【課題】精度良い露光処理を行い、所望の性能を有するデバイスを製造すること。
【解決手段】露光光を用いて基板上に所定のパターンを形成する露光装置であって、前記露光光の光軸に対して移動可能なステージ装置と、前記ステージ装置に設置され、上部に液体が供給される光透過性部材と、検出を行う際に前記光透過性部材の下部に配置可能な検出装置とを備える。波面収差測定器等の光学測定機器への露光用の液体の漏洩や浸入を防止し、像性能や光学特性等の光学調整を良好に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】外径が細く、全長が長く、諸収差が良好に補正されていて、多光子励起にも使用可能な高開口数でｉｎ ｖｉｖｏ観察に適した液浸細径対物光学系を実現する。
【解決手段】物体側から順に、像側に凸面を向けた平凸レンズＬ２を含む正屈折力の第１群Ｇ１と、最も物体側のレンズ面が物体側に凸面を向けたレンズＬ３を含む正屈折力の第２群Ｇ２と、最も像側のレンズ面が像側に凹面を向けたレンズＬ６を含む負屈折力の第３群Ｇ３と、最も物体側に配置され像側レンズ面が像側に凸面を向けたレンズＬ７と、最も像側に配置され物体側レンズ面が物体側に凸面を向けたレンズＬ８とを含む正屈折力の第４群Ｇ４と、凸レンズＬ１１と凹レンズＬ１０が接合され、かつ接合面が負屈折力である接合レンズを含む正屈折力の第５群Ｇ５とで構成され、無限遠設計で第４群Ｇ４と第５群Ｇ５との間に中間結像面を有する液浸細径対物光学系１を提供する。 （もっと読む）

【課題】液浸対物レンズから乾燥系対物レンズへ切り替える際に、液体を乾燥系対物レンズの観察視野から除去することができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】標本を載置する標本ＸＹステージ１と、標本からの光を集光する乾燥系対物レンズ５および液浸対物レンズ４と、これら対物レンズのいずれか一方を標本に対向する位置に択一的に配置する可動式レボルバー６と、対物レンズの切り替えに先立って、液浸対物レンズ４を乾燥系対物レンズ５の非観察領域に配されるまで、ＸＹ方向の相対位置を変化させるように、標本ＸＹステージ１および可動式レボルバー６を制御する制御部とを備える顕微鏡装置１００を採用する。 （もっと読む）

構造化照明顕微鏡法で構造化の様々な位相位置で個別画像を度々撮像するには一連の計測中光学構成及び試料の高安定性が要求され、構造化も試料内で高均質に結像されることを要する。非線形蛍光励起では試料及びその色素は退色の負荷を受け、非線形性は照明条件に加え試料内の局部的周囲条件に依存する。従って局部的に異なる非線形性が生じ得、解像度を低下させる。本発明は高解像度の実現を目的とし、問題のある試料でも最終画像でなるべく高い解像度を達成するため個別画像の撮像が最適化される。最適化は様々な方法、例えば少なくとも１つの照明または撮像パラメータの最適調整を決定することにより、蛍光色素のある三重項状態からより高い三重項状態への励起を低減するようなパルス化照明により、または蛍光色素の三重項状態を空乏化するため抑制光で試料を照明して退色を回避することにより実施される。本発明は高解像度蛍光顕微鏡法で使用される。
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【課題】過度にシステムの複雑化を伴うことなく、液浸の有無を高精度に検出する技術を提供する。
【解決手段】レーザ光源２と、標本１６を固定するカバーガラス８と、レーザ光源２から射出される入射光を標本１６に集光する対物レンズ７と、対物レンズ７により集光された集光光を標本１６面上で走査するガルバノミラー４と、集光光の集光位置と共役な位置に配置された共焦点ピンホール１０と、カバーガラス８の表面で反射した反射光を、共焦点ピンホール１０を介して検出する光検出器１１と、光検出器１１での検出結果から得られる反射光の特性の変化に基づいて、対物レンズ７とカバーガラス８との間に光学的分解能を上げるための液浸が満たされているか否かを判断する制御装置１２と、を具備する共焦点走査型顕微鏡１である。 （もっと読む）

