【課題】寄生電荷量の蓄積に起因する変形量の変化が発生せず、安定に駆動させることができる可変形状鏡システムを提供すること。
【解決手段】第１の電極５が形成された変形部３ａと、第１の電極５と予め定められた間隔をあけて対向して配置され、第１の電極５の対向する側に第２の電極６が形成された固定部と、第１の電極５と第２の電極６間に形成された誘電体膜７と、で構成される可変形状鏡と、変形部を変形させるべく駆動電圧指示信号を増幅して、第１の電極５及び第２の電極６間に駆動電圧の電位差として与える増幅部２２と、誘電体膜に蓄積された寄生電荷量を推測し、電荷推測値を出力する寄生電荷量推測部２４と、電荷推測値に基づき、駆動電圧指示信号を変化させて、増幅部の出力電圧を補正する補正部２１と、を具備する可変形状鏡システムである。 （もっと読む）

【課題】変形部の変形量を変えることなく、共振を励起しない安定した動作が可能となる可変形状鏡システムを提供すること。
【解決手段】可変形状鏡システムは、変形部１５ａにおける最大変形量又は最小変形量、周波数の情報を受け、目標形状生成テーブル２２からの情報に基づき目標変形量情報を生成し、変換テーブル２４からの情報に基づき、目標変形量から変形部１５ａの共振周波数を含む高周波成分が低減された波形の駆動電圧指示信号を生成し、この駆動電圧指示信号に基づく駆動信号は、可変形状鏡１の第２の電極１２へ印加され、第１の電極１４と第２の電極１２の間に静電力が発生し、第１の電極１４と変形部１５ａが変形する。 （もっと読む）

本特許出願の発明者らは、新規な光学活性材料、方法、及び物品を開発した。本特許出願の一実施形態は、光学活性物品であり、その赤外線反射材料は、光学活性基材を赤外線源が照射したときに赤外線センサーによって読取ることが可能なパターンを形成するように光学活性基材に隣接して位置づけられた赤外線反射材料を備える。
本特許出願の別の実施形態は、光学活性物品の製造方法に関し、光学活性シートを得る工程と、光学活性シート上に赤外線反射材料を位置づけてパターンを形成する工程と、を含む。この光学活性物品は、例えばライセンスプレートであってもよい。
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【課題】高いコントラストが得られ、良好な視野角特性により均一な画像を得ることを可能とするスクリーン、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】基材シート１と、基材シート１上に設けられ、特定の波長領域の光を反射させ、特定の波長領域以外の波長領域の光を透過させる波長選択性を持たせた波長選択層２と、を有し、波長選択層２は、波長選択性を持たせた微小片１１を分散させて構成され、特定の波長領域が、互いに異なる少なくとも二つの波長領域である。 （もっと読む）

【課題】反射光学素子において、入射角に依存した反射率のバラツキを低減する。
【解決手段】軟Ｘ線斜入射反射ミラー３は、凹状の基板１に成膜されたＭｏ層２からなる反射膜を有する。Ｍｏ層２の成膜工程で、スパッタ原子の入射角を変化させる等の方法で、面内方向に膜密度の分布を持たせることにより、入射光１０ａの入射角に応じて反射率を調整する。多層構成の反射膜の場合は、角層の膜密度を調整することで、交互膜の屈折率差に面内方向の分布を持たせる。 （もっと読む）

【課題】反射率が高く、冷却水中においても長期間使用できる燃料集合体の外観検査装置用反射鏡およびこのような反射鏡を備えた燃料集合体の外観検査装置を提供する。
【解決手段】基板の少なくとも一方の面に誘電体多層膜からなる反射膜が形成されている燃料集合体の外観検査装置用反射鏡。前記基板が、ガラス製の透明基板である燃料集合体の外観検査装置用反射鏡。前記燃料集合体の外観検査装置用反射鏡を備えている燃料集合体の外観検査装置。 （もっと読む）

