【課題】 液浸観察時の基板の表面（液体との接触部分）における汚れの付着を抑制することができる液浸顕微鏡装置を提供すること。
【解決手段】 観察対象の基板１０Ａを支持する支持手段２１,２２と、液浸系の対物レンズ２３と、対物レンズの先端と基板との間に液体１９を供給する供給手段２４,２９と、液体と対物レンズとを介して基板の画像を取り込む画像取込手段２８,２９と、供給手段による液体の供給から所定時間が経過したときに液体を基板から除去する除去手段２５,２９とを備える。 （もっと読む）

【課題】単純かつコンパクトに構成された、すれすれ入射の交互照明による暗視野顕微鏡法のための顕微鏡用照明装置の提供。
【解決手段】試料からの光を受容するためのフロントレンズと、該試料に照明光を案内するための暗視野照明装置とを有する顕微鏡用の暗視野対物レンズにおいて、
前記暗視野照明装置は、試料を交互に逆平行に照明するための、夫々光軸に対向するよう前記フロントレンズの周囲に配置される少なくとも一対の光出射結合素子を含むこと
を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 液浸観察の際のバクテリアによる汚染を低減する。
【解決手段】 観察対象の基板１０Ａを支持する支持手段２２と、液浸系の対物レンズ２３と、液浸観察用の液体の循環経路３２〜３４から分岐した支管（ユースポイント３５から吐出ノズル２４の先端までの管）を介して、液体の一部を対物レンズの先端と基板との間に供給する供給手段２４,３１と、支管の先端に位置する供給用の開口部より大きな排液用の開口部２６を有し、該排液用の開口部を少なくとも対物レンズの光軸方向に移動させて供給用の開口部と対向させ、支管内に残された液体を排液用の開口部から排出する排出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板の品質を損なわずに非破壊で基板の液浸観察を行える液浸顕微鏡装置を提供すること。
【解決手段】 観察対象の基板１０Ａを支持する支持手段１１〜１３と、液浸系の対物レンズ１４と、超純水の循環経路２６から所定量の超純水を取り込み、該超純水を観察用の液体として対物レンズの先端と基板との間に供給する第１の供給手段１５,１６と、基板の観察後に、観察用の液体を除去する第１の除去手段２０〜２２と、循環経路２６から所定量の超純水を取り込み、該超純水を用いて洗浄用の液体を生成し、該洗浄用の液体を基板のうち観察用の液体と接触していた領域に供給する第２の供給手段１７〜１９と、基板の洗浄後に、洗浄用の液体を除去する第２の除去手段２０〜２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 液浸系の対物レンズの先端を効率よく短時間で乾燥させることができる液浸顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 観察対象の基板１０Ａを支持する支持手段(４１〜４６)と、液浸系の対物レンズ１１と、対物レンズの先端と基板との間に観察用の液体３１を供給する供給手段(１３,１４)と、基板の観察後に、乾燥用の流体３２を用いて、対物レンズの先端を乾燥させる乾燥手段(１５,１６)とを備える。 （もっと読む）

【課題】被観察者が運動時であっても血管や血球像が高分解能に観察可能で、かつ観察対象物を焦点深度内に容易に保持できる小型、軽量な装着型顕微鏡システムを提供すること。
【解決手段】可動ユニット１１０は、血管１３１に対して単一波長の光を照射する固体光源１１１と、少なくとも対物レンズ１１２と、血管１３１の像を取り込むイメージセンサ１１３とを備える撮像手段１１４と、撮像手段１１４を、血管１３１を含む被観察者１３０の身体の一部に対して一体的に押圧固定するための装着手段１１７と、血管１３１が対物レンズ１１２の焦点深度内に位置するように少なくとも対物レンズ１１２を光軸に沿った方向に移動するためのピント合わせ手段１１５とを有し、固定ユニット１４０は、画像信号を生成する信号処理手段１４２と、画像信号に応じて画像表示を行う表示手段１４３とを有する。 （もっと読む）

