【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制でき、かつ容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５６を有する固定基板５１と、可動反射膜５７を有する可動基板５２と、固定電極５４１および可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４と、を具備し、固定電極５４１は、互いに絶縁された第一固定部分電極５４３Ａおよび第二固定部分電極５４３Ｂを備え、固定基板５１には、第一固定部分電極５４３Ａおよび第二固定部分電極５４３Ｂから延出する第一引出電極５４５および第二引出電極５４６を備え、可動電極５４２は、第一固定部分電極５４３Ａに対向する第一対向領域と、第二固定部分電極５４３Ｂに対向する第二対向領域とを覆う円環状に形成された。 （もっと読む）

【課題】分解能の低下を抑制できる光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】測色センサーは、固定反射膜５６を有する固定基板５１、固定基板５１に対向し、可動反射膜５７を有する可動基板５２、および固定基板５１に設けられた第一電極５４４を備えた波長可変干渉フィルター５と、モジュール基板３０と、波長可変干渉フィルター５およびモジュール基板３０を接合する異方性導電層３０１を備え、固定基板５１は、モジュール基板３０に対向する固定対向電極５１６Ａと、第一電極５４４および固定対向電極５１６Ａを電気的に接続する導電接続部５１６と、を有し、モジュール基板３０は、固定対向電極５１６Ａに対向するモジュール電極３０２を有し、異方性導電層３０１は、固定対向電極５１６Ａと、モジュール電極３０２とを導通させる。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い光フィルターを提供する。
【解決手段】表面研磨された第１研磨平面を有する第１基板５１と、第１基板５１に対向し、第１研磨平面に対向する表面研磨された第２研磨平面を有する第２基板５２と、第１研磨平面に設けられた第１反射膜５６と、第１研磨平面に設けられ第１反射膜を覆うＳｉＮ膜５８と、第２研磨平面に設けられ、第１反射膜に対向する第２反射膜５７と、第１反射膜５６および第２反射膜５７の間に反射膜間ギャップを形成するＳｉＯ₂膜５３と、ＳｉＯ₂膜５３と第２基板５２との間に形成された金属膜６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板の貼り合わせによって構成される光フィルターにおいて、基板の傾きを抑制して、各基板に設けられる光学膜間の平行度を確保すること。
【解決手段】光フィルターは、支持部２２を有する第１基板２０と、支持部２２によって支持される第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられた、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、支持部２２の、第２基板３０を支持する支持面の全領域上に設けられた第１接合膜１０５と、第２基板３０の被支持面上に設けられた第１接合膜よりも膜厚が薄い第２接合膜１０７との接合によって、第１基板２０と第２基板３０とが固着されている。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の周波数を正確に校正することができるエタロンフィルタと、周波数校正システム、周波数校正方法を提供する。
【解決手段】ダイヤモンド基板等の光及びテラヘルツ帯で透過性を有する２枚の基板にスペーサーを接合することで２枚の基板の間に空隙を設けたエタロンフィルタを構成する。このエタロンフィルタに光源からの光を透過させて光の自由スペクトル間隔を測定し、また、テラヘルツ波をエタロンフィルタに照射することで、テラヘルツ波の自由スペクトル間隔を測定する。光を透過したときの自由スペクトル間隔と、テラヘルツ波を透過したときの自由スペクトル間隔を比較することで、テラヘルツ波の周波数を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定電極５４１および可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４を具備する。そして、固定電極５４１は、平面視で同一形状に形成される複数の固定部分電極５４３を備え、これらの固定部分電極５４３は、等角度間隔で配置され、可動電極５４２は、平面視において固定部分電極５４３と同一形状に形成され、かつ固定部分電極５４３と重なる複数の可動部分電極５４４を備え、互いに対向する固定部分電極５４３および可動部分電極５４４により部分アクチュエーター５５が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター５５は、２つの前記電圧印加用部分アクチュエーター間で電気的に直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】測定精度を向上させた光センサーを提供すること。
