広いスペクトル域で標本を撮像できる対物系及び撮像方法を提供する。本対物系は、レンズ素子を１個又は複数個含み入射光を合焦させて中間像を生成する合焦レンズ素子群と、中間像の近傍に１個又は複数個配置された視野レンズ素子と、中間像から採光し出射光をもたらすカタジオプトリック素子群と、を備える。そのカタジオプトリック素子群としてはマンジャン素子を１個又は複数個含む素子配列を使用する。カタジオプトリック素子群にメニスカスレンズ素子を含めてもよい。
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【課題】 従来、難しかった供給ノズルに起因する生菌の繁殖状況を容易に調べることができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 本発明の顕微鏡装置１は、基板ｓ１、及び、基板ｓ１の表面と一体に形成され、内部にメンブレンフィルタｓ２と吸収体ｓ３を有するコンテナｓ４からなる生菌観察用ウエハＳと、生菌観察用ウエハＳを所定の温度・時間で密閉保持する培養装置５０とを備え、生菌観察用ウエハＳを搬送アーム３３によりカセット２０から検査ステージ４１に搬送して供給ノズル４２ｃにより液体Ｅ（本実施形態では純水）を供給し、検査ステージ４１から培養装置５０に搬送して該培養装置５０により所定の温度・時間で保持し、培養装置５０から検査ステージ４１に搬送し、顕微鏡観察装置４０により供給ノズル４２ｃに起因する液体Ｅ中の生菌の繁殖状況を観察した後、再び検査ステージ４１からカセット２０へ搬送するように構成される。 （もっと読む）

【課題】液浸対物レンズと液体との間に空気が入りこまない液浸顕微鏡および液浸顕微鏡の試料移動方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液浸対物レンズ１の近傍に、液浸用の液体３を供給する液体供給装置２を配置する。液体供給装置は、試料４の観察領域の上に液浸用の液体を滴下する。液体が滴下された試料は、一旦下方（Ｚ軸方向）に移動した後、Ｚ軸方向、Ｘ軸方向に同時に移動しながら、液浸対物レンズの視野中へ移動する。斜め下方から液浸対物レンズに近づくので、液浸対物レンズの先端と液体の間から空気の層を除去することができる。 （もっと読む）

【課題】水浸対物レンズの結像性能に与える影響を無くすと共に、滅菌された状態で細胞などに対する観察を可能とすること。
【解決手段】キャップ１１０の光学窓部１４０にラップフィルムなどの樹脂フィルム１２０が取り付けられ、固定具１３０（輪ゴムなど）によって、キャップ１１０と樹脂フィルム１２０とが固定された後に、滅菌処理されたレンズカバー１００を水浸対物レンズ１０に装着する。なお、水浸対物レンズ１０とレンズカバー１００との間に隙間が存在する場合には、水浸対物レンズ１０とレンズカバー１００との隙間を液体（純水など）で満たす。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で固浸レンズを観察対象物に密着させることが可能である対物レンズソケットを提供する。
【解決手段】 対物レンズソケット９は、対物レンズ２１の鏡筒２６の先端部に取り付けられるベース部７０と、固浸レンズホルダ８が取り付けられると共に、ベース部７０に対物レンズの光軸Ｌ方向に摺動可能に取り付けられる可動部材８０とを備え、固浸レンズホルダを対物レンズの前方に配置する。この構成では、固浸レンズホルダを対物レンズの前方に好適に配置できる。そして、固浸レンズホルダが有する固浸レンズを光軸Ｌ方向に移動させることが可能であり、その結果として、固浸レンズ６を観察対象物１１に容易に密着させることができる。 （もっと読む）

開口数（Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ａｐｅｒｔｕｒｅ）を向上し、蛍光性の光のクロストークを減少させるために、蛍光性の光の励起およびサンプルからの検出のためのシステムおよび方法。該システムは、サンプルを分析する励起システムであって、光源と、筐体であって、該筐体はサンプルを搬送し、内部全反射によって、該光源から光を伝搬する、筐体と、該光源から該筐体へ該筐体の壁を通って導くように構成された結合光学素子と、該筐体および該結合光学素子と光学的に結合するような方法で配置された屈折率整合組成物とを備えている。
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イオン形成成分、たとえば蒸気圧が比較的高い酸または塩基を含有した液浸液が提供される。また、この液浸液を使用したリソグラフィ方法およびリソグラフィシステムが提供される。 （もっと読む）

