【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】エタロン５（波長可変干渉フィルター）は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２は、圧縮応力を有する圧縮電極層と、引張応力を有する引張電極層と、が積層されて構成された。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して、分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、第１基板５１に設けられた固定ミラー５６と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５６とギャップＧを介して対向する可動ミラー５７と、第１基板５１の第２基板５２に対向する面に設けられた第１電極５４１と、第２基板５２の第１基板５１に対向する第１面５２Ａに設けられ、第１電極５４１と離間して設けられた第２電極５４２と、第２基板の第２面５２Ｂでかつ、平面視において、少なくとも可動ミラー５７を覆う撓み防止膜５３と、撓み防止膜５３の面方向に作用する内部応力の方向と、可動ミラー５７及び第２電極５４２の面方向に作用する内部応力の方向とは同一方向である。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、および波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】エタロン５は、第１基板５１に設けられた第１反射膜５６と、第２基板５２に設けられ、第１反射膜５６とギャップを介して対向する第２反射膜５７と、第１基板５１に設けられた第１電極５４１と、第２基板５２の第１面に設けられ、第１電極５４１と離間して設けられた第２電極５４２と、第２基板５２の第２面に設けられたダミー電極５８１とを備える。ダミー電極５８１は、第２電極５４２と同一内部応力を有する同一材料で構成され、第２基板５２を厚み方向から見た平面視でのパターン形状が、平面視での第２電極５４２のパターン形状と同一、かつ、厚み寸法が第２電極５４２の厚み寸法と同一であり、平面視において第２電極５４２と重なる位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの特性設計を容易化すること。
【解決手段】 エタロンフィルター３００は、第１基板２０と、第１基板に対向する第２基板３０と、第１基板に設けられた第１光学膜４０と、第２基板に設けられ、第１光学膜と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ１と、第２光学膜５０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ２とが異なる。第１光学膜４０は、第１波長λ１を中心波長とする反射特性を有し、第２光学膜５０は、第１波長とは異なる第２波長λ２を中心波長とする反射光特性を有することができる。エタロンフィルター３００の分光帯域での中心波長をλ３としたとき、λ１＜λ３＜λ２となるように、各光学膜４０，５０を設計する。 （もっと読む）

【課題】高分解能で、かつ低コストで製造可能な干渉フィルターを提供する。
【解決手段】エタロン５は、下部基板５１と、下部基板５１に対向する上部基板５２と、下部基板５１に設けられる下部反射膜５６と、上部基板５２に設けられるとともに、下部反射膜５６に対してギャップを介して対向する上部反射膜５７と、を備え、下部基板５１の上部基板５２に対向する面のうち、少なくとも下部反射膜５６が設けられる下部反射膜形成面５１１Ａには、上部基板５２に対向する表面が平滑面となる平滑膜５１２が設けられ、下部反射膜５６は、平滑膜５１２の表面に設けられる。 （もっと読む）

【課題】３波長を制御することが出来る光モジュールを製造コストの大幅な増加を伴うことなく、実現する。
【解決手段】シリコン単結晶基板４の主面４１、４２は、（１１１）結晶面に対して所定の角度θを持つように形成されている。シリコン単結晶基板４の主面４１、４２をエッチングすることによって傾斜面７，８が形成される。シリコン単結晶基板の第１の傾斜面７には第１のフィルタ膜９と第２のフィルタ膜１０が形成され、第２の傾斜面８には反射膜１１が形成されてフィルタ素子１８を構成している。実装基板１７には発光素子１４と第１の受光素子１５と第２の受光素子１６が形成されている。このような構成によれば、フィルタ素子１８と実装基板１７を接着した３波長を制御することが出来る光モジュールを安価に製造することが出来る。 （もっと読む）

【課題】一定ではない入射角の電磁放射をフィルタリングするための光学フィルタを提供する。
【解決手段】光学フィルタ（６０）は、二つの部分反射性の層（６８、７０、７２）の間に配置された少なくとも一層の誘電体又は半導体の層（６４、６６）の積層体を備える。その積層体が所定の波長に対して設定されたファブリ・ペロー共振器の組を形成している。誘電体又は半導体の層（６４、６６）の平均屈折率は、その共振器の透過スペクトルに対する電磁放射の入射角の変化の効果を補償するように、積層体の積層方向（Ｅ）に直交する平面内において一定ではない。 （もっと読む）

