【課題】照明光と試料間の相対的移動により試料領域の少なくとも１箇所を捕捉するための光走査型顕微鏡
【解決手段】照明光が試料２３を複数の点または領域で平行に照明し、複数の点または領域が検出装置によって同時に検出される、照明光が点状光源の分布から成っていて、照明された試料点には検出サイドで検出器２８が割り当てられている、および検出光路には取換および／または切換の可能なビームスプリッタおよび／またはフィルタが配備されている光走査型顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】自由に構成できる複数の検出チャネルおよび良好な３Ｄ（次元）分解能を有する高速撮像顕微鏡
【解決手段】照明光と試料間の相対的移動により試料領域の少なくとも１箇所を捕捉するための光走査型顕微鏡１であって、照明光が試料２３を複数の点または領域で平行に照明し、複数の点または領域が検出装置２８によって同時に検出される、面検出器が配備されていて、照明生成のため可動有孔ディスクが装備されている、および検出光路には取換および／または切換の可能なビームスプリッタ１７および／またはフィルタ２７が配備されている光走査型顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】 クラッドにおいて発せられる自家蛍光が光検出器により検出されることを防止して、標本の鮮明な画像を得る。
【解決手段】 光源６と、該光源６からの光を走査する光走査部７と、該光走査部７により走査された光を伝播する複数のコアおよび該コアの周囲に配置されたクラッドを有する光ファイバ束４と、該光ファイバ束４内を伝播した光を標本Ａ上に結像させる対物光学系５と、光走査部７の動作を制御する走査制御部８とを備え、走査制御部８が、光ファイバ束４のコアに長くクラッドに短く、光源６からの光を集光させるように光走査部７を制御する光走査型観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】試料表面の状態によらず、安定して合焦状態の判別や焦点調整を行える。
【解決手段】対物レンズ６によって結像した試料面４ａの像を観察する観察光学系２と、指標１２の像を試料面に投影すると共に試料面を落射照明する照明光学系３とを備える。対物レンズ６による結像位置にスプリットプリズム８を配設する。試料面４ａと指標１２の像の反射光を対物レンズ６でスプリットプリズム８上に結像させ、接眼レンズ７で観察して、合焦を検出する。合焦状態では、指標１２の像はスプリットプリズム８上の結像位置に結像する。非合焦状態では、指標１２の像は各ウエッジプリズム８ａ、８ｂの分割線に対してウエッジの方向に横ズレを起こす。 （もっと読む）

【課題】ターゲットの複数焦点スタック画像を作成する方法を提供する。
【解決手段】スタック画像はターゲットの複数の画像を含み、各画像は対応する焦点範囲若しくは位置を有する。ターゲット、及び光検出器のアレイの間に相対走査移動をもたらし、該アレイは、走査ラインの形態で走査中にターゲットから画像情報を繰り返し受信するために使用される。スタック内の画像を得るように、走査中に個々の画像の焦点範囲若しくは位置の間で修正されるべきターゲット及びアレイの間の相対焦点を生じ、各画像は走査中に個々の焦点範囲若しくは位置で得られる画像情報から形成される。該方法を実行する装置も提供する。 （もっと読む）

【課題】蛍光の分光検出を十分な光強度で行なえる光走査型共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】レーザー走査型共焦点顕微鏡１００は、励起光ビームを射出する光源部１１０と、励起光ビームを走査する走査光学系１３０と、励起光ビームを試料Ｓに照射する対物レンズ１４０と、励起光と試料Ｓから生じる検出光（蛍光と反射光を含む）とを分離するダイクロイックミラー１２０と、共焦点効果を得るピンホール１５２を含む共焦点検出部１５０と、検出光を分光検出する分光検出装置１６０とを備えている。分光検出装置１６０は、検出光を波長ごとに異なる方向に偏向させる分散素子１６１と、分散素子１６１を光軸に直交する軸周りに回転させる回転デバイス１６２と、分散素子１６１によって分光された検出光を収束させる収束レンズ１６３と、開口幅が変更可能なスリット１６４と、スリット１６４によって抽出された光を検出する検出器１６５とを有している。 （もっと読む）

【課題】ステージカバーの内部の様子を目視可能な全反射顕微鏡を提供する。
【解決手段】全反射顕微鏡は、倒立顕微鏡と、全反射照明のための全反射照明光学系と、固定カバー１２４と着脱カバー１２５からなるステージカバーと、補助照明部とを備えている。倒立顕微鏡は、標本１１２を入れたディッシュ１１３を載置するためのステージと、ディッシュ１１３の下方に位置する対物レンズ１１０と、標本１１２を観察するための観察光学系とを備えている。観察光学系は対物レンズ１１０と吸収フィルター１２１と結像レンズ１２２とＣＣＤカメラ１２３とを備えている。着脱カバー１２５は固定カバー１２４に対して着脱可能で、上部の開口部にはバンドパスフィルター１２６が固定されている。補助照明部はＬＥＤヘッド１３２を有している。観察光学系内の吸収フィルター１２１の透過域とバンドパスフィルター１２６の透過域は重複していない。 （もっと読む）

