【課題】特別な設備を必要とすることなく光源装置の反射鏡が曇るのを防止することが可能な、光学部材を提供すること。
【解決手段】支持部１６ａと、前記支持部に支持され、所望の波長の光１４ｂ（例えば、紫外線光から可視光線）を反射させる反射部１６ｂと、前記支持部と前記反射部との間に支持され、前記反射部を透過した熱線を吸収し、前記反射部を加熱する熱線吸収部１６ｂ'と、前記支持部と前記熱線吸収部との間に支持され、前記熱線吸収部からの熱を前記支持部の表面方向に均一化する熱伝導部１６ｃとを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】特別な設備を必要とすることなく光源装置の反射鏡が曇るのを防止することが可能な、光学部材を提供すること。
【解決手段】支持部（透明ガラス１６ａ）と、支持部に支持され、所望の波長の光１４ｂ（例えば、紫外線光から可視光線）を反射させる反射部１６ｂと、支持部に支持され、少なくとも前記所望の波長以外の光（例えば、赤外線光）を吸収し発熱して反射部を加熱する熱線吸収部１６ｃとを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】特別な設備を必要とすることなく光源装置の反射鏡が曇るのを防止することが可能な、光学部材を提供すること。
【解決手段】支持部（透明ガラス１６ａ）と、支持部に支持され、所望の波長の光１４ｂ（例えば、紫外線光から可視光線）を反射させる反射部１６ｂと、前記支持部と前記反射部との間に支持され、前記反射部を透過した熱線を吸収し、前記反射部を加熱する熱線吸収部１６ｂ'と、
前記支持部の前記反射部及び前記熱線吸収部が設けられた面と対向する面に設けられ、前記反射部及び前記熱線吸収部を透過した熱線を前記熱線吸収部に向けて反射する熱線反射部１６ｃとを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】発光表示装置を組み込んだバックミラーにおいて、ミラー素子の背後に暗色マスク部材を配置する場合に光の干渉が発生するのを防止する。
【解決手段】透明基板１６の片面に半透過反射膜１８を形成してミラー素子１４を構成する。ミラー素子１４の裏面に暗色マスク部材２０を配置する。暗色マスク部材２０に開口部２０ａを形成する。ミラー素子１４の背後に、発光表示装置２２を開口部２０ａに臨ませて配置する。暗色マスク部材２０の前面２０ｂの周縁部全周にスペーサを構成する凸部２０ｃを構成する。スペーサ２０ｃにより半透過反射膜１８と暗色マスク部材２０の間に空隙１９が形成される。 （もっと読む）

【課題】 可変形状鏡を精度良く駆動すること。
【解決手段】 可変形状鏡駆動装置は、反射面２４が形成された変形部２２と、上記変形部２２を固定する電極基板１１と、上記変形部２２と上記電極基板１１にそれぞれ対向して設けられた第１の電極２３と第２の電極１４と、を備える可変形状鏡１０の上記変形部２２を変形させるべく駆動力を発生する増幅器２９と、上記第１の電極２３と第２の電極１４間の静電容量と直列に接続される結合容量３１と、上記第１の電極２３と第２の電極１４間の静電容量と上記結合容量３１との合成容量を検出し、容量値と上記変形部２２の変形量との関係を基に、上記合成容量に対応する上記変形部２２の変形量を示す変位信号を出力する容量検出器３２と、目標変形量信号と上記容量検出器３２の出力とが一致するように、上記増幅器２９で発生する駆動力を決定する比較器３３及び積分器３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 可変形状鏡を精度良く駆動すること。
【解決手段】 可変形状鏡システムは、反射面２４が形成された変形部２２と、上記変形部２２を固定する電極基板１１と、上記変形部２２と上記電極基板１１にそれぞれ対向して設けられた第１の電極２３と第２の電極１４と、を備える可変形状鏡１０と、該可変形状鏡１０を駆動する可変形状鏡駆動装置２８とからなる。可変形状鏡駆動装置２８は、上記変形部２２を変形させるべく駆動力を発生する増幅器２９と、上記第１の電極２３と第２の電極１４間の静電容量を検出する容量検出器３０と、静電容量と上記変形部２２の変位との関係を基に、目標変形量信号を目標容量信号に変換する補正器３２と、上記補正器３２の出力と上記容量検出器３０の出力とが一致するように、上記増幅器２９で発生する駆動力を決定する比較器３８及び積分器３９とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳ光学台において自由空間を介した光のルーティングを正確に制御する。
【解決手段】 光学台（１０２）は、台に形成された複数の溝の自由空間を介して光を伝達し、各溝は深掘りイオン反応性エッチングにより形成されて２つの対向する側壁により定義され、対向する側壁間に自由空間が存在する。例示的な実施例は、光ビームを受け取り、自身の自由空間を介して光ビームを伝達するように動作可能な第１の溝（１０４）と、第１の溝を介してルーティングされた光ビームを受け取り、光ビームの少なくとも一部を反射するように動作可能な角度のついた反射側壁（１０８）と、角度のついた反射側壁（１０８）から反射された光ビームの一部を受け取り、自身の自由空間を介して光ビームの一部をルーティングするように動作可能である第２の溝（１０６）とを具備する。 （もっと読む）

