【課題】 ２００ｎｍ未満のレーザシステムに用いられる素子において、表面／界面の粗さおよび不均一性を増加させずに、１９３ｎｍで高反射率を達成する。
【解決手段】 基体２０；各々が、高屈折率フッ化物材料の少なくとも１つの層４０および低屈折率フッ化物材料３０の少なくとも１つ層を含む、１つ以上の周期のフッ化物コーティング材料；および非晶質シリカ、非晶質ＦドープトＳｉＯ₂、非晶質Ａｌ₂Ｏ₃ドープトＳｉＯ₂、および非晶質ＮドープトＳｉＯ₂からなる群より選択される少なくとも１つの層の非晶質ＳｉＯ₂材料５０を含む素子。高屈折率フッ化物材料は１．６５から１．７５の範囲の屈折率を有し、低屈折率フッ化物材料は１．３５から１．４５の範囲の屈折率を有する。 （もっと読む）

【課題】反射率が高く、湿度や熱によるAgの凝集が発生し難いリフレクター用Ag合金反射膜およびリフレクター並びにリフレクター用Ag合金反射膜の形成用のAg合金スパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】(1) Mn、Ｗから選ばれる１種以上を合計で３原子％超７原子％以下含有すると共にAu、Pt、Pd、Cuから選ばれる１種以上を合計で0.3 〜２原子％含有し、残部がAgおよび不可避的不純物よりなるリフレクター用Ag合金反射膜、(2) このAg合金反射膜において波長が650nm の光によって測定される反射率が85％以上であるもの、(3) このAg合金反射膜においてスパッタリング法により形成されているもの、(4) このAg合金反射膜を備えていることを特徴とするリフレクター、(5) このAg合金反射膜の形成用のAg合金スパッタリングターゲット等。 （もっと読む）

極端紫外線（ＥＵＶ）顕微鏡はサンプル（５）を分析するように構成される。この顕微鏡は、約２〜６ｎｍの範囲内の波長を有するＥＵＶ放射を発生させるように構成されたＥＵＶ放射源（２）と、ＥＵＶ放射でサンプルを照明し、サンプルから放出される放射（６）を集めるように構成された光学システム（３）とを含む。光学システムは、約２〜６ｎｍの範囲内の放射の少なくとも一部の同相反射のための多層構造を含む少なくとも１つのミラーを備える。 （もっと読む）

【課題】すべての像方向に沿ったゆがみ誤差をほぼ補正することができる大開口数で作動可能なＥＵＶ投影レンズを提供する。
【解決手段】極紫外線（ＥＵＶ）スペクトル領域からの電磁放射を用いて物体平面上に配置されたパターンを像平面上に結像する投影レンズであって、反射コーティングを有して投影レンズの光軸を定める幾つかの結像鏡が、物体平面および像平面間に配置されており、各々の鏡がその鏡に特徴的な入射角範囲にわたって照射されるように、複数の鏡が相互に構成および配置されており、少なくとも最大入射角範囲を有する鏡が、コーティング軸に関して回転対称であるフィルム厚さ勾配を有する非中心性漸変反射コーティングを有しており、コーティング軸が投影レンズの光軸とほぼ一致している投影レンズ。 （もっと読む）

【課題】近紫外域、可視域、赤外域における広帯域で反射率特性がほぼ一定となり、ｐ偏光やｓ偏光の光であっても高い反射率特性を維持し、ＨＤＤＶＤ用、Ｂｌｕ−Ｒａｙ Ｄｉｓｃ用の光ディスクの情報を再生記録するとき、高品質高画質の音声や画像などの情報の再生記録を可能にする反射ミラーを提供すること。
【解決手段】基板側（透明基板２）から第１反射層（第１多層膜３ａ）、第２反射層（第２多層膜層３ｂ）の順番で積層膜３を積層し、第２反射層（第２多層膜層３ｂ）で波長６３０ｎｍ〜６８０ｎｍ、波長７３０ｎｍ〜８３０ｎｍのそれぞれの帯域の光を反射し、第１反射層（第１多層膜層３ａ）で波長３９０ｎｍ〜４３０ｎｍの帯域の光を反射するように構成している。 （もっと読む）

