロイックコーティングで処理された表面に出会う。この表面から反射された光が、プリズムの内壁に衝突し、プリズム内で全反射させられる。このビームが、元の広帯域の入射ビームと平行にプリズムから出る。ダイクロイック表面を通過するビームは、第２のダイクロイックコーティングで処理された表面に達し、ここで光の所定の波長帯が反射させられる一方で、残りの波長は通過する。第２のダイクロイック表面によって反射させられたビームは、全反射を経て、広帯域の入射ビームに平行に出射する。第２のダイクロイック表面を通過する光ビームは、元の広帯域の入射ビームと平行にプリズムを出る。
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【課題】ＥＵＶリソグラフィ機器に適用するＥＵＶ放射とＤＵＶ放射の比を拡大する多層ミラーを提供すること。
【解決手段】スペクトル純度増強層を上部に含む多層ミラーが提供され、スペクトル純度増強層は、第１スペクトル純度増強層を含むが、多層ミラーと第１スペクトル純度増強層の間に、任意選択で、中間層、又は第２スペクトル純度増強層及び中間層を設けることもできる。したがって、多層ミラー／第１スペクトル純度増強層、多層ミラー／中間層／第１スペクトル純度増強層、及び多層ミラー／第２スペクトル純度増強層／中間層／第１スペクトル純度増強層の構成の多層ミラーが可能である。ＥＵＶ放射よりもＤＵＶ放射が比較的大きく減少するように、垂直入射放射のスペクトル純度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】直下型バックライトユニットに適用した際の正面での輝度を高くでき、しかも輝度を均一化できる反射シートおよびバックライトユニットを提供する。
【解決手段】本発明の反射シート１は、シート状の支持体１０と、支持体１０の片面に設けられた金属層２０とを有し、金属層２０の表面に、蛇行した波状の凹凸パターン２１が形成され、凹凸パターン２１の最頻ピッチが１．０μｍを超え２０μｍ以下、平均深さが最頻ピッチを１００％とした際の１０％以上である。 （もっと読む）

【課題】ビームスプリッタにおいて、入射光を透過或いは反射させるミラー膜をＡｕ等の金属膜で形成すると波長依存性及び偏光依存性が大きくなってしまう問題がある。
【解決手段】ビームスプリッタの対角面１１を基準としてその両側に対称となるように、入射光を反射させる成膜領域５と入射光を透過させる非成膜領域６を備えた第１のミラー膜１、及び前記第１のミラー膜１の反射光を反射させる第２のミラー膜２を配置し、前記第１のミラー膜１は光の入射角が２２．５°となるように配置する。 （もっと読む）

太陽エネルギーシステムにおいて太陽光を集光するための一体ガラス反射器を製造する方法を開示する。製造方法は、太陽エネルギーシステムの総システム費用において有意な費用節約を実現するために、大型一体ガラス反射器がフロートガラスから作られることを可能にする。製造方法は、ガラスの板が金型の形状に一致するようにたわみ、伸展するまで、凹面金型を覆って位置付けられるフロートガラスの板を加熱するステップを含む。皿型ガラスの縁は、周囲の構造補強のために巻かれる。次いで、皿型ガラスは、太陽放射を焦点に反射させる皿型鏡を作成するように、銀めっきされる。フロートガラスに接触する金型の表面は、好ましくは、複数の尖頭および凹面くぼみを備える、溝付きの表面外形を有する。この溝付きの外形は、接触面積および鏡面反射ガラス面の損傷を最小限化し、金型への寄生熱伝達を低減し、金型の寿命を増加させる。
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【課題】 応力緩和層や反射層の、面内の膜質の差に起因する応力分布を除去する。
【解決手段】 基板１０上に応力緩和層１２を介して反射層１１を積層する。応力緩和層１２は、反射層１１の内部応力を相殺するための、均一な膜厚分布をもつ応力緩和部１２ａと、膜厚分布を二次偶関数近似した応力分布除去部１２ｂを有する。応力は膜厚にほぼ比例するので、任意の膜厚分布を形成することで応力分布を制御することができるが、設計値による膜厚分布を変えることは光学特性の劣化につながる。そこで、応力分布を除去するための応力分布除去部１２ｂの膜厚分布を二次偶関数で近似することで、膜厚分布による収差を光学系の調整によって低減可能とする。 （もっと読む）