光学素子（５）を製造する方法であって、光学シート（１）を準備するステップ（１００）と、光学シート（１）上に反射層（４）をコーティングするステップ（１０３）と、第１のセットのトラック（３）を形成するステップ（１０２）とを含み、上記各トラックは第１の幅を有し、上記トラック（３）は上記光学シート（１）を複数の光学素子（５）に分割するように光学シート（１）を横切っている。 （もっと読む）

所望の電力タップ比を有する非偏光薄膜ビームスプリッタを形成する方法。本方法は、基板上に基本屈折率を有する基層を形成する工程と、基層上に、相対的に高い屈折率及び低い屈折率をそれぞれ有する複数の交互層を配置する工程とを含む。高屈折率層及び低屈折率層のそれぞれの厚みは、光ビームの偏光を実質的に無くすように選択される。本方法は、基板の選択されたエリアを除去する工程であって、基層及び複数の交互層の両方から構成される光路を形成する、除去する工程をさらに含み、その光路は光ビーム内の光のうちの選択された量を透過及び反射するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 可視及び紫外域で吸収のないＭｇＦ_２，ＬａＦ_３，ＹＦ_３，ＡｌＦ_３等のフッ化物薄膜や、Ａｌ_２Ｏ_３，ＳｉＯ_２，Ｔａ_２Ｏ_５，ＴｉＯ_２等の酸化物をスパッタリングにより、高速に安定して形成することを目的とする。
【解決手段】 一端が開口した、コンダクタンスが制御された可動ターゲットユニット内部にＡｒ，Ｘｅ，Ｋｒ等の不活性ガス供給孔を設け、該ターゲットと基板間に少なくともフッ素もしくは酸素を含む反応性ガスを供給可能な反応性スパッタリング装置において、
該反応性ガスが基板方向に噴出する構成とする。噴出する位置はターゲット−基板に挟まれる空間であって基板表面の反応性ガス濃度をより高く維持できるようにする。
また、ターゲットが移動する際にはガス噴出し口もともに移動もしくは噴出し位置が可変できる構成とする。これによって基板表面の反応性ガス濃度を効率よく一定に保つことができ、高品質な光学薄膜を形成できる。 （もっと読む）

【課題】アシスト法を用いて成膜される高屈折率層のプラズマによる低屈折率層へのエッチングを阻止して、光学特性の劣化を防止した光学薄膜の形成方法、およびその光学薄膜を備えた光学素子を提供する。
【解決手段】光学基材上に、ＭｇＦ₂より成る低屈折率層とＮｂ₂Ｏ₅より成る高屈折率層との間に、真空蒸着法を用いて形成された酸化物質のＡｌ₂Ｏ₃層を有するＮｂ₂Ｏ₅／ＭｇＦ₂／Ａｌ₂Ｏ₃構造の誘電体多層膜は、Ａｌ₂Ｏ₃層がイオンアシスト法を用いて成膜されるＮｂ₂Ｏ₅層のプラズマによるＭｇＦ₂層へのエッチングを阻止するバリヤ層として機能する。そして、この誘電体多層膜が形成された光学素子は、例えば、光ピックアップの波長４０５ｎｍの青色半導体レーザに対応した偏光ビームスプリッタとして用いられる。 （もっと読む）

【課題】最小の消費電力及びエネルギーコストで最高の照明効率を提供するとともに、反射光の最高出力を提供することにより照明設備の使用寿命を延長させ、照明空間の温室効果のレベルを減少させる。
【解決手段】光反射構造を有する照明器具20に係り、光ビームを外へ照射させる少なくとも一の開放式収容スペース31を有するケーシング30と、それぞれランプ60を前記ケーシング30に接続し、前記収容スペース31の長さ方向の両端側に対称的に設置される、対になっている複数のソケット40と、光反射用の複合鏡面膜を貼付した曲面を有し、前記収容スペース31に位置し、前記収容スペース31の表面の少なくとも一部を実質的に覆う反射部材50と、を備え、反射の法則に基づき、前記反射部材50に反射された一次反射光の透過量をランプ60の裸火の透過量の９０％以上の程度にまで最適化するように、前記反射部材50の前記曲面の輪郭が決定される。 （もっと読む）

本発明は、基板（２ａ，２ｂ）と、基板（２ａ，２ｂ）上に重ね合わされたアルミニウムからなる紫外線に対して不透過性の反射性アルミニウム層（３ａ，３ｂ）とを備え、２５０ｎｍ未満、好ましくは１９３ｎｍの作動波長で紫外線を反射するための光学素子（１ａ，１ｂ）に関する。反射性アルミニウム層（３ａ，３ｂ）は（１１１）平面配向であり、反射性光学素子（１ａ，１ｂ）は、作動波長で少なくとも１０°、好ましくは１５°の入射角範囲で８５％を超える、好ましくは８８％を超える、より好ましくは９２％を超える反射率を有する。本発明は、アルミニウムよりも高い融点を有する材料からなる反射層を有する光学素子、このような光学素子を作製する方法およびこのような光学素子を備える光学装置に関する。
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【課題】軟Ｘ線多層膜光学素子に十分な耐久性を持たせ、かつ反射特性を向上させること。
【解決手段】軟Ｘ線多層膜ミラー１００の製造方法は、Ｓｉ層２とＭｏ層３とからなる多層膜４と、この多層膜の最表層３ｅに重ねて設けられた保護膜用Ｓｉ層５とＣ層６とからなる保護膜７とを備えた、軟Ｘ線を反射する軟Ｘ線多層膜ミラー１００の製造するものであり、多層膜４をＡｒガスによるスパッタリングによって形成した後、多層膜４に保護膜７を形成し、保護膜７にＸｅ８を含有させて、軟Ｘ線多層膜ミラー１００を製造する。 （もっと読む）

