【課題】試料に対する走査光の選択性を向上させる。
【解決手段】表面形状測定装置１００は、共焦点光学系と非共焦点光学系とを切換え可能であって、試料１０１を照明する照明光の波長を切替える波長切替手段１７と、非共焦点光学系に切換えられた状態で、照明光から参照光を生成すると共に、照明光を試料に照射させ、その反射光と参照光を合成して干渉光を生成する干渉光学系（干渉型対物レンズ１３）と、干渉光学系からの干渉光を受光する光センサ（ＣＣＤカメラ３６）と、共焦点光学系に切換えた状態において、試料１０１と共焦点光学系の光学的な距離を変化させる距離変化手段（顕微鏡ステージ１）と、光センサが干渉光を受光したときの測定結果と、距離変化手段によって光学的な距離を変化させたときの測定結果とに基づいて、試料の表面形状を算出する演算処理部（コンピュータ６）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】走査型共焦点顕微鏡による標本観察を高速化すること。
【解決手段】走査型共焦点顕微鏡１００は、標本１を照明する照明光を標本１上で走査方向に走査させるガルバノミラー４と、レーザ光源６が発した照明光を走査方向に分割するとともに、この分割した各照明光をそれぞれ走査方向に集光させる収束レンズ８およびシリンドリカルレンズアレイ９と、標本１の共役面上に配置され、収束レンズ８およびシリンドリカルレンズアレイ９が集光させた照明光ごとにその照明光の少なくとも一部をガルバノミラー４に対して反射させるマイクロミラーアレイ５とを備え、ガルバノミラー４は、マイクロミラーアレイ５が反射させた各照明光を一括して標本１上で走査方向に走査させる。 （もっと読む）

【課題】良好な観察画像を得ることが可能な走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】第１の光源１３を含み、該第１の光源１３からの光を走査光に変える走査手段７、及び前記走査光を試料４上に集光する対物レンズ６を有する照明光学装置と、検出器１１を含み、試料４からの観察光を対物レンズ６及び走査手段７を介して検出器１１で受光させる受光光学装置とを備えた走査型顕微鏡１において、第２の光源１６を含み、該第２の光源１６からの光を走査手段７により所定パターンが形成されたスケール２０上を走査し、スケール２０からの光を検出してサンプリングクロックを発生させるサンプリングクロック発生装置３を有し、第２の光源１６からの光の波長は、前記観察光の波長とは異なり、前記受光光学装置は、第２の光源１６からの光と前記観察光のうち前記観察光を選択して検出器１１で検出する選択機能を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】入射光切り替え機構による光源の切り替え、切り替え式光学部材の切り替えに伴って発生する、結像レンズの結像点の位置ずれを迅速に補正することが可能な走査型共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】入射切り替え部３の光学部材、及び励起光・信号光（蛍光）分離用ダイクロイックミラー切り替え部５の各ポジションでの集光位置のズレ量を装置出荷前に求め、その補正値をＣＰＵ２０のメモリ２１に記憶させておく。そして、入射切り替え部３の光学部材、及び励起光・信号光（蛍光）分離用ダイクロイックミラー部切り替え部５がある所定のポジションとされたら、ＣＰＵ２０が対応する補正値に基づいてモータ１３、１４を駆動し、集光レンズ１０をｘ軸方向、ｙ軸方向に２次元的に移動させる。このことにより、常に、集光レンズ１０の焦点位置が遮光板１１上の開口中心と一致するようにすることができる。これにより、光量ロスのない共焦点顕微鏡とすることができる。 （もっと読む）

【課題】入射レーザ光の試料の測定面に対する入射角度が大きい部分についても鮮明な画像を得ること。また、入射レーザ光の試料の測定面に対する入射角度が大きい部分についても、検出器側に向かい反射レーザ光の光量を増やすこと。
【解決手段】レーザ顕微鏡用試料台１０は、試料２０からの反射レーザ光により試料を光学的に観察するレーザ顕微鏡が備える試料台であり、入射レーザ光の光軸上に試料を載置すると共に、この試料を載置する載置面１１は凹面形状の反射面を有する。凹面形状の載置面１１は、試料から光軸方向以外に散乱したレーザ光を試料台で再び反射させ、検出器方向に戻る光量を増すことによって、鮮明な画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】 電子立体画像を撮影して、その画像を表示し観察する観察装置にて使用する実体顕微鏡用の変倍光学系で、観察物体が観察者により直視し得るようにして観察者の観察物体への作業を行ないやすくする。
【解決手段】 変倍光学系が物体側から順に対物レンズ光学系と、一回結像アフォーカルリレー光学系と、アフォーカルズーム光学系と、複数の光束に分割する分割ミラーと、分割された光束に夫々設けられた結像光学系とよりなり、作動距離を変えるために、一回結像アフォーカルリレー光学系の結像点より像側のレンズを移動させるようにして、このレンズ移動のための移動機構を観察物体より離すことにより観察物体を観察者により直視し得るようにした。 （もっと読む）