【課題】液浸対物レンズの光学性能を低下させることなく、長時間の観察を行えるようにする。
【解決手段】光ファイバ８１と受光センサ８２からなる検知部は、液浸用の対物レンズ２２Ａと底部透明部材２Ａとの間に満たされている液浸水７１の残量を検知し、リザーバ８３は、液浸水７１の残量が不足している場合、補充用に溜められた水７２を、液浸用の対物レンズ２２Ａと底部透明部材２Ａとの間に供給する。これにより、液浸用の対物レンズ２２Ａの先端の液浸部は、常に十分な量の液浸水７１で満たされることになるので、長時間の観察を行う場合でも液浸用の対物レンズ２２Ａの光学性能が低下することはない。本発明は、液浸対物レンズ有する顕微鏡で用いられる液体供給装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】像面が平坦で球面収差も良好に補正された液浸顕微鏡対物レンズを提供する。
【解決手段】正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、２枚の強い凹面を有し、これらの凹面が対向して配置され、全体として負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、を有し、第３レンズ群Ｇ３の最も像側に配置されたレンズは、物体側に２枚の強い凹面の一方が形成され、且つ、像側に強い凸面が形成されたメニスカス単レンズで構成される液浸顕微鏡対物レンズＯＬにおいて、第３レンズ群Ｇ３における２枚の強い凹面のペッツバール和が所定の条件を満たすように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明では多光子励起レーザー走査型顕微鏡において、明るい蛍光と高解像の両方を確保することが可能な対物レンズと、多光子励起観察に最適化されたレーザー走査型顕微鏡システムを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の上記の課題は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、弱い屈折力を有する第３レンズ群と、最も像側の面が像面に凹面を向けた負の屈折力を有する第４レンズ群と、最も物体側の面が標本面に凹面を向けた正の屈折力を有する第５レンズ群を有する液浸系顕微鏡対物レンズおいて、前記第１レンズ群は最も物体側に配置され正レンズ成分と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分との接合レンズを有し、以下の条件式 (1) 0.75 < h1/h0 < 1、(2) 0.4 < h2/h1 <0.6、(3) 0.8 < h3/h1 < 1.3を満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズによって達成される。 （もっと読む）

【課題】倍率は６０倍程度で、高開口数で、色収差が可視域から近赤外域まで良好に補正された液浸系顕微鏡対物レンズを提供する。
【解決手段】カバープレートＣ側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とからなる液浸系顕微鏡対物レンズＯＬを、第１レンズ群Ｇ１は、少なくとも１枚以上の接合レンズを有し、第２レンズ群Ｇ２は、少なくとも２枚以上の色消しレンズを有し、第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、像側に強い凹面を持つ色消しレンズＣＬ３１と、物体側に強い凹面を持つ色消しレンズＣＬ３２とを有して構成する。 （もっと読む）

【課題】液体の外部への漏れ出しを抑制する。
【解決手段】 露光装置は、ウエハＷを保持してＸＹ平面内で移動可能なウエハテーブルＷＴＢと、投影光学系ＰＬとウエハＷとの間に液体Ｌｑを供給して液浸領域を形成するノズルユニット１６と、液浸領域に少なくとも一部が接触した状態で、ウエハテーブルＷＴＢのＸＹ平面内での移動と並行して、ウエハテーブルＷＴＢと同一方向に移動可能な緩衝部材３０とを備えている。この場合、ウエハＷ表面との境界近傍の液体Ｌｑの緩衝板３０との境界近傍の液体Ｌｑに対する相対移動量は、緩衝部材が無い場合の、ウエハＷ表面との境界近傍の液体Ｌｑのノズルユニット１６（又はレンズ２６）との境界近傍の液体Ｌｑの相対移動量に比べて小さくなる。 （もっと読む）