【課題】複数の光路をミラーを用いて変換する多チャンネル光路変換素子において、低損失で信頼性の高い光路変換素子及び簡便な製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】垂直導波路と水平導波路の交差部に両導波路と略４５度の角度をなすＶ溝斜面を形成し、Ｖ溝の斜面間の角度と略一致する稜の角度を有する棒状体に反射膜を形成し、Ｖ溝斜面の導波路コア端部に反射膜が接するように貼り付け、ミラーとする光路変換素子の作製において、Ｖ溝を８μｍ以上２０μｍ以下の平均粒径を有するダイヤモンドブレードにより形成し、表面粗さＲａが１０ｎｍ以下の棒状体の面に反射膜を形成し、Ｖ溝先端部に対応する棒状体の稜をＶ溝先端の曲面部の量以上に面取し、Ｖ溝に接着剤で接着固定した光路変換素子の作製方法および、同作製方法で作製された多チャンネル光路変換素子。 （もっと読む）

結像光学系、結像光学系を含む投影露光装置、投影露光装置を用いた微細構造構成要素の生成の方法、及び本方法によって生成される微細構造構成要素を提供する。結像光学系（７）は、複数のミラー（Ｍ１からＭ６）を有する。これらのミラーは、物体平面（５）の物体視野（４）を像平面（９）の像視野（８）内に結像する。結像光学系（７）では、ミラー（Ｍ１からＭ６）の反射面上の結像光（１５）の最大入射角と結像光学系（７）の像側開口数との比率は、３３．８°よりも小さい。これは、ミラーの反射コーティングに対して良好な条件を提供し、それによって特に１０ｎｍよりも短いＥＵＶ範囲の波長の結像光に対してさえも結像光学系を通過する際の低い反射損失を達成することができる結像光学系をもたらす。 （もっと読む）

【課題】色成分光の色純度を十分に高めることを可能とする光学素子及び投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】ダイクロイックミラー３１は、入射光の一部分を透過して入射光の他部分を反射するミラー面３１ａを有する。ダイクロイックミラー３１には、所望透過光の波長帯と所望反射光の波長帯との境界波長である目標カットオフ波長が定められている。ミラー面３１ａは、複数の傾斜領域によって構成されている。複数の傾斜領域のそれぞれは、基準入射角を有する光の透過又は反射を分けるカットオフ波長基準値が目標カットオフ波長となる位置である基準位置を有している。複数の傾斜領域のそれぞれにおいて、基準位置からの距離に応じて、カットオフ波長基準値が目標カットオフ波長よりも短波長側又は長波長側に設定されている。 （もっと読む）

【課題】大きな負群速度分散を生じさせることができ、かつ固体レーザ装置の出力ミラーとして利用可能な負分散ミラーを実現する。
【解決手段】基板６上に誘電体多層膜構造７を有するミラー５として、多層膜構造が、それぞれ複数の層が積層されてなる３つ以上のミラー機能層部ＭＬ₁，ＭＬ₂,…および該ミラー機能層部間に挟まれて配されて該ミラー機能層部間で所定の波長の光Ｌの共振を生じさせるキャビティ層Ｃ₁,Ｃ₂,…から構成され、所定の波長の光Ｌに対して、分散量を−600fs²〜−3000fs²とし、かつ、反射率を97％〜99.5％とする。 （もっと読む）

【課題】迷光の発生をより確実に防止できるライトトンネルを実現する。
【解決手段】複数のガラス板１２によって、光が入射する入射開口と、入射開口から入射した光が反射を繰り返しながら進行する内部空間と、内部空間を進行した光が出射される出射開口１１とが形成されたライトトンネル１０であって、ガラス板１２の出射開口の周囲の出射側端面１３に遮光性を有する光学薄膜１４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】大きな負群速度分散を生じさせることができ、かつ固体レーザ装置の出力ミラーとして利用可能な負分散ミラーを実現する。
【解決手段】基板６上に誘電体多層膜構造７を有するミラーとして、所定の波長の光Lに対して、分散量を−100fsec²〜−1000fsec²とし、かつ、反射率が97％〜99.5％とし、多層膜構造７が、相対的に高い屈折率を有する層および相対的に低い屈折率を有する層が交互に積層されてなり、所定の波長の中心波長をλとしたとき、各層の光学膜厚がλ／８〜λ／２の範囲でランダムに変化しているものとする。 （もっと読む）