【課題】ギャップが形成される空間の内圧の上昇を抑制し、ギャップの精度を向上させることができる波長可変干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルターの製造方法は、第一基板１００のチップ領域１０１に、静電ギャップ形成溝１１１と、静電ギャップ形成溝１１１からチップ領域１０１の外周縁に延びる配線形成溝１１３、１１４と、これらの配線用形成溝と第一基板１００の外部とを連通する空気連通溝１２０、１３０と、を形成する第一基板溝形成工程と、前述の各種溝に固定ミラー１６、第一電極１４１、および第一配線部１４１Ａを形成する第一基板配線形成工程と、可動ミラー、第二電極、および第二配線部と、を備えた第二基板を形成する第二基板形成工程と、第一基板１００および第二基板を貼り合わせる貼合工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡易なプロセス技術や実装技術で光学素子の反射戻り光の影響を抑制した小型な波長可変レーザを実現する。
【解決手段】半導体ゲインチップと波長可変フィルタを集積した波長可変レーザ光源において、静電力を使ってエタロン間隔を調整する波長可変フィルタに金属の斜め反射鏡を集積すること、および垂直出射型の半導体ゲインチップに用いる45°斜め反射鏡の角度を45°からずらすことで、フィルタを斜め配置することなく、一般的かつ簡易なプロセス技術や実装技術を用いて波長可変フィルタ入射端面からの波長反射戻り光の影響を抑制した小型な波長可変レーザ光源。 （もっと読む）

【課題】印加電圧を低く抑えるためにダイアフラム部を薄くした場合においても、ダイアフラム部の強度低下を抑制することができ、その結果、最大印加電圧が低くかつダイアフラム部の強度を高め、安定的なギャップ変位を可能とし、良好に駆動することができる光フィルター及び分析機器を提供する。
【解決手段】光フィルター１は、下部基板３と、下部基板３に設けられた下部ミラー４Ｂと、下部基板３に設けられた下部電極６Ｂと、下部電極６Ｂに対向して設けられた上部基板２と、上部基板２に設けられ下部ミラー４Ｂと対向する上部ミラー４Ａと、上部基板２に設けられ下部電極６Ｂと対向する上部電極６Ａを有し、上部基板２は平面視において上部ミラー４Ａを囲む溝８を有し、前記溝８は断面視において底面部８ａと第１端部８ｂ、第２端部８ｄと第１側面部８ｃ、第２側面部８ｅとを有し、第１端部８ｂ、第２端部８ｄは曲面を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板に設けられた第１，第２電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２電極と対向する第３，第４電極７２，７４とを有する。 （もっと読む）

【課題】分光可能な波長域が広く、かつ、分光された光の透過率および分解能が大きい波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロンは、互いに対向する一対のミラー５６，５７と、これらのミラー間の間隔であるミラー間ギャップを可変する静電アクチュエーターと、を備える。そして、一対のミラー５６，５７は、それぞれ、複数の誘電体膜５５１と、これらの誘電体膜５５１の間に設けられ、互いに対向する誘電体膜５５１間の距離を所定の寸法に保持するとともに、互いに対向する誘電体膜５５１間に空気層５５３を形成するポスト部材５５２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 良好な分光精度を維持できる波長可変干渉フィルターを提供すること。
【解決手段】
第一基板５１と、第一基板５１に接合される第二基板５２と、第一基板５１に設けられる第一反射膜５６と、第二基板５２に設けられる第二反射膜５７と、第一反射膜５６と第二反射膜５７とのギャップＧを変更する可変部５４と、を備え、第二基板５２は、第二基板５２を基板厚み方向から見る平面視において、第二反射膜５７に重なる位置に設けられる可動部５２１を有する第一層５２０と、第一層５２０の第一基板５１に対向する面に積層されるとともに、厚み寸法が一様な板状に形成され、可動部５２１を変位可能に支持する支持部５３１を有する第二層５３０と、を備え、第一層５２０には、少なくとも前記平面視で支持部５３１に重なる領域に第一層５２０が積層されていないことを特徴とする波長可変干渉フィルター。 （もっと読む）

【課題】迅速な分光測定が可能な光フィルター、特性測定方法、分析機器、および光機器を提供する。
【解決手段】 光フィルター３は、第一基板と、前記第一基板と対向する第二基板と、前記第一基板に設けられた第一反射膜と、前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜と対向する第二反射膜と、前記第一基板に設けられた第一電極と、前記第二基板に設けられ、前記第一電極と対向する第二電極と、前記第一電極と前記第二電極との間の電位差を制御する電圧制御部８１と、を備え、前記電圧制御部８１は、前記電位差を、第一電位差から前記第一電位差より大きい第二電位差に切り替える。 （もっと読む）

