多層ミラー（１００）は、極端紫外線（ＥＵＶ）放射を反射する一方で、ＥＵＶ放射の波長よりも実質的に長い波長を有する第２のタイプの放射を吸収するように構成される。ミラーは、基板（１０４）上に積み重ねられた複数の層対（１１０、１１２）を含む。各層対は、第１の材料を含む第１の層（１１２）と第２の材料を含む第２の層（１１０）とを備える。第１の層（１１２）は、同じ厚さを有する同じ金属のシンプルな層に比べて、第２の放射の反射へのその寄与を減少するように変更される。変更には、化学結合または電子トラッピングによって電気伝導率を減少するように金属層内またはその周りに第３の材料をドープすること、および／または、絶縁層で金属層を副層に分割することが含まれ得る。スタックにおける層の数は、周知の多層ミラーより大きく、ＩＲ反射において最小値を達成すべく調整され得る。 （もっと読む）

【課題】照明から放射される光によって表示装置に表示される画像の視認性が損なわれることを抑制することができる表示システム及び照明システムを提供する。
【解決手段】光を放射する照明１０と、複数の異なる色の光を出射し、照明１０から放射される光の一部が照射される表示装置２０と、表示装置２０の表示面に設けられ、表示装置２０から出射される光の一部を透過させる第１のバンドパスフィルタ２１と、を備え、照明１０から放射される光のスペクトル分布におけるピーク波長は、表示装置２０から出射される光のスペクトル分布における複数のピーク波長の間にあり、第１のバンドパスフィルタ２１の透過率の波長に対する極小値は、照明１０から放射される光のスペクトル分布におけるピーク波長の近傍の波長領域にある。 （もっと読む）

【課題】比較的単純であり且つ所望の仕様を有するＥＵＶスペクトル純度フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】極端紫外放射を透過させ、かつ第２のタイプの放射の透過を抑制するよう構成された複数のアパーチャを有するスペクトル純度フィルタの製造方法である。基材に、アパーチャ間に形成される壁に対応するパターンに溝が形成される。グリッド材料の壁を形成するために、溝がグリッド材料で充填される。アパーチャを形成するために、グリッド材料が露出し、グリッド材料の壁間に空間が生じるまで、基材が選択的に除去される。 （もっと読む）

【課題】誘虫性が低く、かつ色調が良く、耐熱性が高い光学フィルタ及びそれを用いた照明器具を提供する。
【解決手段】光学フィルタ１は、ガラス部材２上にコーティング膜３が形成されている。コーティング膜３は、透明性バインダー３４に、体積平均粒径が１０ｎｍ〜２００ｎｍかつ体積基準９０％径が３００ｎｍ未満であって、表面がシランカップリング剤で処理されたバナジン酸ビスマス粒子３１と、体積平均粒径が１０ｎｍ〜２００ｎｍである酸化亜鉛粒子３２と、体積平均粒径が１０ｎｍ〜２００ｎｍであるコバルト複合酸化物粒子３３が含有されている。これにより、紫外線がカットされると共に、それより長い一部の波長域の透過率が適度に低くなり、バナジン酸ビスマス粒子３１の表面処理によって耐熱性が高くなる。 （もっと読む）

【課題】色相が良好で高透過率特性を有すると共に、光堅牢性、熱堅牢性が高く、経時安定性及び硬化後の耐溶剤性に優れた着色硬化性組成物、並びに色相が良好で高透過率特性を有すると共に、光堅牢性、熱堅牢性及び耐溶剤性に優れ、高精細化に対応したカラーフィルタ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】式（１）で表されるキノフタロン色素を少なくとも１種類含有することを特徴とする着色硬化性組成物、該着色硬化性組成物を用いたカラーフィルタ及びその製造方法、並びに、式（２）で表されるキノフタロン色素。
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【課題】 本発明は、人間の目に認識され易い緑系の光を吸収することによって、緑系の光に比して人間の目にやや認識されにくい青系又は赤系の光を強調することによって、青系又は赤系の光を認識しやすくすることができるため、従来の光反射板では表現することができなかった色相を表現することができる光反射板を提供する。
【解決手段】 本発明の光反射板Ａは、光反射層１の一面に光吸収層２が積層一体化されてなる光反射板であって、上記光吸収層２は、４７０〜５７０ｎｍの波長領域において光を吸収する光吸収剤を含有していることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、低ドーパント濃度で、２５４ｎｍの動作放射線に対する少なくとも８０％／ｃｍの可能な限り高いスペクトル透過率、およそ２５０ｎｍ未満の波長範囲における可能な限り低い透過率及び２３０ｎｍ〜２５０ｎｍの波長範囲内の端波長λ_Cを示すドープ石英ガラス製の光学フィルタ材料に関する。２５０ｎｍ未満の波長範囲において吸収帯の極大を有し、したがって端波長λ_Cを決定するガリウム化合物を含むドーピングによりこの目的が達成されることが見出された。
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【課題】より長波長側の最大吸収波長を有するピロメテン系化合物を提供し、色素選択の幅を広げる。
【解決手段】一般式（Ａ１）で示されるジベンゾピロメテンホウ素キレート化合物。