【課題】浸漬リソグラフィの結像品質に対する浸漬液中の気泡の影響を低減するリソグラフィ装置及びデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】純水の中では、微小な気泡は表面電位をもつ。そこで、電圧発生装置が浸漬液と接触している対象物（例えば電極）に電位差を印加し、浸漬液中の気泡表面の運動電位によって、浸漬液中の気泡及び／又は粒子が対象物から引き寄せられる、又ははじかれる。投影システムの最終要素に近い対象物の形は、どんな形でもよい。 （もっと読む）

高い開口数の光学顕微鏡およびリソグラフィにおける、屈折率を一致させる浸液を供給するための方法および装置が記述される。浸液の液滴のアレイ（７０）が、浸液印刷装置によって、試料基板または試料基板カバーに送られる。浸液貯蔵容器は、浸液を、精密ポンプによって該印刷装置に供給する。印刷装置は、浸液を、決められた量およびアレイパターンで、基板または基板カバーに送る。該基板または基板カバーに送られる小滴の該量およびアレイパターンは、浸液における気泡の生成および浸液の過剰な量の堆積を回避しつつ、基板または基板カバーと浸液対物レンズの間に、適切な浸液を維持するように最適化される。 （もっと読む）

【課題】シリコーン膜上に培養された生細胞が顕微鏡観察されてきたが、(1)60倍油浸レ
ンズの作動距離（最大150μm）では、厚さ200μmであるような従来のシリコーン膜上の細胞を観察することはできない、及び、(2)油浸レンズのレンズオイルはシリコーンの膨張
や白濁を引き起こすため、レンズオイルはシリコーン膜と接触することはできないことから、対物レンズとして高倍率を得るための油浸レンズ、例えば、60倍油浸レンズと倒立顕微鏡を用いてシリコーン膜上の細胞を観察することが出来なかった。
【解決手段】シリコーン膜とオイルレンズの間にガラス板を挿入することで、シリコーン膜上の細胞および細胞内分子を倒立顕微鏡により高倍率かつ長時間観察することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 固浸レンズと観察対象物との密着性を向上させることができる固浸レンズホルダを提供する。
【解決手段】 固浸レンズホルダ２００は、固浸レンズ６を保持するレンズ保持部６０を有するホルダ本体８と、このホルダ本体８を対物レンズ２１の前端部に取り付けるための対物レンズソケット９とを備えている。固浸レンズ６は、レンズ保持部６０に対して固定されずにフリーな状態で保持される。対物レンズソケット９には、ホルダ本体８を振動させる振動発生部１２０が取り付けられている。振動発生部１２０は、モータ保持部材１３０に保持された振動モータ１４０を有し、この振動モータ１４０の出力軸１４１には、重量的に偏った構造の重り１４２が取り付けられている。振動発生部１２０で発生した振動は、対物レンズソケット９及びホルダ本体８を介して固浸レンズ６に伝えられる。 （もっと読む）