【課題】 共焦点レーザ走査型顕微鏡における全焦点画像と顕微干渉計測法における高さ画像を効率よく取得することで、試料の３次元形状画像を短時間に取得することができる３次元形状観察装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、試料１７を載置するステージ２００と、試料１７の上方に配置される干渉対物レンズ３００と、共焦点レーザ走査型顕微鏡における光学系４００ａと、顕微干渉計測法における光学系４００ｂと、ステージ２００と、干渉対物レンズ３００を搭載する顕微鏡本体４００と、試料１７の３次元形状を観察する際に画像処理や顕微鏡本体４００を制御する制御部５００と、を有し、例えば干渉対物レンズ３００を連続して光軸に沿って移動させ、相対距離を連続的に変え、レーザ用受光素子１１と撮像素子１６から出力される出力信号を最適なタイミングで取得する。 （もっと読む）

【課題】広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外（ＵＶ）カタディオプトリック映像顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】カタディオプトリックレンズ群及びズーミングチューブレンズ群を含む顕微鏡システムは、極ＵＶ波長で高光学解像度と、連続的に調整可能な倍率と、高開口数とを有する。このシステムは、部品点数を削減し、システムの製造プロセスを簡単化するため、対物レンズ、チューブレンズ及びズーム光学系のような顕微鏡モジュールを統合する。好ましい実施例によれば、全屈折ズーミングチューブレンズと組み合わせることにより、非常に広い極紫外スペクトル域に亘って優れた画質が得られる。ズーミングチューブレンズは、一般的に性能を制限する高次色収差を補償するように変更される。 （もっと読む）

【課題】微細な試料の表面各部の高さ情報から当該表面の画像を得るための新たな手法を提供する。
【解決手段】三次元形状測定器により取得された試料の表面各部の高さを示す高さ情報が高さ画像記憶部２０１で記憶される。画像−擬似輝度画像変換部２０７は、まず、当該試料の表面各部の高さ情報に基づいて当該表面各部の傾きを示す傾き情報を算出する。そして、この表面各部の傾きを当該試料表面の画像における当該表面各部の輝度に対応付けて当該画像における輝度情報を生成し、この輝度情報を用いて当該試料表面の輝度画像を構築する。 （もっと読む）

【課題】ＯＣＴ走査光路による物体領域の深部像の検出が可能で、拡大率が可変でコンパクトに構成された手術用顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明は、顕微鏡主対物レンズ系１０１および拡大率を可変な拡大システム１０８を含む顕微鏡結像光学系を通る観察光路１０９を備える、手術用顕微鏡１００に関するものである。顕微鏡結像光学系は物体領域１１４に由来する収束観察光路１０９を平行な光路へ移行させる。物体領域１１４を検査するために、手術用顕微鏡はＯＣＴシステム１２０を含んでいる。本発明によると、ＯＣＴシステム１２０は、顕微鏡結像光学系を通して案内されるＯＣＴ走査光路１９０を提供する。 （もっと読む）

【課題】蛍光顕微鏡にあっては、励起光を照射して発生した蛍光を検出するのが一般的であるが、蛍光が可視光である必要なため、可視光を発生させるための制約があり、可視光以外は検出できなかった。
【解決手段】試料・物質から発生する紫外、可視、赤外にかかわらず発生した放射線をダイクロイックミラーを介して複数の狭帯域の波長に分離・分割し、これらの各狭帯域の波長に虹色の一色を割り当て、虹色で各波長を表示する。 （もっと読む）

【課題】カップリングレンズ以降において発生した光軸ズレによる光ファイバへの結合効率の低下を防止する。
【解決手段】短パルスレーザ光を出射する短パルスレーザ光源５と、該短パルスレーザ光源５からの短パルスレーザ光の分散を補償する分散補償光学系６と、該分散補償光学系６により分散を補償された短パルスレーザ光を顕微鏡本体３に導く光ファイバ７と、該光ファイバ７のコアに入射させる短パルスレーザ光を集光させるカップリング光学系８と、光ファイバ７のコアに入射させる短パルスレーザ光の光軸を調節するビーム位置補正機構９と、光ファイバ７の出射端７ｂと顕微鏡本体３との間に配置され、光ファイバ７から出射される短パルスレーザ光の光量を検出する光量検出器１０とを備える顕微鏡用照明装置２を提供する。 （もっと読む）