（式中、Ｒ^１〜Ｒ^１７は、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、アルキルチオ基、アルキルアミノ基等を表す。） （もっと読む）

【課題】太陽光に近似し、加速風化装置を過酷な光強度、温度および水分による負荷に曝したときに、長期間にわたって、耐久性があり、かつ安定している光学フィルタに関する。
【解決手段】一部の実施例において、フィルタは、厚さ０．７ｍｍ〜１０ｍｍを有するように構成されることができる。別の態様において、光学フィルタは、スペクトル出力分布を操作するのに適した光学フィルタアセンブリの一部である。光学フィルタアセンブリは、０．５重量％〜５０重量％の鉛成分を有する鉛ガラス光学フィルタおよび紫外線透過光学フィルタを具備している。一実施例において、紫外線透過光学フィルタは、石英ガラスから構成される。紫外線透過光学フィルタは、赤外線吸収コーティングをさらに具備することができる。別の態様において、鉛ガラスから構成された光学フィルタは、鉛ガラスを通過する照射量が第１の比および第２の比を有するように選択された厚さを有する。 （もっと読む）

スペクトル純度フィルタは、アパーチャを備える。スペクトル純度フィルタは、第１波長の放射を吸収し、かつ第２波長の放射の少なくとも一部が前記アパーチャを透過するのを可能にするように構成されることにより、放射ビームのスペクトル純度を高めるように構成されている。前記第１波長は、前記第２波長よりも大きい。このスペクトル純度フィルタを使用して、極端紫外線（ＥＵＶ）放射ビームのスペクトル純度を向上させることができる。 （もっと読む）

スペクトル純度フィルタは、極端紫外線を反射するように構成される。スペクトル純度フィルタは、基板と、基板の上面上の反射防止コーティングとを含む。反射防止コーティングは、赤外放射を透過させるように構成される。また、スペクトル純度フィルタは、極端紫外線を反射し、かつ赤外放射を実質的に透過させるように構成された多層スタックを含む。 （もっと読む）

スペクトル純度フィルタは、極端紫外線（ＥＵＶ）放射を透過させ、かつ非ＥＵＶ二次放射を偏向または吸収するように構成される。一実施形態では、スペクトル純度フィルタは、ＥＵＶ放射に対して高透過型の材料の本体、および本体の放射入射側に配置された非ＥＵＶ二次放射に対して高反射型の材料層を含む。一実施形態では、スペクトル純度フィルタは、ＥＵＶ放射に対して高透過型の材料の本体および本体の端部に高放射率材料層を含む。 （もっと読む）

【課題】感材の現像後のパターンの最小線幅を最小限に抑えるとともにそのパターンのエッジ形状を良好に保つことができる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１においては、制御装置２９による制御の下で、露光ステージ１２の駆動ステージ１４によりチャックステージ１３を移動させて、感材３２が積層された基板３１をマスク１６に対して位置決めした後、基板３１上の感材３２へ向けて照射光学系２０によりマスク１６を介して露光光を照射することにより、基板３１上の感材３２を所定のパターンで露光する。このとき、照射光学系２０に短波長カットフィルター２７が装着されている場合には、超高圧水銀灯２１から出射された光は、短波長カットフィルター２７を通過し、ｇ線、ｈ線及びｉ線を残して、２７０〜３３３ｎｍの範囲にある深紫外線域の光がカットされる。なお、短波長カットフィルター２７は照射光学系２０において着脱可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】従来とは異なる方法により耐紫外線性が高くかつ高反射率の可視光ミラーを実現する。
【解決手段】可視光ミラー１０を基板１１とミラースタック層部１２と紫外線吸収層部１３とから構成する。ミラースタック層部１２は、上記基板１１上に形成され、紫外線の照射により可視光吸収の増大が誘起される誘電体材料の層を含んだ多層膜ミラーである。紫外線吸収層部１３は、上記ミラースタック層部１２上に被覆形成され、紫外線を吸収する誘電体材料の層を少なくとも１層含み、紫外線領域の所定の波長帯域における透過率が５０％以下である。 （もっと読む）

