【課題】 例えば１．７程度の大きな像側開口数および良好な結像性能を確保することのできる液浸型の投影光学系。
【解決手段】 第１面（Ｒ）の像を第２面（Ｗ）上に形成する本発明の液浸型の投影光学系は、第１面側の面が気体に接触可能であって且つ第２面側の面が液体（Ｌｍ）に接触可能な光学素子（Ｌｂ）を備えている。光学素子の第２面側に接触可能な液体は、液浸対物光学系中の気体の使用光に対する屈折率を１とするとき、使用光に対して１．５よりも大きい屈折率を有する。光学素子の第１面側の面の曲率半径をＲｂとし、光学素子の第１面側の面の有効径をＥｂとし、光学素子を形成する光学材料の使用光に対する屈折率をＮｂとするとき、３．２＜Ｎｂ・Ｅｂ／｜Ｒｂ｜＜４．０の条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】 基板の移動を利用せずに観察状態を実現することができ、基板の表面の状態（親水性／撥水性）に拘わらず、観察点の周囲の不要な箇所（後から回収できない箇所）への液体の広がりを防止できる液浸顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 液浸系の対物レンズ２２の先端５１と観察対象の基板とを対向させた状態で、先端５１と基板との間の光路に対して略垂直な第１方向に空気を流すと共に、該第１方向と光路との双方に略垂直な第２方向に関して空気の流れ幅を制限する溝形状の通風路(５１〜５４)と、通風路の上流側に配置され、幅が狭い管状部材２３を用いて、先端５１と基板との間に液体を吐出する手段と、通風路の下流側に配置され、通風路の上流側から取り込んだ空気と共に液体を吸引する手段とを備える。また、吐出手段の先端から光路までの距離Ｘ２と、光路の近傍における通風路の幅Ｙとは、条件式 Ｘ＜(Ｙ/２) を満足する。 （もっと読む）

【課題】 被検体上に浸液による染み等が発生するのを防止することができる顕微鏡システムの提供。
【解決手段】乾燥系対物レンズ３，４により基板１０を観察する観察系Ａと、基板１０上の浸液４０と接する液浸系対物レンズ７により基板１０を観察する観察系Ｂと、液浸系対物レンズ７で観察した後の基板１０の浸液４０を蒸発させる蒸発機構とを備える。蒸発機構は、照明光を発生する光源１と、その照明光を基板１０へ導く対物レンズ４とを有する。 （もっと読む）

試料のミクロ的検査を行う液浸対物レンズであって、浸漬媒体特に浸漬液（７）を、試料または試料スライドガラスと前記対物レンズの外側レンズ（３）との間の領域内に供給する供給装置（６）を有し、供給装置（６）はキャップ（８）を含み、キャップ（８）が対物レンズ本体（４）を取り囲み、外側レンズ（３）の領域に開口し、且つ外側レンズ（３）に対して隙間（９）を形成し、浸漬液（７）を受け入れるスペースがキャップ（８）内に形成され、浸漬液（７）が隙間（９）を通って流出する対物レンズにおいて、供給装置（６）は、キャップ（８）内に設けられ浸漬液（７）を連続的に供給するための少なくとも１つのコネクタを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液浸型リソグラフィ装置において、曲面レンズ要素および液浸液を使用するために、曲面レンズ要素と基板または基板テーブルの間の空間を液浸液で充填する方法を改善する。
【解決手段】投影システムで使用されるレンズ要素２１は、凹側を含む。レンズ要素２１はさらに膜およびノズルを含み、膜は少なくともレンズ要素２１の凹側を覆う。ノズルは、凹側と膜の間に液体１１および／または気体を供給しおよび／またはそこから除去するように構成される。 （もっと読む）

