【課題】
瞳面における露光光ＥＬの強度分布を調整できる露光装置等を提供する。
【解決手段】
二次元面内に配置された複数の反射面を有する反射光学部材１６は、複数の反射面の間の少なくとも一部に設けられ、反射面に入射する入射光又は反射面によって反射される反射光の少なくとも一方の光量を調整する調整部材２２を備えている。
調整部材２２は、複数の反射面の間から出し入れ可能であり、反射面からの調整部材２２の突出量を個別に調整することで、照明光学系または投影光学系の瞳面、またはこの瞳面と共役な位置における露光光ＥＬの強度分布を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】低コストで製造できると共に、高い光学機能を実現し得る光学部品を提供する。
【解決手段】光学部品１は、第１の透光性部材１１と、第２の透光性部材１２と、光学的機能膜１３とを備えている。光学的機能膜１３は、第１の透光性部材１１と第２の透光性部材１２との間に設けられている。光学的機能膜１３は、第１の多層膜１３ａと、第２の多層膜１３ｂと、接着剤層１３ｃとを有する。第１の多層膜１３ａは、第１の透光性部材１１の上に形成されている。第２の多層膜１３ｂは、第２の透光性部材１２の上に形成されている。接着剤層１３ｃは、第１の多層膜１３ａと第２の多層膜１３ｂとを接着している。 （もっと読む）

特にＥＵＶリソグラフィ装置用の応力低減型反射光学素子を構成する軟Ｘ線及び極端紫外線波長域内の作業波長用の反射光学素子であり、前記反射光学素子は、基板（２）上に前記作業波長で屈折率の異なる実数部を有する少なくとも２つの交互材料（４１，４２）からなる第１の多層膜系（４）を備え、該多層膜系が前記基板（２）に層応力を及ぼし、前記基板（２）上に周期的に交互の少なくとも２つの材料（６１，６２）からなる第２の多層膜系（６）を備え、該多層膜系が前記第１の多層膜系（４）と前記基板（２）との間に配置され、前記基板（２）に反対方向の層応力を及ぼし、前記第２の多層膜系（６）の前記少なくとも２つの材料の第１の材料（６１）が、前記第２の多層膜系（６）の少なくとも１つの他の材料（６２）の１ｎｍまでの厚さの層によって、前記第１の材料（６１）がアモルファス状態で存在するような間隔で遮断されている。第２の実施例では、前記第２の多層膜系（６）の一つの材料はニッケル又はニッケル合金である。
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【課題】観察者の目の前方に配置するヘッドマウント式表示装置に関し、小型化を可能にする。
【解決手段】表示素子５５から発射されて結像素子５６を通った光が通る第１及び第２の焦点を有する第１の楕円体５１の一部として形成された第１の凹面鏡５３と、第２の焦点と共通の位置に配置される第３の焦点及び第４の焦点を有する第２の楕円体５２の一部として形成された第２の凹面鏡５４とを備え、表示素子から発射された光が第１の焦点の近傍に集光され、第１の焦点を通った光が第１の凹面鏡によって反射されて共通の第２及び第３の焦点に向かって進み、第２及び第３の焦点を通った光が第２の凹面鏡によって反射されて第４の焦点の近傍に集光され、観察者の目が第４の焦点の近傍に配置されるようにした。 （もっと読む）

【課題】バックライトを使用しないデフォルト状態で目視可能な意匠パターンを有するとともに、その意匠パターンがバックライトで浮かび上がる意匠パターンの目視の妨げにならないような光学構造体及び光学表示装置を提供すること。
【解決手段】光学フィルムの複数の薄膜層を第１の意匠パターンを中抜きしたマスク層２６ａ，２６ｂと、マスク層２６ａ，２６ｂの上層に配置され外光によって前記マスク層の第１の意匠パターンが透視できない程度の濃度となる吸収率を備えるとともにマスク層２６ａ，２６ｂの中抜き部分を通過してその背後から照射される照射光を透過させる所定の透過率を備えた遮蔽層２４と、遮蔽層２４の上層に配置され外光を反射させる所定の反射率を備えるとともに前記照射光を透過させる透過率を備えた第２の意匠パターンを中抜きした反射層２３とから構成し、反射層における透過率を反射率よりも大きく設定した。 （もっと読む）

【課題】モルフォ型構造色発色体を低コストで量産する。
【解決手段】原型基板１０の表面を研磨材で研磨する等して粗くし、フェムト秒レーザを照射しつつ走査して原型基板１０に微細構造を形成する。その後、電鋳処理して微細構造を金属基板１１に転写する。金属基板１１の表面を黒化処理し、その上に誘電体多層膜を積層することでモルフォ型構造色発光体を形成する。 （もっと読む）