【課題】特別な設備を必要とすることなく光源装置の反射鏡が曇るのを防止することが可能な、光学部材を提供すること。
【解決手段】支持部（透明ガラス１６ａ）と、支持部に支持され、所望の波長の光１４ｂ（例えば、紫外線光から可視光線）を反射させる反射部１６ｂと、支持部に支持され、少なくとも前記所望の波長以外の光１４ｃ（例えば、赤外線光）を吸収し発熱して反射部を加熱する光吸収発熱部１６ｃとを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】紫外線に対して高い反射率を有し、また、水蒸気を透過しにくい光半導体用反射材を提供する。
【解決手段】（ａ）数平均分子量が８００以上の非環式炭化水素基を含有する、多官能（メタ）アクリル酸エステル：１５〜８０質量％、及び、（ｂ）波長３５０ｎｍでの紫外線透過率が５０％以上の材質からなる中空粒子：２０〜６０質量％を含む、熱又は光重合性組成物を重合して得られる光半導体用反射材。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型の液晶表示装置用の窓枠用基材として組み込む場合に外側への光漏れ防止と内面への良好な光反射性を両立させ、さらに柔軟性に優れ、小型薄膜化を可能とする積層フィルムを提供することを目的とする。
【解決手段】熱可塑性樹脂を主成分とした光反射層（Ａ）および光隠蔽層（Ｂ）を含む少なくとも２層よりなる積層フィルムであって、少なくともその一方の最外層が前記光反射層（Ａ）により構成され、波長５６０ｎｍにおける光反射率が８０％以上、該光隠蔽層（Ｂ）が少なくともカーボンブラック粒子を含有し、かつ厚みが５０μｍ以下であり、該光隠蔽層（Ｂ）、該積層フィルムの厚みが１００μｍ以下で、光学濃度４以上である積層フィルム。 （もっと読む）

【課題】表面の汚れを除去しまたは表面の汚れを抑制することのできる光学素子を提供する。
【解決手段】本発明による光学素子は、光学素子の表面にバイアス電圧を印加するための電圧源（１０５）と、前記光学素子の前記表面に光が照射される際に生じる光電子電流を測定するための電流計（１０７）と、を備える。前記光学素子は、前記光学素子の前記表面に光が照射される際に生じる光電子電流を変化させるように、前記電圧源の電圧を調整することができるように構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】輝度が同じでも高い結像品質が達成される解決手段を提供することである。
【解決手段】少なくとも１つの第１の発光素子（ＬＥ１）と、第２の発光素子（ＬＥ２）と、少なくとも１つの光加算装置（１）とを有する光学的装置であって、
該光学的装置は、前記第１の発光素子と第２の発光素子（ＬＥ１，ＬＥ２）の光が１つの光ビームに加算されるように構成されている、ことを特徴とする光学的装置。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ装置の画面に直接手書きするタイプのデータ入力システムに適用でき、座標検知手段を提供する光学フィルムであって、軽量で、価格が安く、大面積化が容易で、量産可能で、かつ広い読取角度を有する読取性能に優れる光学フィルムを提供する。
【解決手段】本発明の光学フィルム１は、可視光を透過し、赤外線又は紫外線を拡散反射する基材９上に、赤外線又は紫外線を吸収する層３がパターン印刷されてなるものである。 （もっと読む）

【課題】反射面の劣化を抑制しつつ、所望の光学特性が得られる多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】多層膜反射鏡は、基材と、基材上に所定の周期長で交互に積層された第１層及び第２層を含み、表面が凹凸状に形成され、極端紫外光を反射可能な多層膜と、多層膜の表面を覆うように配置され、極端紫外光に対する屈折率が真空の屈折率とほぼ等しい物質で形成された第３層と、第３層の表面を覆うように配置された保護層とを備えている。 （もっと読む）

本発明は、ミラー、特に、ファセットミラーの製造方法と、本発明に係るミラーを備える投影露光装置の製造方法とに関する。
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【課題】照明器具用反射鏡において、反射鏡により反射された光を、赤色の物体をより鮮やかな赤色に見せ、かつ光源色と同等の色とする。
【解決手段】照明器具用反射鏡は、波長略５８０〜５９０ｎｍの光反射率が波長略６００〜７００ｎｍの平均光反射率の略５０％以下となるように、波長略４００〜５００ｎｍの光反射率が波長略６００〜７００ｎｍの平均光反射率の略６０〜８０％となるよう形成されている。そのため、照明器具用反射鏡により反射された光は、赤色の物体をより鮮やかな赤色に見せ、かつ光源色と同等の色とすることができる。 （もっと読む）

【課題】 波動光学理論に基づく位相回復法を利用し、実際の評価で使用する硬Ｘ線を用いてミラーにより集光された集光ビームの強度分布を用いることで、ミラー上の位相誤差分布、即ち、形状誤差を求めるＸ線波面計測法を提案し、それを利用してＸ線集光光学系を最適に調節する位相回復法を用いたＸ線集光方法及びその装置を提案する。
【解決手段】 反射Ｘ線の波面を微調節可能な波面調節能を有するＸ線ミラーを備え、焦点近傍でのＸ線強度分布を測定し、Ｘ線ミラー近傍でのＸ線強度分布を測定し若しくは入射Ｘ線の既知のＸ線強度分布を用い、焦点近傍でのＸ線強度分布と反射面近傍でのＸ線強度分布から位相回復法を用いて反射面での複素振幅分布を算出し、この複素振幅分布からＸ線集光光学系の波面収差を算出し、この算出した波面収差を最小にするように波面調節能にてＸ線ミラーの反射面を制御する。 （もっと読む）

