【課題】 回折格子により加工対象物に複数のレーザスポットを形成してレーザ加工するレーザ加工装置において、複数のレーザスポットの間隔を高精度で調整する。
【解決手段】 ターンテーブル２１又はターンテーブル２１上に載置される板部材１１，１２に、ターンテーブル２１の半径方向に配列される複数の溝であって、ターンテーブル２１の回転中心に対して偏心している複数の溝を設けておく。ターンテーブル２１を回転させた状態で、複数の溝上に第１及び第２のレーザスポットを形成して、これらのレーザスポットからの反射光を受光して第１及び第２受光信号を出力する。第１及び第２受光信号間の位相差を検出し、この検出した位相差を用いて、回折格子３３を変位させることによってレーザスポット間隔を変更して、実際のレーザスポット間隔を所望のレーザスポット間隔に設定する。 （もっと読む）

【課題】観察光学系中の反射部材の傾斜角度を電動またはマニュアルの駆動部によって変更することで標本の観察位置の変更を行う顕微鏡であって、電動駆動部の電源のオン、オフに際する、或いは反射部材のマニュアル駆動／電動駆動の操作切換えに際する、標本の観察位置のずれを解消した顕微鏡を提供する。
【解決手段】観察光学系中の最も標本側に配置された第１対物レンズ８と、第１対物レンズ８とともに標本６の中間像Ｍを形成する第２対物レンズ１１と、第１対物レンズ８と第２対物レンズ１１との間の光路を折り曲げる反射部材９と、反射部材９を回転させてその反射面の傾きを変更するステッピングモータ２０と、ステッピングモータ２０を駆動する反射部材の電動駆動手段２１と、ステッピングモータ２０の状態を記憶する記憶手段２４と、を有し、電動駆動手段２１の電源導入に際して、或いは反射部材のマニュアル駆動／電動駆動の操作切換えに際して、当該電動駆動手段２１は、記憶手段２４に記憶された状態を再現することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】走査手段の振動に起因する騒音の発生を抑えた走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】光源２からの光を走査するための走査手段８と、走査手段８を経た光を試料５に集光する対物レンズ１３と、試料５からの光を対物レンズ１３を介して検出する検出器６とを有する走査型顕微鏡１において、走査手段８は、振動の減衰係数が１よりも大きな材料からなる振動減衰部品２０を介して筐体３ａに取り付けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】観察光学系中の反射部材の傾斜角度を電動またはマニュアルの駆動部によって変更することで標本の観察位置の変更を行う顕微鏡であって、電動駆動部の電源のオン、オフに際する、或いは反射部材のマニュアル駆動／電動駆動の操作切換えに際する、標本の観察位置のずれを解消した顕微鏡を提供する。
【解決手段】観察光学系中の最も標本側に配置された第１対物レンズ８と、第１対物レンズ８とともに標本６の中間像Ｍを形成する第２対物レンズ１１と、第１対物レンズ８と第２対物レンズ１１との間の光路を折り曲げる反射部材９と、反射部材９を回転させてその反射面の傾きを変更するステッピングモータ２０と、ステッピングモータ２０を駆動する反射部材の電動駆動手段２１と、ステッピングモータ２０の状態を記憶する記憶手段２４と、を有し、電動駆動手段２１の電源導入に際して、或いは反射部材のマニュアル駆動／電動駆動の操作切換えに際して、当該電動駆動手段２１は、記憶手段２４に記憶された状態を再現することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】走査型レーザ顕微鏡での多種多様な性能テスト課題および校正課題のうちの少なくとも一つを、時間を節約しながら簡単な手段で処理すること。
【解決手段】合焦光学系３と、合焦光学系３の焦点面内に配置されており、落射光および透過光のうちの少なくとも一つにおいて検出可能な構造要素を備えたテスト構造４とを共通のフレーム２内で互いに対し固定的に位置合わせして備える校正装置１が、走査型レーザ顕微鏡内で、合焦光学系の瞳が、走査型レーザ顕微鏡の対物レンズの瞳と重なり合うか、または走査型レーザ顕微鏡の対物レンズの瞳に共役な面内にあるように、顕微鏡の放射線経路内に挿入され得る。 （もっと読む）

【課題】非デスキャン検出ユニットの横へのデカップリングの欠点を回避すること。
【解決手段】試料を照明するための照明光を放出する光源を備え、試料から出る検出光を検出するための少なくとも１つの第１の検出器を備え、かつ照明用放射線経路内にも検出用放射線経路内にも配置されており、試料をこれを通して照明および検出し得る対物レンズと、試料から出る検出光を非デスキャン検出するための第２の検出器７とを備えた走査型顕微鏡であって、その際、顕微鏡スタンドに連接されており、走査型顕微鏡の照明用放射線経路および検出用放射線経路のうちの少なくとも一つのための顕微鏡対物レンズ用の少なくとも１つの収容部を備えるハウジング３から成るコンパクトなサブアセンブリが設けられており、その際、少なくとも第２の検出器７がハウジング３内に配置されており、かつ試料光によって作用され得る。 （もっと読む）