【課題】基板同士の接合強度をより向上させ、接合工程を容易にしつつ、所望波長を精度良く分光させることができる干渉フィルター、測色センサー、測色モジュール、及び干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】第１基板５１と、第１基板５１に対向配置され、第１基板５１に接合される第２基板５２と、第１基板５１及び第２基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、第１基板５１及び第２基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、オプティカルコンタクトにより互いに接合される接合面５１３，５２４と、第１基板５１の接合面５１３に形成されて接合面５１３，５２４同士を接着する接着剤が流入する第１溝部５１４Ａと、第２基板５２に形成されて第１溝部５１４Ａと外部とを連通させる接着剤注入孔５２４Ａ及び接着剤排出孔５２４Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】基板同士を加圧して接合させた場合でも、基板間のミラーが損傷しない波長可変干渉フィルター、この波長可変干渉フィルターを備えた測色センサー、およびこの測色センサーを備えた測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、透光性を有する第一基板５１と、第一基板５１の一面側に対向するとともに、第一基板５１に加圧接合される透光性の第二基板５２と、第一基板５１および第二基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、一対のミラー５６，５７の間の寸法を可変する静電アクチュエーター５４と、第二基板５２の可動ミラー５７の内周側に設けられるとともに、第一基板５１に向かって突出する支持突出部５２４と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】簡単な配線構造で、接続信頼性を向上させることが可能な波長可変干渉フィルター、測色センサー、および測色モジュールを提供する。
【解決手段】 エタロン５は、第一基板５１と、第一基板５１に接合される第二基板５２と、これらの基板間で互いに対向して設けられる一対のミラー５６，５７と、第一基板５１に設けられる第一電極５４１、および第二基板５２に設けられる第二電極５４２を有する静電アクチュエーター５４と、第一基板５１の外周部に設けられ、第一電極５４１に接続される第一電極パッド５４１Ｂと、第一基板５１の外周部に設けられ、第一電極５４１とは絶縁される第二電極パッド５４３と、を備える。そして、第一基板５１および第二基板５２は、導電性の接合部５４６，５４７により接合され、第二電極５４２および第二電極パッド５４３は、これらの接合部５４６，５４７を介して導通される。 （もっと読む）

【課題】振動板と対向電極との間の残留電荷影響の低減を実現して、安定した駆動が可能な静電アクチュエータを得ること。
【解決手段】一方の電極として作用する可撓性を有した振動板１２と、振動板１２にギャップ１０を隔てて対向し振動板１２との間で電圧が印加される対向電極１７とを備え、振動板１２の対向電極１７との対向面に絶縁膜１６Ｂが形成されている静電アクチュエータであって、絶縁膜１６Ｂが形成された振動板１２と対向電極１７との対向面の少なくとも一方の面に、ダイヤモンドライクカーボンなどのカーボン材料からなる表面層１６Ｃを形成している静電アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】平行平面の一方に形成された完全反射層と他方に形成された部分反射層との間で光が多重反射しつつ徐々に部分反射層から出射する光部品であって、部分反射層の層厚が多段階で薄くなる構造の光部品について、反射層間の光学的距離をほぼ均一とする。
【解決手段】光部品としてのＶＩＰＡ１０の部分反射層１３は、第１の反射層１３ａと、第１の反射層１３ａよりも層厚の薄い第２の反射層１３ｂと、を含む。そして、第２の反射層１３ｂで反射した光が完全反射層１２で反射するまでの光学的距離Ｄ２を調整する補正層１５が、部分反射層１３の下に形成されている。 （もっと読む）

【課題】赤色領域における良好な色再現性を実現すると共に小型化を図る。
【解決手段】基材が赤外線吸収作用を有するフィルム状の樹脂材料によって形成され、基材の両面に分光特性を調整する多層膜が形成され、以下の条件式（１）乃至条件式（４）を満足するようにした。（１）０.７５＜Ｔ_{ＩＲＣＦ（６００）}／Ｔ_{ＩＲＣＦ（５４０）}＜０.９５（２）６１５＜λ_{ＬＴ５０％}＜６７０（３）｜Ｔ_{ＩＲＣＦ（７００）}／Ｔ_{ＩＲＣＦ（５４０）}｜＜０.０５（４）６８０≦λ_{ＬＲ５０％}但し、Ｔ_{ＩＲＣＦ（６００）}：波長６００ｎｍの光の分光透過率、Ｔ_{ＩＲＣＦ（５４０）}：波長５４０ｎｍの光の分光透過率、λ_{ＬＴ５０％}：分光透過率が５０％になる近赤外光の波長、Ｔ_{ＩＲＣＦ（７００）}：波長７００ｎｍの光の分光透過率、λ_{ＬＲ５０％}：分光反射率が５０％になる近赤外光の波長、とし、波長の単位はｎｍとする。 （もっと読む）