本発明は、イメージ化される物体の断層イメージング装置に関し、その断層イメージング装置は、イメージ化される物体のスライスの厚さと略等しいコヒーレンス長を持つ光源と、少なくとも一つの対物レンズ、参照鏡及び光線分割手段からなる干渉イメージングシステムとを有する。本発明は、干渉システムが、対物レンズが解析される物体層のレベルに第１の焦点設定面を規定し、参照鏡のレベルに第２の焦点設定面を規定するように配置され、かつ、干渉システムは、第２の焦点設定面と光線分割手段の間に配置される少なくとも一つのタイプの補償媒体を有し、その補償媒体の厚さ及び屈折率は、第１の焦点設定面と光線分割手段の間における光源から放射された光線の光路が、第２の焦点設定面と光線分割手段の間におけるその光線の光路と略等しく、第１の焦点設定面と光線分割手段間の分散が第２の焦点設定面と光線分割手段間の分散と略等しくなるように選択されることを特徴とする。
（もっと読む）

【課題】広い観察範囲を持ちながらも高ＮＡを有して微弱発光信号を高Ｓ／Ｎで取得することのできる高い拡張性を備えた顕微鏡装置、及びそれを備えた顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】無限遠補正型の対物レンズ２と、結像レンズ３を有する顕微鏡装置において、対物レンズ２の同焦点距離をＤ、結像レンズ３の開口数をＮＡ'としたとき、次の条件式を満足する。
４．５６≦Ｄ・ＮＡ'≦１０
好ましくは、対物レンズ２の胴付位置５から結像レンズ３の最も物体側の面までの距離が可変であって、この可変量をＷ、結像レンズ３の焦点距離をＦＬとしたとき、次の条件式を満足する。
０．５ＦＬ＜Ｗ＜１．２ＦＬ
さらに好ましくは、次の条件式を満足する。
０．４＜Ｄ／ＦＬ＜１．２
１＜Ｄ／Φｄ＜２．７５
但し、Φｄは対物レンズ２の胴付での接合部の外径である。 （もっと読む）

【課題】広い温度範囲で適用可能な顕微鏡対物レンズを提供すること。
【解決手段】
検査対象物（７）に供給源（２）からの照明放射が送られる際に通る照明ビーム経路と、照明ビーム経路の少なくとも一部を囲む部分検出ビーム経路とを備える対物レンズ（３）を備える顕微鏡対物レンズシステムであって、部分検出ビーム経路は、照明ビーム経路と共に、試料（７）から来る被検出放射が検出器（６）に向けて案内される際に通る検出ビーム経路を形成する顕微鏡対物レンズシステムが提供される。 （もっと読む）

【解決手段】本発明の液浸式露光装置のラストレンズは、式ＢａＬｉＦ₃で表される結晶
からなることを特徴としており、前記結晶は、好適には、式ＢａＬｉＦ₃で表される単結
晶であり、また、前記液浸式露光装置は、波長２００ｎｍ以下の光源を備えていることが好ましく、より具体的には、ＡｒＦエキシマレーザー発振器またはＦ₂エキシマレーザー
発振器を備えていることが好ましい。
【効果】本発明の液浸式露光装置のラストレンズによれば、光源に使用する光の波長、好適には波長２００ｎｍ以下において、高屈折率、高透過率、低ＳＢＲを達成することができ、露光装置の解像度を容易に向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】試料と油浸系対物レンズとの間に充填されるイマージョンオイルからの自家蛍光を極力無くして蛍光像のＳＮを高くすることが可能な油浸系対物レンズを用いた顕微鏡、及び油浸系対物レンズを用いた顕微鏡の観察方法を提供する。
【解決手段】試料を保護するカバーガラスＣＧと最も試料側のレンズ面との間に油を充填して観察する、油浸系対物レンズ１と結像レンズ２を有する顕微鏡において、油浸系対物レンズ１における最も試料側のレンズよりも像側に配置された、レンズ群Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４を光軸に沿って移動させることによって、カバーガラスＣＧと油浸系対物レンズ１における最も試料側のレンズ面との間の作動距離ＷＤを０＜ＷＤ≦０．０３ｍｍにした状態で試料の所定深度位置に合焦するように、前側焦点距離および前側焦点位置を調整し得るようにしている。 （もっと読む）