【課題】観察位置が確定していない状態で、観察対象物に対して適正な位置に細径先端部の先端面を容易に配置することができ、簡易かつ迅速に観察対象部位の画像を取得する。
【解決手段】細径先端部３を有する対物レンズ２に固定される支持部４と、細径先端部３を収容する筒状部５とを備え、支持部４が、筒状部５の先端５ａを細径先端部３の先端面３ａよりも前方位置に配置するとともに、該筒状部５を光軸方向に移動可能に支持する対物レンズ用ガイド装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 試料表面において液体等が流動している場合であっても表面情報を取得することが可能な表面情報取得装置及び表面情報取得方法を提供すること。
【解決手段】 表面から所定距離離れて浮遊するプローブ粒子Ｐを用いて試料Ｓの表面情報を取得する表面情報取得装置１Ａであって、光源２と、プローブ粒子Ｐの像（プローブ像）を得る結像装置３と、プローブ像を撮像してプローブ画像を得る撮像装置４と、プローブ画像からプローブ粒子Ｐの位置情報を取得し、当該位置情報から試料Ｓの表面情報を取得する画像処理装置１０とを備える。画像処理装置１０は、予め格納されたプローブ画像におけるプローブ粒子Ｐの大きさを規定する値である直径とプローブ粒子Ｐの試料Ｓ表面からの距離との関係を示す校正データと撮像装置４によって撮像されたプローブ粒子Ｐの直径とに基づいて、プローブ粒子Ｐの位置情報を得る。 （もっと読む）

【課題】微弱蛍光観察においてＳ／Ｎ比の良い画像を取得することが可能であり、また、対物レンズを用いた全反射照明のための光学調整を容易にすることが可能な、高開口数を持つ光学システムとしての、イマージョン物質を用いた観察システム、測光システム、観察方法、及び測光方法を提供する。
【解決手段】低蛍光なイマージョン物質を用いてなる蛍光観察又は蛍光測光システムであって、前記低蛍光なイマージョン物質が次の条件式を満足し、且つ、前記低蛍光なイマージョン物質におけるｄ線（５８７．５６ｎｍ）における屈折率ｎｄが１．７０以上である。
Ｂ_IM'／Ｂ_IM≦０．７
ただし、Ｂ_IM'は前記低蛍光なイマージョン物質の自家蛍光の強度の平均値、Ｂ_IMは従来一般的に使用されているイマージョン物質の自家蛍光の強度の平均値である。 （もっと読む）

【課題】光学的プロービングシステムと、効率的な集光を可能にするとともに、標本の熱管理を可能にする方法とを提供する。
【解決手段】標本または被検デバイス１１１を撮像する光学的受光器１００は、対物レンズハウジング１１０と、対物レンズハウジング１１０内に取り付けた対物レンズ１２０と、対物レンズハウジング１１０上、とくに、対物レンズハウジング１１０の円錐状部分１２２の頂部に取り付けた固体浸レンズ（ＳＩＬ）１２６と、対物レンズハウジング１１０の表面、とくに、対物レンズハウジング１１０の円錐状部分１２２に装着した熱管理装置１１４とを備える。熱管理装置１１４は、冷却剤管路、熱電冷却（ＴＥＣ）装置等であってもよい。冷却剤スプレーを、撮像する標本１１１に噴霧することもできる。 （もっと読む）