【解決手段】複数の光干渉部５ａと、複数の光干渉部５ａを透過した光の光量を検出する検出部３２と、複数の光干渉部５ａを透過した光を検出部３２に集光させる集光部３１と、を備え、複数の光干渉部５ａは、それぞれ、第一反射膜５６と、第一反射膜５６と反射膜間ギャップを介して対向した第二反射膜５７と、を有することを特徴とする測色センサー３。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減させた波長可変干渉フィルターの製造方法、波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】固定基板１１と、可動部１２１および保持部１２２を有する可動基板１２と、固定反射膜１６と、可動反射膜１７と、固定反射膜１６および可動反射膜１７のギャップＧを可変させる静電アクチュエーター１４と、を備えた波長可変干渉フィルター１の製造方法であって、第一熱膨張係数を有する素材により、可動基板１２よりも大きい剛性を有する固定基板１１を製造する固定基板製造工程と、第一熱膨張係数よりも値が大きい第二熱膨張係数を有する素材により、可動基板１２を製造する可動基板製造工程と、固定基板１１および可動基板１２を第一温度まで加熱した状態で接合する接合工程を備える。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減させた波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】第一基板１２と、第二基板１１と、第一反射膜１７と、第二反射膜１６と、第一反射膜１７と第二反射膜１６とのギャップＧの大きさを変えることができるギャップ変更部１４と、を備え、第一基板１２は、第一反射膜１７が設けられた可動部１２１と、可動部１２１の厚み寸法よりも小さい厚み寸法に形成され可動部１２１を第二基板１１に対して進退移動可能に保持する保持部１２２と、を有する波長可変干渉フィルター１の製造方法であって、第一基板１２に第一反射膜１７及びギャップ変更部１４を形成する第一基板製造工程と、第二基板１１に前記第二反射膜１６及びギャップ変更部１４を形成する第二基板製造工程と、第一基板１２の温度を第二基板１１の温度よりも高くした状態で、第一基板１２と第二基板１１とを接合する接合工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも透過スペクトルの変調帯域が広い波長選択フィルタを提供すること。
【解決手段】波長選択フィルタは、対向配置された一対のミラー間のギャップ長さを変化させることのできる可変型のファブリペローフィルタを複数備え、複数のファブリペローフィルタが、ギャップ長さの変化方向を同じとして互いに積層されてなる。各ファブリペローフィルタにおいて、対をなすミラーの中心波長は互いに等しくされている。複数のファブリペローフィルタは、ミラーの中心波長が互いに異なるとともに、ミラーの反射帯域が他のファブリペローフィルタのミラーの反射帯域と重複しない領域をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】アライメントのズレが発生しても、接合膜による基板の傾きの発生を抑制し、更に接合膜の一部を光学膜としたことによって、対向する光学膜のギャップが均一となる光フィルターを提供する。
【解決手段】第１基板と、前記第１基板を支持する支持部を有する第２基板と、前記第１基板に備える第１光学膜と、前記第２基板に備え、前記第１光学膜と対向して配置される第２光学膜と、を備え、少なくとも前記第１光学膜を覆う第１保護膜と、少なくとも前記第２光学膜を覆う第２保護膜と、を備え、前記第１保護膜の表面に平面視において一部が重なり、且つ前記第１光学膜には重ならない第１接合膜と、前記第２保護膜の表面に平面視において一部が重なり、且つ前記第２光学膜には重ならない第２接合膜と、を備える光フィルター。 （もっと読む）