【課題】光源から射出された所定の波長帯域の光を減光することができる減光装置、光源装置、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】減光装置３６は、内部に密閉された空間を有する筐体４１を備え、筐体４１は、本体部４２と、本体部４２における光軸ＡＸ方向の両面に形成された開口部４３，４４を閉塞する一対のフィルタ部材４５，４６とにより構成される。両フィルタ部材４５，４６は、光源装置から射出される露光光のうちＥＵＶ光の波長成分のみを選択的に透過させる。また、気体排出側の各連通流路４９，５０の途中位置に本体部４２内の気体の圧力を検出するための真空ゲージを配置すると共に、気体導入側の各連通流路５７，５８の途中位置に流量調整バルブを配置する。そして、真空ゲージの検出結果に基づき流量調整バルブの開度を調整することで本体部４２内に供給するキセノン量を制御する。 （もっと読む）

【課題】変色などを生じることのない耐光性に優れる映像源ユニット、光学シート及び映像表示装置を提供する。
【解決手段】自己発光して又は他の光源と合わせられて映像を出射する映像源１０ａと、該映像源より観察者側に配置され、映像源からの光を制御して観察者側に出射可能とする複数の層を有する光学シート１０ｂと、を備える映像源ユニット１０であって、光学シートは、光を透過可能にシート面に沿って並列され、紫外線硬化樹脂により形成されるプリズム部１８と、プリズム部間に光を吸収可能に並列される光吸収部１９と、を有する光学機能シート層１７と、光学機能シート層より映像源とは反対側に配置され、紫外線吸収剤を含有する層２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】特別な設備を必要とすることなく光源装置の反射鏡が曇るのを防止することが可能な、光学部材を提供すること。
【解決手段】支持部（透明ガラス１６ａ）と、支持部に支持され、所望の波長の光１４ｂ（例えば、紫外線光から可視光線）を反射させる反射部１６ｂと、前記支持部と前記反射部との間に支持され、前記反射部を透過した熱線を吸収し、前記反射部を加熱する熱線吸収部１６ｂ'と、前記支持部と前記熱線吸収部との間に支持され、前記反射部及び前記熱線吸収部を透過した熱線を前記熱線吸収部に向けて反射する熱線反射部１６ｃとを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】特別な設備を必要とすることなく光源装置の反射鏡が曇るのを防止することが可能な、光学部材を提供すること。
【解決手段】支持部（透明ガラス１６ａ）と、支持部に支持され、所望の波長の光１４ｂ（例えば、紫外線光から可視光線）を反射させる反射部１６ｂと、前記支持部と前記反射部との間に支持され、前記反射部を透過した熱線を吸収し、前記反射部を加熱する熱線吸収部１６ｂ'と、
前記支持部の前記反射部及び前記熱線吸収部が設けられた面と対向する面に設けられ、前記反射部及び前記熱線吸収部を透過した熱線を前記熱線吸収部に向けて反射する熱線反射部１６ｃとを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】特別な設備を必要とすることなく光源装置の反射鏡が曇るのを防止することが可能な、光学部材を提供すること。
【解決手段】支持部１６ａと、前記支持部に支持され、所望の波長の光１４ｂ（例えば、紫外線光から可視光線）を反射させる反射部１６ｂと、前記支持部と前記反射部との間に支持され、前記反射部を透過した熱線を吸収し、前記反射部を加熱する熱線吸収部１６ｂ'と、前記支持部と前記熱線吸収部との間に支持され、前記熱線吸収部からの熱を前記支持部の表面方向に均一化する熱伝導部１６ｃとを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】 効率的であり、着色層の材料選択性に優れる光路規制シートの製造方法等の提供。
【解決手段】本発明の光路規制シート１の製造方法は、透明シート体と、該透明シート体内部に形成され、面内方向に配列する複数の着色層３と、を有する光路規制シート１の製造方法であり、透明シート４の表面に、複数本の凸状部５を形成する凸状部形成工程と、該凸状部５の表面形状に沿って該着色層３を形成する着色層形成工程と、該着色層３が形成された凸状部５を覆うように、透明保護層６を形成する透明保護層形成工程と、を備える光路規制シート１の製造方法であって、該透明保護層形成工程において、該透明保護層６を連続形成することを特徴とする。該着色層３は、着色材料を含む着色材料液を凸状部３の表面にスプレー塗布されることにより形成されることが好ましい。 （もっと読む）