【課題】機能的な光学コンポーネントを有するシリコン光学ベンチを提供する。
【解決手段】シリコン光学ベンチに光路となるトレンチ５０１−５０３を形成し、その間に機能的なコーテイング１２８が形成された光学コンポーネント１０１−１０３を配置する。光学コンポーネントは、アーム-取付部分および下部を含む光学路部、アーム-取付部分の第１の端部から伸びる第1のアーム１４１と、アーム-取付部分の第２の端部から伸びる第２のアーム１４２を含む。第1のアームは、少なくとも一つのレスティング特徴を有し、第２のアームは少なくとも一つのレスティング特徴を有する。光学路部は、入力表面を有する。第1のアームおよび第２のアームのレスティング特徴が、トレンチシステムのトレンチの短い端で頂部表面に配置されるときに、光学路部はトレンチに垂直に整列配置される。 （もっと読む）

【課題】基板がプラスチックで安定性の高い高反射率の裏面反射鏡を提供する。
【解決手段】本発明は、プラスチック基板に構成された裏面反射鏡であって、増反射ミラーコートがプラスチック基板の表面上に設けられ、前記増反射ミラーコートは、基板密着層と、増反射中間層と、反射層と、保護層とからなり、前記増反射中間層は、前記プラスチック基板の屈折率より高い屈折率をもち、波長が４２０nmから７５０nmにおいて、又は、波長が４００nmから７８０nmにおいて、０．３％以下の吸収性をもつ高屈折率層と、前記プラスチック基板の屈折率より低い屈折率をもつ低屈折率層とが交互に積層されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

フィルム構造体（３３０）は、超低屈折率の媒体（３３２、３３４）に浸漬され得る広帯域反射偏光フィルム（３１２）を備える。反射偏光フィルムは、通過軸及びブロック軸によって特徴付けられ、通過状態偏光の白色光に対するその反射率は、入射角の増加に伴って増加して、１つの平面内に圧縮された又は狭窄された視野円錐を提供する。一部の実施形態では、圧縮された視野円錐と関連する入射面は、通過軸と整列する。他の実施形態では、当該入射面はブロック軸と整列する。
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【課題】反射率の熱的安定性を向上させることができる反射型マスクブランクを提供すること。
【解決手段】基板と、当該基板上に形成されて露光光を反射する多層反射膜２と、当該多層反射膜上に形成されて露光光を吸収する吸収体膜とを有する反射型マスクブランクであって、上記多層反射膜は、シリコン層７とモリブデン層６とを交互に積層した材料から構成され、上記シリコン層７とモリブデン層６との間に、モリブデンと炭素を含む材料からなる拡散防止層８、例えば炭化モリブデン、炭化二モリブデンまたはそれらの窒化物からなる拡散防止層が形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】高い反射率を得ることが可能な多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】本発明の多層膜反射鏡は、Ｍｏを主成分とするＭｏ層とＳｉを主成分とするＳｉ層とからなるＭｏ-Ｓｉペア層を積層した多層膜反射鏡であって、Ｍｏ-Ｓｉペア層におけるＭｏ層の厚さとＳｉ層の厚さの和が略一定であり、入射光の進行方向からみて、入射光が最初に入射する第１層目のＭｏ層から離れたＭｏ層であるに従い、Ｍｏ層の厚さが増大することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】凹凸形状を有する光反射部やフォトスペーサなどの立体構造物をＴＦＴ基板の絶縁膜における所定位置に好適な形状で形成した表示装置を提供する。
【解決手段】本液晶表示装置には、無段階に光透過率が変化する半透明部を有するハーフトーンマスクを使用したフォトリソグラフィ処理により、良好な散乱反射特性を有する所定の曲面形状を有するマルチギャップ部１７０上に形成される反射電極１７や、表示部において目立ちにくい立体形状を有するフォトスペーサ５１、ステップカバレッジ性を向上させることができるテーパ面を有するコンタクトホール１６を層間絶縁膜１９に形成することができる。このことから液晶表示装置の表示品質を向上させることができる。 （もっと読む）

本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装置で使用するミラーであって、基板及び反射コーティングを備え、反射コーティング自体はさらに第１層群及び第２層群を備えるミラーに関する。この場合、第２層群は、基板と第１層群との間に配置される。さらに、第１層群及び第２層群の両方が、上下に配置された複数の交互の第１層及び第２層を備え、第１層は第１材料を含み、５ｎｍ〜３０ｎｍの範囲の波長を有する放射線に関する第１材料の屈折率は、第２層に含まれる第２材料の屈折率よりも高い。この場合、第１層群は、２１個以上の数の層を備えるよう構成されることで、５ｎｍ〜３０ｎｍの範囲の波長を有する放射線の照射時に第２層群に達する放射線が２０％未満となるようにし、第２層群は、ミラーの表面形態の補正のための層厚変動を有する。これにより達成されるのは、ミラーの表面形態の補正のための層厚変動を有する第２層群が、ミラーの反射率特性に大きな影響を及ぼさないことである。 （もっと読む）

【課題】誘電体多層膜でなる増反射膜を用いた液晶表示装置において、液晶に印可される
電圧が小さくなるといった問題（電圧損失の問題）を解決することを目的とする。
【解決手段】スイッチング素子に電気的に接続された金属膜上の誘電体多層膜の積層数を
２層（第１の誘電体膜１０５、第２の誘電体膜１０６）と少なくし、さらに、第１の誘電
体膜の膜厚１０５を第２の誘電体膜１０６の膜厚よりも薄くすることによって、電圧損失
の問題を解決する。 （もっと読む）