本発明はマイクロリソグラフィ用の投影露光システムに係り、該システムが投影光を生成する照明装置と、複数のレンズ等の光学素子（Ｌ５）を備え、投射対物レンズの物体平面に配置することのできるレチクルを、投影対物レンズの像平面に配置することが出来て担体（３０）に設けられた感光面（２６）上に結像させることのできる投射対物レンズとを備える。本発明システムには、投影対物レンズの像側最終光学素子（Ｌ５）と感光面（２６）との間にあって、浸漬液体（３４）を浸漬チャンバ（５０）内に導入する浸漬装置も備わっている。前記浸漬装置は、浸漬液体（３４）内のガス気泡（４８）の出現を防止し、像品質に影響を与えることができ、かつ／又は実在するガス気泡（４８）を除去できる手段（４４；６６）を備える。前記手段は、例えば超音波源（６６）又は脱気装置（４４）とすることができる。
（もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置（１０）の光学系は、ユニットとして光学系に取り付け、かつ、光学系から取り外すことができるモジュール（５０、１５０）を含む。モジュールは、液体（３４、１３４）で完全に満たし、かつ、気密に密封することができる空洞（４２、１４２）と、投影露光装置（１０）の動作中、頂部において空洞の境界となる凹に湾曲した光学面（Ｓ）を含む。これは、光学系の外でモジュールを満たすことを可能にする。完全な充填を妨害する空気の泡が凹に湾曲した光学面の下方に形成できないように、モジュールを傾けることができる。
（もっと読む）

第1の活性化放射線を、光変換可能な光学標識(「PTOL」)を含む試料に供給し、試料中のPTOLの第1サブセットをが活性化させる。第1の励起放射線を、試料中のPTOLの第1サブセットに供給して少なくともいくつかの活性化されたPTOLを励起させ、PTOLの第1サブセット内の活性化及び励起されたPTOLから放たれる放射線を撮像用光学素子で検出する。第1サブセット内の活性化されたPTOL当たりの平均ボリュームが撮像用光学素子の回折限界分解能ボリューム(「DLRV」)にほぼ等しいか又はそれよりも大きくなるように第1の活性化放射線が制御される。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを削減できるとともに、設備コストを抑えることができる光学／超音波顕微鏡システムを提供すること。
【解決手段】本発明の光学／超音波顕微鏡システム１は、顕微鏡本体３、対物レボルバ４、Ｘ−Ｙステージ５、パソコン６等を備える。対物レボルバ４の第１の雌ねじ穴に対物レンズ１２が螺着され、第２の雌ねじ穴に超音波プローブ１３が螺着される。超音波プローブ１３は、Ｘ−Ｙステージ５に固定されたガラス基板７上の生体組織８に対して、超音波を照射する。超音波プローブ１３は、その反射波を受信して電気信号に変換する。パソコン６は、超音波プローブ１３と電気的に接続される。パソコン６は、超音波プローブ１３からの電気信号に基づいて生体組織８の音速を求め、その値に基づいて音速像の画像データを生成する。 （もっと読む）