【課題】 液浸対物レンズと試料の間に充填した純水における、有機物の溶解を防止すると共に、ＤＯの増加を防止して、歩留まりを向上すること。
【解決手段】 鏡筒２０の筒状部材２０ｂの先端部近傍に、チャンバ４０が設けてあり、このチャンバ４０には、供給ノズル３５の吐出口が接続してある。従って、供給ノズル３５から清浄な空気がチャンバ４０内に噴出されると、液浸対物レンズ８の焦点位置近傍（即ち、液浸対物レンズ８とウエハＷの間）の純水ＰＷの周囲に、ＦＦＵ３０によって清浄化された有機物やパーテイクルを含まない清浄な空気を供給することができる。これにより、純水ＰＷの周囲は、清浄な空気により局部的にパージされ、純水ＰＷが有機物を含む空気にさらされることがなく、純水ＰＷ中に、空気中の有機物が溶解することがない。 （もっと読む）

【課題】 液浸系の対物レンズを用いた場合に、基板の観察点に供給された液体を取り残すこと無く除去できる顕微鏡観察装置を提供する。
【解決手段】 観察対象の基板１０Ａを支持する支持手段(ステージ部)と液浸系の対物レンズとを備えた液浸顕微鏡２０と、対物レンズを用いた基板の観察時に該基板の観察点に供給される液体２８および/または該液体の周辺に向けて空気を吹き出すことにより、液体を乾燥させる送風手段（ファンフィルタユニットのファン１６Ａ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板の観察点に供給された液体を除去する際、その進行状況を簡単かつ迅速に監視でき、液浸法による基板の観察を効率よく行える顕微鏡観察装置を提供する。
【解決手段】 観察対象の基板１０Ａを支持する手段２１と、液浸系の対物レンズ２４と、対物レンズの焦点位置に対する基板の合焦状態に応じてフォーカス信号を生成する手段４０と、対物レンズの先端と基板の観察点との間に液体が供給された後、フォーカス信号に基づいて、対物レンズと基板との相対位置を調整する手段５０と、基板の観察終了後に液体を除去する除去手段と、除去手段による液体の除去中に、フォーカス信号に基づいて液体除去の進行状況を監視する監視手段５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 液浸光学系において、ＮＡを最終レンズに用いられる硝材の屈折率の屈折率近傍以上まで高める。
【解決手段】 光源からの光１０を第１の面１３ａに向かって集束させる光学系であり、該第１の面に最も近いレンズ面１１ａが凹面であるレンズ１１と、該レンズ面と第１の面との間の光の透過領域を満たす液体１２とを有する。さらに、以下の条件を満足する。
ｄ＞Ｌ／［２×ｔａｎ｛ａｒｃｓｉｎ（ＮＡ／ｎｉ）｝］
但し、第１の面に対して略直交する方向において該レンズ面上の第１の点１１ｂと第１の面上の第２の点１３ｂとの間の距離が最大となる場合に、ｄは第１の点と第２の点との間の距離、Ｌ／２は第２の点から第１の面上での光の照射領域Ｌの端までの最大距離、ＮＡは該光学系の開口数、ｎｉは該液体の屈折率である。 （もっと読む）

【課題】標本と液浸対物レンズとの間に、気泡を発生させることなく浸液を充填することができる液浸顕微鏡を提供する。
【解決手段】最も標本７側のレンズ面が凹面である液浸観察用の対物レンズ１２を介して、標本７と対物レンズ１２との間に浸液１６を充填させた状態で標本７の拡大像を形成する顕微鏡光学系と、標本７における所望の観察部位に浸液１６の液滴を供給する浸液供給装置１７と、標本７と対物レンズ１２との相対位置を移動させる移動手段８と、対物レンズ１２の光軸ＡＸと観察部位の中心Ｏとがずれた位置で対物レンズ１２の先端を液滴１６の傾斜部１６ａに接触させ、次に対物レンズ１２の光軸ＡＸと観察部位の中心Ｏとが一致するように、移動手段８を制御する制御手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