非常に強い縦場を作り出すのに用いられ得るユニークな焦点特性を有する特別な偏光状態が生成される。表面プラズモン励起と組合せると、これらの偏光状態は、無開口近接場スキャニング光学顕微鏡検査システムにおいて用いられ得る。ラジアル偏光ビームが、金属コーティングされる、テーパが設けられた無開口チップを含むプラズモン生成光学ファイバの中に方向付けされる。無開口チップは、ラジアル偏光ビームがプラズモン生成光学ファイバに沿って伝播すると、表面プラズモン波を励起し、当該表面プラズモン波をチップに方向付けする。対物レンズがこの無開口の近傍に位置決めされる試料からの近接場光学信号を収集する。無開口ＮＳＯＭの潜在的な空間分解能は１０ｎｍを超え得る。このような強い場の増強により、１０ｎｍを超える分解能で、試料の機械的および化学的組成を計測し得る信頼性のあるナノラマンシステムの開発を可能にする。
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【課題】マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物器械、特に、材料関連光学特性、例えば、光学要素の容積にわたって変化する屈折率又は複屈折性を有する屈折光学要素を有する投影対物器械を提供する。
【解決手段】１．６よりも大きい屈折率を有する高屈折率屈折光学要素（Ｌ３）を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物器械。この要素（Ｌ３）は、ある一定の容積、及びこの容積にわたって変化する材料関連光学特性を有する。この光学特性の変化は、対物器械の収差を引き起こす。一実施形態では、少なくとも４つの光学面が設けられ、これらの光学面は、屈折光学要素の容積と光学的に共役である少なくとも１つの容積（Ｌ３’）内に配列される。各光学面は、少なくとも１つの補正手段、例えば、局所的に変化する特性を有する表面変形又は複屈折層を含み、これらの補正手段は、光学特性の変化によって引き起こされる収差を少なくとも部分的に補正する。 （もっと読む）

【課題】保持器またはシーリングに起因する光学特性に対する干渉を回避し、対物部空間の汚染を生じさせない、光学エレメントのシーリング支持のためのデバイスを提供する。
【解決手段】光学エレメントをマウントするための少なくとも１つの保持エレメント（１）および保持エレメントの少なくとも部分とシーリング接触するためのシーリング・エレメント（３）を伴う、光学エレメントであって、特に光学レンズ（２）の保持、特にシーリング支持のためのデバイスまたはデバイスの動作に関し、それにおいてはシーリング・エレメントまたは少なくともそれの部分が、シーリング・エレメントが光学エレメントと当接する第１の位置と、シーリング・エレメントが光学エレメントから離隔される第２の位置の間において変位可能であるか、シーリング・エレメントが異なる接触圧または調整可能な接触力を伴って光学エレメントに当接するように切り替え可能である。 （もっと読む）

【課題】第１対物レンズの焦点に、乾燥系あるいは液浸系の観察対象物（標本）の任意の位置合わせを可能とするオートフォーカス装置及びそれを用いる顕微鏡を提供する。
【解決手段】ＬＥＤ光源２０からの照明光をスリット状にし、第１対物レンズ１２で集光結像し、ステージ１１上の標本１８に照射し、その反射像を第１対物レンズ１２を通してオートフォーカス用ＣＣＤ３０で結像し、第１対物レンズ１２の焦点に標本１８を位置決めするオートフォーカス装置において、ダイクロイックミラー１６と第１ハーフミラー２５の間に焦点位置調節レンズ８を配設し、この焦点位置調節レンズ８を光軸に沿って前後に移動することにより、前記スリット照明光の焦点位置を調節可能とし、それにより、第１対物レンズ１２の焦点に標本１８の任意の位置合わせを可能とする。更に、標本が液浸系、乾燥系の場合に応じた基準面を設定し、共に観察可能とした。 （もっと読む）

【課題】 基板の移動を利用せずに観察状態を実現することができ、基板の表面の状態（親水性／撥水性）に拘わらず、観察点の周囲の不要な箇所（後から回収できない箇所）への液体の広がりを防止できる液浸顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 液浸系の対物レンズと、基板の表面のうち対物レンズの先端と対向する観察点から外れた非観察点に液体を吐出する手段（Ｓ２）と、非観察点に吐出された液体を吸引して観察点まで移動させる手段（Ｓ３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＤＵＶ光で液浸露光ができる光学窓、及びマイクロリソグラフィシステムを提供する。
【解決手段】光学窓の窓基板は、入射面であって入射面が光透過性液体に対して疎溶媒性となるように配置されたサブ波長アスペリティ（粗さ、凹凸）によって装飾された入射面を有する。サブ波長アスペリティは、入射面が液体に対して超疎溶媒性となるように、様々な形状及び組み合わせを有することができ、規則的あるいは不規則的に配置可能である。 （もっと読む）