【課題】 腔状患部の内壁も観察することができる手術顕微鏡用の側視型延長鏡筒を提供する。
【解決手段】 筒状本体１１の下端部１０を腔状患部２７の内部へ挿入し、手術顕微鏡１からの照明光Ａを下端部１０の照明窓１６から内壁２７ａに対して横向きに照射でき、内壁２７ａで反射された横向きの観察光Ｂを観察窓１７から取り入れて、手術顕微鏡１側へ導くことができるため、腔状患部２７の内壁２７ａも確実に観察することができる。アタッチメント部１２を手術顕微鏡１に取付けた状態のまま、筒状本体１１をヒンジ部１３を中心に手術顕微鏡１の観察範囲よりも外側へ回動させることにより、腔状患部２７の底面２７ａも通常通りに観察することができる。 （もっと読む）

従来使用していた検査装置および検査方法では、反射された可視光または紫外光を使用し、それによりたとえばウェハの微細構造サンプルを解析している。本発明の目的は、この装置の可能な用途を増やすことにあり、すなわち構造的な詳細を明らかにすることである。たとえば、塗装材料や中間材料が不透明であることから可視光または紫外光で見ることができないように両面を塗膜化されたウェハなどが対象となる。上述の目的は、反射光として赤外光を使用する一方で、光を透過させることにより実現される。すなわち、赤外線画像のコントラストを大きく改善し、サンプルを、反射または透過赤外光および反射可視光で同時に検査することができる。 （もっと読む）

カタジオプトリック対物系及び浸漬媒を用い検査用の小型カタジオプトリック系を構成する。その系の対物系は、約１９０ｎｍから赤外域に及ぶ波長域に属する光エネルギにて使用でき、０．９超の開口率を実現でき、直径１００ｍｍ未満の素子から構成でき、標準的な顕微鏡内に組み込めるものであり、合焦レンズ群、視野レンズ、マンジャンミラー配列及び一種類若しくは複数種類の浸漬媒を備え、その浸漬媒はマンジャンミラー配列と標本の間にある。また、検査用のカタジオプトリック系にてこの対物系と併用できるよう、可変焦点距離光学系を構成する。
（もっと読む）

レーザ光源部、レーザ光源部からの励起光を試料上に集光する対物レンズ光学系、試料面上を走査する走査手段、走査手段と対物レンズ光学系との間に配置された瞳投影レンズ、試料からの蛍光を検出する検出光学系を備え、対物レンズ光学系が、対物レンズ、試料の中間像を形成する結像レンズを有し、対物レンズの後側焦点位置が、結像レンズと瞳投影レンズとによって走査手段の近傍位置で共役になるように構成されている。対物レンズの同焦点距離をＤ、試料面から走査手段近傍に配置された、対物レンズの後側焦点位置の共役位置までの距離をＬとするとき、次の条件式を満足する。
０．１５≦Ｄ／Ｌ≦０．５ （もっと読む）

約２６６〜１０００ｎｍの波長域や１５７ｎｍから赤外に至る波長域といった各種の波長域に属する光エネルギ用の対物系を用いる検査システム及び方法を提供する。この対物系は、光を受け取る１個又は複数個の合焦レンズ素子（３０４)を含む合焦レンズ素子集合体（３１１)と、合焦レンズ素子集合体（３１１)により合焦された光エネルギを受け取り中間的な光エネルギを出射するよう方向設定された視野レンズ素子（３０５)と、視野レンズ素子（３０５)から中間的な光エネルギを受け取り制御された光エネルギを発生させるよう位置設定されたマンジャンミラー装置（３１２)とを備える。各合焦レンズ素子は約１００ｍｍ未満と小径であり、その最大補正視野サイズは約０．１５ｍｍである。制御された光エネルギは、検査する標本（３１０)に与える前に、油、水、シリコーンゲル等の浸漬媒に通してもよい。

（もっと読む）

励起レーザービームを出力するレーザーと、第１のコア及び第２のコアを有するファイバー部材とを有する走査型顕微鏡。第２のコアは第１のコア内に配置され、レーザーから励起レーザービームを受け、励起レーザービームを試料に供給する。可動ステージは、ファイバー部材の端部及び／または試料を支持し、ファイバー部材の端部及び試料を互いに相対的に移動させる。
（もっと読む）