屈折率ｎ_Ｌの材質により曲率半径Ｒ_Ｌの球面状のレンズ面１０を有して形成された固浸レンズ（ＳＩＬ）１を用いて試料２の像を観察する。この試料観察において、ＳＩＬ１による幾何学的収差特性を所定の光学系を用いて評価する。そして、その平均像面がフラットになる条件や、色収差特性が良好となる条件を満たすように設定された係数ｋ（０＜ｋ＜１）により、レンズ面１０の球心Ｃから光軸Ａｘに沿ってｋ×（Ｒ_Ｌ／ｎ_Ｌ）だけ下流側にある点を含み光軸Ａｘに直交する面を試料観察面２０として、ＳＩＬ１を用いた試料の観察を行う。これにより、固浸レンズを用いて試料の像を良好に観察することが可能な試料観察方法、及び固浸レンズが実現される。
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【目的】 投影レンズの侵食を回避して長期間安定して使用できる高性能の液浸型レンズ系及びこれを備える投影露光装置を提供すること。
【構成】 本体部材４４ａの表面が研磨された研磨面ＰＳとなっており、この研磨面ＰＳ上に純水等の液浸に対して極めて溶解度が低い溶解防止膜ＰＦが薄く形成されている。この結果、側面４３ｄの浸液に対する耐性を高めることができ、低い応力によって光学素子４３の光学特性を高く維持することができる。しかも、光学素子４３の先端が溶解防止膜ＰＦによって保護されており、蛍石やフツ化バリウム等が純水等の浸液ＩＬに浸食されることを防止できるので、蛍石やフツ化バリウム等の溶解成分がウェハＷ表面に付着・浸透して半導体製造に致命的な影響を与えてしまうことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 液浸系対物レンズを用いた半導体ウエハ等の標本の外観検査後に、標本上に残存する液体を速やかに乾燥して、標本への塵埃等の付着やウォーターマークの発生を著しく減少させることができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 ウエハＷの外観検査を行う顕微鏡装置１において、、ウエハＷを保持する保持ステージ３１及び保持ステージ３１を傾斜させる駆動部３２を有する液体乾燥装置３０と、検査ステージ２１と保持ステージ３１との間でウエハＷの搬送を行うウエハ搬送装置４０とを備え、外観検査終了後、吸引ノズル２２ｄにより液体Ｅが吸引されたウエハＷを、搬送アーム４２により検査ステージ２１から保持ステージ３１へ搬送した後に、この保持ステージ３１を駆動部３２により傾斜させ（図２中の矢印（１）参照）且つ回転部３３により回転させて（図２中の矢印（２）参照）、該ウエハＷの表面に残留した液体Ｅを振り切って、ウエハＷを乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】 接合レンズを使わずに色収差を補正することで安価な光源が使用でき、高い解像度を有する液浸系の深紫外対物レンズ及びこれを用いた光学装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る対物レンズは、深紫外波長域で用いられ、全てのレンズＬ１〜Ｌ２０が単レンズからなり、前記全てのレンズＬ１〜Ｌ２０は互いに異なる２種類以上の媒質（石英及び蛍石）で構成され、物体面と最も物体側に配置されたレンズＬ２０との間を液体（水）で満たした状態で用いて、物体を拡大して観察するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 通常のオイルを使用する場合でも、その開口数ＮＡを１.４５より大きくできる液浸系顕微鏡対物レンズを提供する。
【解決手段】 物体側から順に第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３とを配置し、第１レンズ群に含まれる平凸レンズ１１とメニスカスレンズ１２との接合面１１ｂの曲率半径ｒ₁、平凸レンズの中心厚ｄ₁、平凸レンズの平面から物体面までの距離ｄ_A、カバーガラスの厚さｄ_B、平凸レンズの屈折率ｎ₁、メニスカスレンズの屈折率ｎ₂、全体の焦点距離ｆ、第３レンズ群の焦点距離ｆ₃が、次の条件式を満足するように構成する。
√[|ｒ₁|²−(|ｒ₁|−ｄ₁)²]−[５.１３×(ｄ_A−ｄ_B)＋０.７７５] ＞０
|ｒ₁|＋１６.６７×(ｎ₁−ｎ₂)/ｎ₁/ｎ₂ ＜０
０.１０＜|ｆ/ｆ₃|＜０.１６ （もっと読む）

【課題】 複数の励起光照射領域それぞれについて同時に又は順次に蛍光相関分光法により測定するのに好適に用いられ得る励起光照射光学系を備える蛍光顕微鏡および蛍光相関分光解析装置を提供する。
【解決手段】 蛍光顕微鏡１１は、対物レンズ１０１、ダイクロイックミラー１０２、ハーフミラー１０５、ミラー１０６、レーザ光源１１１、ＮＤフィルタ１１２、ビームエクスパンダ１１３、ミラー１１４、空間光変調素子１１５、レンズ１３１、バンドパスフィルタ１３２、空間光変調素子１３３、検出部１３４等を備える。空間光変調素子１１５は、空間的な変調が可変であり、以降の光学系を介して空間的に変調した励起光を被測定試料１に照射させることで、被測定試料１中において励起光が照射される領域の個数・位置・形状を設定することができる。 （もっと読む）

【課題】 レンズ表面の曇り及び液浸時に付着したコンタミを除去すること。
【解決手段】 照明光学系２０と、光学レンズ系３３と、半導体基板１０を搭載する試料台３７を移動させるためのステージ３４と、光学レンズ系３３と半導体基板１０との間に液体の層を形成するための水注入・回収器３６と、液体が接触する部位の洗浄を洗浄液によって行う洗浄機３８とを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】 液浸系の対物レンズを用いた場合に、供給された液体を効率よく回収できる顕微鏡観察装置を提供する。
【解決手段】 液浸系の対物レンズ４０と、液体３０が基板４０Ａの観察点に供給された状態で、その観察点を対物レンズの焦点面１０ｃのうち対物レンズの光軸１０ａ付近に位置決めする位置決め手段と、位置決め手段により位置決めされた状態(ａ)から、基板を対物レンズに近づけて（状態(ｂ)）、観察点から液体を回収する回収手段３２とを備える。 （もっと読む）