反射性フィルムは拡張された波長帯域にて光を反射するために光学的反復単位で配置されたマイクロ層を含み、光学的反復単位の薄いもの及び厚いものはそれぞれ、概してフィルムの薄い側及び厚い側に向けて配される。マイクロ層は、第１面にて入射するｐ偏光に関し、垂直入射における初期値から、斜角θの入射におけるＲ１まで、少なくとも半減する反射率をフィルムに提供するように調整される。フィルムは、斜角θにおけるＲ２の第２面にて入射するｐ偏光に関して、Ｒ１よりもＲ２は大きい。偏光子は反射性フィルムと組み合わされ、この組み合わせ体は斜めの透過ローブを画定し、反射性フィルムの厚い側及び薄い側は、透過ローブの方位幅Δφを低減するように、偏光子に対して方向付けられる。
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フィルムは、光学的反復単位で配置されたマイクロ層を含む。隣接するマイクロ層は、フィルムが拡張された波長帯域にて垂直入射光に関し、あらゆる偏光に関して、少なくとも７５％の反射率を有するように、ミラー様軸上特性を提供するように調整された面内屈折率不整合Δｎｘ、Δｎｙを有する。隣接するマイクロ層はまた、斜角θの第１入射面にてフィルムに入射する拡張された波長帯域にて、ｐ偏光に関して、低減した反射率Ｒ１及び増加した透過率をフィルムに提供する、屈折率不整合Δｎｚを有し、Ｒ１は軸上反射率の最小値の半分以下である。更に、Δｎｘ及びΔｎｙは、第１面と垂直な第２入射面にてフィルム上に入射する光に関し、フィルムは、ｐ偏光であり、任意の角度で入射するそのような光に関して少なくとも７５％の反射率Ｒ２を有するように、十分異なる。
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本発明は、可視域から近紫外域にかけてまで（すなわち、２２０ｎｍの波長まで）であるスペクトル領域において、高い屈折率並びに良好な光学特性（すなわち、低い吸収と散乱）及び低い内部応力を有する光学コーティング（３，３'）に関する。本発明によるコーティング（３，３'）は、１ａｔ％〜１０ａｔ％、殊に１．５ａｔ％〜３ａｔ％のケイ素割合（ｙ）を含有する、ハフニウム又はジルコニウムを含むＨｆ_xＳｉ_yＯ_zもしくはＺｒ_xＳｉ_yＯ_zから成る。
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【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結して可動部２０の回転変位の軸心Ａ２を規定する連結部４２，４３が形成されている基板Ｓ１と、基材Ｓ２と、基板Ｓ１のフレーム３０および基材Ｓ２の間に介在してこれらに接合するスペーサ部、並びに、当該スペーサ部を覆ってフレームおよび支持基材に接合する接着剤部、を有する少なくとも一つの強固定部７０Ｃ，７０Ｄとを備える。フレーム３０は、軸心Ａ２の延び方向において可動部２０と対向する第１領域部３０Ａおよび第１領域部３０Ａ外の第２領域部３０Ｂを有する。強固定部７０Ｃ，７０Ｄは、フレーム３０における第２領域部３０Ｂに対して接合している。 （もっと読む）

【課題】多数の凹状の部分をスクリーン前面に有しながらも、斜め投射される投射光を遮ることなく適切な状態で反射することのできるスクリーン及びスクリーンの製造方法を提供すること。
【解決手段】
本スクリーン１０のためのスクリーン基板１の作製において、境界部分ＴＰに対応する部分を形成するための高さ調整工程を含んでいる。これにより、スクリーン１０は、前面１０ａの必要箇所に応じて境界部分ＴＰを有することになり、各立体部２ａ間の境界付近が投影画像の影となることを抑制できる。 （もっと読む）

開示されるのは、光学的に変化する対セキュリティ要素であり、この光学的に変化する対セキュリティ要素は、光学的に変化する箔の形で、または光学的に変化する干渉顔料を含むインクで作られた印刷物の形で、第１および第２の光学的に変化する薄膜多層干渉デバイスを備え、第１および第２の干渉デバイスは、所定の入射角においてスペクトルマッチングを示す。また、光学的に変化する対セキュリティ要素を製造するための、光学的に変化するデバイスのセットおよび光学的に変化する顔料を含むコーティング組成物のセットや、書類および商品の保護へのセキュリティ要素の使用、そしてセキュリティ要素を担持する保護対象書類および商品についても開示される。 （もっと読む）

視野ファセットミラーは、ＥＵＶマイクロリソグラフィのための投影露光装置の照明光学系における使用において、物体視野に配置された物体の構造を像視野へと伝達するように機能する。視野ファセットミラー（６）は、反射面（２２）を有する複数の視野ファセット（１８_x）を有する。互いに隣接する視野ファセット（１８_x）の装置は、基部平面（ｘｙ）を張っている。視野ファセット（１８ｘ）のうちの少なくとも２つの反射面（２２）の基部平面（ｘ，ｙ）上への投影は、サイズ、形状、向きというパラメータのうちの少なくとも１つに関して異なる。均一な物体視野照明と同時の高いＥＵＶ収量の保証が高い要件を満たす視野ファセットミラーがもたらされる。 （もっと読む）