本発明は、感光材料の構造露光のためのマイクロリソグラフィ用投影露光装置のミラー（Ｍ）、及びミラー（Ｍ）を製造する方法に関する。本発明によるミラー（Ｍ）は、基板本体（Ｂ）と、第１鏡面（Ｓ）と、第２鏡面（Ｓ５）とを有する。第１鏡面（Ｓ）は、基板本体（Ｂ）の第１面（ＶＳ）に形成される。第２鏡面（Ｓ′）は、基板本体（Ｂ）の第２面（ＲＳ）に形成され、該第２面は、基板本体（Ｂ）の第１面とは異なる。本発明によるミラー（Ｍ）は、特に、基板本体（Ｂ）がガラスセラミック材料から製造されるよう具現され得る。 （もっと読む）

【課題】第一には所望の分光放射分布の波長領域の分光強度を他の領域へ影響を及ぼすことなく調整ができると共に、急峻な分光強度の変化特性にも対応できる光学機構を備えた光源装置を提供すること、更には光源ランプのスペクトル特性の器差や経年変化があってもそれを補正することができる光源装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の分光放射分布の調整が可能な光源装置は、所望の分光放射分布に光源装置からの出力光の分光放射分布を一致させる手段として光源と光学素子が組み合わされたものにおいて、単数または複数の特定波長帯域を透過または反射する斜入射多層膜ミラーを使用して光源からの該特定波長帯域を該斜入射多層膜ミラーの反射、透過により除去する手段と、これに新たに用意した光量が調整された光を前記斜入射多層膜ミラーで透過、反射により合波する手段を備え、前記特定波長帯域の光を適度に補うことにより光源装置の出力光の分光放射分布の調整を可能とした。 （もっと読む）

【課題】親水膜をコーティングした素子の表面に付着した水が該表面の下部に流れて該表面下部に溜まるのを防止する。
【解決手段】親水膜をコーティングした素子を保持する枠部材の下面にパイプを配置して、素子表面下部に溜まる水を吸い込んで排水する。親水膜をコーティングした素子を保持する枠部材の下縁部に孔を開けて、素子表面下部に溜まる水を吸い込んで排水する。親水膜をコーティングした素子の外周縁部下端面に対向してその下方に空隙を隔てて外枠を配置し、素子表面下部に溜まる水を引き込んで排水する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線領域において用いる光学素子において、入射角度に依存した反射率の低下を防止する。
【解決手段】基板１１にＭｏ層１２とＳｉ層１４の交互層からなる反射多層膜を有する光学素子において、Ｍｏ層１２とＳｉ層１４の層間に拡散防止層であるＢ_４Ｃ層１３を設ける。Ｘ線の入射角度が光学素子の面内で矢印Ａの方向に増大する場合に、拡散防止層であるＢ_４Ｃ層１３の膜厚に同じ方向の分布を持たせることにより、拡散防止効果を増大させて、Ｘ線の入射角度による反射率の低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】反射光の角度依存性を抑制し、コントラストを向上した投射画像の表示を可能とするプロジェクションシステムを提供する。
【解決手段】外光ＯＬの光源スペクトルにおけるピーク波長よりも低波長側に発光ピークを有する光源を備えたプロジェクターＰＪと、プロジェクターＰＪから射出される投射光Ｌを用いて投射画像を表示するスクリーン１Ａと、を備え、スクリーン１Ａは、投射光Ｌが投射される被投射面１ａに、特定の波長帯域の光を反射する選択反射層４を有し、特定の波長帯域は、プロジェクターＰＪの光源の発光ピークと重なるとともに、外光ＯＬの光源スペクトルにおけるピーク波長とは重ならない波長帯域に設定されており、 特定の波長帯域の幅は、スクリーン１Ａへの入射光の入射角度に応じて算出される特定の波長帯域の波長シフト量に基づいて設定されている。 （もっと読む）

本発明は、マイクロミラー構成体（１）であって、ミラー基板（２）に形成される反射面（１１）を有する少なくとも１つのマイクロミラー（３）と、反射面（１１）内でミラー基板（２）に形成される反射コーティング（８）とを備えるマイクロミラー構成体（１）に関する。反射コーティング（８）は、反射面（１１）内に形成され、少なくとも２つの層サブシステムを有し、第１層サブシステムは、非金属材料から構成される交互の光屈折率層及び低屈折率層の周期的配列から構成される層（８ｅ，８ｆ）を有し、マイクロミラー構成体の使用波長に関する反射率に関して最適化され、第２層サブシステムは、マイクロミラー構成体の測定波長に関する反射率に関して最適化され、上記測定波長は使用波長からずらしたものである。本発明は、コーティングを作製する方法であって、コーティングは反射コーティング（８）及び反射防止コーティング（７）を含む方法にも関する。この場合、反射防止コーティング（７）は、特に反射コーティング（８）の層応力を補償する役割を果たす。 （もっと読む）