【課題】 特定の厚み範囲において、高度な隠蔽性と反射特性を有し、光の漏洩が厳しく制限される各種反射部材として有用なフィルムを提供する。
【解決手段】 遮光剤を含有するポリエステル系樹脂層の少なくとも片面に、平均粒径０．１〜１．０μｍの白色顔料を３〜３０重量％含有するポリエステル系樹脂層を積層した積層ポリエステルフィルムであって、フィルムの総厚さが１０〜１９μｍであり、フィルムの光学濃度（ＯＤ）が４．０以上であり、波長４６０ｎｍの光線に対するＡ層表面の分光反射率が７０％以上であることを特徴とする積層ポリエステルフィルム。 （もっと読む）

【課題】積層体そのものが所望の全ての物理、化学または光学特性を有していない問題を解決する。
【解決手段】多層ポリマーフィルムは、光学積層体の層とは異なる機械、光学または化学特性を有するスキン層を備えた、複数のポリマー層を含む光学積層体を含む。
【選択図】図９
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複数の光学要素を含む反射屈折投影対物器械、投影露光装置、そのような投影対物器械を用いる投影露光方法、及びミラーを提供する。反射屈折投影対物器械は、投影対物器械の物体表面に配列されたパターンを投影対物器械の像表面上へと結像するために光軸に沿って配列された複数の光学要素を有する。光学要素は、凹ミラーと、物体表面からの光を凹ミラーに向けて偏向させ、又は凹ミラーからの光を像表面に向けて偏向させるために第１の傾斜軸回りに第１の傾斜角ｔ₁だけ光軸に対して傾斜された第１の偏向ミラーと、第２の傾斜軸回りに第２の傾斜角ｔ₂だけ光軸に対して傾斜された第２の偏向ミラーとを含む。第１の偏向ミラーは、（ｔ₁−Δα₁）≦α₁＜（ｔ₁＋Δα１）に従う第１の入射角度範囲からの第１の入射角α₁において第１偏向ミラー上に入射するｓ−偏光光に対して反射率Ｒ_s¹（α₁）及びｐ−偏光光に対して反射率Ｒ_p1（α１）を備えた第１の反射コーティングを有する。第２の偏向ミラーは、（ｔ₂−Δα₂）≦α₂≦（ｔ₂＋Δα₂）に従う第２の入射角度範囲からの第２の入射角０２において第２偏向ミラー上に入射するｓ−偏光光に対して反射率Ｒ_s²（α２）及びｐ−偏光光に対して反射率Ｒ_p²（α₂）を備えた第２の反射コーティングを有する。第１及び第２の偏向ミラー上の反射時に蓄積される極点エッジ光線のｓ−偏光光に関する第１の反射率総和Ｒ_s^PEは、第１及び第２の偏向ミラー上の反射時に蓄積される赤道エッジ光線のｐ−偏光光に関する第２の反射率総和Ｒ_p^Eと実質的に等しい。 （もっと読む）

【課題】ぎらつき現象を抑え、かつ低コストで効率的な窓貼り用フィルムを提供する。
【解決手段】本発明の窓貼り用フィルムは上記課題を解決するためになされたものであり、反射光を拡散させてある特定方向に反射光が偏らないという発想から考えたものである。それは、基材フィルムの少なくとも片面に金属薄膜層が設けられており、波長４００ｎｍ〜８００ｎｍにおける垂直反射率が３０％以下であり、かつ、全光線透過率が２０％以上であり、さらに、ヘーズが５０％以上であることを特徴とする窓貼り用フィルムである。 （もっと読む）

【課題】複数配置される表示手段あるいは撮像手段の配置位置の自由度を向上させることが可能なヘッドアップディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】複数の表示手段２〜４から発せられる可視光（表示光）Ｌ１〜Ｌ３をコンバイナ部材（ウインドシールド）Ｗ１にて利用者（運転者）Ｄ１に向けて反射して表示像（虚像）Ｖ１〜Ｖ３を結像してなるヘッドアップディスプレイ装置である。複数配列され各々が可動する微小な平面鏡を備え、前記平面鏡の角度を所定時間毎あるいは個別に調整して各表示手段２〜４から発せられる各可視光Ｌ１〜Ｌ３を表示像Ｖ１〜Ｖ３が結像可能な方向に制御して反射するマイクロミラーデバイス５を備えてなる。 （もっと読む）