【課題】二次元フォトニック結晶との光結合効率が高く、二次元フォトニック結晶のスーパープリズム効果により広い偏光角度で入射光を偏向することができる光偏向素子及び光偏光方法を提供する。
【解決手段】上部反射ミラー１８と下部反射ミラー２０とは、反射面が互いに対向するように離間配置されている。二次元フォトニック結晶１４は、二次元周期構造を有する板状体であり、上部反射ミラー１８と下部反射ミラー２０との間に挿入され、下部反射ミラー２０と略平行に配置されている。所定波長の入射光Ｌ_inを下部反射ミラー２０に対して垂直に近い角度で入射させると、入射光Ｌ_inは上部反射ミラー１８と下部反射ミラー２０との間で繰り返し反射され、二次元フォトニック結晶１４を複数回通過する。これにより光偏光素子全体として見たときに、光波の伝搬方向が大幅に変換され、回折光Ｌ_difが入射光Ｌ_inが入射した方向とは異なる方向に射出される。 （もっと読む）

【課題】光利用率を向上できる反射鏡13を提供する。
【解決手段】中心軸を中心として一端側から他端側へ向かって拡径する回転体状の反射鏡本体31を設ける。反射鏡本体31の内面に反射面35を設ける。反射面35の円周方向において、複数に分割された平面状のファセット51を形成するとともに、隣り合うファセット51の間にこれらファセット51に連続する曲面状反射面部52を形成する。反射面35からエッジをなくし、ファセット51に加えて曲面状反射面部52によっても光を制御し、光利用率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】ポリマー中に金属微粒子が基板と平行方向に一定間隔で層状に配列された、金属粒子配列膜の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】反射基板上に、金属成分と、添加剤として窒素含有化合物とを含むポリマー膜を製膜する工程（Ａ）と、前記ポリマー膜に、特定の波長の光を照射する工程（Ｂ）とを有することを特徴とする金属微粒子配列膜の製造方法。 （もっと読む）

作動波長域を軟Ｘ線領域又は極紫外線領域とする、特にＥＵＶリソグラフィにおいての使用のための応力軽減型反射光学素子を製造するために、基材と作動波長域においての高反射率のために最適化された多層系との間に応力軽減型多層系を４０ｅＶ以上の、好適には９０ｅＶ以上の、エネルギーを有する層形成粒子によって蒸着することが提案される。得られる反射光学素子はその低い界面粗さ、応力軽減型多層系における周期数の少なさ及び応力軽減型多層系におけるΓ値の高さにより特徴付けられる。
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【課題】 本発明は、光に曝された場合にあっても光線全反射率の低下が殆どなく且つ長期間に亘って優れた光線全反射率を維持する光反射板を提供する。
【解決手段】 本発明の光反射板は、ポリオレフィン系樹脂１００重量部と、酸化チタンの表面がアルミニウムの酸化物及びケイ素の酸化物を含有する被覆層で被覆された被覆酸化チタン１０〜１００重量部とを含有するポリオレフィン系樹脂組成物を成形してなる光反射板であって、上記被覆酸化チタンにおいて、蛍光Ｘ線分析によって定量された、アルミニウムの酸化物の量がＡｌ₂Ｏ₃に換算して二酸化チタンの全重量に対して２〜６重量％であり且つケイ素の酸化物の量がＳｉＯ₂に換算して二酸化チタンの全重量に対して１〜７重量％であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化の要請に適した光学装置を提供することである。
【解決手段】主反射鏡(MR)及び前記補助反射鏡(SR)は、ともに、水銀ランプ(10)の放射光のうち、紫外光と可視光は反射するが、赤外光は透過するものであり、主反射鏡(MR)の反射光を受ける位置であって、当該主反射鏡(MR)の第二焦点よりも当該主反射鏡(MR)に近い位置に設けられるとともに、前記主反射鏡(MR)の反射光のうち可視光は透過するが紫外光は反射するためのものであってランプ側の側面が曲面であるレンズが配置されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】波長４００ｎｍ〜２５００ｎｍの帯域において、高い反射率を有し、かつ耐熱性及び耐傷性に優れた広帯域反射鏡を得る。
【解決手段】波長４００ｎｍ〜２５００ｎｍの帯域の光を反射するための広帯域反射鏡１であって、第１の高屈折率材料層と第１の低屈折率材料層とを交互に積層させた波長４００ｎｍ〜２５００ｎｍの帯域のうち短波長側の帯域の光を反射するための第１の反射積層膜３と、第２の高屈折率材料層と第２の低屈折率材料層とを交互に積層させた波長４００ｎｍ〜２５００ｎｍの帯域のうち長波長側の帯域の光を反射するための第２の反射積層膜４とを備え、第１の反射積層膜３が光の入射側に配置され、第２の反射積層膜４が、第１の反射積層膜３を透過してきた光を反射することができる位置に配置され、かつ両方の反射膜層の各屈折率材料が適切に選択されている。 （もっと読む）