【課題】 近視野光発生素子の光効率を向上させ、その近視野光発生素子を用い
た近視野光記録装置および近視野光顕微鏡の性能を向上させる。
【解決手段】 光学的に透明な三角錐４０２と、この三角錐４０２を覆う遮光膜
４０３を有する近視野光発生素子において、三角錐４０２の頂点を含む斜面の一
部分に載る遮光膜４０３を除去することで錐体露出部４０４を形成し、その上か
ら金属膜４０５を形成することで、三角錐４０２と金属膜４０５が錐体露出部４
０４を介して接触する構成とする。 （もっと読む）

【課題】半導体結晶の劣化を引き起こすＡｕ等の材料を必要とせず、先端が極めて鋭い針状結晶を製造することができる針状結晶の製造方法と、被観察物表面の極めて微細な凹凸に対応することが可能な走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーとを提供する。
【解決手段】ガリウム砒素基板２０上に所定パターンの絶縁膜２６を形成する絶縁膜形成工程と、絶縁膜２６が形成されたガリウム砒素基板２０上にＭＯＣＶＤ法によりＧａＩｎＰを堆積する半導体堆積工程とを備え、堆積工程の際に、絶縁膜２６が形成された領域を除くガリウム砒素基板２０上の領域にＧａＩｎＰの層２８を成長させつつ、絶縁膜２６上にＧａＩｎＰからなる粒状物３０を発生させ、該粒状物３０を種結晶としてガリウム砒素基板２０の板面の法線方向に沿ってＧａＩｎＰを結晶成長させることにより、針状結晶１０を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ低コストに、同一の光学性能を有する安定性の高い光と高速変調された光の両方を出射する。
【解決手段】入力される電流信号に応じたレーザ光を出射するレーザダイオード素子１０と、該レーザダイオード素子１０から発せられたレーザ光を受光する受光素子１４と、レーザダイオード素子１０の発光を制御する制御部８とを備え、該制御部８が、指令信号に応じた電流信号をレーザダイオード素子１０に対して出力する第１のＬＤ駆動回路２７と、受光素子１４により受光されたレーザ光の光量に基づいて電流信号を調整してレーザダイオード素子１０に対して出力する第２のＬＤ駆動回路２８と、指令信号に応じて第１のＬＤ駆動回路２７と第２のＬＤ駆動回路２８とを切り替える回路切替部２９とを備える光源装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高分解能、高効率な近接場光プローブを提供することを目的とする。
【解決手段】基板表面に形成された幅が徐々に小さくなった平面状の散乱体11を用いて近接場光を発生させる。このとき散乱体11の面積を光スポットの面積より小さくし、さらに散乱体の材質、形状、寸法をプラズモン共鳴が発生するように設定することにより、近接場光強度を増強する。
【効果】 光の光利用効率の近接場光発生装置を得ることができる。 （もっと読む）

本発明は、走査型顕微鏡でサンプルを結像する方法に関し：
‐検出器の露出段階を開始するステップ；
‐該検出器において該サンプルの光学画像を生成するステップ；
‐該露出段階を終了するステップ：
を含む。
本発明に従って、光学画像を生成するステップは、検出器においてその光学画像をずらすステップを含む。有利にも、その光学画像をずらすステップは、検出器においてその光学画像を閉鎖した線に沿ってずらすステップを含む。
本発明は、また、走査型顕微鏡に対する結像システムに関し、当該結像システムは：
‐検出器；
‐サンプルの光学画像を該検出器において生成するためのレンズ系；及び
‐該検出器の露出段階の間に該検出器における光学画像をずらすための画像変位手段；
を含む。
有利にも、該画像変位手段は、サンプルから検出器までの光学経路に配置された回転可能なミラーを有する。
本発明は、上記で特定されたような結像システムを有する走査型顕微鏡にさらに関連する。有利にも、その走査型顕微鏡は、サンプル内において光点のアレイを生成するための手段を有する。
（もっと読む）

【課題】ユニットが変更されても、それらを適正に制御して所望の画像を取得する。
【解決手段】ネットワーク４を介して相互に通信可能なサーバ３と、画像取得装置２とを備え、該画像取得装置２が、観察対象物Ａの画像を取得するための複数のユニット５，６，８，９，１０，１１，１２，１３，２２と、制御ソフトウェアを記憶し、ユニットを制御する制御装置３０とを備え、サーバ３が、ユニットを識別するユニット情報３３ａ〜３３ｆと、該ユニット情報３３ａ〜３３ｆに応じた制御ソフトウェア３４ａ，３４ｂとを対応づけて記憶する記憶部３５を備え、画像取得装置２が、ユニットのユニット情報をサーバ３に送信し、サーバ３が、送信されてきたユニット情報に対応づけて記憶されている制御ソフトウェア３４ａ，３４ｂを画像取得装置２に送信する画像取得システム１を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＲＯＩ上の同一の位置に対してディレイ時間の異なる複数の光源からの光を同時に照射することができる光走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】レーザ走査型顕微鏡１は、光を発する２以上の光源２ａ〜２ｃと、試料５上で光を２次元的に走査する走査部（水平及び垂直スキャナ６，７及びスキャナ制御回路９）と、試料５からの光を検出する蛍光検出器１１ａ〜１１ｃと、試料５の画像を得る画像処理回路１２と、ＲＯＩデータ及び走査位置情報に基づき光源２ａ〜２ｃの作動を制御する切換制御回路１３と、を有して構成され、さらに、切換制御回路１３は、ＲＯＩデータを記憶するＳＲＡＭ１６と、走査位置情報に基づいて、ＲＯＩデータを取り出して光源２ａ〜２ｃの作動を制御するデータ取出部１７と、ディレイ回路１８ａ，１８ｂとを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】安価で高精度且つ高速に高さ情報を測定可能な走査型レーザ顕微鏡を提供することを課題とする。
【解決手段】光偏向器９により被検物３上をライン状に走査して得られる１ライン分の高さプロファイルを、その走査方向に所定量だけずらしながら複数取得する。演算処理部１９は、取得した複数の高さプロファイルを繋ぎ合わせて１つのプロファイルを求める。 （もっと読む）