【課題】スリットの長さ方向の分解能を高めることができるスリット走査共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】ダブプリズム１１を走査光学系６と対物レンズ７との間に入れると、光束が９０°回転し、スリット２の像と走査方向が９０°回転する。よって、ダブプリズム１１を走査光学系６と対物レンズ７との間に入れた状態と入れない状態で撮像を行って検査対象物７の画像を２種類作成し、これらを合成することにより、スリット２の長さ方向の分解能を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明では、高速波長走査を行える分光装置を備えたレーザー走査型顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の上記課題は、観察光を分光して検出するレーザー走査型顕微鏡において、前記観察光を分散特性によって分光して射出するＫＴＮ結晶と、前記ＫＴＮ結晶から射出された射出光を検出する検出器と、前記ＫＴＮ結晶と前記検出器の間に配置される、前記ＫＴＮ結晶の屈折率傾斜に直交した方向に開口したスリットとを備え、前記ＫＴＮ結晶に印加する電圧を制御することによって、前記スリットを通過する前記射出光の検出波長を動的に切り換えることによって解決される。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡視野の中心に試料を置いた状態においても、自動焦点動作を行うことのできる生物顕微鏡を簡単な構成により実現する。
【解決手段】対物レンズを介して焦点基準面に焦点誤差検出光を照射するとともに、焦点基準面からの戻り光を受けて、焦点基準面への合焦状態を検出する焦点誤差検出光学系を有する生物顕微鏡において、前記焦点基準面における前記焦点誤差検出光の照射位置をこの顕微鏡の視野中心からずらした。 （もっと読む）

【課題】基板に焦点が合っているか否かを検出するための煩雑かつ複雑な部品を必要としない方法及び装置を提供する。
【解決手段】基板がレンズのスキャトロメータの焦点面内にあるか否かを検出するため、スキャトロメータの光学システムの後側焦点面の前後において、所定値以上の放射の断面エリアを検出する。好ましくは、後側焦点面の前後にある検出位置を、反射した放射のパスに沿って後側焦点面から等距離におくことによって、基板がスキャトロメータの焦点面内にあるか否かを単純な比較により判断することができる。 （もっと読む）

【課題】アイポイントを低く抑えることができるとともに、水平もしくは水平に近い俯視角で観察を行うことができること。
【解決手段】鏡筒８は、一方から入射する光を透過させ、他方から斜入射する光を反射させる第１反射面１４ａと、第１反射面１４ａが透過させた観察光を反射させ、第１反射面に斜入射させる第２反射面１４ｂと、第１反射面１４ａが反射させた観察光を、第２反射面１４ｂに垂直または略垂直な方向であって該観察光に対して第２反射面１４ｂと同じ側に反射させる第３反射面１４ｃと、第３反射面１４ｃが反射させた観察光を、結像レンズ１３の光軸ＯＡ１を含み第２反射面１４ｂに垂直な偏向平面に沿って光軸ＯＡ１に垂直または略垂直な方向に反射させる反射面１５ａと、を備える。 （もっと読む）

【課題】スポット光の走査範囲を自動的に調整することで縞の発生を防止し良好な観察画像を得ることができるスキャン型コンフォーカル顕微鏡を提供する。
【解決手段】微小開口部を備え対物レンズの後側焦点位置に配置された遮光手段８と、遮光手段８における前記微小開口部を透過した光を試料に対して走査する走査手段７と、試料４の観察画像を取得する撮像手段１０と、撮像手段１０で得られた前記観察画像から該観察画像に生じた縞を検出し、該縞を解消するべく走査手段７の走査範囲を調整する調整手段１４と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】観察条件に最適な開口を容易に設定でき、高い分解能の画像を得ることができるコンフォーカル顕微鏡を提供すること。
【解決手段】光源１１と、前記光源からの照明光を標本１上にスキャンし、前記標本の光をデスキャンする第１の走査手段４と、前記標本からの光を空間的にフィルタリングし、前記標本と共役な位置に配置された少なくとも１つの開口を有する開口部材６と、前記標本の光の光軸に直交し前記開口の中心を通る回転軸に対して前記開口部材を回転制御する制御手段１２と、前記開口を透過した前記標本からの光を走査する第２の走査手段９と、前記第２の走査手段から射出された前記標本の光を検出する光検出手段１０と、を具備するコンフォーカル顕微鏡１００。 （もっと読む）

【課題】紫外光が外部へ漏れるのを防止することができる照明装置及び顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】観察対象物を観察する顕微鏡本体に接続可能であり、光源の照明光を顕微鏡本体に導くライトガイドＯＦと顕微鏡本体との接続状態が解除されたとき、ライトガイドＯＦの光路を遮断する遮光部材２６をライトガイドＯＦの一端部に設けた。 （もっと読む）