【課題】液浸観察の際のバクテリアによる汚染を低減する。
【解決手段】本発明では、観察対象の基板１０Ａを支持する支持手段２２と、液浸系対物レンズ２３と、液浸観察用の液体の循環経路３０から分岐した支管５０を介して、循環経路３０を循環する液体の一部を対物レンズ２３の先端と基板１０Ａとの間に供給する供給手段２４，３１とを有し、供給手段２４，３１により循環経路３０を循環する液体を支管５０内に流すとともに液体吸引装置４０により支管５０内の液体を外部に排出して残留液体を交換するようになっている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、液浸顕微鏡の対物レンズ鏡筒のレンズ部と試料との間を液体で満たして使用される液浸顕微鏡装置に関し、試料面に供給された液体あるいは試料面に付着した液体の有無を確実に検出することを目的とする。
【解決手段】
液浸顕微鏡の対物レンズ鏡筒の先端レンズ部と、試料との間に液体を供給する液体供給手段と、前記先端レンズ部と前記試料との間の前記液体を吸引する液体吸引手段と、前記液体吸引手段の作動後に、前記試料上の残留する前記液体を検出し、前記液体の残留情報を取得する液体検出手段と、前記液体吸引手段で検出された前記液体の残留情報が所定条件を上回ると、前記試料に悪影響を及ぼす量の前記液体が残留していると判別する液体残留判別手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 光照射等に弱い生物標本や低反射率の試料に対して合焦位置および試料位置を高精度で計測できる標本合焦位置高精度計測法を提供する。
【解決手段】 試料境界面からの全反射光を用いることにより、透明試料等で低反射率の試料においても、強い反射光を得ることができる。試料境界面が高さ方向にΔｚ変化すると、反射光は、試料境界面内で横方向にΔｘずれた位置から出てくるとみなされる。このΔｘを、試料位置計測用光センサーで計測する。ΔｚとΔｘの間には、Δｘ＝２tanθ×Δｚの関係があるので、入射角θを大きくすることにより、同じΔｚの変化量に対しても、より大きなΔｘの変化量を得ることができる。即ち、全反射による強い反射光強度とあわせ、より高精度でΔｚを求めることができる。光源よりの入射光を対物レンズの辺縁部分の全反射領域を含む高開口数の領域に通すと、透明試料等も高精度で合焦位置および試料位置を計測できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、対物レンズ鏡筒のレンズ部と試料との間を液体で満たして使用される液浸対物レンズ鏡筒および液浸顕微鏡に関し、試料面に供給された液体を確実に回収することを目的とする。
【解決手段】 対物レンズ鏡筒の先端のレンズ部と試料との間に液体を供給する液体供給手段と、前記レンズ部と前記試料との間の前記液体を吸引する液体吸引手段とを備え、前記液体吸引手段は、前記液体を吸い込む吸込口と、前記吸込口からの前記液体を溜める液溜め部と、前記液溜め部の前記液体を吸引する吸引管路部とを有し、前記液溜め部の通路断面積を前記吸引管路部の通路断面積より大きくするとともに、前記吸引管路部の通路断面積を、前記吸込口の面積と同一または大きくしてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 １よりも大きな開口数を有し且つ収差が良好に補正された対物光学系。
【解決手段】 本発明の対物光学系は、物体側から順に、ほぼ平行平面状の形態を有する第１光学部材（３１ａ）と、射出側に凸面を向けた正の屈折力を有する第２光学部材（３１ｂａ）と、正レンズ群（３１ｂｂ）と、負レンズ群（３１ｂｃ）とを備えている。第１光学部材と第２光学部材との間の光路は、対物光学系の入射側最大開口数よりも大きい屈折率を有する媒質（Ｌｍ３）で満たされている。 （もっと読む）