【課題】 固浸レンズと観察対象物との密着性を向上させることができる観察装置及び方法を提供する。
【解決手段】 半導体デバイス１１の観察を行う場合、まず固浸レンズ６が半導体デバイス１１に接触したことが検知されると、振動発生部により固浸レンズ６を振動させる。続いて、固浸レンズ６からの反射光像を入力し、反射光像の反射光量ｍを算出し、この反射光量ｍの入射光量ｎに対する比率（ｍ／ｎ）が閾値Ａを越えていないかどうかを判断する。比率（ｍ／ｎ）が閾値Ａを越えているときは、固浸レンズ６と半導体デバイス１１との光学的密着が得られていないと判断され、再び固浸レンズ６を振動させる。比率（ｍ／ｎ）が閾値Ａを越えていないときは、固浸レンズ６と半導体デバイス１１との光学的密着が得られていると判断され、半導体デバイス１１の観察画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】長時間観察における画像の経時的な不鮮明化を防止する。
【解決手段】標本Ａを収容する標本容器５と、該標本容器５に対向して配置され、標本容器５内の標本Ａからの光を集光する対物レンズ７と、該対物レンズ７と標本容器５との間の空間にイマージョン液を供給するイマージョン液供給手段１４と、対物レンズ７と標本容器５との間の空間からイマージョン液を除去するイマージョン液除去手段１５とを備え、該イマージョン液除去手段１５が、対物レンズ７と標本容器５との間の空間に圧縮空気を噴射するノズル２２を備える顕微鏡装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】生体内観察に使用する際にも観察対象の自由度を高めつつ、レンズの焦点位置の調整をも容易にすることで、エバネッセント光照明を実現すること。
【解決手段】この対物レンズユニット１は、観察対象の試料Ａに近接させて試料Ａの像を拡大するための対物レンズユニットであって、対物レンズ２の先端を覆い、その先端側に向けて径が小さくなるようなテーパ部１１が形成された略円筒状のレンズ収容カバー４を備え、レンズ収容カバー４は、テーパ部１１の先端側において対物レンズ２の光軸Ｌ１に対して略垂直な面に沿って設けられた窓部１２と、対物レンズ２の基端側において対物レンズ２を光軸Ｌ１に沿った方向に移動可能に把持する駆動用リング部材６とを有する。 （もっと読む）

【課題】タイムラプス観察など長期間の観察において、観察者に対して長期間継続的に液体の注液状態を監視させることなく、良好な注液状態を維持して良好な蛍光像を得ることが可能な蛍光撮像方法及び蛍光撮像装置を提供する。
【解決手段】液浸対物レンズを備えた倒立型の蛍光撮像装置を用いて蛍光観察体を一定期間撮像する蛍光撮像方法において、蛍光観察体を収納したウェルを複数有する容器の所定ウェルを蛍光撮像装置の撮像位置に配置するステップＳ１と、蛍光撮像装置内の液浸対物レンズの先端部と所定ウェルとの間に所定量の液体を注液するステップＳ２と、液浸対物レンズの先端部との間に液体が充填されている所定ウェル内の蛍光観察体を撮像するステップＳ３と共に、所定の時間的間隔で１回の注液ステップＳ２とその後に行う所定回数の撮像ステップＳ３とからなる一連の操作を繰り返す、制御ステップＳ４を備える。 （もっと読む）

【課題】広域画像の範囲を最低倍率の対物レンズで得られる視野に制限されない拡大画像観察装置等を提供する。
【解決手段】観察対象物を拡大表示する拡大画像観察装置であって、観察対象物の画像を取得するための光学撮像系と、観察対象物を低倍率で撮像した広域画像ＷＩを表示するための広域画像表示領域ＷＡと、高倍率で撮像した拡大画像ＭＩを表示するための拡大画像表示領域ＭＡを有する表示部と、複数の広域画像ＷＩを予め取得し、各々保持するためのメモリ部と、観察対象物を載置するための試料載置部２８と、試料載置部２８を光学撮像系に対して相対的に移動させるための移動機構とを備え、広域画像表示領域ＷＡに表示される広域画像ＷＩを切り替え可能に構成できる。これにより、複数枚の広域画像ＷＩを登録可能で、かつこれらを適宜切り替えて表示可能となり、一枚の広域画像の表示領域に制限されず、より広い範囲での視野探しが可能となる。 （もっと読む）

【課題】対物レンズに対するアダプタの取り付け誤差の影響を低減してワーキングディスタンスを精度よく設定できる液浸顕微鏡装置の提供。
【解決手段】液浸系の対物レンズと、対物レンズの先端側に装着されるアダプタ２５とを備える。アダプタは、対物レンズの先端５１と観察対象の基板との間の光路の周囲に、該光路に対して垂直で且つ基板に最も近接する平坦部５４を有すると共に、該平坦部と基板との間の隙間を調整する調整部６２を有する。 （もっと読む）