【課題】工程の増大がなく、製造時及び使用時のスティッキングや電流リークを防止できる光フィルター及び光機器を提供する。
【解決手段】光フィルター１は、第１基板２と、第１基板２に設けられた第１ミラー４Ａと、第１ミラー４Ａの周辺に配置された第１電極６Ａと、第１基板２と対向した第２基板３と第２基板３に設けられ、第１ミラー４Ａと対向した第２ミラー４Ｂと、第２ミラー４Ｂの周辺に設けられ、第１電極６Ａと対向した第２電極６Ｂと、を少なくとも有し、第１ミラー４Ａ、及び第２ミラー４Ｂは誘電体多層膜９Ａ，９Ｂを含み、誘電体多層膜９Ａ，９Ｂが、第１電極６Ａ、または第２電極６Ｂの少なくとも一方を覆っている。 （もっと読む）

【課題】接合膜による基板の傾きの発生を抑制し、更に接合膜の一部を光学膜としてことによって、対向する光学膜のギャップが均一となる光フィルターを提供する。
【解決手段】第１基板と、前記第１基板を支持する支持部を有する第２基板と、前記第１基板に備える第１光学膜と、前記第２基板に備える第２光学膜と、前記支持部の支持面上に形成される第１接合膜と、前記支持面に対向配置される前記第２基板に形成される第２接合膜と、を備え、前記第１光学膜は、第１光学基板膜と、第１光学中間膜と、第１光学表面膜と、が積層され、前記第２光学膜は、第２光学基板膜と、第２光学中間膜と、第２光学表面膜と、が積層された多層膜に形成され、前記第１接合膜の一部が前記第１光学基板膜または前記第１光学中間膜のどちらか一方であり、前記第２接合膜の一部が前記第２光学基板膜または前記第２光学中間膜のどちらか一方である光フィルター。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で、かつ所望のギャップを正確に設定でき、正確な分光特性を測定可能な光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板及び第２基板に互いに対向配置されて、ギャップが可変されて最小となる最小ギャップにおいて互いに接触する一対の検出電極と、反射膜間のギャップ及び電圧の関係を示すマップを複数有する相関データ７２１が記憶された記憶部７２と、検出電極の接触時での最小ギャップにおける静電アクチュエーターに印加している接触電圧を取得する接触検出部７１１と、相関データ７２１から１つのマップを選択するデータ選択部７１２とを備える。相関データ７２１は、最小ギャップに対する接触電圧が異なる複数のマップを備え、データ選択部７１２は、接触検出部７１１で取得した接触電圧に基づいて、マップを選択する。 （もっと読む）

【課題】基板を小型化でき、エッチング時間を短縮できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】第１基板５１と対向する可動面５２２Ａを有する可動部５２２、及び可動部５２２を第１基板５１の厚み方向に移動可能に保持する連結保持部５２３が設けられた第２基板５２と、可動面５２２Ａ及び第１基板５１に所定のギャップを介して対向配置された一対のミラー５６，５７と、ミラー５６，５７間のギャップＧを可変する静電アクチュエーター５４とを備える。連結保持部５２３は、第２基板５２を厚み方向に見た平面視において、第１溝部５２１Ａにおける可動面５２２Ａと平行な第１底面５２１Ａ１と、第２溝部５２１Ｂにおける可動面５２２Ａと平行な第２底面５２１Ｂ１とが重なる領域で構成される。 （もっと読む）

【課題】 レーザ装置の小型化に貢献する。
【解決手段】 レーザ光を２系統に分割するビームスプリッタと、第二の透明部材と、ビームスプリッタと第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、ビームスプリッタが、中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ反射膜上に第一接合膜を備え、第二の透明部材が、中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ反射膜上に第二接合膜を備え、中空部材が、中空部分の開口周囲であってビームスプリッタと対向する面及び第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、ビームスプリッタの第一接合膜と中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、第二の透明部材の第二接合膜と中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合されて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レーザ装置の小型化に貢献する。
【解決手段】 レーザ光を２系統に分割するビームスプリッタと、第二の透明部材と、ビームスプリッタと第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、ビームスプリッタが、中空部材と対向する面に反射膜を備え、第二の透明部材が、中空部材と対向する面に反射膜を備え、ビームスプリッタの反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合され、第二の透明部材の反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レーザ発振波長のモニターの精度を向上させる。
【解決手段】 第一の透明部材と、第二の透明部材と、第一の透明部材と第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、第一の透明部材が中空部材と対向する面に反射膜を備え、第二の透明部材が中空部材と対向する面に反射膜を備え、第一の透明部材の反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合され、第二の透明部材の反射膜と中空部材とがオプティカルコンタクトにより接合され、中空部材の中空の内部が真空又は大気圧の状態を維持する気密状態となって構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分光領域の変形を抑制して分解能を向上することができ、且つ、製品ごとの分解能のばらつきを低減することのできるファブリペロー干渉計の製造方法を提供する。
【解決手段】可動ミラー構造体を形成する工程として、第１高屈折率層を犠牲層上に形成する工程と、第１低屈折率層を、第１高屈折率層上における分光領域の可動ミラー形成位置及び周辺領域に形成する工程と、第２高屈折率層を、第１低屈折率層を含んで第１高屈折率層を覆うように形成する工程と、エッチングにより、周辺領域の第１低屈折率層上に位置する第２高屈折率層の少なくとも一部を、第１低屈折率層をエッチングストッパとして除去する工程と、エッチングにより、第２高屈折率層の除去された部分を介して、周辺領域の第１低屈折率層を除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】混色を抑えた固体撮像素子、その製造方法、カメラを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、固体撮像素子は、２次元配列された複数の光電変換部を有する基板と、前記基板に対して積層され、前記各光電変換部に向けて特定の波長域の光を透過させる複数のカラーフィルタと、を備える。前記各カラーフィルタは、相対的に屈折率の異なる第１の層と第２の層との積層構造を有する積層構造部と、２次元方向に周期性を有する周期構造部であって、透過波長域ごとに周期が異なる周期構造部と、を有する。 （もっと読む）