【課題】液浸対物レンズに必要最少量の液体を供給可能な顕微鏡装置を廉価に提供する。
【解決手段】液体供給装置は、液浸対物レンズ１１３の光軸に平行な軸周りに回動する回動アーム１２４と、回動アーム１２４に固定されたノズル１２５と、準焦部１１４に設けられたカム部材１３０とを有している。カム部材１３０は、液浸対物レンズ１１３の上下移動方向に対して傾斜したカム面を有している。回動アーム１２４には、準焦部１１４の移動範囲内でカム部材１３０と接触する回動ピン１３３が回動軸に対して垂直に設けられている。顕微鏡部１０２の内側には、回動ピン１３３に接して回動アーム１２４の回動を規制する規制ピン１３４が設置されている。回動ピン１３３を規制ピン１３４に当て付けるため、顕微鏡部１０２の内側上部に設けたフック１３５と回動ピン１３３が弾性を有するバネ部材１３６で接続されている。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡下において、その焦点位置をオーバーシュートや振動を起こすことなく高速、かつ、安定に変位させることを可能にする顕微鏡ステージ、および焦点位置計測装置・システムを提供すること。
【解決手段】 ピエゾ素子の電圧−伸長特性の校正表を用いることにより、フィードバック回路等を用いることなく高速にピエゾ素子を伸長・短縮させ、顕微試料を顕微鏡の光軸方向に高速に変位させる。また、ピエゾ素子の伸長軸と、光学顕微鏡の光軸を厳しく平行にさせるために、ピエゾ素子の伸長軸は、自在に調整できる。光学顕微鏡下において、開口数１.３以上の対物レンズ型全反射光学系を用いて、焦点位置、つまり、対物レンズに対する顕微試料の位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】 対物レンズの消毒を、簡易に、かつ、対物レンズの先端に過大な外力がかからないように保護しながら行う。
【解決手段】 対物レンズ２の少なくとも先端の表面に接触させられるとともに、対物レンズ２に対して相対移動可能に配置され、対物レンズ２の表面を拭き取る拭取部材３と、該拭取部材３を対物レンズ２に対して位置決めする位置決め手段４とを備える対物レンズ清掃具を提供する。 （もっと読む）

【課題】生体細胞等の特定部位から発する微弱な発光を検出可能な微弱光撮像光学系、それを備えた顕微鏡装置、及びそれを備えた顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】微弱光撮像光学系１が、無限遠補正型の対物レンズ２と、結像レンズ３と、撮像手段４を備え、物体６からの微弱な光を検出可能である。対物レンズ２の同焦点距離をＤ、結像レンズ３の開口数をＮＡ'としたとき、次の条件式を満足する。
５≦Ｄ・ＮＡ'≦３０
好ましくは、対物レンズ２の胴付位置５から結像レンズ３の最も物体側の面までの距離が可変であって、この可変量をＷ、結像レンズ３の焦点距離をＦＬとしたとき、次の条件式を満足する。
０．５ＦＬ＜Ｗ＜１．２ＦＬ
さらに好ましくは、次の条件式を満足する。
０．４＜Ｄ／ＦＬ＜５
１≦Ｄ／Φｄ＜３
但し、Φｄは対物レンズ２の胴付の外径である。 （もっと読む）

【課題】 共焦点スキャナからの照明光を第１の対物レンズ系で光ファイバの端部に導き、光ファイバの先端部に設置された第２のレンズ系によって生細胞などの被写体を観察する共焦点顕微鏡において、生細胞などの被写体対象をより高品質の画像で捉える共焦点顕微鏡の生体用対物レンズを提供する。
【解決手段】 ファイバおよび第２対物保持筒１１は、その先端部に透明の窓２７を有し、その内部に光ファイバ１３が収容され、光ファイバ１３の先端部に生体用対物レンズ２２が配置されている。生体用対物レンズ２２の前側焦点距離３０の位置が細胞などの観察対象２１位置となる。生体用対物レンズ２２の前側焦点距離をｆ，後側焦点距離をｆｂとすると、倍率Ｍ＝ｆｂ／ｆが成り立ち、かつ生体用対物レンズ２２の開口数ＮＡｆと光ファイバ１３の開口数ＮＡの比をＭとしてある。作動距離２９は、前側焦点距離ｆとレンズの開口数ＮＡｆに依存させている。 （もっと読む）