【課題】より確実に標本を観察できるようにする。
【解決手段】コントローラ１２は、標本上の共振型スキャナ２６により励起光が走査される領域と、ガルバノスキャナ２５により刺激光が走査される領域とを一致させるために、ガルバノスキャナ２５の駆動信号を補正する補正値を求める。そして、ガルバノスキャナ２５および共振型スキャナ２６を同時に駆動させて、標本を共焦点観察する場合、コントローラ１２は、求めた補正値により駆動信号を補正し、補正後の駆動信号によりガルバノスキャナ２５を駆動させる。本発明は、共焦点顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、構成をシンプルに抑えながら観察の自由度を高めることのできるレーザ走査顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のレーザ走査顕微鏡（１００）は、光源部（１）と、前記光源部（１）からの光を被観察面（１６）へ導き、該被観察面（１６）からの光を検出器へ導く分光手段（９）と、前記分光手段（９）と前記被観察面（１６）との間の光路を、経路の異なる複数の光路（Ｒ１，Ｒ２）の間で切り替える光路切替手段（１０，１３）と、前記複数の光路の各々へ個別に配置される複数の光偏向手段（１１，１２）と、を備え、前記光路切替手段はターレットで構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】観察の結果得られる画像に歪みやずれが生じて劣化することなく観察画像を得る走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するために、走査型顕微鏡装置に、２次元走査手段が走査する前記集束光の位置である光学的走査位置を検出する光学的走査位置検出手段と、サンプリングクロック信号に合わせて前記画像検出信号をサンプリングして得る観察画像における位置であって、前記光学的走査位置検出手段が検出する位置における反射光から得る像と一致する位置である電気的サンプリング位置を検出する電気的サンプリング位置検出手段と、前記光学的走査位置と前記電気的サンプリング位置とが一致または略一致するように前記サンプリングクロック信号を調整する位置調整手段と、を備える。 （もっと読む）

ヒトの角膜の屈折力を測定する光コヒーレンストモグラフィー装置および方法が開示される。該装置は、角膜前面からの鏡面反射光と角膜内部からの拡散反射光の両方を捕集する。角膜の両面の複合屈折力が判定される。
（もっと読む）

【課題】顕微鏡本体の変形のみならず、標本がいずれの方向に移動した場合においても、これに追従するように観察位置を自動的に補正する。
【解決手段】照明光を出射する光源５と、照明光を光軸に交差する２次元方向に走査するスキャナ６と、照明光を標本Ａに照射する一方、標本Ａからの戻り光を集光する対物レンズ７と、光軸方向の焦点位置を調整する合焦位置調節手段４と、集光された戻り光を検出する光検出器８と、検出された戻り光の強度とスキャナ６および合焦位置調節手段４により設定された照明光の照射位置の位置情報とを対応づけて記憶する記憶部１３と、時間間隔をあけて記憶された戻り光の強度と照射位置の位置情報とに基づいて光軸に平行な複数の２次元画像を取得し、これらの２次元画像を処理して、標本Ａにおける注目領域の光軸方向に沿う移動量を検出する画像処理部１０と、検出された注目領域の移動量に応じて照明光の集光位置を補正するよう合焦位置調節手段４を制御する制御部１０とを備える走査型顕微鏡１を提供する。 （もっと読む）

【課題】複数のスキャン領域を正確に連続してスキャンするとともに、スキャン領域の切替えによる処理時間の遅延を短縮する。
【解決手段】駆動テーブル作成部は、スキャン領域Ａ１とスキャン領域Ａ２との間のスキャン軌道Ｐ１、および、スキャン領域Ａ２とスキャン領域Ａ３との間のスキャン軌道Ｐ２を規定する補間駆動テーブルを作成し、メモリに格納する。駆動制御部は、補間駆動テーブルに基づいて、スキャン領域間においてスキャン軌道Ｐ１および軌道Ｐ２に従って移動するようにスキャナ駆動系の動作を制御する。本発明は、例えば、共焦点レーザ走査型顕微鏡に適用できる。 （もっと読む）